聚光镜和包括聚光镜的用于产生极紫外光的装置的制作方法

聚光镜和包括聚光镜的用于产生极紫外光的装置
1.相关申请的交叉引用
2.本技术要求于2021年9月7日在韩国知识产权局(kipo)递交的韩国专利申请no.10-2021-0118840的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
技术领域
3.示例实施例涉及一种聚光镜和包括该聚光镜的用于产生极紫外光的装置更具体地，示例实施例涉及一种被配置为反射极紫外光的聚光镜和包括该聚光镜的用于产生极紫外光的装置。


背景技术：

4.可以使用euv光产生装置来产生极紫外(euv)光。euv光产生装置可以被分类为放电产生的等离子体(dpp)型装置和激光产生的等离子体(lpp)型装置。
5.dpp型装置可以从通过向材料施加高电压而形成的高密度等离子体生成euv光。lpp型装置可以从通过向材料施加激光束而形成的高密度等离子体生成euv光。例如，在lpp型装置中，可以将材料和激光引入容器中，并且可以将容器中生成的euv光通过聚光镜反射到曝光室。


技术实现要素：

6.根据示例实施例，可以提供一种用于产生euv光的聚光镜。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处，该容器被配置为接收用于产生euv光的材料和激光。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。
7.根据示例实施例，可以提供一种用于产生euv光的聚光镜。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处，该容器被配置为接收用于产生euv光的材料和激光。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有与第一镜的外径基本相同的内径和与第二镜的内径基本相同的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。第一镜、第二镜和第三镜之间的组合结构可以具有半球形状。用于将空气喷射到第一镜的表面的第一喷嘴可以形成在第一镜的内表面的上部上。第三镜的内表面的上端可以设置在第一镜的外表面的上端下方，以暴露第一镜的外表面的上部。用于将空气喷射到第三镜的表面的第二喷嘴可以形成在第一镜的外表面的上部上。第三镜的外表面的上端可以设置在第二镜的内表面的上端上方，以暴露第三镜的外表面的上部。用于将空气喷射到第二镜的表面的第三喷嘴可以形成在第三镜的外表面的上部。
8.根据示例实施例，可以提供一种用于产生euv光的装置。该装置可以包括容器、材料供应器、激光照射器和聚光镜。该容器可以被配置为接收用于产生euv光的材料和激光。材料供应器可以将材料供应到容器中。激光照射器可以将激光照射到材料上以产生euv光。聚光镜可以被配置为反射euv光。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安
装在容器处。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。
附图说明
9.通过参考附图详细描述示例性实施例，特征对于本领域技术人员将变得清楚，在附图中：
10.图1是示出了根据示例实施例的用于产生euv光的装置的图；
11.图2是示出了图1中的装置的聚光镜的放大截面图；
12.图3是示出了图2中的聚光镜的分离的第三镜的透视图；
13.图4是示出了图2中的聚光镜的截面图；
14.图5是示出了图4中的聚光镜的第三镜的放大截面图；以及
15.图6是示出了图4中的聚光镜的固定部的放大截面图。
具体实施方式
16.图1是示出了根据示例实施例的用于产生euv光的装置的图。
17.参照图1，根据示例实施例的用于产生euv光的装置可以包括容器110、材料供应器120、激光照射器130和聚光镜200。
18.容器110可以具有能够在其中生成(例如产生)euv光的内部空间。通过将激光照射到材料，可以从具有高温的等离子体产生euv光。容器110可以包括不会被等离子体损坏的材料，例如由不会被等离子体损坏的材料形成。
19.容器110可以具有从左到右逐渐减小的宽度，例如，容器110可以具有近似锥形截面。容器110可以具有开口的左表面，例如，锥形截面的底部可以包括贯穿其中的开口或完全开口。聚焦孔112可以形成在容器110的右表面处，例如，聚焦孔112可以位于锥形截面的顶点处以面对锥形截面的底部。euv光可以通过聚焦孔112。排气口114可以形成为穿过容器110的侧表面，副产物(在生成euv光期间生成的)可以通过该排气口114排出。排气口114可以与洗涤器连接。
20.材料供应器120可以布置在容器110上方。材料供应器120可以竖直地将材料供应到容器110中，例如，材料供应器120可以沿着垂直于从锥形截面的底部到锥形截面的顶点延伸的线的方向将材料液滴逐个供应到容器110中。例如，材料可以包括锡、锡化合物等。
21.为了准确地将材料液滴供应到容器110中的激光照射点，材料供应器120的位置可以由控制器控制。例如，控制器可以在竖直和水平方向上(例如，沿着平行和垂直于从锥形截面的底部延伸到锥形截面的顶点的线的方向)精细地移动材料供应器120。
22.激光照射器130可以布置在容器110的左侧，例如，激光照射器130可以在容器110的外部并且与锥形截面的底部相邻。激光照射器130可以通过例如容器110的开口左表面的中心将激光束照射到容器110中。因此，从激光照射器130照射的激光的照射方向可以基本上垂直于材料液滴的供应方向。换句话说，激光的照射方向可以是沿着从锥形截面的底部到锥形截面的顶点的线，而材料液滴的供应方向可以垂直于照射方向。例如，激光照射器130可以包括例如发射二氧化碳激光。
23.为了沿着水平方向准确地向来自材料供应器120的竖直供应(例如，移动)的材料
照射激光束，激光照射器130的位置可以由控制器来控制。例如，控制器可以在竖直和水平方向上精细地移动激光照射器130。
24.聚光镜200可以布置在容器110的开口左表面处，例如，聚光镜200可以布置在容器110的锥形截面的开口底部处。例如，如图1所示，聚光镜200可以在激光照射器130和容器110之间，例如，聚光镜200可以朝向激光照射器130弯曲出容器110。聚光镜200可以将在容器110中生成的euv光朝向聚焦孔112反射。通过聚焦孔112的euv光可以继续(例如，入射)到曝光室。聚光镜200可以包括例如在聚光镜200的中心部分中的孔202，因此来自激光照射器130的激光束可以通过孔202进入容器110。
25.图2是聚光镜200的放大截面图，图3是聚光镜200的分离的第三镜的透视图，图4是图2中的聚光镜的截面图，图5是示出了聚光镜200的第三镜的放大截面图，并且图6是聚光镜200的固定部的放大截面图。图6是图4的一部分的放大截面图。
26.参照图2至图6，聚光镜200可以具有半球形状。聚光镜200的内表面(即面向容器110内部的表面)可以具有半球形状，并且可以对应于被配置为将euv光朝向聚焦孔112反射的反射表面。
27.详细地，参照图2，聚光镜200可以包括第一镜210、第二镜220和第三镜230。第一镜210可以具有第一直径。第二镜220可以具有比第一直径长的第二直径。第三镜230可以具有比第一直径长且比第二直径短的第三直径。第一镜210、第三镜230和第二镜220可以顺序地堆叠，例如从最小到最大顺序地堆叠。也就是说，第三镜230可以堆叠在第一镜210上。第二镜220可以堆叠在第三镜230上，例如，第三镜230可以在第一镜210和第二镜220之间。
28.当第一镜210、第三镜230和第二镜220顺序地堆叠并彼此组合时，第一镜210、第三镜230和第二镜220的组合结构可以具有半球形状。例如，参照图1、图2和图4，第一镜210、第三镜230和第二镜220中的每一个都可以具有面向容器110内部的弯曲表面，并且第一镜210、第三镜230和第二镜220的组合结构可以具有布置成半球形状的面向容器110内部的各个弯曲表面。如将在下面详细解释的，各个弯曲表面可以布置成半球形状而不彼此重叠。例如，如图3所示，第三镜230可以是半球形状结构的中间部分，并且可以是与半球形状结构可分离的，例如可拆卸的。
29.参照图1和图3，第一镜210可以布置在容器110的开口左表面的中心部分处，例如，第一镜210可以布置在容器110的锥形截面的开口底部的中心处。激光束通过的孔202可以形成为穿过第一镜210的中心部分。因此，第一镜210可以具有被配置为限定第一镜210的内径(即，孔202的直径)的内表面211和被配置为限定第一镜210的外径的外表面212(图4)。
30.如图4所示，第一喷嘴213可以形成在第一镜210的内表面211的上端处。第一喷嘴213可以形成在基本上平行于第一镜210的表面的方向上。第一喷嘴213可以将空气喷射到第一镜210的表面以从第一镜210的表面移除副产物，例如，第一喷嘴213可以将空气喷射到第一镜210的连接内表面211和外表面212并且面向容器110内部的表面。第一空气源260可以与第一喷嘴213连接。因此，空气可以从第一空气源260供应到第一喷嘴213。
31.如图4进一步所示，第一镜210可以包括板状主体部218。主体部218可以从第一镜210的外表面212沿着第一镜210的径向方向延伸。主体部218可以位于第三镜230下方。例如，参照图3和图4，主体部218可以在第一镜210和第二镜220之间延伸，例如，连接第一镜210和第二镜220。
32.如图3和图4所示，第二镜220的第二直径可以长于第一镜210的第一直径，因此第二镜220可以被配置为围绕例如第一镜210的整个外周边。因此，第二镜220可以具有被配置为限定第二镜220的内径的内表面222(即，面向第一镜210的表面)和被配置为限定第二镜220的外径的外表面。
33.例如，如图3所示，第二镜220可以与第一镜210一体地形成，例如，第二镜220的内表面222可以经由主体部218与第一镜210的外表面212一体地形成(第二镜220的内表面222可以经由主体部218与第一镜210的外表面212连接)。在另一示例中，第二镜220可以是可拆卸地与第一镜210连接的分离部分。
34.如图3和图4进一步所示，第三镜230可以布置在第一镜210和第二镜220之间。散布在容器110中的副产物可以在第三镜230周围部分停滞(例如，静止)。因此，副产物可能主要污染第三镜230而不是第一镜210和第二镜220。
35.第三镜230可以具有被配置为限定第三镜230的内径的内表面232和被配置为限定第三镜230的外径的外表面234。第三镜230的内径可以不小于第一镜210的外径，例如，因此第三镜230可以不径向延伸超出第一镜210的外表面212。第三镜230的外径可以不大于第二镜220的内径，例如，因此第三镜230可以不径向延伸超出第二镜220的内表面222。因此，第三镜230可以进入(例如插入)第一镜210和第二镜220之间(例如第一镜210的外表面212和第二镜220的内表面222之间)的空间中，而不干扰第一镜210和第二镜220。也就是说，第三镜230可以与第一镜210和第二镜220的面向容器110内部的表面不重叠，例如，不覆盖或干扰第一镜210和第二镜220的面向容器110内部的表面。因此，第一镜210和第三镜230之间以及第三镜230和第二镜220之间沿着面向容器110内部的方向可以不存在重叠部分。
36.例如，如图3所示，第三镜230可以沿着相对于在第一镜210和第二镜220之间延伸的主体部218竖直(例如正交)的方向是可移除的，例如可移植的或可拆卸的。由于(例如仅)第三镜230可以从聚光镜200竖直地移除，可以仅对第三镜230执行单独的清洁处理。
37.在示例实施例中，第三镜230的内径可以与第一镜210的外径基本相同。因此，第三镜230的内表面232可以例如直接接触第一镜210的外表面212。迷宫式密封216可以形成在第一镜210的接触第三镜230的内表面232的外表面212处。
38.参照图5，第三镜230的内表面232的上端可以位于例如第一镜210的外表面212的上端的下方，例如，位于比第一镜210的外表面212的上端低的高度处。换句话说，第一镜210的面向容器110内部的表面可以位于相对于主体部118的底部比第三镜230的面向容器110内部的表面高的高度处，因此第一镜210的外表面212可以相对于主体部118的底部延伸超出第三镜230的面向容器110内部的表面，例如，可以在第三镜230的面向容器110内部的表面之上。因此，第一镜210的外表面212的上部可以被第三镜230的内表面232暴露，而不是被第三镜230的内表面232覆盖。
39.如图5进一步所示，第二喷嘴214可以形成在第一镜210的外表面212的上部处。第二喷嘴214可以形成在基本上平行于第三镜230的面向容器110内部的表面的方向上。第二喷嘴214可以将空气喷射到第三镜230的表面以从第三镜230的表面移除副产物。第二空气源262可以与第二喷嘴214连接(图4)。因此，空气可以从第二空气源262供应到第二喷嘴214。
40.在示例实施例中，第三镜230的外径可以与第二镜220的内径基本相同。因此，第三
镜230的外表面234可以例如直接接触第二镜220的内表面222。迷宫式密封238可以形成在第三镜230的接触第二镜220的内表面222的外表面234处。
41.参照图5，第三镜230的外表面234的上端可以位于第二镜220的内表面222的上端的上方，例如，位于比第二镜220的内表面222的上端高的高度处。换句话说，第三镜230的面向容器110内部的表面可以位于相对于主体部118的底部比第二镜220的面向容器110内部的表面高的高度处，因此第三镜230的外表面234可以相对于主体部118的底部延伸超出第二镜220的面向容器110内部的表面，例如，可以在第二镜220的面向容器110内部的表面之上。因此，第三镜230的外表面234的上部可以被第二镜220的内表面222暴露，而不是被第二镜220的内表面222覆盖。
42.第三喷嘴236可以形成在第三镜230的外表面234的上部处。第三喷嘴236可以形成在基本上平行于第二镜220的面向容器110内部的表面的方向上。第三喷嘴236可以将空气喷射到第二镜220的表面以从第二镜220的表面移除副产物。第三空气源264可以与第三喷嘴236连接(图4)。因此，空气可以从第三空气源264供应到第三喷嘴236。
43.控制器270可以单独地控制第一空气源260、第二空气源262和第三空气源264(图4)。详细地，控制器270可以单独地控制第一空气源260中的气压、第二空气源262中的气压和第三空气源264中的气压。如上所述，因为第三镜230的污染水平可以相对高于第一镜210和第二镜220的污染水平，因此从第二喷嘴214喷射以清洁第三镜230的空气的气压可以高于从第一喷嘴213和第三喷嘴236喷射的空气的气压以改进清洁效率。因此，控制器270可以向第二空气源262提供比第一空气源260和第三空气源264中的气压高的气压。
44.为了将第三镜230固定到第一镜210和第二镜220之间的主体部218，第三镜230可以包括固定部240。固定部240可以从第三镜230的下表面朝向主体部218延伸。例如，固定部240可以包括布置在第三镜230的圆周线上的一个部分，例如，固定部240可以连续延伸以围绕第一镜210的整个周边。在另一示例中，固定部240可以包括布置在第三镜230的多个圆周线上的多个部分，例如，固定部240可以包括在圆周上彼此间隔开以围绕第一镜210的多个离散部分。
45.详细地，如图6所示，固定部240可以包括向下渐缩的下端242。固定槽219可以形成在主体部218中，因此固定部240的渐缩下端242可以插入到主体部218中的固定槽219中。固定槽219可以具有与渐缩下端242相对应的渐缩形状。
46.此外，磁体250可以布置在主体部218中磁体250可以被配置为使用磁力来固定固定部240。为了将来自磁体250的磁力施加到固定部240，固定部240可以包括磁性材料。例如，磁体250可以包括电磁体。
47.根据示例实施例，聚光镜200可以包括三个镜，如上所述。在其他示例中，聚光镜200可以包括两个镜或至少四个镜。
48.通过总结和回顾，在euv光的生成期间生成的副产物可以在euv光发生器中积累，例如，堆叠在聚光镜的表面上，从而污染聚光镜。例如，副产物可以集中在聚光镜的中间部分中，因此聚光镜的中间部分的污染水平可以相对高于聚光镜的其他部分的污染水平。虽然整个聚光镜可以与要清洁的装置分离，但它可能很复杂并且减少了装置的整体可用操作时间。
49.相反，示例实施例提供了一种可以执行部分清洁的聚光镜，以及包括聚光镜的用
于生成euv光的装置。也就是说，根据示例实施例，聚光镜可以包括可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间的第三镜(其可能在euv光生成期间被主要污染)，使得可以仅对第三镜执行清洁处理。因此，可能不需要将整个聚光镜与容器分离，使得可以提高euv光发生器的总体可用操作时间。
50.本文已经公开了示例实施例，并且尽管采用了特定术语，但是它们仅用于且应被解释为一般的描述性意义，而不是为了限制的目的。在一些情况下，如提交本技术的本领域普通技术人员应认识到，除非另有明确说明，否则结合特定实施例描述的特征、特性和/或元件可以单独使用或与结合其他实施例描述的特征、特性和/或元件组合使用。因此，本领域技术人员将理解，在不脱离所附权利要求中阐述的本发明的精神和范围的前提下，可以进行形式和细节上的各种改变。