一种抗腐蚀高稳定性的流量传感器及其制作方法与流程

技术特征：
1.一种抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：包含硅片和盖板；所述硅片为整个器件的衬底，作为支撑结构；所述硅片的正反面均设置有钝化层；所述硅片的正面分别设置有连接电极、测量电极和测温电极，背面设置有隔热腔体；所述连接电极用于连接信号处理系统；所述测量电极能根据流体流量感受到温度的变化从而产生阻值的变化；所述测温电极能根据周围环境温度的变化从而产生阻值的变化；所述盖板的正面设置有流体槽道，背面分别设置有与连接电极、测量电极和测温电极对应的腔室；所述硅片的正面与盖板的背面粘接在一起，且连接电极、测量电极和测温电极分别位于腔室内。2.根据权利要求1所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述硅片的正面与盖板的背面通过键合、胶粘、贴合方式粘接在一起。3.根据权利要求2所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述流体槽道保留有1um-100um厚度，用于隔离流体与流量传感器。4.根据权利要求3所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述硅片的正面通过沉积、光刻、刻蚀方法制作出连接电极、测量电极和测温电极。5.根据权利要求4所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述钝化层采用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、聚合物材料制成。6.根据权利要求5所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述盖板采用玻璃和金属材料制成。7.根据权利要求1-6任意一项所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述盖板的正反面分别通过气体干法刻蚀、湿法腐蚀、喷砂、激光刻蚀、压铸方式制作出流体槽道和腔室。8.根据权利要求1-6任意一项所述的抗腐蚀高稳定性的流量传感器，其特征在于：所述盖板的正反面分别通过激光刻蚀、湿法腐蚀、车床加工方式制作出流体槽道和腔室。9.一种抗腐蚀高稳定性的流量传感器的制作方法，其特征在于：包含以下步骤：s1制作流量传感器:先在硅片的正反面沉积钝化层，再通过沉积、光刻、刻蚀方法在硅片的正面制作出连接电极、测量电极、测温电极；s2制作盖板：在盖板的正反面分别通过刻蚀、机加工、注塑方法制作出流体槽道和腔体；s3封装:通过键合、胶粘、贴合技术将硅片的正面与盖板的背面粘接在一起，此时连接电极、测量电极和测温电极分别位于腔室内。

技术总结
本发明涉及一种抗腐蚀高稳定性的流量传感器及其制作方法，该抗腐蚀高稳定性的流量传感器包含硅片和盖板；所述硅片的正反面均设置有钝化层；所述硅片的正面分别设置有连接电极、测量电极和测温电极，背面设置有隔热腔体；所述盖板的正面设置有流体槽道，背面分别设置有与连接电极、测量电极和测温电极对应的腔室；所述硅片的正面与盖板的背面粘接在一起，且连接电极、测量电极和测温电极分别位于腔室内；本发明通过采用盖板与流量传感器封装的方法，不仅能够增加流量传感器的抗腐蚀效果，还可以增加流量传感器的耐外力冲击强度，提高传感器的可靠性。感器的可靠性。感器的可靠性。


技术研发人员：王新亮 罗芳海 雷中柱 俞骁
受保护的技术使用者：苏州司南传感科技有限公司
技术研发日：2021.08.09
技术公布日：2023/2/17