一种晶圆料盘的定位搬运装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工领域，特别是一种晶圆料盘的定位搬运装置。


背景技术：

2.在晶圆的加工工序中，需要将晶圆放置在承载台中心，因此需要进行对中操作。目前的晶圆对中方法为，将晶圆放置在承载台上，通过多个图像采集装置获取晶圆和承载台的多个视角的图像，并与基准图像作比对，从而计算偏差，控制取片装置将晶圆调整至基准位置。
3.但是，目前的对中方法存在以下问题：每一次放置晶圆都需要获取晶圆多个视角的图像，并与基准图像作比对，操作比较繁琐；并且，获取晶圆多个视角的图像即需要在多个角度设置图像采集装置，对于尺寸较小的晶圆，多个图像采集装置在空间中的分布相对密集，步骤过于繁琐，故在晶圆搬运的过程中需要对晶圆先进行定位，方便后期对晶圆的精确加工。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种晶圆料盘的定位搬运装置。
5.实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种晶圆料盘的定位搬运装置，包括安装板，所述安装板上固定安装有滑移机构，所述滑移机构上通过滑块安装有料盘搬运机构，所述滑移机构的一侧设置有料盘定位机构，所述料盘定位机构上的若干同步推进机构之间的中心位置设置有料盘吸附机构，所述料盘定位机构和所述料盘吸附机构均固定安装在所述安装板上。
6.作为对本实用新型的进一步说明，所述滑移机构包括固定安装在所述安装板上的传送带结构，所述传送带结构的一端连接有传送电机，所述传送电机和所述传送带通过安装板件固定安装在所述安装板上。
7.作为对本实用新型的进一步说明，所述料盘搬运机构包括安装在传送带上的滑块，所述滑块上固定安装有支撑板，所述支撑板上贯穿安装有支杆，所述支杆上位于支撑板一侧的位置固定安装有内夹爪，所述支杆上远离支撑板的一端固定安装有外夹爪。
8.作为对本实用新型的进一步说明，所述同步推进机构包括固定安装在所述安装板上的l形固定件，所述l形固定件上固定安装有竖向位移模组，所述竖向位移模组通过竖向滑块固定安装有横向位移模组，所述横向位移模组通过横向滑块固定安装有定位推板。
9.作为对本实用新型的进一步说明，所述同步推进机构到所述料盘吸附机构的距离相同。
10.作为对本实用新型的进一步说明，所述料盘吸附机构包括定位板，所述定位板上固定安装有吸气升降机构，所述吸气升降机构通过滑移组件固定连接吸孔盘。
11.其有益效果在于，本实用新型在晶圆的搬运过程中，增加了料盘吸附机构和料盘定位机构，保证料盘在搬运过程中可以被稳稳的吸附固定住，再通过料盘定位机构上的同
步推进机构将定位推板缓慢向圆心推进，保证料盘被定位到圆心的位置，可以很好的保证被搬运后料盘的位置可以被精准加工，同时也避免了在搬运过程中需要通过多个图像采集装置获取晶圆和承载台的多个视角的图像，并与基准图像作比对，极大的简化了精准加工的工作，提升了整体的工作效率。
附图说明
12.图1是本实用新型的结构示意图；
13.图2是本实用新型的另一结构示意图。
14.图中，1、安装板；2、滑移机构；3、料盘搬运机构；4、料盘定位机构；5、同步推进机构；6、料盘吸附机构；7、传送带结构；8、传送电机；9、支撑板；10、支杆；11、内夹爪；12、外夹爪；13、l形固定件；14、竖向位移模组；15、横向位移模组；16、定位推板；17、定位板；18、吸气升降机构；19、吸孔盘。
具体实施方式
15.下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如图1-2所示，一种晶圆料盘的定位搬运装置，包括安装板1，安装板1上固定安装有滑移机构2，滑移机构2上通过滑块安装有料盘搬运机构3，滑移机构2的一侧设置有料盘定位机构4，料盘定位机构4上的若干同步推进机构5之间的中心位置设置有料盘吸附机构6，料盘定位机构4和料盘吸附机构6均固定安装在安装板1上。料盘搬运机构3将料盘搬运到料盘吸附机构6的上方，料盘吸附机构6上升将料盘固定吸附住后，料盘定位机构4通过同步推进机构5的共同推进，对料盘进行位置的精确调整，料盘吸附机构6通过吸气升降机构18进行顶升后停止吸附，料盘搬运机构3带着料盘到下一工位进行加工，料盘吸附机构6降到原有高度。
16.料盘搬运机构3包括安装在传送带上的滑块，滑块上固定安装有支撑板9，支撑板9上贯穿安装有支杆10，支杆10上位于支撑板9一侧的位置固定安装有内夹爪11，支杆10上远离支撑板9的一端固定安装有外夹爪12。料盘搬运机构3将料盘搬运到料盘吸附机构6上，待料盘定位机构4对料盘的位置完成精确定位后，料盘搬运机构3再将料盘搬运到下一个工位。
17.同步推进机构5包括固定安装在安装板1上的l形固定件13，l形固定件13上固定安装有竖向位移模组14，竖向位移模组14通过竖向滑块固定安装有横向位移模组15，横向位移模组15通过横向滑块固定安装有定位推板16，同步推进机构5到料盘吸附机构6的距离相同。同步推进机构5通过驱动竖向位移模组14调整定位推板16的高度与料盘吸附机构6上的料盘相同，再通过驱动横向位移模组15将定位推板16缓慢向内推进，使得定位推板16将料盘的中心固定在料盘吸附机构6的中心位置。
18.滑移机构2包括固定安装在安装板1上的传送带结构7，传送带结构7的一端连接有传送电机8，传送电机8和传送带通过安装板1件固定安装在安装板1上。通过滑移机构2带动料盘搬运机构3进行移动，进而转移料盘搬运机构3上的料盘。
19.料盘吸附机构6包括定位板17，定位板17上固定安装有吸气升降机构18，吸气升降机构18通过滑移组件固定连接吸孔盘19，吸气升降机构18再料盘被搬运过来的时候上升将料盘吸附住，在料盘被定位完成后，去掉吸附力，下降到原来的位置。
20.上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆料盘的定位搬运装置，其特征在于，包括安装板(1)，所述安装板(1)上固定安装有滑移机构(2)，所述滑移机构(2)上通过滑块安装有料盘搬运机构(3)，所述滑移机构(2)的一侧设置有料盘定位机构(4)，所述料盘定位机构(4)上的若干同步推进机构(5)之间的中心位置设置有料盘吸附机构(6)，所述料盘定位机构(4)和所述料盘吸附机构(6)均固定安装在所述安装板(1)上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆料盘的定位搬运装置，其特征在于，所述滑移机构(2)包括固定安装在所述安装板(1)上的传送带结构(7)，所述传送带结构(7)的一端连接有传送电机(8)，所述传送电机(8)和所述传送带通过安装板(1)件固定安装在所述安装板(1)上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆料盘的定位搬运装置，其特征在于，所述料盘搬运机构(3)包括安装在传送带上的滑块，所述滑块上固定安装有支撑板(9)，所述支撑板(9)上贯穿安装有支杆(10)，所述支杆(10)上位于支撑板(9)一侧的位置固定安装有内夹爪(11)，所述支杆(10)上远离支撑板(9)的一端固定安装有外夹爪(12)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆料盘的定位搬运装置，其特征在于，所述同步推进机构(5)包括固定安装在所述安装板(1)上的l形固定件(13)，所述l形固定件(13)上固定安装有竖向位移模组(14)，所述竖向位移模组(14)通过竖向滑块固定安装有横向位移模组(15)，所述横向位移模组(15)通过横向滑块固定安装有定位推板(16)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆料盘的定位搬运装置，其特征在于，所述同步推进机构(5)到所述料盘吸附机构(6)的距离相同。6.根据权利要求1所述的一种晶圆料盘的定位搬运装置，其特征在于，所述料盘吸附机构(6)包括定位板(17)，所述定位板(17)上固定安装有吸气升降机构(18)，所述吸气升降机构(18)通过滑移组件固定连接吸孔盘(19)。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆料盘的定位搬运装置，包括安装板，安装板上固定安装有滑移机构，滑移机构上通过滑块安装有料盘搬运机构，滑移机构的一侧设置有料盘定位机构，料盘定位机构上的若干同步推进机构之间的中心位置设置有料盘吸附机构，料盘定位机构和料盘吸附机构均固定安装在安装板上。有益效果是，在晶圆的搬运过程中，增加了料盘吸附机构和料盘定位机构，保证料盘在搬运过程中可以被稳稳的吸附固定住，再通过料盘定位机构上的同步推进机构将定位推板缓慢向圆心推进，可以很好的保证被搬运后料盘的位置可以被精准加工，同时也避免了在搬运过程中需要通过多个图像采集装置获取晶圆和承载台的多个视角的图像，提升了整体的工作效率。整体的工作效率。整体的工作效率。


技术研发人员：杨杰 蒋君
受保护的技术使用者：拓思精工科技（苏州）有限公司
技术研发日：2022.09.29
技术公布日：2023/2/10