包装结构的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种包装结构。


背景技术：

2.相关技术中，晶圆在运输和存储时均会通过晶圆承载盒进行收纳。为了方便运输搬运，晶圆承载盒均会放置于一个纸箱内，在搬运过程中可能会出现纸箱碰撞等问题，从而会导致晶圆承载盒内部晶圆破裂的问题。


技术实现要素：

3.本发明提供一种包装结构，以改善对晶圆承载盒的防护性能。
4.本发明提供了一种包装结构，用于设置在包装箱和晶圆承载盒之间，包装结构包括：
5.底部支撑件，底部支撑件用于设置在包装箱内，且位于晶圆承载盒的底部；
6.顶部支撑件，顶部支撑件用于设置在包装箱内，且位于晶圆承载盒的顶部；
7.侧部防护件，侧部防护件用于设置在包装箱内，且位于晶圆承载盒的侧部；
8.其中，底部支撑件和顶部支撑件中的至少之一与侧部防护件相连接。
9.在本发明的一个实施例中，侧部防护件与底部支撑件的上表面，和/或顶部支撑件的下表面相连接，以使得侧部防护件位于底部支撑件和顶部支撑件之间。
10.在本发明的一个实施例中，侧部防护件的两端面分别连接底部支撑件和顶部支撑件。
11.在本发明的一个实施例中，侧部防护件至少覆盖晶圆承载盒的侧部的一部分。
12.在本发明的一个实施例中，侧部防护件与底部支撑件可拆卸地相连接，和/或侧部防护件与顶部支撑件可拆卸地相连接。
13.在本发明的一个实施例中，侧部防护件为多个，且分别位于晶圆承载盒的多个侧部；或，侧部防护件朝向晶圆承载盒的表面与晶圆承载盒相适配。
14.在本发明的一个实施例中，底部支撑件包括：
15.底部缓冲板，底部缓冲板的内部设置有第一镂空部，底部缓冲板的周向外表面设置有第一避让槽。
16.在本发明的一个实施例中，第一镂空部为多个，第一避让槽为多个。
17.在本发明的一个实施例中，底部缓冲板可收缩地设置，以在沿第一方向压缩底部缓冲板时，第一镂空部以及第一避让槽均收缩以形成在第二方向上的缓冲；
18.其中，第一方向平行于缓冲板的上表面，第二方向垂直于缓冲板的上表面。
19.在本发明的一个实施例中，底部缓冲板通过切割和拉伸预设板材制备而成；其中，在预设板材上按照预设轨迹形成贯穿预设板材的切割线，拉伸预设板材后形成具有第一镂空部和第一避让槽的底部缓冲板。
20.在本发明的一个实施例中，沿预设板材的拉伸方向，预设板材的宽度小于底部缓
冲板的宽度的一半。
21.在本发明的一个实施例中，底部缓冲板由聚乙烯发泡棉制备而成。
22.在本发明的一个实施例中，底部支撑件还包括：
23.底部框架，底部框架与底部缓冲板相连接，底部框架形成有第一容纳空间，第一容纳空间用于容纳晶圆承载盒的底部，晶圆承载盒的底部穿过第一容纳空间后与底部缓冲板相接触。
24.在本发明的一个实施例中，底部框架的周向外表面设置有第一缓冲凹槽。
25.在本发明的一个实施例中，第一容纳空间为矩形腔，侧部防护件为矩形板，侧部防护件与底部框架相连接。
26.在本发明的一个实施例中，底部缓冲板与底部框架的材料相一致；
27.或，底部缓冲板的材料强度小于底部框架的材料强度。
28.在本发明的一个实施例中，顶部支撑件包括：
29.顶部缓冲板，
30.顶部框架，顶部框架与顶部缓冲板相连接，顶部框架形成有第二容纳空间，第二容纳空间用于容纳晶圆承载盒的顶部，晶圆承载盒的顶部穿过第二容纳空间后与顶部缓冲板相接触。
31.在本发明的一个实施例中，顶部缓冲板的内部设置有第二镂空部，顶部缓冲板的周向外表面设置有第二避让槽。
32.本发明实施例的包装结构设置在包装箱和晶圆承载盒之间，以此实现对晶圆承载盒的防护，避免晶圆承载盒内的晶圆出现破裂的问题。包装结构包括底部支撑件、顶部支撑件以及侧部防护件，底部支撑件和顶部支撑件实现了对晶圆承载盒的夹持，以实现对晶圆承载盒的底部和顶部的防护，而侧部防护件实现了对晶圆承载盒的侧部防护，避免了晶圆承载盒相对于包装箱的活动，从而可以避免晶圆承载盒内的晶圆出现破裂的问题。
附图说明
33.通过结合附图考虑以下对本发明的优选实施方式的详细说明，本发明的各种目标，特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本发明的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：
34.图1是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的结构示意图；
35.图2是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部支撑件和侧部防护件的分解结构示意图；
36.图3是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部支撑件的第一个视角的结构示意图；
37.图4是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部支撑件的第二个视角的结构示意图；
38.图5是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部支撑件的第三个视角的结构示意图；
39.图6是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部支撑件的第四个视角的结构示意图；
40.图7是根据一示例性实施方式示出的一种预设板材的结构示意图；
41.图8是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部缓冲板的结构示意图；
42.图9是根据另一示例性实施方式示出的一种包装结构的底部缓冲板的结构示意图；
43.图10是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的顶部支撑件的分解结构示意图；
44.图11是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的顶部支撑件的第一个视角的结构示意图；
45.图12是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的顶部支撑件的第二个视角的结构示意图；
46.图13是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的顶部支撑件的第三个视角的结构示意图；
47.图14是根据一示例性实施方式示出的一种包装结构的顶部支撑件的第四个视角的结构示意图。
48.附图标记说明如下：
49.1、预设板材；2、切割线；10、底部支撑件；11、底部缓冲板；111、第一镂空部；112、第一避让槽；12、底部框架；121、第一容纳空间；122、第一缓冲凹槽；20、顶部支撑件；21、顶部缓冲板；211、第二镂空部；212、第二避让槽；22、顶部框架；221、第二容纳空间；222、第二缓冲凹槽；30、侧部防护件。
具体实施方式
50.体现本发明特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本发明。
51.在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”、“之间”、“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。
52.本发明的一个实施例提供了一种包装结构，用于设置在包装箱和晶圆承载盒之间，请参考图1至图14，包装结构包括：底部支撑件10，底部支撑件10用于设置在包装箱内，且位于晶圆承载盒的底部；顶部支撑件20，顶部支撑件20用于设置在包装箱内，且位于晶圆承载盒的顶部；侧部防护件30，侧部防护件30用于设置在包装箱内，且位于晶圆承载盒的侧部；其中，底部支撑件10和顶部支撑件20中的至少之一与侧部防护件30相连接。
53.本发明一个实施例的包装结构设置在包装箱和晶圆承载盒之间，以此实现对晶圆承载盒的防护，避免晶圆承载盒内的晶圆出现破裂的问题。包装结构包括底部支撑件10、顶部支撑件20以及侧部防护件30，底部支撑件10和顶部支撑件20实现了对晶圆承载盒的夹
持，以实现对晶圆承载盒的底部和顶部的防护，而侧部防护件30实现了对晶圆承载盒的侧部防护，避免了晶圆承载盒相对于包装箱的活动，从而可以避免晶圆承载盒内的晶圆出现破裂的问题。
54.需要说明的是，包装结构和晶圆承载盒最终都封闭在包装箱内，而包装结构可以避免晶圆承载盒相对于包装箱的活动，以此避免晶圆承载盒内的晶圆出现破裂的问题。
55.底部支撑件10压设在晶圆承载盒的下方，而顶部支撑件20通过封闭包装箱使得其压设在晶圆承载盒的上方，而侧部防护件30夹持于晶圆承载盒和包装箱之间，以此使得晶圆承载盒的上下方向以及周向方向都避免与包装箱出现活动问题。
56.考虑到底部支撑件10和顶部支撑件20中的至少之一与侧部防护件30相连接，即在保证侧部防护件30实现对晶圆承载盒的侧部防护的基础上，可以保证侧部防护件30的相对位置固定，而不会出现位置移动的问题，从而可以保证侧部防护件30对晶圆承载盒的可靠防护，在包装完成之后可以避免晶圆承载盒相对于包装箱活动。
57.底部支撑件10和顶部支撑件20中的至少之一与侧部防护件30相连接，不仅安装方便，且部件之间实现了相互定位，可以进一步提升对晶圆承载盒的防护。如图1所示，底部支撑件10和侧部防护件30相连接。
58.在一些实施例中，侧部防护件30至少覆盖晶圆承载盒的侧部的一部分，即侧部防护件30可以覆盖部分的晶圆承载盒，即沿晶圆承载盒的周向方向，侧部防护件30覆盖晶圆承载盒的一部分。或者，侧部防护件30可以覆盖全部的晶圆承载盒，即沿晶圆承载盒的周向方向，侧部防护件30覆盖全部的晶圆承载盒。对于侧部防护件30沿晶圆承载盒高度方向的尺寸，此处不作限定。
59.在一个实施例中，侧部防护件30与底部支撑件10的上表面，和/或侧部防护件30与顶部支撑件20的下表面相连接，以使得侧部防护件30位于底部支撑件10和顶部支撑件20之间。
60.可选的，侧部防护件30与底部支撑件10的周向侧表面相连接，和/或侧部防护件30与顶部支撑件20的周向侧表面相连接。
61.在一个实施例中，侧部防护件30的两端面分别连接底部支撑件10和顶部支撑件20，即侧部防护件30与底部支撑件10和顶部支撑件20直接对接，从而可以使得底部支撑件10、顶部支撑件20以及侧部防护件30成为一个整体结构，且可以保证侧部防护件30的高度相对较低，不仅可以减少材料使用量，且可以避免包装结构过重的情况。
62.在一个实施例中，侧部防护件30覆盖晶圆承载盒的侧部的一部分，即沿晶圆承载盒的周向方向侧部防护件30覆盖晶圆承载盒的侧部的一部分。考虑到底部支撑件10、顶部支撑件20以及侧部防护件30成为一个整体结构，因此即使侧部防护件30覆盖晶圆承载盒的侧部的一部分，也可以有效避免晶圆承载盒相对于包装箱的活动。
63.可选的，侧部防护件30覆盖晶圆承载盒的侧部的全部。
64.在一个实施例中，侧部防护件30与底部支撑件10可拆卸地相连接，和/或侧部防护件30与顶部支撑件20可拆卸地相连接。在方便安装的前提下也方便各个部件进行拆分存储。
65.可选的，侧部防护件30与底部支撑件10固定连接，而侧部防护件30与顶部支撑件20可拆卸地相连接，则在进行晶圆承载盒的包装时，可以先将底部支撑件10和侧部防护件
30放入到包装箱内，将晶圆承载盒放置于底部支撑件10上，然后将顶部支撑件20放置到晶圆承载盒的顶部，并使得顶部支撑件20与侧部防护件30相连接，最后进行包装箱的封装处理。
66.可选的，侧部防护件30与底部支撑件10可拆卸地相连接，侧部防护件30与顶部支撑件20固定连接，则在进行晶圆承载盒的包装时，可以先将底部支撑件10放入到包装箱内，将晶圆承载盒放置于底部支撑件10上，然后将顶部支撑件20和侧部防护件30放入包装箱，并使得侧部防护件30与底部支撑件10相连接，此时侧部防护件30与底部支撑件10可以采用插接，最后进行包装箱的封装处理。
67.可选的，侧部防护件30与底部支撑件10可拆卸地相连接，侧部防护件30与顶部支撑件20可拆卸地相连接，则在进行晶圆承载盒的包装时，按照上述方式将侧部防护件30与其中之一相连接。或者，可以将底部支撑件10、侧部防护件30以及顶部支撑件20依次进行放置，侧部防护件30与底部支撑件10可以是插接，而侧部防护件30与顶部支撑件20也可以是插接。
68.在某些实施例中，侧部防护件30与底部支撑件10固定连接，侧部防护件30与顶部支撑件20固定连接，在进行晶圆承载盒的包装时，可以先将晶圆承载盒装入到包装结构内，包装结构的至少部分可以变形，然后将包装结构和晶圆承载盒整体装入到包装箱内。
69.在一个实施例中，侧部防护件30为多个，且分别位于晶圆承载盒的多个侧部，以此保护晶圆承载盒的多个侧面。
70.在一个实施例中，侧部防护件30朝向晶圆承载盒的表面与晶圆承载盒相适配，即侧部防护件30朝向晶圆承载盒的表面与晶圆承载盒的形状和结构相适配，从而进一步增加包裹晶圆盒侧面的面积，以此达到更好的保护效果。
71.在一个实施例中，如图2至图6所示，底部支撑件10包括：底部缓冲板11，底部缓冲板11的内部设置有第一镂空部111，底部缓冲板11的周向外表面设置有第一避让槽112。底部缓冲板11可以起到缓冲作用，有效保护晶圆承载盒内的晶圆，而第一镂空部111和第一避让槽112的设置可以提高底部缓冲板11的缓冲能力，即保证底部缓冲板11容易发生回弹。
72.可选的，第一镂空部111为多个，第一避让槽112为多个，进一步提升底部缓冲板11的缓冲能力。
73.具体的，如图2所示，第一镂空部111可以是多列，而相邻两列的第一镂空部111可以是错开设置的，而第一避让槽112也可以是两列。对于第一镂空部111和第一避让槽112的形状可以不作限定。
74.在一个实施例中，底部缓冲板11可收缩地设置，以在沿第一方向压缩底部缓冲板11时，第一镂空部111以及第一避让槽112均收缩以形成在第二方向上的缓冲；其中，第一方向平行于底部缓冲板11的上表面，第二方向垂直于底部缓冲板11的上表面。底部缓冲板11具有良好的可拉伸性能，可以根据包装箱的大小对底部缓冲板11进行拉伸与收缩，满足不同场合的需求，以提升底部缓冲板11的适应范围，且在对底部缓冲板11进行压缩后可以增加底部缓冲板11的缓冲能力，以增强对晶圆承载盒的保护。
75.具体的，结合图7至图9，第一方向可以理解为是底部缓冲板11的宽度方向，即由左到右以及由右到左(实际压缩时可以是超相反的两个方向同时压缩)，而第二方向垂直于第一方向，即朝向底部缓冲板11上放置的晶圆承载盒方向或者背离底部缓冲板11上放置的晶
圆承载盒的方向(可以解释为，在底部缓冲板11水平放置时，第二方向为竖直方向)。
76.在一个实施例中，如图7至图9所示，底部缓冲板11通过切割和拉伸预设板材1制备而成；其中，在预设板材1上按照预设轨迹形成贯穿预设板材1的切割线2，拉伸预设板材1后形成具有第一镂空部111和第一避让槽112的底部缓冲板11。考虑到底部缓冲板11是通过拉伸预设板材1形成的，因此形成一个尺寸较大的底部缓冲板11仅需要一个尺寸较小的预设板材1，从而可以减少材料的使用量。
77.具体的，如图7所示，在预设板材1上按照预设轨迹形成贯穿预设板材1的切割线2，多个切割线2用于保证预设板材1能够被拉伸，从而形成第一镂空部111和第一避让槽112，如图8所示，是在对预设板材1拉伸到中间状态的结构示意图，此时，第一镂空部111和第一避让槽112的面积相对较小。如图9所示，是在对预设板材1拉伸到极限状态的结构示意图，此时形成了面积最大的第一镂空部111和第一避让槽112。
78.在一个实施例中，沿预设板材1的拉伸方向，预设板材1的宽度小于底部缓冲板11的宽度的一半，即形成一个尺寸较大的底部缓冲板11仅需要一个尺寸较小的预设板材1，材料成本相对较低。
79.在一个实施例中，底部缓冲板11由聚乙烯发泡棉(pep)制备而成，可以保证良好的弹性能力。
80.在一个实施例中，如图3至图6所示，底部支撑件10还包括：底部框架12，底部框架12与底部缓冲板11相连接，底部框架12形成有第一容纳空间121，第一容纳空间121用于容纳晶圆承载盒的底部，晶圆承载盒的底部穿过第一容纳空间121后与底部缓冲板11相接触。底部框架12实现了对晶圆承载盒的限位，使得底部支撑件10与晶圆承载盒的相对位置较为固定，而结合底部缓冲板11可以实现可靠缓冲，以此保证对晶圆承载盒的有效防护。
81.在一个实施例中，底部框架12与底部缓冲板11可拆卸地相连接。
82.可选的，底部框架12与底部缓冲板11可以是粘结、卡接或者通过紧固件相连接。
83.在一个实施例中，如图2所示，底部框架12的周向外表面设置有第一缓冲凹槽122，从而可以提升底部框架12的缓冲能力，即通过第一缓冲凹槽122的设置可以使得底部框架12具有一定的缓冲余量，以此实现对晶圆承载盒的有效防护。
84.可选的，第一缓冲凹槽122可以为多个，多个第一缓冲凹槽122沿底部框架12的周向方向间隔设置。
85.在一个实施例中，第一容纳空间121为矩形腔，侧部防护件30为矩形板，侧部防护件30与底部框架12相连接，即第一容纳空间121用于对晶圆承载盒底部周向方向的整体防护，而侧部防护件30仅覆盖晶圆承载盒的一个侧部。
86.进一步的，底部框架12的周向外表面形成一个矩形结构，此时，底部框架12的四个周向外表面上可以均设置有第一缓冲凹槽122，如图2所示。
87.在一个实施例中，底部缓冲板11与底部框架12的材料相一致，例如，底部缓冲板11与底部框架12可以均由聚乙烯发泡棉(pep)制备而成。
88.可选的，底部缓冲板11的材料强度小于底部框架12的材料强度。底部缓冲板11主要实现对晶圆承载盒的缓冲支撑，而底部框架12需要实现与晶圆承载盒的可靠连接，因此需要保证底部框架12具有相对较高的强度，避免出现损坏。例如，底部缓冲板11可以由聚乙烯发泡棉(pep)制备而成，而底部框架12可以由保利龙(eps)制备而成。
89.在一个实施例中，如图10至图14所示，顶部支撑件20包括：顶部缓冲板21，顶部框架22，顶部框架22与顶部缓冲板21相连接，顶部框架22形成有第二容纳空间221，第二容纳空间221用于容纳晶圆承载盒的顶部，晶圆承载盒的顶部穿过第二容纳空间221后与顶部缓冲板21相接触。顶部框架22实现了对晶圆承载盒的限位，使得顶部支撑件20与晶圆承载盒的相对位置较为固定，而结合顶部缓冲板21可以实现可靠缓冲，以此保证对晶圆承载盒的有效防护。
90.在一个实施例中，顶部缓冲板21的内部设置有第二镂空部211，顶部缓冲板21的周向外表面设置有第二避让槽212。顶部缓冲板21可以起到缓冲作用，有效保护晶圆承载盒内的晶圆，而第二镂空部211和第二避让槽212的设置可以提高顶部缓冲板21的缓冲能力，即保证顶部缓冲板21容易发生回弹。
91.可选的，第二镂空部211为多个，第二避让槽212为多个，进一步提升顶部缓冲板21的缓冲能力。
92.具体的，如图10所示，第二镂空部211可以是多列，而相邻两列的第二镂空部211可以是错开设置的，而第二避让槽212也可以是两列。对于第二镂空部211和第二避让槽212的形状可以不作限定。
93.在一个实施例中，顶部缓冲板21可收缩地设置，以在沿平行于第二避让槽212槽口所在平面的方向压缩顶部缓冲板21时，第二镂空部211以及第二避让槽212均收缩。顶部缓冲板21具有良好的可拉伸性能，可以根据包装箱的大小对顶部缓冲板21进行拉伸与收缩，满足不同场合的需求，以提升顶部缓冲板21的适应范围。
94.在一个实施例中，顶部缓冲板21也可以通过切割和拉伸预设板材1制备而成；其中，在预设板材1上按照预设轨迹形成贯穿预设板材1的切割线2，拉伸预设板材1后形成具有第二镂空部211和第二避让槽212的底部缓冲板11。
95.对于顶部缓冲板21的制作方式可以参考底部缓冲板11的制作方式，此处不作赘述。
96.在一个实施例中，顶部缓冲板21由聚乙烯发泡棉(pep)制备而成，可以保证良好的弹性能力。
97.在一些实施例中，顶部框架22与顶部缓冲板21可拆卸地相连接。
98.可选的，顶部框架22与顶部缓冲板21可以是粘结、卡接或者通过紧固件相连接。
99.在一个实施例中，如图10所示，顶部框架22的周向外表面设置有第二缓冲凹槽222，从而可以提升顶部框架22的缓冲能力，即通过第二缓冲凹槽222的设置可以使得顶部框架22具有一定的缓冲余量，以此实现对晶圆承载盒的有效防护。
100.可选的，第二缓冲凹槽222可以为多个，多个第二缓冲凹槽222沿顶部框架22的周向方向间隔设置。
101.在一个实施例中，第二容纳空间221为矩形腔，侧部防护件30为矩形板，侧部防护件30与顶部框架22相连接，即第二容纳空间221用于对晶圆承载盒底部周向方向的整体防护，而侧部防护件30仅覆盖晶圆承载盒的一个侧部。
102.进一步的，顶部框架22的周向外表面形成一个矩形结构，此时，顶部框架22的四个周向外表面上可以均设置有第二缓冲凹槽222，如图10所示。
103.在一个实施例中，顶部框架22与顶部缓冲板21的材料相一致，例如，顶部框架22与
顶部缓冲板21可以均由聚乙烯发泡棉(pep)制备而成。
104.可选的，顶部缓冲板21的材料强度小于顶部框架22的材料强度。顶部缓冲板21主要实现对晶圆承载盒的缓冲支撑，而顶部框架22需要实现与晶圆承载盒的可靠连接，因此需要保证顶部框架22具有相对较高的强度，避免出现损坏。例如，顶部缓冲板21可以由聚乙烯发泡棉(pep)制备而成，而顶部框架22可以由保利龙(eps)制备而成。
105.需要说明的是，顶部缓冲板21和底部缓冲板11的形状可以基本一致，而顶部框架22和底部框架12的形状可以基本一致，第二容纳空间221和第一容纳空间121的大小可以根据晶圆承载盒的形状进行确定，此处不作限定。
106.本发明的包装结构，通过将侧部防护件30和底部支撑件10与顶部支撑件20相结合，可以保护晶圆不碎片，提升防护等级。而底部支撑件10与顶部支撑件20为减震缓冲结构，减震缓冲结构具有镂空和可折叠特性，进一步保证了晶圆在人工搬运过程中发生跌落时不碎片，使人员搬运晶圆时更加安全，提升了产品的安全系数。
107.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本发明旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和示例实施方式仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由所附的权利要求指出。
108.应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。