保持设备及其使用的制作方法

技术特征：
1.一种保持设备，用于在从气相到基板(4)上的层的等离子体辅助沉积中保持多个基板(4)，包括：-内载板(1)，所述内载板(1)设置为彼此平行，每个所述内载板配置为用于在相对侧承载基板(4)；-外载板(2)，所述外载板(2)设置为平行于所述内载板(1)，所述外载板(2)具有面向所述内载板(1)的内表面和远离所述内载板(1)的外表面，其中每个外载板(2)配置用于在其内表面上承载一个或多个基板(4)并且在其外表面上没有基板；以及-屏蔽板(3)，所述屏蔽板(3)设置为在每种情况下与所述外载板(2)的外侧间隔开，使得在所述外载板(2)的平面图中，所述屏蔽板(3)至少在很大程度上遮蔽所述外载板(2)，其中每个屏蔽板(3)配置为无基板。2.根据权利要求1所述的保持设备，其特征在于，所述屏蔽板(3)和所述外载板(2)以及所述内载板(1)是平的，并且设置为基本上彼此平行，和/或所述屏蔽板(3)设置为在每种情况下与所述外载板(2)的所述外表面平行地间隔开。3.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备，其特征在于，所述屏蔽板(3)的长度和/或宽度尺寸小于所述外载板(2)的长度和/或宽度尺寸。4.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备，其特征在于，所述屏蔽板(3)没有电接触或者具有与紧邻所述屏蔽板(3)的所述外载板(2)相同的极性。5.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备，其特征在于，每个屏蔽板(3)包括冷却装置。6.根据权利要求5所述的保持设备，其特征在于，所述冷却装置是每个屏蔽板(3)的肋状和/或波浪形表面结构的形式。7.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备，其特征在于，所述屏蔽板(3)是多层的。8.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备，其特征在于，所述屏蔽板(3)由选自石墨、碳纤维增强塑料或碳纤维增强碳的基材制成。9.根据权利要求8所述的保持设备，其特征在于，所述屏蔽板(3)的外表面优选地设有金属层形式的涂层，特别是贵金属层。10.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备，其特征在于，所述内载板(1)和所述外载板(2)包括切口，所述基板(4)能够容纳在所述切口中，和/或所述屏蔽板(3)没有切口、开口和孔。11.根据前述权利要求中任一项所述的保持设备在来自气相的等离子体辅助沉积中作为用于基板(4)的保持设备的用途。

技术总结
本发明涉及一种用于保持多个基板(4)的保持设备，该多个基板(4)用于来自基板(4)上的气相的层的等离子体辅助沉积，该保持设备具有：内载板(1)，该内载板(1)彼此平行布置，并且每个内载板都设计成在相互对立的两侧承载基板(4)；外载板(2)，该外载板(2)设置为平行于内承载板(1)并具有面向内承载板(1)的内侧和远离内承载板(1)的外侧，其中每个外载板(2)设计成在其内侧承载一个或多个基板(4)，而在其外侧没有基板；以及屏蔽板(3)，该屏蔽板(3)各自设置在距外载板(2)的外侧一定距离处，使得如外载板(2)的平面图所示，屏蔽板(3)至少主要屏蔽外载板(2)，其中每个屏蔽板(3)都设置为没有基板。本发明还涉及在来自气相的等离子体辅助沉积中，该保持设备作为用于基板(4)的保持设备的用途。的用途。的用途。


技术研发人员：M
受保护的技术使用者：韩华QCELLS有限公司
技术研发日：2021.05.07
技术公布日：2023/3/3