一种回收光刻胶匀胶装置的制作方法

技术特征：
1.一种回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，包括：匀胶桶；所述匀胶桶的顶面一端设置有注胶口；所述匀胶桶内部设置有滤芯，以吸收过滤回收光刻胶中的异物和杂质；所述匀胶桶的底部设置有出胶管，适于匀胶后的回收光刻胶从所述匀胶桶中排出；搅拌组件，所述搅拌组件包括电机和搅拌件；所述搅拌件包括旋转轴和搅拌叶片，所述旋转轴设置于所述匀胶桶中，且顶端贯穿所述匀胶桶的顶面而出；所述电机设置于所述匀胶桶顶部，所述电机的转轴对接所述旋转轴，适于带动所述旋转轴自转；所述叶片安装于所述旋转轴，位于所述匀胶桶内部，适于随所述旋转轴转动进行圆周运动。2.根据权利要求1所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述搅拌叶片自所述匀胶桶的顶部向底部方向上设置有至少三组，各组所述搅拌叶片的水平延伸方向之间存在夹角；所述至少三组所述搅拌叶片在自所述匀胶桶的顶部向底部方向上均匀分布。3.根据权利要求1所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述电机为变速电机，由低速至高速包含至少三个转速档位。4.根据权利要求3所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述电机设置有至少三个调速开关，对应相应的转速档位。5.根据权利要求1所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述滤芯设置于所述注胶口的内侧，安装于所述匀胶桶的桶壁，适于回收光刻胶自所述注胶口注入后直接接触所述滤芯。6.根据权利要求5所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述滤芯的过滤精度为0.5μm-2.0μm。7.根据权利要求1所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述匀胶桶的顶面与所述注胶口相对一侧，开设有提取口，所述提取口适于提取器或测试仪通过。8.根据权利要求1所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述出胶管设置于所述匀胶桶的侧壁的底部，于所述匀胶桶的侧壁横向延伸而出。9.根据权利要求8所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述出胶管设置有开关阀门。10.根据权利要求1所述的回收光刻胶匀胶装置，其特征在于，所述匀胶桶的材质包括pp或不锈钢。

技术总结
本实用新型公开一种回收光刻胶匀胶装置，包括：匀胶桶；匀胶桶的顶面一端设置有注胶口；匀胶桶内部设置有滤芯，以吸收过滤回收光刻胶中的异物和杂质；匀胶桶的底部设置有出胶管，适于回收光刻胶从匀胶桶中排出；搅拌组件，搅拌组件包括电机和搅拌件；搅拌件包括旋转轴和搅拌叶片，旋转轴设置于匀胶桶中，且顶端贯穿匀胶桶的顶面而出；电机设置于匀胶桶顶部，电机的转轴对接旋转轴，适于带动旋转轴自转；叶片安装于旋转轴，位于匀胶桶内部，适于随旋转轴转动进行圆周运动。本实用新型的回收光刻胶匀胶装置可提高回收光刻胶的匀胶品质。匀胶装置可提高回收光刻胶的匀胶品质。匀胶装置可提高回收光刻胶的匀胶品质。


技术研发人员：陈兵 郝力强 王勇波 穆欣炬 吴磊
受保护的技术使用者：苏州清越光电科技股份有限公司
技术研发日：2022.10.27
技术公布日：2023/2/23