可燃气体稀释器及其方法与流程

技术特征：
1.一种可燃气体稀释器，用于将可燃气体的流稀释至低于所述可燃气体的可燃性极限的浓度，所述稀释器包括：稀释容器，其包括限定从入口到出口的纵向流动通路的外壳体；至少一个空气入口组件，用于将空气流引导到所述稀释容器的所述入口；可燃气体入口装置，其朝向所述稀释容器的入口端定位；两个气体流产生器，其被构造成将空气流泵送到所述空气入口组件中，所述两个气体流产生器位于所述可燃气体入口装置的上游；其中所述两个气体流产生器被构造成作为操作的气体流产生器和备用的气体流产生器操作，以及两个阻尼器，一个阻尼器与所述气体流产生器中的每一个相关联，所述阻尼器中的每一个安装在所述对应的气体流产生器与所述稀释容器之间，所述阻尼器构造成在被关闭时阻塞所述对应的气体流产生器与所述稀释容器之间的通路，并且在被打开时打开所述气体流产生器与所述稀释容器之间的所述通路；以及控制电路，所述控制电路被构造成控制所述阻尼器的打开和关闭，所述控制电路被构造成在所述对应的气体流产生器的操作模式期间打开所述阻尼器，并且当所述对应的气体流产生器在待机模式中停止时关闭所述阻尼器。2.根据权利要求1所述的可燃气体稀释器，所述控制电路被构造为响应于指示当前操作的气体流产生器将被停止并且当前处于待机模式的气体流产生器将被启动的信号：控制处于待机模式的所述气体流产生器启动，并且在预定延迟之后：控制与所述启动的气体流产生器相关联的所述阻尼器打开。3.根据权利要求2所述的可燃气体稀释器，其中，所述预定延迟包括在待机模式下的所述气体流产生器达到正常操作速度的至少70%的旋转速度所需的时间。4.根据权利要求2或3所述的可燃气体稀释器，所述控制电路被构造为控制与待停止的所述气体流产生器相关联的所述阻尼器在所述预定延迟之后关闭，并且控制所述气体流产生器停止。5.根据任一前述权利要求所述的可燃气体稀释器，所述控制电路被构造为响应于指示所述稀释器将启动的信号：控制与所述备用的气体流产生器相关联的所述阻尼器打开，并且控制与所述操作的气体流产生器相关联的所述阻尼器关闭，并且控制所述备用的气体流产生器启动；以及在设定的测试时间之后，控制所述操作的气体流产生器启动；以及在预定延迟之后，控制与所述操作的气体流产生器相关联的所述阻尼器打开，并且控制与所述备用的气体流产生器相关联的所述阻尼器关闭；以及控制所述备用的气体流产生器停止操作。6.一种用于对半导体处理工具中的至少一个真空腔室进行抽空的真空泵送系统，所述真空泵送系统包括：多个真空泵，用于抽空所述至少一个真空腔室；以及用于接收来自所述至少一个真空腔室中的至少一者的排气的消减系统，其中所述消减系统包括根据任何前述权利要求所述的可燃气体稀释器。7.根据权利要求6所述的真空泵送系统，其中，所述半导体处理工具包括极紫外光刻工
具，并且所述可燃气体包括氢气。8.根据权利要求6或7所述的真空泵送系统，还包括用于容纳所述多个泵的外壳；以及用于从所述外壳接收空气的空气流动管道；所述空气流动管道与所述至少一个空气入口组件流体连通，以用于将所述空气供应至所述可燃气体稀释器，从而使得空气响应于所述气体流产生器中的至少一个气体流产生器的操作而沿着所述空气管道流动通过所述外壳并进入所述稀释器。9.一种控制两个气体流产生器的操作的方法，所述气体流产生器用于将气体流供应至根据任何前述权利要求所述的可燃气体稀释器，所述方法包括控制当前处于待机模式的所述两个气体流产生器中的第一气体流产生器启动，同时将所述第一气体流产生器和所述稀释容器之间的所述阻尼器保持在关闭位置；在预定延迟之后：控制与所述第一气体流产生器相关联的所述阻尼器打开。10.根据权利要求9所述的方法，所述方法还包括：控制与待停止的所述第二气体流产生器相关联的所述阻尼器在所述预定延迟之后关闭；以及控制所述第二气体流产生器停止。11.根据权利要求9或10中任一项所述的方法，所述方法包括响应于指示所述稀释器将启动的信号：控制与所述备用的气体流产生器相关联的所述阻尼器打开，并且控制与所述操作的气体流产生器相关联的所述阻尼器关闭；控制所述备用的气体流产生器启动；以及在设定的测试时间之后，控制所述操作的气体流产生器启动；以及在预定延迟之后，控制与所述操作的气体流产生器相关联的所述阻尼器打开；控制与所述备用的气体流产生器相关联的所述阻尼器关闭；以及控制所述备用的气体流产生器停止操作。

技术总结
公开了一种可燃气体稀释器(5)，用于可靠地将可燃气体流稀释到可燃气体的可燃性极限以下的浓度。稀释器(105)包括：稀释容器(10)，其包括限定从入口(11)到出口(12)的纵向流动通路的外壳体；至少一个空气入口(16、17)组件，用于将空气流引导到稀释容器(10)的入口(11)中；可燃气体入口(15)装置，其朝向稀释容器(10)的入口(11)端定位；两个气体流产生器，其被构造为将空气流泵送到空气入口(16、17)组件中，两个气体流产生器位于可燃气体入口(15)装置的上游。两个气体流产生器被构造为作为操作气体流产生器和备用气体流产生器操作，可燃气体稀释器(10)包括两个阻尼器(16A、17A)，一个阻尼器(16A、17A)与每个气体流产生器相关联，每个所述阻尼器(16A)安装在对应的气体流产生器与稀释容器(10)之间。阻尼器(16A、17A)被构造为当被关闭时阻塞所述对应的气体流产生器与所述稀释容器(10)之间的通路，并且在被打开时打开所述气体流产生器与所述稀释容器(10)之间的所述通路；以及控制电路(80)，所述控制电路被构造成控制所述阻尼器(16A)的打开和关闭，所述控制电路(80)被构造成在所述对应的气体流产生器的操作模式期间打开所述阻尼器(16A、17A)，并且当所述对应的气体流产生器在待机模式中停止时关闭所述阻尼器(16A、17A)。17A)。17A)。


技术研发人员：J
受保护的技术使用者：爱德华兹有限公司
技术研发日：2021.06.07
技术公布日：2023/1/31