电动阀的制作方法

1.本发明涉及一种电动阀。


背景技术：

2.专利文献1公开了一种现有的电动阀。专利文献1的电动阀具有：具有阀口的阀主体、朝向阀口地配置的阀芯以及与阀主体接合的外壳。在外壳的外侧配置有定子。在外壳的内侧配置有转子。另外，电动阀具有：使转子的旋转减速的行星齿轮装置、与行星齿轮装置连结的驱动轴以及驱动轴支承部件。
3.行星齿轮装置具有：与转子连结的太阳齿轮、与太阳齿轮啮合的行星齿轮、将行星齿轮支承为能够旋转的行星齿轮架、作为与行星齿轮啮合的固定内齿轮的固定齿轮以及作为与行星齿轮啮合的内齿轮的输出齿轮。
4.驱动轴与输出齿轮连结。在驱动轴形成有外螺纹。在驱动轴支承部件形成有内螺纹。驱动轴的外螺纹与驱动轴支承部件的内螺纹螺合。当驱动轴通过行星齿轮装置而旋转时，驱动轴通过螺纹进给作用而向接近阀口的方向或从阀口离开的方向移动。阀芯随着驱动轴的移动而移动。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2012-197849号公报
8.发明所要解决的技术问题
9.在上述的电动阀中，固定齿轮经由圆筒形状的齿轮壳体而固定于阀主体。驱动轴支承部件固定于阀主体。固定齿轮的中心轴与驱动轴支承部件的内螺纹的中心轴彼此配置为同轴。但是，固定齿轮的中心轴与驱动轴支承部件的内螺纹的中心轴可能因零件精度或组装精度而错开。由此，齿轮、驱动轴等旋转零件会产生偏磨损而缩短产品寿命。


技术实现要素：

10.因此，本发明的目的在于，提供一种能够抑制旋转零件的偏磨损的电动阀。
11.为了达成上述目的，本发明的电动阀具有：阀主体，该阀主体具有阀口；阀芯，该阀芯与所述阀口相对地配置；转子，该转子配置成能够相对于所述阀主体旋转；行星齿轮装置，该行星齿轮装置与所述转子连结；驱动轴，该驱动轴与所述行星齿轮装置连结；以及驱动轴支承部，该驱动轴支承部固定于所述阀主体，其中，所述行星齿轮装置具有：太阳齿轮、与所述太阳齿轮啮合的行星齿轮、将所述行星齿轮支承为能够旋转的行星齿轮架以及与所述行星齿轮啮合的固定内齿轮，所述驱动轴和所述驱动轴支承部中的一方具有外螺纹，且另一方具有供所述外螺纹螺合的内螺纹，当所述驱动轴通过所述行星齿轮装置而旋转时，所述驱动轴向靠近所述阀口的方向或从所述阀口远离的方向移动，所述驱动轴支承部和所述固定内齿轮一体地形成。
12.在本发明中，优选的是，所述驱动轴支承部和所述固定内齿轮是合成树脂制，并一
体成形。
13.在本发明中，优选的是，还具有金属部件，该金属部件与所述阀主体接合，所述驱动轴支承部和所述固定内齿轮是合成树脂制，所述驱动轴支承部、所述固定内齿轮以及所述金属部件一体成形。
14.在本发明中，优选的是，所还具有金属部件，该金属部件被压入所述阀主体，所述驱动轴支承部和所述固定内齿轮是合成树脂制，所述驱动轴支承部、所述固定内齿轮以及所述金属部件一体成形。
15.在本发明中，优选的是，所述行星齿轮装置具有n个以所述太阳齿轮、所述行星齿轮以及所述行星齿轮架为1组的齿轮组，其中，n为2以上的自然数，所述转子与第一所述齿轮组的所述太阳齿轮同轴地连结，第k所述齿轮组的所述行星齿轮架与第k 1所述齿轮组的所述太阳齿轮同轴地连结，其中，k＝1、
···
、n-1，第n所述齿轮组的所述行星齿轮架与所述驱动轴同轴地连结，所述行星齿轮装置仅具有一个所述固定内齿轮，n个所述齿轮组各自的所述行星齿轮与所述固定内齿轮啮合。
16.发明的效果
17.根据本发明，驱动轴支承部和行星齿轮装置的固定内齿轮一体地形成。由此，驱动轴支承部和行星齿轮装置的固定内齿轮作为一个零件而一体地形成，因此，能够以高精度同轴地配置驱动轴支承部的螺纹(外螺纹或内螺纹)的中心轴和固定内齿轮的中心轴。因此，能够抑制旋转零件的偏磨损。另外，能够抑制因旋转零件的偏心而导致的旋转传递效率的降低。另外，电动阀的零件数量变少，能够提高电动阀的组装性。
附图说明
18.图1是表示本发明的第一实施例的电动阀的开阀状态的剖视图。
19.图2是表示图1的电动阀的闭阀状态的剖视图。
20.图3是放大了图1的电动阀的一部分的剖视图。
21.图4是包含图1的电动阀所具有的支承部件的一部分剖面的立体图。
22.图5是图1的电动阀所具有的阀芯驱动部的分解立体图。
23.图6是表示作为图1的电动阀的变形例的电动阀的开阀状态的剖视图。
24.图7是表示图6的电动阀的闭阀状态的剖视图。
25.图8是放大了图6的电动阀的一部分的剖视图。
26.图9是表示本发明的第二实施例的电动阀的开阀状态的剖视图。
27.图10是表示图9的电动阀的闭阀状态的剖视图。
28.图11是放大了图9的电动阀的一部分的剖视图。
29.图12是包含图9的电动阀所具有的支承部件的一部分剖面的立体图。
30.图13是图9的电动阀所具有的阀芯驱动部的分解立体图。
31.图14是表示作为图9的电动阀的变形例的电动阀的开阀状态的剖视图。
32.图15是表示图14的电动阀的闭阀状态的剖视图。
33.图16是放大了图14的电动阀的一部分的剖视图。
34.符号说明
35.1、1a、2、2a
…
电动阀、10
…
阀主体、10a
…
上部、11
…
周壁部、12
…
底壁部、13
…
阀
室、14
…
阀口、15
…
平面、16
…
第一导管、17
…
第二导管、20
…
衬套、21
…
第一圆筒部、22
…
台阶部、23
…
第二圆筒部、24
…
凸缘部、30
…
外壳、32
…
凸部、35
…
接合部件、40
…
阀芯、41
…
杆、42
…
阀部、43
…
弹簧承接部、43a
…
凸缘部、44
…
球承接部、44a
…
平板部、44b
…
凸部、50
…
阀芯驱动部、51
…
转子、52
…
连结部件、53
…
转子轴、54
…
轴承部件、55
…
转子弹簧、60
…
支承部件、61
…
驱动轴支承部、61a
…
内周面、61c
…
内螺纹、62
…
固定齿轮、63
…
金属部件、63a
…
贯通孔、70
…
齿轮机构、71
…
第一齿轮组、71a
…
第一太阳齿轮、71b
…
第一行星齿轮、71c
…
第一行星齿轮架、71c1
…
第一齿轮架主体、71c2
…
第一支承柱、71c3
…
第一辅助柱、71c4
…
第一连结板、72
…
第二齿轮组、72a
…
第二太阳齿轮、72b
…
第二行星齿轮、72c
…
第二行星齿轮架、72c1
…
第二齿轮架主体、72c2
…
第二支承柱、72c3
…
第二辅助柱、72c4
…
第二连结板、73
…
第三齿轮组、73a
…
第三太阳齿轮、73b
…
第三行星齿轮、73c
…
第三行星齿轮架、73c1
…
第三齿轮架主体、73c2
…
第三支承柱、73c3
…
第三辅助柱、73c4
…
第三连结板、75
…
行星齿轮装置、80
…
驱动轴、80a
…
轴孔、81
…
第一部分、82
…
第二部分、83
…
第三部分、83c
…
外螺纹、85
…
球、86
…
开阀弹簧、90
…
定子单元、91
…
定子、92
…
罩、93
…
安装部、93a
…
嵌合孔、180
…
输出轴、180a
…
轴孔、181
…
第一部分、182
…
第二部分、183
…
狭缝、185
…
驱动轴、186
…
圆柱部分、186c
…
外螺纹、187
…
平板部分、260
…
支承部件、261
…
驱动轴支承部、261a
…
内周面、261c
…
内螺纹、262
…
固定齿轮、263
…
金属部件、264
…
小径圆筒部、264a
…
贯通孔、265
…
大径圆筒部、275
…
行星齿轮装置、a1
…
第一组装体、a2
…
第二组装体、a3
…
第三组装体
具体实施方式
36.(第一实施例)
37.以下，参照图1～图8，对本发明的第一实施例的电动阀进行说明。本实施例的电动阀1例如为了在制冷循环等中调整制冷剂流量而使用。
38.图1、图2是本发明的第一实施例的电动阀的剖视图。图1表示开阀状态的电动阀，图2表示闭阀状态的电动阀。图3是放大了图1的电动阀的一部分(主要是阀芯驱动部)的剖视图。图4是包含图1的电动阀所具有的支承部件的一部分剖面的立体图。图5是图1的电动阀所具有的阀芯驱动部的分解立体图。图6、图7是作为图1的电动阀的变形例的电动阀的剖视图。图6表示开阀状态的电动阀，图7表示闭阀状态的电动阀。图8是放大了图6的电动阀的一部分(主要是阀芯驱动部)的剖视图。在图3、图8中，省略了定子单元的记载。
39.如图1、图2所示，本实施例的电动阀1具有：阀主体10、衬套20、外壳30、阀芯40、阀芯驱动部50以及定子单元90。
40.阀主体10具有有底圆筒形状。阀主体10具有周壁部11和底壁部12。阀主体10在其内侧具有阀室13。底壁部12具有圆形的阀口14。阀口14与阀室13连接。在周壁部11的内周面形成有朝向上方的圆环形状的平面15。第一导管16与周壁部11接合。第一导管16在与轴线l正交的方向上贯通周壁部11。第一导管16与阀室13连接。第二导管17与底壁部12接合。第二导管17与阀口14连接。阀主体10是不锈钢、黄铜等金属制。
41.衬套20具有带台阶的圆筒形状。衬套20具有从下方朝向上方依次配置的第一圆筒部21、台阶部22、第二圆筒部23以及凸缘部24。台阶部22和凸缘部24具有圆环平板形状。第一圆筒部21的外径小于第二圆筒部23的内径。第一圆筒部21的上端部连续设置于台阶部22
的内周缘。第二圆筒部23的下端部连续设置于台阶部22的外周缘。第二圆筒部23的上端部连续设置于凸缘部24的内周缘。衬套20配置于阀主体10的内侧。第一圆筒部21与阀口14在上下方向(轴线l方向)上隔开间隔配置。凸缘部24与阀主体10的平面15相接。
42.外壳30具有上端部被封闭且下端部开口的圆筒形状。外壳30的下端部与圆环平板形状的接合部件35的外周缘接合。在接合部件35的内侧配置有阀主体10的上部10a(即，周壁部11的上部)。阀主体10与接合部件35的内周缘接合。
43.阀芯40具有：杆41、阀部42、弹簧承接部43以及球承接部44。杆41具有圆柱形状。杆41的外径稍小于衬套20的第一圆筒部21的内径。杆41配置于第一圆筒部21的内侧。杆41被第一圆筒部21支承为能够在上下方向上移动。阀部42具有外径随着从上方朝向下方而逐渐缩小的圆锥台形状。阀部42连续设置于杆41的下端部。阀部42的最大的外径大于杆41的外径。阀部42配置为在上下方向上与阀口14相对。弹簧承接部43具有圆柱形状。弹簧承接部43的外径与杆41的外径相同。弹簧承接部43与杆41的上端部接合。弹簧承接部43具有从其外周面向径向外侧突出的圆环形状的凸缘部43a。球承接部44具有圆形的平板部44a和连续设置于平板部44a的下表面的凸部44b。凸部44b嵌合于在弹簧承接部43形成的孔。阀芯40通过阀部42相对于阀口14进退而无阶段地变更阀口14的开口面积。阀芯40也可以关闭阀口14(即，也可以将开口面积设为0)。
44.阀芯驱动部50使阀芯40在上下方向上移动。阀芯驱动部50具有：转子51、连结部件52、转子轴53、轴承部件54、转子弹簧55、支承部件60、齿轮机构70、驱动轴80、球85以及开阀弹簧86。
45.转子51具有圆筒形状。在转子51的外周面，n极与s极在周向上交替配置。转子51的外径小于外壳30的内径。转子51以能够旋转的方式配置于外壳30的内侧。在转子51的上端部，同轴地接合有圆板形状的连结部件52。连结部件52是合成树脂制。连结部件52封闭转子51的上端部。转子轴53贯通连结部件52的中心。轴承部件54配置于转子51的上方，将转子轴53的上端部支承为能够旋转。转子弹簧55配置于连结部件52与轴承部件54之间。转子弹簧55是压缩螺旋弹簧。转子弹簧55将连结部件52(转子51)向下方按压。
46.支承部件60是通过注塑成形(嵌件成形)而将合成树脂制零件和金属制零件一体地形成的一个零件。支承部件60具有：驱动轴支承部61、固定齿轮62以及金属部件63。驱动轴支承部61和固定齿轮62是聚苯硫醚(pps)、聚醚醚酮(peek)等合成树脂制。金属部件63是黄铜、不锈钢等金属制。阀主体10和金属部件63优选为相同的金属制。在本实施例中，阀主体10和金属部件63都是黄铜制。阀主体10是合金制，金属部件63优选主成分与该合金相同且成分或成分比率不同的其他合金制。
47.驱动轴支承部61具有圆筒形状。驱动轴支承部61的外径与阀主体10的上部10a的内径相同。驱动轴支承部61在阀主体10的上部10a的内侧同轴地配置。在驱动轴支承部61的外周面的下部与阀主体10的上部10a的内周面之间形成有环状的间隙，该间隙与形成于上部10a的横孔连接。衬套20的凸缘部24被保持于驱动轴支承部61与阀主体10的平面15之间。驱动轴支承部61在内周面61a的下部形成有内螺纹61c。
48.固定齿轮62具有圆筒形状。固定齿轮62的外径与阀主体10的上部10a的外径相同。固定齿轮62的下端部连续设置于驱动轴支承部61的上端部。固定齿轮62是在内周面形成有齿的固定内齿轮。
49.金属部件63具有圆环平板形状。金属部件63的外径与阀主体10的上部10a的外径相同。金属部件63配置于驱动轴支承部61与固定齿轮62的连续设置部位。驱动轴支承部61、固定齿轮62以及金属部件63配置为同轴。金属部件63焊接于阀主体10的上部10a。此外，在支承部件60中，也可以是，省略金属部件63，驱动轴支承部61通过粘合剂等而接合于阀主体10的上部10a。
50.金属部件63具有在周向上隔开间隔排列的多个贯通孔63a。在对支承部件60进行注塑成形时，多个贯通孔63a被合成树脂填充。由此，在电动阀1中，限制了驱动轴支承部61和固定齿轮62相对于金属部件63旋转。
51.齿轮机构70和固定齿轮62一起构成了行星齿轮装置75。齿轮机构70具有：第一齿轮组71、第二齿轮组72以及第三齿轮组73。
52.第一齿轮组71具有：第一太阳齿轮71a、多个第一行星齿轮71b以及第一行星齿轮架71c。在连结部件52的下表面同轴地连结有第一太阳齿轮71a。第一太阳齿轮71a是合成树脂制，并与连结部件52一体成形。多个第一行星齿轮71b与第一太阳齿轮71a和固定齿轮62啮合。第一行星齿轮架71c具有：第一齿轮架主体71c1、多个第一支承柱71c2、多个第一辅助柱71c3以及第一连结板71c4。第一齿轮架主体71c1具有圆板形状。多个第一支承柱71c2与多个第一辅助柱71c3在第一齿轮架主体71c1的上表面沿周向交替排列地立起设置。多个第一支承柱71c2将多个第一行星齿轮71b支承为能够旋转。第一连结板71c4具有圆环平板形状。第一连结板71c4将多个第一支承柱71c2的上端部与多个第一辅助柱71c3的上端部连结。转子轴53贯通第一太阳齿轮71a的中心和第一齿轮架主体71c1的中心。
53.第二齿轮组72具有：第二太阳齿轮72a、多个第二行星齿轮72b以及第二行星齿轮架72c。在第一齿轮架主体71c1的下表面同轴地连结有第二太阳齿轮72a。第二太阳齿轮72a是合成树脂制，并与第一齿轮架主体71c1一体成形。多个第二行星齿轮72b与第二太阳齿轮72a和固定齿轮62啮合。第二行星齿轮架72c具有：第二齿轮架主体72c1、多个第二支承柱72c2、多个第二辅助柱72c3以及第二连结板72c4。第二齿轮架主体72c1具有圆板形状。多个第二支承柱72c2与多个第二辅助柱72c3在第二齿轮架主体72c1的上表面沿周向交替排列地立起设置。多个第二支承柱72c2将多个第二行星齿轮72b支承为能够旋转。第二连结板72c4具有圆环平板形状。第二连结板72c4将多个第二支承柱72c2的上端部与多个第二辅助柱72c3的上端部连结。转子轴53贯通第二太阳齿轮72a的中心和第二齿轮架主体72c1的中心。
54.第三齿轮组73具有：第三太阳齿轮73a、多个第三行星齿轮73b以及第三行星齿轮架73c。在第二齿轮架主体72c1的下表面同轴地连结有第三太阳齿轮73a。第三太阳齿轮73a是合成树脂制，并与第二齿轮架主体72c1一体成形。多个第三行星齿轮73b与第三太阳齿轮73a和固定齿轮62啮合。第三行星齿轮架73c具有：第三齿轮架主体73c1、多个第三支承柱73c2、多个第三辅助柱73c3以及第三连结板73c4。第三齿轮架主体73c1具有圆板形状。多个第三支承柱73c2和多个第三辅助柱73c3在第三齿轮架主体73c1的上表面沿周向交替排列地立起设置。多个第三支承柱73c2将多个第三行星齿轮73b支承为能够旋转。第三连结板73c4具有圆环平板形状。第三连结板73c4将多个第三支承柱73c2的上端部和多个第三辅助柱73c3的上端部连结。转子轴53贯通第三太阳齿轮73a的中心。
55.驱动轴80例如通过对圆柱形状的金属棒进行切削加工而形成。驱动轴80具有：第
一部分81、第二部分82以及第三部分83。第一部分81、第二部分82以及第三部分83从上方向下方依次连续设置。第一部分81与第三齿轮架主体73c1连结。具体而言，第一部分81在其外周面施加有滚花加工，并被压入于在第三齿轮架主体73c1的中央形成的孔。第二部分82具有圆柱形状。第二部分82的外径稍小于驱动轴支承部61的内径。第二部分82配置于驱动轴支承部61的内侧。第二部分82被驱动轴支承部61支承为能够旋转且能够在上下方向上移动。第三部分83具有圆柱形状。第三部分83的外径小于第二部分82的外径。在第三部分83的外周面形成有外螺纹83c。外螺纹83c螺合于驱动轴支承部61的内螺纹61c。此外，也可以是驱动轴支承部61具有外螺纹，且驱动轴80具有内螺纹。在从第一部分81延伸至第二部分82的轴孔80a配置有转子轴53的下端部。
56.球85接合于第三部分83的下端面。球85与球承接部44的平板部44a相接。
57.开阀弹簧86配置于弹簧承接部43的凸缘部43a与衬套20的台阶部22之间。开阀弹簧86是压缩螺旋弹簧。开阀弹簧86将阀芯40(凸缘部43a)向上方按压。
58.定子单元90具有：定子91、罩92以及多个安装部93。定子91具有圆筒形状。罩92具有帽形状。在罩92的内侧配置有定子91。在定子91的内侧配置有外壳30。定子91和转子51一起构成步进电机。多个安装部93是能够弹性变形的金属片。多个安装部93与罩92接合。多个安装部93与形成于外壳30的多个凸部32对应。多个安装部93具有供分别对应的凸部32嵌合的嵌合孔93a。通过将多个凸部32嵌合于多个安装部93的嵌合孔93a，从而定子单元90被安装于外壳30。
59.在电动阀1中，阀主体10(周壁部11、底壁部12、阀口14)、衬套20、外壳30、阀芯40、转子51、连结部件52、转子轴53、支承部件60(驱动轴支承部61(内螺纹61c)、固定齿轮62、金属部件63)、第一太阳齿轮71a、第一行星齿轮架71c、第二太阳齿轮72a、第二行星齿轮架72c、第三太阳齿轮73a、第三行星齿轮架73c以及驱动轴80各自的中心轴在轴线l上一致。
60.接着，对电动阀1的动作进行说明。
61.在电动阀1中，使电流流过定子91而使转子51向一方向旋转。转子51的旋转由行星齿轮装置75减速而被传递至驱动轴80。通过驱动轴80的外螺纹83c与驱动轴支承部61的内螺纹61c的螺纹进给作用，从而驱动轴80、齿轮机构70、连结部件52以及转子51向下方移动。阀芯40被驱动轴80向下方按压，从而阀口14的开口面积变小。当阀芯40关闭阀口14时，电动阀1成为闭阀状态。
62.在电动阀1中，使电流流过定子91而使转子51向另一方向旋转。转子51的旋转由行星齿轮装置75减速而被传递至驱动轴80。通过驱动轴80的外螺纹83c与驱动轴支承部61的内螺纹61c的螺纹进给作用，从而驱动轴80、齿轮机构70、连结部件52以及转子51向上方移动。阀芯40被开阀弹簧86向上方按压，从而阀口14的开口面积变大。当阀芯40打开阀口14时，电动阀1成为开阀状态。
63.接着，对电动阀1的制造方法进行说明。
64.将金属部件63设置于用于支承部件60的成形的模具的空腔，向空腔注入并填充合成树脂而得到支承部件60。
65.将第一导管16和第二导管17钎焊于阀主体10。将阀主体10的上部10a插入接合部件35的内侧，并将上部10a焊接于接合部件35的内周缘。将阀芯40的杆41插入衬套20的第一圆筒部21和开阀弹簧86。将弹簧承接部43接合于杆41，并使球承接部44嵌合于弹簧承接部
43。将组装了阀芯40的衬套20配置于阀主体10的内侧。将支承部件60的驱动轴支承部61插入阀主体10的上部10a，通过阀主体10的平面15和驱动轴支承部61保持衬套20的凸缘部24。将支承部件60的金属部件63焊接于阀主体10的上部10a。
66.将多个第一行星齿轮71b、第一行星齿轮架71c以及第二太阳齿轮72a彼此组装而得到第一组装体a1。将多个第二行星齿轮72b、第二行星齿轮架72c以及第三太阳齿轮73a彼此组装而得到第二组装体a2。将多个第三行星齿轮73b、第三行星齿轮架73c、驱动轴80以及球85彼此组装而得到第三组装体a3。将第三组装体a3、第二组装体a2以及第一组装体a1依次组装于支承部件60。
67.使转子轴53穿过连结部件52、第一太阳齿轮71a、第一行星齿轮架71c、第二太阳齿轮72a、第二行星齿轮架72c、第三太阳齿轮73a而将转子轴53的下端部插入驱动轴80的轴孔80a。将转子弹簧55配置于接合有转子51的连结部件52与轴承部件54之间，并将转子轴53的上端部插入轴承部件54。
68.将阀主体10的上部10a、转子51、连结部件52、转子轴53、轴承部件54、转子弹簧55、支承部件60以及齿轮机构70插入外壳30的内侧。将外壳30的下端部焊接于接合部件35的外周缘。将定子单元90安装于外壳30。这样，完成了电动阀1。
69.本实施例的电动阀1具有：具有阀口14的阀主体10、与阀口相对地配置的阀芯40、配置成能够相对于阀主体10旋转的转子51、与转子51连结的行星齿轮装置75、与行星齿轮装置75连结的驱动轴80以及固定于阀主体10的驱动轴支承部61。行星齿轮装置75具有：第一齿轮组71(第一太阳齿轮71a、多个第一行星齿轮71b、第一行星齿轮架71c)、第二齿轮组72(第二太阳齿轮72a、多个第二行星齿轮72b、第二行星齿轮架72c)、第三齿轮组73(第三太阳齿轮73a、第三行星齿轮73b、第三行星齿轮架73c)以及与第一行星齿轮71b、第二行星齿轮72b及第三行星齿轮73b啮合的固定齿轮62。驱动轴80具有外螺纹83c。驱动轴支承部61具有供外螺纹83c螺合的内螺纹61c。当驱动轴80通过行星齿轮装置75而旋转时，驱动轴80向下方(靠近阀口14的方向)或向上方(从阀口14远离的方向)移动。并且，驱动轴支承部61和固定齿轮62是合成树脂制，并一体成形。
70.由此，驱动轴支承部61与行星齿轮装置75的固定齿轮62作为一个零件而一体地形成，因此能够高精度地同轴配置驱动轴支承部61的内螺纹61c的中心轴与固定齿轮62的中心轴。因此，能够抑制齿轮等旋转零件的偏磨损。另外，能够抑制因旋转零件的偏心而导致的旋转传递效率的降低。另外，电动阀1的零件数量变少，能够提高电动阀1的组装性。
71.另外，电动阀1具有与阀主体10接合的金属部件63。并且，驱动轴支承部61、固定齿轮62及金属部件63一体成形。由此，能够将驱动轴支承部61和固定齿轮62可靠地固定于阀主体10。
72.另外，转子51与第一太阳齿轮71a同轴地连结。第一行星齿轮架71c与第二太阳齿轮72a同轴地连结。第二行星齿轮架72c与第三太阳齿轮73a同轴地连结。第三行星齿轮架73c与驱动轴80同轴地连结。多个第一行星齿轮71b、多个第二行星齿轮72b及多个第三行星齿轮73b与固定齿轮62啮合。由此，行星齿轮装置75具有将2k-h型的行星齿轮机构三级组合的结构，能够得到较大的减速比。另外，通过使第一齿轮组71、第二齿轮组72以及第三齿轮组73共用固定齿轮62，能够将行星齿轮装置75设置为简单的结构。
73.此外，行星齿轮装置75可以具有一级或两级2k-h型的行星齿轮机构，也可以具有
四级以上。在行星齿轮装置75具有n个(其中，n为2以上的自然数)以太阳齿轮、行星齿轮及行星齿轮架为一组的齿轮组的结构中，转子51经由连结部件52与第一齿轮组的太阳齿轮同轴地连结，第k(其中，k＝1、
…
、n-1)齿轮组的行星齿轮架与第k 1齿轮组的太阳齿轮同轴地连结，第n齿轮组的行星齿轮架与驱动轴80同轴地连结。并且，行星齿轮装置75仅具有一个固定齿轮62，n个齿轮组各自的行星齿轮与固定齿轮62啮合。另外，行星齿轮装置75也可以代替2k-h型的行星齿轮机构而具有例如专利文献1所公开的3k型差动行星齿轮机构。
74.图6～图8示出了作为上述的电动阀1的变形例的电动阀1a。电动阀1a除了(1)代替驱动轴80而具有输出轴180和驱动轴185、(2)省略了转子弹簧55以外，具有与电动阀1相同的结构。在电动阀1a的说明中，对与电动阀1相同的结构标注相同的符号并省略详细说明。
75.输出轴180例如通过对圆柱形状的金属棒进行切削加工而形成。输出轴180具有第一部分181和第二部分182。第一部分181和第二部分182从上方向下方依次连续设置。第一部分181与第三齿轮架主体73c1连结。具体而言，第一部分181在其外周面施加有滚花加工，并被压入于在第三齿轮架主体73c1的中央形成的孔。第二部分182具有圆柱形状。在第二部分182的下部形成有沿上下方向延伸的狭缝183。第二部分182的外径稍小于驱动轴支承部61的内径。第二部分182配置于驱动轴支承部61的内侧。第二部分182被驱动轴支承部61支承为能够旋转。在从第一部分181延伸至第二部分182的轴孔180a配置有转子轴53的下端部。
76.驱动轴185例如通过对圆柱形状的金属棒进行切削加工而形成。驱动轴185具有圆柱部分186和平板部分187。圆柱部分186和平板部分187从下方向上方依次连续设置。在圆柱部分186的外周面形成有外螺纹186c。外螺纹186c与驱动轴支承部61的内螺纹61c螺合。平板部分187的厚度稍小于输出轴180的狭缝183的宽度。平板部分187配置为能够在输出轴180的狭缝183的内侧沿上下方向移动。通过狭缝183和平板部分187而将输出轴180的旋转传递至驱动轴185，并使驱动轴185相对于输出轴180的上下方向上的移动成为可能。当驱动轴185旋转时，通过外螺纹186c与驱动轴支承部61的内螺纹61c的螺纹进给作用，从而驱动轴185在上下方向上移动。此外，在电动阀1a中，输出轴180、齿轮机构70、连结部件52以及转子51不在上下方向上移动。
77.在电动阀1a中，也能够起到与上述的电动阀1相同的作用效果。
78.(第二实施例)
79.以下，参照图9～图16，对本发明的第二实施例的电动阀进行说明。本实施例的电动阀2也与电动阀1相同地，在制冷循环等中使用。
80.图9、图10是本发明的第二实施例的电动阀的剖视图。图9表示开阀状态的电动阀，图10表示闭阀状态的电动阀。图11是放大了图9的电动阀的一部分(主要是阀芯驱动部)的剖视图。图12是包含图9的电动阀所具有的支承部件的一部分剖面的立体图。图13是图9的电动阀所具有的阀芯驱动部的分解立体图。图14、图15是作为图9的电动阀的变形例的电动阀的剖视图。图14表示开阀状态的电动阀，图15表示闭阀状态的电动阀。图16是放大了图14的电动阀的一部分(主要是阀芯驱动部)的剖视图。在图11、图16中，省略了定子单元的记载。
81.第二实施例的电动阀2除了代替支承部件60而具有结构与该支承部件60不同的支承部件260以外，具有与电动阀1相同的结构。在电动阀2的说明中，对与电动阀1相同的结构
标注相同的符号并省略详细说明。
82.支承部件260是通过将合成树脂制零件和金属制零件注塑成形(嵌件成形)而一体地形成的一个零件。支承部件260具有：驱动轴支承部261、固定齿轮262以及金属部件263。驱动轴支承部261和固定齿轮262是pps、peek等合成树脂制。金属部件263是黄铜、不锈钢等金属制。阀主体10和金属部件263优选为相同的金属制。或者，也可以是，阀主体10是合金制，金属部件263是主成分与该合金相同且成分或成分比率不同的其他合金制。
83.驱动轴支承部261具有圆筒形状。驱动轴支承部261在内周面261a的下部形成有内螺纹261c。驱动轴80的外螺纹83c与内螺纹261c螺合。
84.固定齿轮262具有圆筒形状。固定齿轮262的外径大于驱动轴支承部261的外径。固定齿轮262的下端部连续设置于驱动轴支承部261的上端部。固定齿轮262是在内周面形成有齿的固定内齿轮。固定齿轮262与上述的固定齿轮62实质上相同。在电动阀2中，齿轮机构70和固定齿轮262一起构成行星齿轮装置275。
85.金属部件263具有带台阶的圆筒形状。金属部件263具有小径圆筒部264和大径圆筒部265。小径圆筒部264和大径圆筒部265从下方向上方依次连续设置。小径圆筒部264的外径稍大于阀主体10的上部10a的内径。在小径圆筒部264的内侧配置有驱动轴支承部261。小径圆筒部264具有：从其下端面向上方延伸的纵孔；以及在其外周面沿着周向形成并与纵孔的上端部连接的环状槽。环状槽与形成于阀主体10的上部10a的横孔连接。大径圆筒部265的外径大于阀主体10的上部10a的外径。在大径圆筒部265的内侧配置有固定齿轮262的下部。小径圆筒部264在阀主体10的上部10a的内侧同轴地配置。小径圆筒部264被压入阀主体10的上部10a。衬套20的凸缘部24被保持于小径圆筒部264与阀主体10的平面15之间。驱动轴支承部261、固定齿轮262及金属部件263同轴地配置。
86.小径圆筒部264具有在周向上隔开间隔排列的多个贯通孔264a。在对支承部件260进行注塑射出成形时，多个贯通孔264a被合成树脂填充。由此，在电动阀2中，限制了驱动轴支承部261和固定齿轮262从金属部件263脱落。
87.在电动阀2中，也起到与上述的电动阀1相同的作用效果。
88.另外，电动阀2具有被压入阀主体10的金属部件263。并且，驱动轴支承部261、固定齿轮262及金属部件263一体成形。由此，能够将驱动轴支承部261和固定齿轮262可靠地固定于阀主体10。
89.图14～图16示出了作为上述的电动阀2的变形例的电动阀2a。电动阀2a除了代替支承部件60而具有支承部件260以外，具有与电动阀1a相同的结构。电动阀2a由已经说明过的部件构成，因此省略详细说明。
90.在电动阀2a中，也起到与上述的电动阀2相同的作用效果。
91.上述对本发明的实施例进行了说明，但本发明不限于实施例的结构。本领域技术人员对前述的实施例适当进行构成要素的追加、删除、设计变更后的实施例、将实施例的特征适当组合的实施例，只要不违反本发明的主旨，就包含于本发明的范围。