一种自优化双脉冲激光切片装置的制作方法

技术特征：
1.一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：包括检测识别单元(1)、电连接于所述检测识别单元(1)的运动控制单元(2)、以及顺次布置在激光发射路径上的激光器(3)、偏振分束机构(4)、p偏振光反射镜组(7)和s偏振光反射镜组(5)、扩束合束机构(8)和工装(9)，所述检测识别单元(1)的检测端、扩束合束机构(8)的出光端和工装(9)近似的处于同一直线上，所述运动控制单元(2)的运动输出端分别连接于所述偏振分束机构(4)、p偏振光反射镜组(7)和工装(9)，所述p偏振光反射镜组(7)的其中两个相邻反射镜之间布置有脉冲展宽器(6)。2.根据权利要求1所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述偏振分束机构(4)包括顺次布置在激光发射路径上的安装角度可调的半波片(41)和偏振分束器(42)。3.根据权利要求2所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述运动控制单元(2)包括主控模块(21)和电动旋转夹具(22)，所述主控模块(21)电连接于所述检测识别单元(1)和电动旋转夹具(22)，所述电动旋转夹具(22)的输出轴连接于所述半波片(41)，且所述半波片(41)的转动轴心线与所述激光器(3)的激光发射方向垂直。4.根据权利要求1所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述p偏振光反射镜组(7)包括顺次布置在激光发射路径上的一对第一反射镜(71)和一对第二反射镜(72)，这对第一反射镜(71)对称设置于所述运动控制单元(2)的运动输出端上，这对第二反射镜(72)对称布置于所述脉冲展宽器(6)两侧。5.根据权利要求4所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述运动控制单元(2)包括主控模块(21)和延时电动滑台(23)，所述主控模块(21)电连接于所述检测识别单元(1)和延时电动滑台(23)，所述延时电动滑台(23)的输出轴连接于这对第一反射镜(71)，且这对第一反射镜(71)的移动方向与所述激光器(3)的激光发射方向平行。6.根据权利要求3或5所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述主控模块(21)设置为单片机、微处理器、控制面板或主控芯片。7.根据权利要求1所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述s偏振光反射镜组(5)包括顺次布置在激光发射路径上的至少两个第三反射镜(51)。8.根据权利要求1所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述扩束合束机构(8)包括顺次布置在激光发射路径上的偏振合束器(81)、扩束镜(82)、二向色镜(83)和物镜(84)。9.根据权利要求8所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述检测识别单元(1)设置为图像采集与处理器(11)。10.根据权利要求9所述的一种自优化双脉冲激光切片装置，其特征在于：所述检测识别单元(1)的检测端与所述二向色镜(83)之间设置有透镜(12)。

技术总结
本实用新型涉及一种自优化双脉冲激光切片装置，其包括检测识别单元、电连接于所述检测识别单元的运动控制单元、以及顺次布置在激光发射路径上的激光器、偏振分束机构、P偏振光反射镜组和S偏振光反射镜组、扩束合束机构和工装，所述P偏振光反射镜组的其中两个相邻反射镜之间布置有脉冲展宽器。本实用新型通过检测识别单元和运动控制单元进行反馈和调节，以控制单元控制偏振分束机构调谐分束比、控制P偏振光反射镜组调整激光延时、控制工装移动调整激光脉冲的点间距，并辅以脉冲展宽器调整S偏振光和P偏振光的脉冲能量，适用于不均匀材料的工件切片加工，在兼顾高效的同时，能降低剥离难度和切片损耗，提高切片质量。提高切片质量。提高切片质量。


技术研发人员：刘峰江 刘东立 刘霄
受保护的技术使用者：西湖仪器（杭州）技术有限公司
技术研发日：2022.10.12
技术公布日：2023/3/3