一种晶圆切割机的切割线材张紧机构的制作方法

1.本实用新型涉及多线切割机领域，尤其涉及到一种晶圆切割机的切割线材张紧机构。


背景技术：

2.多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。
3.目前，在切割硅片时，为了加块切割速度，有些种类的多线切割机会采用规律摇晃切割装置使得产品与金属丝的接触更加充分。但是，摇摆会使得金属丝受到的拉力产生规律变化，一但金属丝的张力大于金属丝的抗拉极限，金属丝就会断裂，造成生产事故。因此，我们有必要对这样一种结构进行改善，以克服上述缺陷。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
5.一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，包括机架和安装板，所述安装板与所述机架转动连接，所述安装板上固定设置有隔板，所述隔板上转动设置有两个滚轮，所述隔板上设置有容置槽，两个所述滚轮设置在所述容置槽的两侧，所述安装板上滑动设置有一调节辊，所述安装板上还固定设置有张力测试计。
6.上述技术方案中：机架用于支撑其余部件；安装板和所述机架转动，用于实现切割时的摇动；隔板用于设置滚轮以及其余部件；滚轮用于设置切割用的金属丝的轨迹；容置槽为加工时的产品容置空间；调节辊用于实现金属丝的张力调节；张力测试机用于测试金属丝收到的张力，从而实时改变调节辊的位置，进而保持金属丝的张力在一定范围内。
7.本实用新型的进一步设置为：所述机架上转动设置有绕线轮和导向辊，所述绕线轮的转轴走向和所述导向辊的转轴走向平行，且所述绕线轮的左侧边与所述导向辊的左侧边位于同一竖直面内。
8.上述技术方案中：绕线轮用于金属线的缠绕，起到供给和储存金属线的效果；导向辊用于引导金属线的方向，使其转向，去往滚轮的位置；绕线轮的转轴走向与导向辊的转轴走向平行，使得金属丝的拉力不会由于金属丝在导向辊上的位置不同而发生变化，从而令金属丝的拉力更加稳定。
9.本实用新型的进一步设置为：所述调节辊的滑动方向垂直于两个所述滚轮的中点的连线。
10.上述技术方案中：调节辊的滑动方向垂直于两个所述滚轮的中点的连线，可以使得调节辊在调节金属丝的压力时移动的距离更小，从而令调节更加的快速。
11.本实用新型的进一步设置为：所述安装板上设置有滑动槽，所述调节辊设置在所
述滑动槽内。
12.上述技术方案中：滑动槽用于引导所述调节辊的走向。
13.本实用新型的进一步设置为：所述调节辊和所述张力测试计设置在所述容置槽内。
14.上述技术方案中：将所述调节辊设置在所述容置槽内，可以避免所述隔板于所述调节辊发生干涉；所述张力测试计设置在所述容置槽内，使得张力测试计与所述调节辊的位置较近，能快速测得金属丝张力的变化。
15.本实用新型的进一步设置为：所述容置槽内还固定设置有挡板，且所述挡板倾斜设置。
16.上述技术方案中：挡板用于避免切削液对张力测试计产生影响。
17.本实用新型的进一步设置为：所述安装板上还转动设置有至少两个导向滚轴，且所述导向滚轴设置在所述隔板靠近所述导向辊的一侧。
18.上述技术方案中：所述安装板设置导向滚轴，用于使得安装板在摇动时，金属丝仍能和滚轮保持接触。
19.本实用新型公开了一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，与现有技术相比：
20.1.本实用新型通过调节辊和张力测试计的设置，使得能在安装板摆动时，通过调节辊实时调节金属丝的张力，从而保证金属丝的张力保持在一定范围内，避免了金属丝拉断的情况发生，提升了生产的安全性；
21.2.本实用新型通过调节辊的走向的控制，以及调节辊与张力测试计之间的距离的设置，使得调节辊对于金属丝拉力的调节更加快捷，张力测试计对于金属丝拉力的变化更加灵敏，提高了调节的效率以及准确度。
附图说明
22.图1为本实用新型的示意图；
23.图2为本实用新型的滚轮的示意图；
24.图3为本实用新型的隔板的俯视图。
25.图中数字和字母所表示的相应部件名称：10-机架；20-安装板；201-滑动槽；30-隔板；301-容置槽；40-滚轮；50-调节辊；60-张力测试计；70-绕线轮；80-导向辊；90-挡板；100-导向滚轴。
具体实施方式
26.下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
27.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，包括机架10和安装板20，所述安装板20与所述机架10转动连接，所述安装板20上固定设置有隔板30，所述隔板30上转动设置有两个滚轮40，所述隔板30上设置有容置槽301，两个所述滚轮40设置在所述容置槽301的两侧，所述安装板20上滑动设置有一调节辊50，所述安装板20上还固定设置有张力测试计60。其中，所述机架10为多线切割机的主要框架；所述安装板20的两侧
为圆弧形，以减少在摇动的干涉的可能性；所述隔板30的长度小于所述安装板20，且所述隔板30的中心与所述安装板20的转动中心重合；两个所述滚轮40关于所述隔板30的转动中心线对称设置；所述安装板20上还固定设置有一电机，所述电机的输出轴与一丝杠连接，所述调节辊50与所述丝杠的输出平台固定连接。
28.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，所述机架10上转动设置有绕线轮70和导向辊80，所述绕线轮70的转轴走向和所述导向辊80的转轴走向平行，且所述绕线轮70的左侧边与所述导向辊80的左侧边位于同一竖直面内。其中，优选的，所述绕线轮70可沿自身转轴的反向移动，从而使得金属丝能在导向辊80和滚轮40上间隔分布，从而实现多线切割。
29.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，所述调节辊50的滑动方向垂直于两个所述滚轮40的中点的连线。其中，所述调节辊50的长度与所述滚轮40的长度一致；优选，所述隔板30上固定设置有一限位块，所述调节辊50一端与所述丝杠的输出平台连接，另一端与所述限位块滑动连接。
30.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，所述安装板20上设置有滑动槽201，所述调节辊50设置在所述滑动槽201内。其中，所述丝杠的输出平台与所述滑动槽201滑动连接。
31.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，所述调节辊50和所述张力测试计60设置在所述容置槽301内。
32.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，所述容置槽301内还固定设置有挡板90，且所述挡板90倾斜设置。其中，所述挡板90末端的倾斜角度更大，以避免水流冲击容置槽301内侧而反弹至张力测试计60处。
33.如图1-3所示，本实用新型提出的一种晶圆切割机的切割线材张紧机构，所述安装板20上还转动设置有至少两个导向滚轴100，且所述导向滚轴100设置在所述隔板30靠近所述导向辊80的一侧。其中，金属丝从所述导向滚轴100和滚轮40之间穿过，且所述导向滚轴100的长度与所述滚轮40一致。
34.本实用新型的工作原理为：
35.a)金属丝从绕线轮出发，经过导向辊、滚轮、调节辊、张力测试计和导向辊轴，再回到绕线轮；
36.b)产品在通过多线切割机切割时，为了增加切割速度，安装板左右摇动；
37.c)安装板左右倾斜，金属丝受到的张力较大，张力测试机测得数据后，与标称数值范围比较，而后令调节辊远离所述滚轮一些，使得金属丝的张力变小；
38.d)安装板回到水平位置时，金属丝受到的张力较小，张力测试机测得数据后，与标称数值范围比较，而后令调节辊靠近所述滚轮一些，使得金属丝的张力变大。
39.以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
40.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存
在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。