一种用于探针台的卡盘调节结构的制作方法

1.本实用新型涉及加工设备技术领域，具体为一种用于探针台的卡盘调节结构。


背景技术：

2.目前在半导体测试领域，经常会使用探针台，对晶圆或者芯片进行低温下的测试，而对晶圆或者芯片进行检测的时候，需要用到卡盘对晶圆或者芯片进行夹持和固定，的卡盘在固定工件时使用不便，夹持效果差，影响工作效率，因此，需要一种用于探针台的卡盘调节结构。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于探针台的卡盘调节结构以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘和夹持件，所述圆形卡盘的一侧设置有夹持件，所述圆形卡盘的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有液压调节结构，所述液压调节结构一端设置有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有位移件，所述位移件的一侧固定连接有调节块，所述调节块的另一侧与夹持件固定连接。
5.优选的，所述夹持件的数量为三个，三个所述夹持件以圆形卡盘的中心为圆心呈环形阵列。
6.优选的，所述圆形卡盘的中心处开设有圆形紧固槽，所述夹持件的靠近圆形紧固槽的一端开设有弧形夹板，所述弧形夹板的内壁设置有凸起防滑纹。
7.优选的，所述位移件的两侧均固定连接有位移块，所述安装槽的两侧均开设有位移槽，所述位移块与位移槽相适配。
8.优选的，所述圆形卡盘靠近夹持件的一侧开设有调节槽，所述调节块与调节槽相适配。
9.优选的，所述夹持件的表面开设有螺纹安装孔，所述螺纹安装孔的内部插接有紧固安装件，所述夹持件、调节块和位移件依次通过紧固安装件固定连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11.1、本实用新型通过夹持件、安装槽、液压调节结构、调节杆和调节块的设置，使用液压调节结构控制调节杆移动，调节杆带动位移件移动，位移件通过调节块带动夹持件移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率。
12.2、本实用新型通过弧形夹板的设置，使夹持件与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹的设置，能够提高夹持效果，通过位移块与位移槽的配合，能够提高位移件带动夹持件移动时的稳定性，通过调节槽的设置，能够防止夹持件晃动，提高夹持效果。
附图说明
13.图1为本实用新型的主视结构示意图；
14.图2为本实用新型的主视剖面结构示意图；
15.图3为本实用新型的侧视局部剖面结构示意图；
16.图4为本实用新型的位移件局部结构示意图。
17.图中：1、圆形卡盘；2、夹持件；3、安装槽；4、液压调节结构；5、调节杆；6、位移件；7、调节块；8、圆形紧固槽；9、弧形夹板；10、凸起防滑纹；11、位移块；12、位移槽；13、调节槽；14、螺纹安装孔；15、紧固安装件。
具体实施方式
18.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
19.请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘1和夹持件2，圆形卡盘1的一侧设置有夹持件2，圆形卡盘1的内部开设有安装槽3，安装槽3的内部设置有液压调节结构4，液压调节结构4一端设置有调节杆5，调节杆5的一端固定连接有位移件6，位移件6的一侧固定连接有调节块7，调节块7的另一侧与夹持件2固定连接，通过夹持件2、安装槽3、液压调节结构4、调节杆5和调节块7的设置，使用液压调节结构4控制调节杆5移动，调节杆5带动位移件6移动，位移件6通过调节块7带动夹持件2移动，从而对工件进行夹持。
20.夹持件2的数量为三个，三个夹持件2以圆形卡盘1的中心为圆心呈环形阵列，圆形卡盘1的中心处开设有圆形紧固槽8，夹持件2的靠近圆形紧固槽8的一端开设有弧形夹板9，弧形夹板9的内壁设置有凸起防滑纹10，通过弧形夹板9的设置，使夹持件2与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹10的设置，能够提高夹持效果，位移件6的两侧均固定连接有位移块11，安装槽3的两侧均开设有位移槽12，位移块11与位移槽12相适配，通过位移块11与位移槽12的配合，能够提高位移件6带动夹持件2移动时的稳定性，圆形卡盘1靠近夹持件2的一侧开设有调节槽13，调节块7与调节槽13相适配，通过调节槽13的设置，能够防止夹持件2晃动，夹持件2的表面开设有螺纹安装孔14，螺纹安装孔14的内部插接有紧固安装件15，夹持件2、调节块7和位移件6依次通过紧固安装件15固定连接，通过紧固安装件15的设置，能够将夹持件2、调节块7和位移件6三位一体进行固定。
21.在使用时，将插在圆形紧固槽8内，使用液压调节结构4控制调节杆5移动，调节杆5带动位移件6移动，位移件6通过调节块7带动夹持件2移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率，其中，通过弧形夹板9的设置，使夹持件2与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹10能够提高夹持效果。
22.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含
义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。


技术特征：
1.一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘(1)和夹持件(2)，其特征在于：所述圆形卡盘(1)的一侧设置有夹持件(2)，所述圆形卡盘(1)的内部开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)的内部设置有液压调节结构(4)，所述液压调节结构(4)一端设置有调节杆(5)，所述调节杆(5)的一端固定连接有位移件(6)，所述位移件(6)的一侧固定连接有调节块(7)，所述调节块(7)的另一侧与夹持件(2)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述夹持件(2)的数量为三个，三个所述夹持件(2)以圆形卡盘(1)的中心为圆心呈环形阵列。3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述圆形卡盘(1)的中心处开设有圆形紧固槽(8)，所述夹持件(2)的靠近圆形紧固槽(8)的一端开设有弧形夹板(9)，所述弧形夹板(9)的内壁设置有凸起防滑纹(10)。4.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述位移件(6)的两侧均固定连接有位移块(11)，所述安装槽(3)的两侧均开设有位移槽(12)，所述位移块(11)与位移槽(12)相适配。5.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述圆形卡盘(1)靠近夹持件(2)的一侧开设有调节槽(13)，所述调节块(7)与调节槽(13)相适配。6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述夹持件(2)的表面开设有螺纹安装孔(14)，所述螺纹安装孔(14)的内部插接有紧固安装件(15)，所述夹持件(2)、调节块(7)和位移件(6)依次通过紧固安装件(15)固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘和夹持件，所述圆形卡盘的一侧设置有夹持件，所述圆形卡盘的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有液压调节结构，所述液压调节结构一端设置有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有位移件，所述位移件的一侧固定连接有调节块，所述调节块的另一侧与夹持件固定连接。本实用新型通过夹持件、安装槽、液压调节结构、调节杆和调节块的设置，使用液压调节结构控制位移件移动，位移件通过调节块带动夹持件移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率，通过弧形夹板的设置，使夹持件与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹的设置，能够提高夹持效果。持效果。持效果。


技术研发人员：张子平 封桂英 冯炳东 范以栋
受保护的技术使用者：山东创谱光电科技研究院
技术研发日：2022.08.24
技术公布日：2023/2/23