一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体加工技术领域，特别是一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置。


背景技术：

2.硅材料作为电子信息产业的主要功能材料，其加工制造水平已成为决定电子信息产业发展的关键因素。随着半导体技术的迅速发展，硅片表面特征参数也尤为重要。当硅片在抛光前，前道工序的技术参数也会影响硅片的研磨效果。如硅片与陶瓷板粘贴时，传统翻转吸盘仍采用下压气囊的结构形式，存在着水平角度和纵向压力调控难的问题，造成硅片与陶瓷板间出现贴合不良的月牙状，甚至贴合失效，导致硅片研磨不均匀，甚至崩裂，最终刮伤研磨台，严重影响后续生产加工，并降低产品品质。故翻转吸盘水平角度和下压力的可调尤为重要，已经成为本领域技术人员亟待解决的难题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，其结构简单、成本低，具有较高的通用性，可以有效地降低贴片的不良率，大幅地提高产品质量和生产效率。
4.为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：
5.一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，包括翻转支座总成和真空吸盘总成；
6.该翻转支座总成包括一个连接板，该连接板一端设有头座，另一端设有尾座；该头座的横截面呈等边三角形，具有三个端头，各端头的横截面呈半圆形，其中一个端头与该连接板固定连接；该头座顶面设有与该头座横截面对应的衬板；该衬板与各端头对应的位置设有同时贯穿该衬板和该端头的竖向的第一通孔和第二通孔，该第二通孔位于该第一通孔外侧；各第一通孔内固定设有线性轴承，各线性轴承内设有滑杆；各滑杆顶端均固定在一个三角形的固定板的边缘，该固定板套设于一个限位螺杆上，且能沿该限位螺杆上下移动；该限位螺杆底端固定在该衬板中部，该限位螺杆顶端设有限位螺母；各第二通孔内壁具有内螺纹，且该第二通孔内设有限位螺栓，该限位螺栓的底端位于该头座下方；该尾座包括一个竖向的支座板，该支座板一侧顶部与该连接板固定连接，另一侧顶部设有向外水平延伸的两个耳板，该支座板底部设有水平的销孔；
7.该真空吸盘总成包括圆形的底板，该底板边缘向上延伸设有筒状的侧板，该侧板顶部内侧设有圆形的顶板，该顶板和底板之间具有间隔形成气室，该底板设有若干与该气室连通的气孔；该顶板设有与该气室连通的气管，该气管末端设有用于与抽真空装置连接的螺纹快插接头；
8.三个滑杆底端与该顶板顶面固定连接；该头座底面中部设有向上凹陷的第一凹孔，该顶板顶面中部设有向下凹陷的第二凹孔，该第一凹孔和该第二凹孔之间设有压缩弹簧。
9.进一步的，所述滑杆顶部通过固定螺栓与所述固定板连接，所述滑杆底部通过外螺纹与所述顶板的螺孔连接。
10.进一步的，所述限位螺栓顶部套设有定位螺母。
11.进一步的，所述底板和侧板为聚醚醚酮材料。
12.进一步的，所述气孔位于同心的多个圆周上。
13.本实用新型的有益效果是：本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，其结构简单、成本低，具有较高的通用性，能够方便调节翻转吸盘的水平和下压力，有效降低贴片不良率，避免抛光过程中硅片研磨不均匀，甚至崩裂现象的发生，大幅地提高产品质量和生产效率。
附图说明
14.图1是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的主视图。
15.图2是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的俯视图。
16.图3是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的纵剖示意图。
17.图4是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的真空吸盘总成的主视图。
18.图5是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的真空吸盘总成的仰视图。
19.图6是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的连接板的主视图。
20.图7是本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置的连接板的俯视图。
具体实施方式
21.以下将以具体实施例结合附图来说明本实用新型的结构和所欲达到的技术效果，但所选用的实施例仅用于说明解释，并非用以限制本实用新型的范围。
22.如图1-图3所示，本实用新型提供一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，包括翻转支座总成1和真空吸盘总成2。
23.如图1-图3、图6、图7所示，该翻转支座总成1包括一个连接板11，该连接板11一端设有头座12，另一端设有尾座13。该头座12的横截面呈等边三角形，具有三个端头121，各端头121的横截面呈半圆形，其中一个端头121与该连接板11固定连接。该头座12顶面设有与该头座12横截面对应的衬板14。该衬板14与各端头121对应的位置设有同时贯穿该衬板14和该端头121的竖向的第一通孔15和第二通孔16，该第二通孔16位于该第一通孔15外侧。各第一通孔15内固定设有线性轴承151，各线性轴承151内设有滑杆152。各滑杆152顶端均固定在一个三角形的固定板17的边缘，该固定板17套设于一个限位螺杆171上，且能沿该限位螺杆171上下移动。该限位螺杆171底端固定在该衬板14中部，该限位螺杆171顶端设有限位螺母172。各第二通孔16内壁具有内螺纹，且该第二通孔16内设有限位螺栓161，该限位螺栓161的底端位于该头座12下方，能与下方的真空吸盘总成2的顶部抵顶。该限位螺栓161顶部套设有定位螺母162，以定位限位螺栓161的位置。该尾座13包括一个竖向的支座板131，该支座板131一侧顶部与该连接板11固定连接，另一侧顶部设有向外水平延伸的两个耳板132，该支座板131底部设有水平的销孔133。贴片机的翻转电机与定位块通过卡键连接，翻转支座总成1通过螺栓将支座板131底部的水平销孔133和定位块连接，翻转电机通过圆周运动带动翻转支座工作。两个耳板132用螺栓固定在翻转电机的翻转座上，为横向和纵向两
个方向的固定，以可靠连接。支座板131与贴片机的翻转电机连接方式为现有技术，不再赘述。
24.如图1、图3-图5所示，该真空吸盘总成2包括圆形的底板21，该底板21边缘向上延伸设有筒状的侧板22，该侧板22顶部内侧设有圆形的顶板23，该顶板23和底板21之间具有间隔形成气室24，该底板21设有若干与该气室24连通的气孔211。优选的，该气孔211位于同心的多个圆周上。该顶板23设有与该气室24连通的气管25，该气管25末端设有用于与抽真空装置(图未示意)连接的螺纹快插接头26，通过该气管25引入真空来通过底板21吸取硅片，其真空压力值控制在-20～-45kpa即可。将尾座13安装在贴片机的翻转电机(现有技术，不再赘述)上，通过电机的圆周运动带动翻转吸盘装置工作，最终平稳地将硅片贴在陶瓷板上。
25.三个滑杆152底端与该顶板23顶面固定连接。该头座12底面中部设有向上凹陷的第一凹孔18，该顶板23顶面中部设有向下凹陷的第二凹孔27，该第一凹孔18和该第二凹孔27之间设有压缩弹簧3。具体来说，该滑杆152顶部通过固定螺栓153与该固定板17连接，该滑杆152底部通过外螺纹与该顶板23的螺孔连接，使该真空吸盘总成2能随该滑杆152上下移动，且向上移动过程中，受到限位螺栓161底端的限位，以及限位螺母172的限位，根据实际生产需求，通过调节限位螺栓161的嵌入位置来控制压缩弹簧3的自由度，同时限位螺杆171的限位螺母172能够约束压缩弹簧3的最小限位量，起到保护自由度的功能，最终实现了压力可调，进而起到改善了贴片的效果。
26.本实用新型用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，安装在贴片机的翻转电机处，通过翻转电机带动本实用新型翻转吸盘装置工作，能够实现将硅片平稳的贴在陶瓷板上，可适用于5、6、8英寸等多种规格硅片，该装置翻转支座总成1由普通碳素钢制作，真空吸盘外圈(即该底板21和侧板22)为聚醚醚酮(peek)材料，能够适用于宽温域内的苛刻工况，能够保证硅片表面清洁，杜绝金属及脏污污染。本实用新型可以自由调节压缩弹簧3的压缩量，通过调节限位螺栓161位置来控制压缩弹簧3的压缩量，实现了硅片下压力的可调；本实用新型的翻转支座总成材质为碳钢，压缩弹簧3替换了传统的气囊形式，不仅减少了气路的布置，还能显著降低成本，且配件易更换；翻转支座总成1通过右侧螺栓孔固定在翻转电机支座上，方便拆卸与固定；相较于双气囊式翻转吸盘，其制作成本显著降低，另外，由于取消了气囊的结构，节省了管路布置的空间，减少了故障问题的发生，使得设备更加简约耐用。
27.本实用新型是以所述的权利要求所限定的。但基于此，本领域的普通技术人员可以做出种种显然的变化或改动，都应在本实用新型的主要精神和保护范围之内。