一种回收光刻胶匀胶装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶回收利用技术领域，具体涉及一种回收光刻胶匀胶装置。


背景技术：

2.光刻胶(photoresist)又称光致抗蚀剂，通常运用于显示面板线路刻蚀保护，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。对于应用于某些特定工艺的光刻胶，部分厂商为降低成本，会采取回收再利用的方式，设备在涂胶的过程中会收集多余旋转外溢的废光刻胶，人工重新测试粘度，加入一定比例的稀释剂，通过人工晃动或者静态放置使其粘度达到新胶的品质，此种方式回收的光阻均匀性和品质较差。因此需要一种方案，提高回收光刻胶的匀胶品质。


技术实现要素：

3.本实用新型提供一种回收光刻胶匀胶装置，以提高解决回收光刻胶的匀胶品质。
4.本实用新型提供一种回收光刻胶匀胶装置，包括：匀胶桶；所述匀胶桶的顶面一端设置有注胶口；所述匀胶桶内部设置有滤芯，以吸收过滤回收光刻胶中的异物和杂质；所述匀胶桶的底部设置有出胶管，适于匀胶后的回收光刻胶从所述匀胶桶中排出；搅拌组件，所述搅拌组件包括电机和搅拌件；所述搅拌件包括旋转轴和搅拌叶片，所述旋转轴设置于所述匀胶桶中，且顶端贯穿所述匀胶桶的顶面而出；所述电机设置于所述匀胶桶顶部，所述电机的转轴对接所述旋转轴，适于带动所述旋转轴自转；所述叶片安装于所述旋转轴，位于所述匀胶桶内部，适于随所述旋转轴转动进行圆周运动。
5.可选的，所述搅拌叶片自所述匀胶桶的顶部向底部方向上设置有至少三组，各组所述搅拌叶片的水平延伸方向之间存在夹角。
6.可选的，所述电机为变速电机，由低速至高速包含至少三个转速档位。
7.可选的，所述电机设置有至少三个调速开关，对应相应的转速档位。
8.可选的，所述滤芯设置于所述注胶口的内侧，安装于所述匀胶桶的桶壁，适于回收光刻胶自所述注胶口注入后直接接触所述滤芯。
9.可选的，所述滤芯的过滤精度为0.5μm-2.0μm。
10.可选的，所述匀胶桶的顶面与所述注胶口相对一侧，开设有提取口，所述提取口适于提取器或测试仪通过。
11.可选的，所述出胶管设置于所述匀胶桶的侧壁的底部，于所述匀胶桶的侧壁横向延伸而出。
12.可选的，所述出胶管设置有开关阀门。
13.可选的，所述匀胶桶的材质包括pp或不锈钢。
14.本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果：
15.本实用新型提供的回收光刻胶匀胶装置，通过匀胶桶和搅拌组件的配合作业，可
实现回收光刻胶的机械匀胶，匀胶过程均匀且可控，可明显提升匀胶后的回收光刻胶品质。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本实用新型一实施例的回收光刻胶匀胶装置的结构示意图。
具体实施方式
18.下面将对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
19.实施例
20.本实施例提供一种本实用新型提供一种回收光刻胶匀胶装置，包括：
21.匀胶桶1；所述匀胶桶的顶面一端设置有注胶口11；所述匀胶桶1内部设置有滤芯5，以吸收过滤回收光刻胶中的异物和杂质；所述匀胶桶1的底部设置有出胶管6，适于匀胶后的回收光刻胶从所述匀胶桶1中排出。在本实施例中，所述匀胶桶1的材质包括pp或不锈钢，容量为30l-50l。
22.搅拌组件，所述搅拌组件包括电机2和搅拌件；所述搅拌件包括旋转轴3和搅拌叶片4，所述旋转轴3设置于所述匀胶桶1中，且顶端贯穿所述匀胶桶1的顶面而出；所述电机2设置于所述匀胶桶1顶部，所述电机2的转轴对接所述旋转轴3，适于带动所述旋转轴3自转；所述叶片4安装于所述旋转轴3，位于所述匀胶桶1内部，适于随所述旋转轴3转动进行圆周运动。
23.本实施例提供的回收光刻胶匀胶装置，通过匀胶桶和搅拌组件的配合作业，在注胶口11向匀胶桶1内加入待匀胶的回收光刻胶以及稀释剂，通过电机2带动旋转轴3转动，进而带动搅拌叶片4在匀胶桶1内实现圆周运动，从而实现回收光刻胶与稀释剂的搅拌。如此可实现回收光刻胶的机械匀胶，匀胶过程均匀且由于搅拌通过电机2实现而可控，可明显提升匀胶后的回收光刻胶品质。pp或不锈钢的匀胶桶1可防止软化或者腐蚀容器。30l-50l的容量一次可容纳较大量的回收光刻胶进行匀胶，可提升单次匀胶量，提高匀胶作业的效率。
24.在本实施例中，所述搅拌叶片4自所述匀胶桶1的顶部向底部方向上设置有至少三组，各组所述搅拌叶片的水平延伸方向之间存在夹角。所述至少三组所述搅拌叶片在自所述匀胶桶1的顶部向底部方向上均匀分布。如此在匀胶桶自顶部向底部的方向上相对较均匀的搅拌水平，在匀胶桶1内各处搅拌状况基本相同，整体上保持匀胶效果的均一性。
25.在本实施例中，所述电机2为变速电机，由低速至高速包含至少三个转速档位。进一步的，所述电机设置有至少三个调速开关21，对应相应的转速档位。通过变速电机三个档位的调速开关21，可对搅拌组件实现多档位转速的变速控制，以适应不同的匀胶需求。
26.在本实施例中，所述滤芯5设置于所述注胶口11的内侧，安装于所述匀胶桶1的桶壁，适于回收光刻胶自所述注胶口11注入后直接接触所述滤芯5。便于过滤回收光刻胶中的异物与杂质，保证倒入匀胶桶内的光刻胶洁净度
27.具体的，所述滤芯5的过滤精度(指大于该尺寸的颗粒无法通过滤网)为0.5μm-2.0μm。
28.在本实施例中，所述匀胶桶1的顶面与所述注胶口11相对一侧，开设有提取口12，所述提取口12适于提取器或测试仪通过。如此可以在匀胶完成前或匀胶过程中，通过提取口12提取内部正在匀胶的回收光刻胶，以进行相关指标参数的测试。或者，在匀胶完成前或匀胶过程中，将测试仪通过提取口12伸入匀胶桶1内部，接触正在匀胶的回收光刻胶，获取相关指标参数。相关指标例如可以为粘度。提取口12设置于注胶口11相对一侧，使得提取器或测试仪通过时，避免接触注胶口11附近的残胶，或是滤芯5上的杂质，干扰测试结果。
29.在本实施例中，所述出胶管6设置于所述匀胶桶1的侧壁的底部，于所述匀胶桶1的侧壁横向延伸而出。进一步的，所述出胶管6设置有开关阀门。出胶管6设置于匀胶桶1侧壁的底部，便于完成匀胶的回收光刻胶引出灌装。设置开关阀门可控制放置回收光刻胶在未完成匀胶时自出胶管6流出。
30.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。