一种新型离子束修补机静电消除装置的制作方法

技术特征：
1.一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：该静电消除装置包括：真空紫外灯管(200)，整体呈t型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于所述水平部的直径，该真空紫外灯管(200)为中空状；支撑组件(100)，设置在所述真空紫外灯管(200)的底部，该支撑组件(100)具有平移部和旋转部，所述平移部由动丝杆滑座(101)以及放置在动丝杆滑座(101)底部的定丝杆滑座(102)构成，所述旋转部底端设置在所述动丝杆滑座(101)的顶端面上，其中动丝杆滑座(101)在所述定丝杆滑座(102)上沿y轴方向运动，而所述旋转部在所述动丝杆滑座(101)上沿x轴方向运动，所述旋转部顶端与所述真空紫外灯管(200)竖直部连接；控制组件，与所述真空紫外灯管(200)电连接。2.根据权利要求1所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述定丝杆滑座(102)的顶部滑动设置有滑块二(102a)，所述滑块二(102a)的顶部开设有供动丝杆滑座(101)卡入的槽，且两者通过螺栓固定，在所述滑块二(102a)的两侧还固定有支撑板(102b)，该支撑板(102b)与所述动丝杆滑座(101)底端面固定；所述动丝杆滑座(101)的顶部内侧滑动连接有滑块一(101a)，所述旋转柱(103)的底部开设有环槽(103a)，在所述滑块一(101a)的顶部开设有供旋转柱(103)卡入的放置槽(101a-1)，所述滑块一(101a)的两侧旋入有限位螺栓(101b)，该限位螺栓(101b)嵌入至所述环槽(103a)的内侧。3.根据权利要求2所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述动丝杆滑座(101)与定丝杆滑座(102)均由两个固定座以及安装在固定座内部的丝杆构成，所述滑块一(101a)与滑块二(102a)均滑动设置在丝杆上。4.根据权利要求2所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述环槽(103a)的内侧宽度小于或等于所述限位螺栓(101b)端部直径，所述限位螺栓(101b)的断面与所述环槽(103a)的内壁贴合或分离。5.根据权利要求2所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述旋转柱(103)的顶部套设在真空紫外灯管(200)竖直部上，且旋转柱(103)的内径等于所述竖直部外径。6.根据权利要求1所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述真空紫外灯管(200)的内部还设置有管道，该管道贯穿至真空紫外灯管(200)外部，在两者连接处还安装有密封圈(201)。7.根据权利要求6所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述控制组件包括控制盒(300)，所述控制盒(300)上设置有开关(301)和控制器(302)，所述开关(301)与控制器(302)通过电线与所述真空紫外灯管(200)电连接。8.根据权利要求1所述的一种新型离子束修补机静电消除装置，其特征在于：所述动丝杆滑座(101)与定丝杆滑座(102)呈垂直状分布，且两者等长。

技术总结
本发明公开了一种新型离子束修补机静电消除装置，该静电消除装置包括：真空紫外灯管，整体呈T型，并具有竖直部和水平部，其中竖直部的直径小于所述水平部的直径，该真空紫外灯管为中空状；支撑组件，设置在所述真空紫外灯管的底部，该支撑组件具有平移部和旋转部，所述平移部由动丝杆滑座以及放置在动丝杆滑座底部的定丝杆滑座构成，所述旋转部底端设置在所述动丝杆滑座的顶端面上，其中动丝杆滑座在所述定丝杆滑座上沿Y轴方向运动；本发明运用真空紫外线电离大量气体分子，从而在真空中有效去除静电荷，解决静电影响离子束修补机修补精度的问题。度的问题。度的问题。


技术研发人员：华卫群 刘维维 薛文卿
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
技术研发日：2022.11.21
技术公布日：2023/3/3