一种带凹槽结构的树脂研磨垫的制作方法

1.本实用新型涉及研磨垫技术领域，尤其涉及一种带凹槽结构的树脂研磨垫。


背景技术：

2.研磨垫是用于半导体晶圆、显示器用玻璃基板、硬盘用机板等半导体零件、电子零件的制造制程中辅助研磨工作，在研磨步骤中，将研磨垫固定于研磨装置后，将晶圆等被研磨构件朝研磨垫挤压，于供给研磨浆料的同时，使两者相对地滑动以进行研磨，现有的树脂研磨垫通常通过在表面设置凹槽，能够有效的存续研磨液，保证研磨液充分利用。
3.传统的带凹槽结构的树脂研磨垫通常为一体式设计，当其表面被磨损后，整个研磨垫便失去作用，需要对整个研磨垫进行更换，非常浪费材料。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中带凹槽结构的树脂研磨垫通常为一体式设计，当其表面被磨损后，整个研磨垫便失去作用，需要对整个研磨垫进行更换，非常浪费材料的问题，而提出的一种带凹槽结构的树脂研磨垫。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层和表面层，所述表面层相抵设置于基层的上表面，所述基层的下表面相抵设置有底层，所述表面层的上表面开设有多个凹槽，所述基层的下表面两侧和底层的上表面两侧均开设有空腔，所述基层的两侧两端均固定设置有插杆，多个所述插杆的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆的两侧壁均固定设置有弹性片，多个所述弹性片的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。
7.优选的，所述推动机构包括推板和固定壳，所述安装槽的内部设置有拉杆，所述拉杆的下端延伸至安装槽的外侧，所述推板固定设置于拉杆的上端，所述固定壳设置于插杆的正上方，所述固定壳的上端与推板固定连接，所述拉杆的杆壁活动套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与对应的推板和安装槽的内壁固定连接。
8.优选的，多个所述拉杆的外侧一端均固定连接有拉环。
9.优选的，多个所述推板的两侧均与对应的安装槽的内壁相抵触。
10.优选的，所述表面层的上表面涂有耐磨涂层。
11.优选的，多个所述弹性片均为记忆金属片。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种带凹槽结构的树脂研磨垫，具备以下有益效果：
13.该带凹槽结构的树脂研磨垫，通过拉动两侧拉杆，使得推板带动对应的固定壳向插杆方向移动，使得固定壳套在插杆的外部，即能够将插杆两侧的弹性片与插杆外壁抵紧，此时，即可将插杆从空腔内拉出，即能够解除表面层与基层之间的限位，即对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。
14.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型能够对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种带凹槽结构的树脂研磨垫的结构示意图；
16.图2为图1的前视剖视结构示意图；
17.图3为图2中局部a部分的结构放大示意图。
18.图中：1基层、2表面层、3底层、4凹槽、5插杆、6拉环、7弹性片、8拉杆、9推板、10固定壳、11弹簧。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.参照图1-3，一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层1和表面层2，表面层2相抵设置于基层1的上表面，基层1的下表面相抵设置有底层3，表面层2的上表面开设有多个凹槽4，基层1的下表面两侧和底层3的上表面两侧均开设有空腔，基层1的两侧两端均固定设置有插杆5，多个插杆5的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个插杆5的两侧壁均固定设置有弹性片7，多个弹性片7的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个空腔的侧壁均开设有安装槽，多个安装槽的内部均设有推动机构。
22.推动机构包括推板9和固定壳10，安装槽的内部设置有拉杆8，拉杆8的下端延伸至安装槽的外侧，推板9固定设置于拉杆8的上端，固定壳10设置于插杆5的正上方，固定壳10的上端与推板9固定连接，拉杆8的杆壁活动套接有弹簧11，弹簧11的两端分别与对应的推板9和安装槽的内壁固定连接。
23.多个拉杆8的外侧一端均固定连接有拉环6，方便拉动拉杆8。
24.多个推板9的两侧均与对应安装槽的内壁相抵触，使得推板9无法转动，即能够稳定的滑动。
25.表面层2的上表面涂有耐磨涂层，提高表面层2的耐磨性能。
26.多个弹性片7均为记忆金属片，方便弹性片7复位。
27.本实用新型中，使用时，由于表面层2上表面凹槽4的设置能够有效的存续研磨液，保证研磨液充分利用，当需要对磨损的表面层2进行单独更换时，拉动两侧拉杆8，使得推板9带动对应的固定壳10向插杆5方向移动，使得固定壳10套在插杆5的外部，即能够将插杆5两侧的弹性片7与插杆5的外壁抵紧，此时，即可将插杆5从空腔内拉出，即能够解除表面层2与基层1之间的限位，即对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。
28.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层（1）和表面层（2），其特征在于，所述表面层（2）相抵设置于基层（1）的上表面，所述基层（1）的下表面相抵设置有底层（3），所述表面层（2）的上表面开设有多个凹槽（4），所述基层（1）的下表面两侧和底层（3）的上表面两侧均开设有空腔，所述基层（1）的两侧两端均固定设置有插杆（5），多个所述插杆（5）的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆（5）的两侧壁均固定设置有弹性片（7），多个所述弹性片（7）的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。2.根据权利要求1所述的一种带凹槽结构的树脂研磨垫，其特征在于，所述推动机构包括推板（9）和固定壳（10），所述安装槽的内部设置有拉杆（8），所述拉杆（8）的下端延伸至安装槽的外侧，所述推板（9）固定设置于拉杆（8）的上端，所述固定壳（10）设置于插杆（5）的正上方，所述固定壳（10）的上端与推板（9）固定连接，所述拉杆（8）的杆壁活动套接有弹簧（11），所述弹簧（11）的两端分别与对应的推板（9）和安装槽的内壁固定连接。3.根据权利要求2所述的一种带凹槽结构的树脂研磨垫，其特征在于，多个所述拉杆（8）的外侧一端均固定连接有拉环（6）。4.根据权利要求2所述的一种带凹槽结构的树脂研磨垫，其特征在于，多个所述推板（9）的两侧均与对应安装槽的内壁相抵触。5.根据权利要求1所述的一种带凹槽结构的树脂研磨垫，其特征在于，所述表面层（2）的上表面涂有耐磨涂层。6.根据权利要求1所述的一种带凹槽结构的树脂研磨垫，其特征在于，多个所述弹性片（7）均为记忆金属片。

技术总结
本实用新型涉及研磨垫技术领域，且公开了一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层和表面层，所述表面层相抵设置于基层的上表面，所述基层的下表面相抵设置有底层，所述表面层的上表面开设有多个凹槽，所述基层的下表面两侧和底层的上表面两侧均开设有空腔，所述基层的两侧两端均固定设置有插杆，多个所述插杆的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆的两侧壁均固定设置有弹性片，多个所述弹性片的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。本实用新型能够对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。降低更换成本。降低更换成本。


技术研发人员：陈斌
受保护的技术使用者：深圳中机新材料有限公司
技术研发日：2022.10.28
技术公布日：2023/2/23