喷嘴清洗装置的制作方法

1.本实用新型涉及清洗技术领域，尤其涉及一种喷嘴清洗装置。


背景技术：

2.喷嘴作为材料的分配、喷涂工具，在半导体芯片中的使用十分广泛。例如，在芯片的底部填胶工艺或环氧树脂点胶工艺中，需要采用喷嘴进行点胶。喷嘴在进行多次点胶或在点胶过程中出现堵塞时，需要对其进行清洗，将其表面及通道内壁的残留物清洗干净，以避免点胶过程中因喷嘴通道内壁不干净而发生胶体堵塞现象，从而影响点胶工序的效率和质量。现有的喷嘴清洗工序中，常采用乙醇或丙酮化学洗液对喷嘴进行人工清洗，需耗费大量人力，效率低下；而且操作者在进行化学清洗时容易吸入化学洗液气体而对人体监控造成潜在伤害。
3.因此，亟待一种改进的喷嘴清洗装置以克服以上缺陷。


技术实现要素：

4.本实用新型的一个目的在于提供一种改进的喷嘴清洗装置，对喷嘴进行全面清洗并进行清洗效果检视，从而大大提高清洗效率、节约人力成本且提高清洗效果，适于在工业上推广应用。
5.为实现以上目的，本实用新型提供一种喷嘴清洗装置，包括：
6.表面清洗组件，被配置为清洗喷嘴的表面；
7.内部清洗组件，被配置为清洗所述喷嘴的内部通道；
8.检测组件，被配置为检测所述喷嘴在清洗后的清洁度；以及
9.传送组件，所述传送组件位于所述表面清洗组件、所述内部清洗组件及所述检测组件之侧，所述传送组件包括用于传送所述喷嘴的传送机构以及与所述传送机构连接并用于驱动所述传送机构的驱动机构，在所述驱动机构的驱动下，所述传送机构将所述喷嘴传送到所述表面清洗组件、所述内部清洗组件或所述检测组件。
10.与现有技术相比，本实用新型的喷嘴清洗装置设置的表面清洗组件和内部清洗组件分别对喷嘴进行全面清洗从而保证喷嘴的清洗效果；设置的检测组件在喷嘴清洗后对清洁度进行检测，确保喷嘴在投入使用前具有良好的清洁度，进一步提高清洗效果；而且利用传送组件的传送机构和驱动机构将喷嘴传送到表面清洗组件、内部清洗组件或检测组件的位置上进行相应操作，清洗效率大大提高、节省人力成本。
11.作为优选实施例，位于所述传送组件一侧的拾取组件，被配置为从所述传送组件上拾取所述喷嘴至预定位置。
12.较佳地，所述拾取组件以垂直于所述传送组件的方向设置。
13.作为优选实施例，所述拾取组件设置于所述表面清洗组件、所述内部清洗组件、所述检测组件和所述传送组件之侧，以向所述表面清洗组件、所述内部清洗组件、所述检测组件和所述传送组件中的任一组件拾取所述喷嘴。
14.作为优选实施例，所述拾取组件包括平行设置的第一拾取组件和第二拾取组件，所述第一拾取组件包括用于拾取所述喷嘴至所述表面清洗组件或所述检测组件的第一拾取臂以及驱动所述第一拾取臂移动的第一驱动机构；所述第二拾取组件包括用于拾取所述喷嘴至所述内部清洗组件的第二拾取臂以及驱动所述第二拾取臂移动的第二驱动机构。
15.可选地，所述传送组件的所述传送机构为传送带，所述驱动机构包括电机。
16.作为优选实施例，所述内部清洗组件包括气压清洗器、液压清洗器以及超声波清洗器，在所述驱动机构的驱动下，所述传送机构按照预定顺序向所述气压清洗器、所述液压清洗器以及所述超声波清洗器传送所述喷嘴。
17.作为优选实施例，所述气压清洗器包括：
18.与所述喷嘴对准的气体输出机构；
19.容纳并支撑所述喷嘴的清洗腔；以及
20.与所述气体输出机构连接且被配置为驱动所述气体输出机构在所述清洗腔上方在预定方向移动的第三驱动机构。
21.较佳地，所述气体输出机构上设有气压阀，以调整输出气体的气压。
22.作为优选实施例，所述液压清洗器包括：
23.与所述喷嘴对准的液体输出机构；
24.容纳并支撑所述喷嘴的清洗槽；以及
25.与所述液体输出机构连接且被配置为驱动所述液体输出机构在所述清洗槽上方在预定方向移动的第四驱动机构。
26.较佳地，所述液体输出机构连接有加压机构以输出高压液体。
27.较佳地，所述清洗槽与一排液装置连接。
28.作为优选实施例，所述超声波清洗器包括清洗槽以及设置于所述清洗槽中的超声波装置，所述清洗槽中盛有去离子水或化学洗液。较佳地，所述清洗槽与一排液装置连接。
29.可选地，所述气压清洗器和所述液压清洗器被作为所述表面清洗组件，其中，所述气压清洗器被配置为向所述喷嘴的顶面鼓吹气体；所述液压清洗器被配置为以高压冲洗所述喷嘴的顶面。
30.可选地，所述表面清洗组件包括与所述喷嘴的顶面对准且被配置为可沿所述喷嘴的顶面移动的气压清洗器、液压清洗器、旋转清洗刷或滚动清洗轮。
31.作为优选实施例，所述检测组件包括分别与所述传送组件连接的机械检测组件和视觉检测组件。
32.作为优选实施例，所述机械检测组件包括：
33.与所述喷嘴的内部通道对准的检测件；以及
34.与所述检测件连接并被配置为控制所述检测件沿所述内部通道移动的第五驱动机构。
35.作为优选实施例，所述机械检测组件还包括与所述检测件连接的压力传感器以及与所述压力传感器连接的报警器，所述压力传感器被配置为检测所述检测件的受压值，所述报警器根据所述受压值发出警报。
36.较佳地，所述检测件为钨丝。
37.作为优选实施例，所述视觉检测组件包括：
38.向所述喷嘴的内部通道尖端发射的光源；
39.位于所述喷嘴的内部通道尖端处的拍摄单元；以及
40.与所述拍摄单元连接并被配置为驱动所述拍摄单元移动的第六驱动机构。
41.较佳地，所述检测组件还包括分别位于所述传送组件之侧并与所述喷嘴连接的真空度检测组件或气流检测组件。
42.较佳地，一个或多个所述喷嘴由托盘固定，所述托盘上设有开孔以容纳所述喷嘴。
附图说明
43.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
44.图1为本实用新型喷嘴清洗装置的一个实施例的结构示意图。
45.图2a为本实用新型喷嘴清洗装置的喷嘴固定在托盘上的顶视图。
46.图2b为本实用新型喷嘴清洗装置的喷嘴固定在托盘上的剖视图。
47.图3为本实用新型喷嘴清洗装置进行喷嘴清洗的一个实施例的流程图。
48.图4为本实用新型喷嘴清洗装置的一个实施例的顶视图。
49.图5为本实用新型喷嘴清洗装置的传送组件的局部立体图。
50.图6a为本实用新型喷嘴清洗装置的拾取组件的立体图。
51.图6b为本实用新型喷嘴清洗装置的拾取组件的局部立体图。
52.图7a为本实用新型喷嘴清洗装置的气压清洗器的立体图。
53.图7b为本实用新型喷嘴清洗装置的气压清洗器的局部立体图。
54.图8a为本实用新型喷嘴清洗装置的液压清洗器的立体图。
55.图8b为本实用新型喷嘴清洗装置的液压清洗器的局部立体图。
56.图9为本实用新型喷嘴清洗装置的气压清洗器和液压清洗器与喷嘴的对准状态下的示意图。
57.图10a为本实用新型喷嘴清洗装置的超声波清洗器的立体图。
58.图10b为本实用新型喷嘴清洗装置的超声波清洗器的立体图。
59.图11a为本实用新型喷嘴清洗装置的机械检测组件的立体图。
60.图11b为本实用新型喷嘴清洗装置的机械检测组件的侧视图。
61.图11c为本实用新型喷嘴清洗装置的机械检测组件的局部放大图。
62.图11d为本实用新型喷嘴清洗装置的机械检测组件的结构示意图。
63.图12a为本实用新型喷嘴清洗装置的视觉检测组件的立体图。
64.图12b为本实用新型喷嘴清洗装置的视觉检测组件的侧视图。
65.图12c为本实用新型喷嘴清洗装置的视觉检测组件的结构示意图。
66.图13a-13b为采用本实用新型喷嘴清洗装置的视觉检测组件获取的检测图像示例及其喷嘴示意图。
67.图14a-14b为采用本实用新型喷嘴清洗装置的视觉检测组件获取的检测图像另一示例及其喷嘴示意图。
具体实施方式
68.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
69.在本技术的描述中，需要理解的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。当一个组件被认为是“设置在”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中设置的组件。
70.此外，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左侧”、“右侧”、“在
……
的下方”等指示方位或位置关系为基于附图所展示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有此特定的方位、以特定的方位构造进行操作，以此不能理解为本技术的限制。空间的相对术语可以意指包含除该图描绘的取向之外该装置的不同的取向。例如如果翻转该图中的装置，则描述为“在其他元件或者特征的下方”或者“在元件或者特征的下面”的元件将取向为“在其他元件或者特征的上方”。因此，示例术语“在
……
的下方”可以包含朝上和朝下的两种取向。
71.本实用新型的喷嘴清洗装置尤其适用于半导体领域的底部填充工艺、点胶工艺中使用的喷嘴进行全面清洗及清洗效果检视，从而大大提高清洗效率、节约人力成本且提高清洗效果，适于在工业上推广应用。当然，也适用于其他领域的喷嘴清洗。
72.图1展示本实用新型喷嘴清洗装置的一个实施例的结构框图。该喷嘴清洗装置10用于对喷嘴11进行清洁，包括：被配置为清洗喷嘴11表面的表面清洗组件 12、被配置为清洗喷嘴11的内部通道的内部清洗组件13、被配置为检测喷嘴11 在清洁后的清洁度的检测组件14以及用于传送喷嘴11的传送组件15。传送组件15位于表面清洗组件12、内部清洗组件13及检测组件14之侧，该传送组件15包括用于传送喷嘴11的传送机构151以及与传送机构151连接并用于驱动传送机构 151的驱动机构152，在驱动机构152的驱动下，传送机构151将喷嘴11传送到表面清洗组件12、内部清洗组件13或检测组件14的预定位置，从而进行相应的清洗或检测步骤。
73.为进一步提高清洗效率，优选地，在进行清洗之前，多个喷嘴11由托盘19 或夹具固定，如图2a-2b所示，托盘19上开设有以阵列排列的若干开孔191，以容纳并支撑每一个喷嘴11。开孔191的形状和尺寸适于容纳喷嘴11，例如使得喷嘴 11的顶面和托盘19的表面齐平。作为优选实施例，喷嘴11以托盘19固定的形式由传送组件15传送并配合拾取组件17(参考图4)从传送组件15上拾取喷嘴11至预定位置，从而进一步提高作业效率。
74.结合图3及图4-12b，展示采用本实用新型的喷嘴清洗装置进行的清洗流程以及该装置的具体结构的一些实施例。
75.在本方案的优选清洗流程中，装载有喷嘴11的托盘19首先通过表面清洗组件12进行喷嘴表面(如顶面)清洗，即，本实施例中，表面清洗组件12设置于清洗流水线上的上游。可选地，该表面清洗组件12包括与喷嘴11的顶面对准且被配置为可沿喷嘴11的顶面移动的旋转清洗刷、滚动清洗轮、气压清洗器、液压清洗器中的一种或多种。这些表面清洗组件12在托盘19的表面上进行吸嘴表面清洗，例如旋转清洗刷或滚动清洗轮在x或y方向的来回移动，从而实现清洗。
76.具体地，图4展示为本实用新型喷嘴清洗装置10的一个优选实施例的局部布局图，图中展示的喷嘴清洗装置10包括气压清洗器131、液压清洗器132、超声波清洗器133、检测组件14、传送组件15及拾取组件17。在本实施例中，检测组件14包括与传送组件15连接的机械检测组件141和视觉检测组件142。作为优化布局，传送组件15沿x方向设置并传送喷嘴11，气压清洗器131和液压清洗器132 位于传送组件15的同一侧，超声波清洗器133和机械检测组件141位于传送组件 15的另一侧，而视觉检测组件142则设置在传送组件15的传送方向(x方向)上。可理解的是，这样的布局可根据实际清洗需求而设，并不受本实施例的限制。
77.如图5所示，传送组件15包括用于传送喷嘴11的传送机构151，如传送带151 或其他形式的传送平台。用于驱动传送机构151的驱动机构在此图并不显示，可理解的是，驱动机构包括但不限于电机，例如伺服电机。可理解的是，为提高效率，传送机构151可与固定有喷嘴11的托盘供应组件(未展示)连接，待清洗的喷嘴11被事先固定在多个托盘19上，以预定的时间间隔向对应的组件工作台位置传送喷嘴托盘19。
78.具体地，拾取组件17位于所述传送组件一侧，例如拾取组件17以垂直于传送组件15的方向设置。本实施例中，传送组件15沿x方向设置，拾取组件17以y 方向设置，并位于表面清洗组件12、内部清洗组件13、检测组件14和传送组件 15之侧，便于从传送组件15上拾取托盘19至各个组件的预定位置，其中托盘19 至少在y和z两个方向上的移动。作为一个优化布局，如图4所示，为了在各组件中实现高效的分工协作，该拾取组件17包括平行设置的第一拾取组件17a和第二拾取组件17b，每一拾取组件17a/17b均设置一个拾取臂和一个驱动机构。具体地，以拾取组件17a包括用于拾取喷嘴11至表面清洗组件12或检测组件14的第一拾取臂171以及驱动第一拾取臂171移动的第一驱动机构172，见图6a。第二拾取组件17b包括用于拾取喷嘴11至内部清洗组件13的第二拾取臂(未标示)以及驱动第二拾取臂移动的第二驱动机构(未标示)。具体地，如上所及，传送组件15 沿x方向设置并移动，拾取组件17位于传送组件15之上方且其驱动机构如172沿 y方向(即与传送组件15垂直)设置。更具体地，第一拾取臂171和第一驱动机构172与传送组件15配合，负责向位于图中右上方的气压清洗器131和位于右下方的机械检测组件141搬运喷嘴11。第二拾取臂和第二驱动机构与传送组件15配合，负责向位于图中左上方的液压清洗器132和位于左下方的超声波清洗器133 搬运喷嘴11。需注意的是，两组拾取臂和驱动机构仅为本实施例优化作业流程和提高工作效率而布局，但本技术并不限制于两组，一组或大于两组拾取臂和驱动机构亦可。
79.可选地，两组拾取臂和驱动机构具有基本相同的结构。为便于描述，结合图6a-6b，仅对第一拾取组件17a，即第一拾取臂171和第一驱动机构172进行详细描述。具体地，第一驱动机构172上设有沿y轴延伸的主体1721，主体1721上的导轨1722供第一拾取臂171安装于其上，主体1721与电机、丝杆、螺母等驱动元件(图未标示)连接以驱动第一拾取臂171在y轴上移动。另外，主体1721整体安装在支撑架1723上并可通过驱动部件(图未标示)在支撑架上沿z轴方向移动，由此驱动第一拾取臂171在z轴上移动。结合图6a及图4，第一驱动机构172与自动传动组件15垂直设置，第一拾取臂171在第一驱动机构172的y轴方向的导轨 1722上的可移动行程覆盖其服务的同侧的清洗组件，如液压清洗器132和超声波清洗器133，从而可在两清洗组件之间移动。需注意的是，拾取组件17及其服务的清洗组件在x轴方向上的定位可依照实际情况而提前布局及设定，在第一拾取臂171服务于某一清洗组件时，
第一拾取臂171在y轴方向上的移动，例如移动速度、移动时间、移动行程，以及在z轴方向上的动作，例如上行或下行的距离、速度、时间等，均可依照实际情况进行设定。较佳地，第一拾取臂171上设有用于夹持托盘19的夹持臂1711，夹持臂1711的闭合或张开实现托盘19的抓取和释放。
80.如图7a所示，气压清洗器131包括气体输出机构1311，清洗腔1312以及与气体输出机构1311连接的第三驱动机构1313。具体地，托盘19及其上的喷嘴11由清洗腔1312支撑并容纳，气体输出机构1311安装在第三驱动机构1313上，从而实现气体输出机构1311在x、y、z轴三个方向上的移动，以对清洗腔1312的喷嘴11进行定位及鼓吹。具体地，该第三驱动机构1313包括x轴驱动构件1313a、y 轴驱动构件1313b以及z轴构件1313c，例如，x轴驱动构件1313a作为主驱动，其上设置有如电机、丝杆、螺母、坦克链等部件；y轴驱动构件1313b垂直安装在 x轴驱动构件1313a上，z轴驱动构件1313c垂直安装在x轴驱动构件1313a上，而气体输出机构1311安装在z轴驱动构件1313c的输出端，由z轴驱动构件1313c直接带动其在z轴方向上的动作。作为一个实施例，z轴驱动构件1313c为气缸驱动。特定地，气体输出机构1311由气体供给装置(图未示)提供气源，该气体输出机构1311的输出端与托盘19上的喷嘴11对准，从而向喷嘴11鼓风，以清洗喷嘴 11的表面或内部通道，如图7b及图9所示。较佳地，可在气体输出机构1311上设置气压阀(图未标示)，从而调整输出气体的气压，例如喷出加压气体或非加压气体。可选地，气体的输出参数，如时间、强度等可依照实际情况进行设定。
81.需注意的是，该气压清洗器131可依照实际清洗作业流程而设置在相应的工位，例如其既可作为表面清洗组件12设置在清洗线的上游，例如，固定有喷嘴 11的托盘19被首先传送至该气压清洗器131进行喷嘴表面，如顶面的鼓风清洗，以清除表面的粉尘灰尘颗粒等污垢；也可作为内部清洗组件13设置在清洗线的中下游，例如，在进行超声波清洗以及液压清洗后进行喷嘴内部通道的鼓吹，或在进行效果检测之前的最后鼓吹干燥。
82.如图8a所示，液压清洗器132包括液体输出机构1321、清洗槽1322以及与液体输出机构1321连接的第四驱动机构1323。具体地，托盘19及其上的喷嘴11由清洗槽1322支撑并容纳，液体输出机构1321安装在第四驱动机构1323上并与喷嘴11的内部通道对准，该第四驱动机构1323与控制器(图未示)连接，从而实现液体输出机构1321在x、y、z轴三个方向上的移动，以在预定位置上对清洗槽1322中的喷嘴11进行喷洗或冲洗。具体地，该第四驱动机构1323包括x轴驱动构件1323a、y轴驱动构件1323b以及z轴构件1323c，例如，x轴驱动构件1323a 作为主驱动，其上设置有如电机、丝杆、螺母、坦克链等部件；y轴驱动构件1323b 垂直安装在x轴驱动构件1323a上，z轴驱动构件1323c垂直安装在x轴驱动构件1323a上，而液体输出机构1321安装在z轴驱动构件1323c的输出端，由z轴驱动构件1323c直接带动其在z轴方向上的动作。作为一个实施例，z轴驱动构件1323c 为气缸驱动。具体地，清洗槽1322固定设置在液体输出机构1321的下方，当装载有喷嘴11的托盘19在被传送至液压清洗器132的工位时，由拾取臂将托盘19运送至清洗槽1322中，进而控制液体输出机构1321在托盘19上的预定位置上进行冲洗或喷洗。
83.特定地，液体输出机构1321由液体供给装置(图未示)提供液体，例如去离子水或化学洗液等，该液体输出机构1321的输出端与托盘19上的喷嘴11对准，从而向喷嘴11喷溅液体，以清洗喷嘴11的表面或内部通道，如图8b及图9所示。较佳地，该液体输出机构1321可与加压机构(图未示)连接以输出高压液体，例如形成高压水刀以清洗喷嘴11的表面或内
部。可理解的是，依照实际需求可调整输出液体的参数，如时间、强度、流量等。
84.作为一个优选实施例，为了避免化学洗液造成污染，该清洗槽1322还与一排液装置(图未示)连接以对洗液进行收集，为后续的回收处理建立基础。
85.需注意的是，该液压清洗器132可依照实际清洗作业流程而设置在相应的工位，例如其既可作为表面清洗组件12设置在清洗线的上游，例如，固定有喷嘴 11的托盘19被首先传送至该液压清洗器132进行喷嘴表面(如顶面)的高压水清洗，以清除表面的粉尘灰尘颗粒等污垢；也可作为内部清洗组件13设置在清洗线的中游，例如，在进行超声波清洗后进行喷嘴内部通道的深度清洗。
86.继续参考图10a，超声波清洗器133设置于传送组件15的一侧，具体是位于传送带151的一侧并由第一拾取臂171和第一驱动机构172负责喷嘴11的传送。具体地，如图10b所示，超声波清洗器133包括清洗槽1331以及设置于清洗槽1331 中的一个或多个超声波装置(图未标示)，清洗槽1331中盛有去离子水或化学洗液。作为一个实施例，可配置多个清洗槽1331以容纳多个托盘19，以提高清洗效率。更佳地，清洗槽1331可与一排液装置(图未示)连接，以收集回收化学洗液。
87.请结合图3-4、图11a-12b，检测组件14常设于清洗装置的下游，以进行进一步清理，清洗效果检视和反馈。具体地，该检测组件14包括与传送组件15和喷嘴11连接的机械检测组件141和视觉检测组件142。如图11a-11d所示，该机械检测组件141包括与托盘19上的喷嘴11的内部通道111对准的检测件1411以及与检测件1411连接并被配置为控制检测件1411沿喷嘴11的内部通道111移动的第五驱动机构1412。较佳地，该机械检测组件141还包括与检测件1411连接的压力传感器1413(见图11d)以及与压力传感器1413连接的报警器(图未示)。具体地，该压力传感器1413被配置为检测检测件1411的受压值，报警器根据该受压值发出警报，例如当压力传感器1413的检测出的受压值大于预定值时，报警器对外发出警报。本领域技术人员采用常规的压力传感器和报警器即可实现。
88.在本实施例中，该检测件1411为钨丝，其既作为清洗件也作为检测件。更具体地，如图11d所示，钨丝1411伸入至喷嘴11的内部通道111，可排出通道内的残余污物，例如残胶等。若残余污物无法排出，则钨丝1411的移动受阻并发生形变，此时，与钨丝1411连接的压力传感器1413则检测出钨丝受压值，该受压值大于预定值时，报警器发出警报。在此情况下，喷嘴11须返回再次清洗，例如返回前面的气压、液压或超声波清洗工序。可选地，在其他实施例中，也可采用其他金属丝进行清洗及检测，采用的金属丝材质比喷嘴材质软即可。
89.结合图3-4及图12a-12c，视觉检测组件142位于机械检测组件141之下游，对喷嘴11进行最终的清洗状态确认。优选地，当喷嘴11通过机械检测组件141的检测后，在进行视觉检测之前，可采用气压清洗器131对其进行气体鼓吹，以进行干燥。具体地，视觉检测组件142包括向喷嘴11的内部通道尖端发射的光源1421 (见图12c)、位于喷嘴11的内部通道尖端处的拍摄单元1422以及与拍摄单元 1422连接并被配置为控制拍摄单元1422移动的第六驱动机构1423。其中，控制器分别与拍摄单元1422及所述第六驱动机构1423连接。具体地，如图12c所示，光源1421可位于喷嘴11顶面的上方，自顶至底向喷嘴内部通道111发射光线；拍摄单元1422位于喷嘴内部通道111的尖端处下方，并与内部通道111对准，以拍摄内部通道111的状态。作为一个实施例，光源1421可位于托盘19之上方，拍摄单元1422位于托盘19之下方以进行视觉检测，当然，光源1421和拍摄单元1422 的设置位置是相对托盘19和其上
喷嘴11的方向而言的，并不限制于本实施例。如图12c所示，通过检视拍摄单元1422获取的图像(例如通过喷嘴11内的环状光线)可识别出喷嘴11的清洗效果是否符合预期(图13a-13b表示清洗效果良好，图14a-14b表示清洗效果不佳)。
90.在其他实施例中，检测组件14还可以包括分别与喷嘴11连接位于传送组件 15一侧的真空度检测组件(图未示)或气流检测组件(图未示)，利用检测喷嘴11的内部通道中的真空度以及气流情况来识别喷嘴11的清洗效果是否符合预期。
91.综上所述，本实用新型的喷嘴清洗装置设置的表面清洗组件12、内部清洗组件13分别对喷嘴11进行全面清洗从而保证喷嘴的清洗效果；利用传送组件15 的传送机构151和驱动机构152将喷嘴11传送到表面清洗组件12、内部清洗组件13或检测组件14的位置上进行相应操作，清洗效率大大提高，从而节省人力成本；而且检测组件14在喷嘴11清洗后对清洁度进行检测，确保喷嘴11在投入使用前具有良好的清洁度，进一步提高清洗效果。
92.以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。