一种新型离子束修补机静电消除装置的制作方法

1.本发明属于掩模制版技术领域，具体涉及一种新型离子束修补机静电消除装置。


背景技术：

2.掩模是一种统称，又名光掩模或是光罩，掩模是在一个石英基材上以铬膜所构成之集成电路(ic)设计图案，其目的为了将设计出的集成电路图案利用掩模投影微缩转移至晶圆上，在掩模生产制造过程中，缺陷修补是一道重要工序，尤其是当集成电路工艺发展到7纳米技术节点时，随着图形特征尺寸越来越小，图形复杂多样，对缺陷要求越来越严格，若掩模版上存在缺陷，经光刻等工艺流程处理，缺陷就被复刻到圆片上，最终造成集成电路开、短路异常，使芯片良率降低。掩模制作是整个芯片流程中制造最昂贵的一部分，如果不修补，报废处理，不但增加生产成本，而且影响产品交期。
3.fei850离子束修补机工艺腔体内存在大量游离的离子和电子，这些离子和电子吸附在工艺腔壁或部件上产生大量静电，这些静电会影响离子束和电子束运动轨迹，导致机台无法精确修补，掩模版产品表面是铬层被刻画成一个个图形，如果游离状态的离子和电子降落在孤岛型图形上就无法被消除，离子束轰击产品表面时，将会受到产品表面静电影响而错位，离子束无法精确轰击到正确的位置上，因此工艺腔体内部和产品表面静电的影响将会大大降低离子束修补机的修补精度，


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种新型离子束修补机静电消除装置，以解决上述背景技术中提出的离子束轰击产品表面时，将会受到产品表面静电影响而错位，离子束无法精确轰击到正确的位置上的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型离子束修补机静电消除装置，该静电消除装置包括：
6.真空紫外灯管，整体呈t型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于所述水平部的直径，该真空紫外灯管为中空状；
7.支撑组件，设置在所述真空紫外灯管的底部，该支撑组件具有平移部和旋转部，所述平移部由动丝杆滑座以及放置在动丝杆滑座底部的定丝杆滑座构成，所述旋转部底端设置在所述动丝杆滑座的顶端面上，其中动丝杆滑座在所述定丝杆滑座上沿y轴方向运动，而所述旋转部在所述动丝杆滑座上沿x轴方向运动，所述旋转部顶端与所述真空紫外灯管竖直部连接；
8.控制组件，与所述真空紫外灯管电连接。
9.作为本发明中一种优选的技术方案，所述定丝杆滑座的顶部滑动设置有滑块二，所述滑块二的顶部开设有供动丝杆滑座卡入的槽，且两者通过螺栓固定，在所述滑块二的两侧还固定有支撑板，该支撑板与所述动丝杆滑座底端面固定；所述动丝杆滑座的顶部内侧滑动连接有滑块一，所述旋转柱的底部开设有环槽，在所述滑块一的顶部开设有供旋转
柱卡入的放置槽，所述滑块一的两侧旋入有限位螺栓，该限位螺栓嵌入至所述环槽的内侧。
10.作为本发明中一种优选的技术方案，所述动丝杆滑座与定丝杆滑座均由两个固定座以及安装在固定座内部的丝杆构成，所述滑块一与滑块二均滑动设置在丝杆上。
11.作为本发明中一种优选的技术方案，所述环槽的内侧宽度小于或等于所述限位螺栓端部直径，所述限位螺栓的断面与所述环槽的内壁贴合或分离。
12.作为本发明中一种优选的技术方案，所述旋转柱的顶部套设在真空紫外灯管竖直部上，且旋转柱的内径等于所述竖直部外径。
13.作为本发明中一种优选的技术方案，所述真空紫外灯管的内部还设置有管道，该管道贯穿至真空紫外灯管外部，在两者连接处还安装有密封圈。
14.作为本发明中一种优选的技术方案，所述控制组件包括控制盒，所述控制盒上设置有开关和控制器，所述开关与控制器通过电线与所述真空紫外灯管电连接。
15.作为本发明中一种优选的技术方案，所述动丝杆滑座与定丝杆滑座呈垂直状分布，且两者等长。
16.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
17.本发明运用真空紫外线电离大量气体分子，从而在真空中有效去除静电荷，解决静电影响离子束修补机修补精度的问题。
附图说明
18.图1为本发明的结构示意图；
19.图2为本发明动丝杆滑座与定丝杆滑座连接示意图；
20.图3为本发明滑块二的俯视图；
21.图4为本发明图2中a区域的放大示意图。
22.图中：100、支撑组件；101、动丝杆滑座；101a、滑块一；101a-1、放置槽；101b、限位螺栓；102、定丝杆滑座；102a、滑块二；102b、支撑板；103、旋转柱；103a、环槽；200、真空紫外灯管；201、密封圈；300、控制盒；301、开关；302、控制器。
具体实施方式
23.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
24.请参阅图1至图4，本发明提供一种技术方案：一种新型离子束修补机静电消除装置，该静电消除装置包括：
25.真空紫外灯管200，整体呈t型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于水平部的直径，该真空紫外灯管200为中空状；
26.由于一个固定位置的静电消除装置无法彻底消除离子束修补机近乎圆柱形腔体内的静电，因此设置支撑组件100带动真空紫外灯管200进行移动，其中支撑组件100材料使用不锈钢，设置在真空紫外灯管200的底部，该支撑组件100具有平移部和旋转部，平移部由动丝杆滑座101以及活动连接在动丝杆滑座101底部的定丝杆滑座102构成，旋转部底端旋
转安装在动丝杆滑座101的顶端面上，其中动丝杆滑座101在定丝杆滑座102上沿y轴方向滑动，在消除静电中，可以通过此结构实现y轴区域静电清理，而旋转部在动丝杆滑座101上沿x轴方向滑动，可以通过此结构实现x轴区域静电清理，旋转部顶端与真空紫外灯管200竖直部在套设后，通过胶黏的方式完成连接，确保紫外线照射到所需照射位置，消除工艺腔体内部静电和产品掩模版上静电，并且可以自由平移，径向可以自由旋转，且保持密封状态，工艺腔体保持高真空的状态下完成对工艺腔体内和产品掩模版上静电的消除；
27.控制组件，与真空紫外灯管200通过电线电连接。
28.本实施例中，定丝杆滑座102的顶部滑动设置有滑块二102a，滑块二102a的顶部开设有供动丝杆滑座101刚好卡入的槽，且两者通过螺栓固定，在滑块二102a的两侧还固定有支撑板102b，该支撑板102b通过螺栓与动丝杆滑座101底端面固定，能够提升安装的稳定性，在使用中，通过定丝杆滑座102上的驱动结构，如电机带动丝杆将滑块二102a沿着y轴移动，滑块二102a会同步带动动丝杆滑座101进行同方向移动，以此实现y轴方向调节；动丝杆滑座101的顶部内侧滑动连接有滑块一101a，该滑块一101a用于带动旋转柱103做x轴方向的运动，实现x轴方向调节，旋转柱103的底部开设有环槽103a，在滑块一101a的顶部开设有供旋转柱103刚好卡入的放置槽101a-1，滑块一101a的两侧旋入有限位螺栓101b，该限位螺栓101b嵌入至环槽103a的内侧，在安装中，通过限位螺栓101b卡入至环槽103a完成对旋转柱103的限位，同时还能够保证旋转柱103的正常旋转不受影响。
29.本实施例中，动丝杆滑座101与定丝杆滑座102均由两个分处两端的固定座以及安装在固定座内部的丝杆或光滑的杆状体构成，滑块一101a与滑块二102a均滑动设置在丝杆上，实现位置的调节，环槽103a的内侧宽度小于或等于限位螺栓101b端部直径，方便卡入，限位螺栓101b的断面与环槽103a的内壁贴合或分离，避免相抵而导致摩擦力过大造成无法旋转的现象。
30.本实施例中，旋转柱103的顶部套设在真空紫外灯管200竖直部上，方便与真空紫外灯管200连接，且旋转柱103的内径等于竖直部外径，真空紫外灯管200的内部还设置有管道，真空紫外灯管200的光源输出端光学石英体窗口需平整且材质特殊，该管道贯穿至真空紫外灯管200外部，在两者连接处还安装有密封圈201，对穿过工艺腔壁的管道起密封作用，以保持工艺腔体内高真空状态。
31.本实施例中，控制组件包括控制盒300，控制盒300上设置有开关301和控制器302，其中控制器302用来调节真空紫外灯管200照射用的紫外光强度，确保工艺腔体内部和产品掩模版表面电位绝对值小于影响离子束偏移的电位基准值，而开关301用来启闭真空紫外灯管200，开关301与控制器302通过电线与真空紫外灯管200电连接。
32.本实施例中，动丝杆滑座101与定丝杆滑座102呈垂直状分布，移动时的位置控制更加精准，且两者等长。
33.尽管已经示出和描述了本发明的实施例(详见上述详尽的描述)，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。