压电器件的制作方法

技术特征：
1.一种压电器件，具备：基部，其包括一个主面和位于与该一个主面相反的一侧的另一个主面，且具有在所述一个主面形成的开口部；以及层叠部，其层叠在所述基部的所述一个主面侧，从上方覆盖所述开口部，所述层叠部至少在所述开口部的上方包括第一单晶压电体层、配置在该第一单晶压电体层的上方的第二单晶压电体层、配置在所述第一单晶压电体层与所述第二单晶压电体层之间的中间电极层、配置在所述第一单晶压电体层的下侧并隔着所述第一单晶压电体层而与所述中间电极层相对的下部电极层、以及配置在所述第二单晶压电体层的上侧并隔着所述第二单晶压电体层而与所述中间电极层相对的上部电极层，且具有作为覆盖所述开口部的部分的膜片部，从与所述一个主面正交的方向观察，在所述层叠部中，在所述开口部的外侧的位置，形成有贯通所述第一单晶压电体层、所述中间电极层及所述第二单晶压电体层而到达所述下部电极层的孔部，在所述孔部的内侧设置有引出电极，该引出电极与所述中间电极层绝缘的同时与所述下部电极层连接，并且引出到所述第二单晶压电体层的上表面上，所述第一单晶压电体层由在极化电荷的正侧和负侧产生蚀刻速率差的材料构成，所述第一单晶压电体层的极化电荷在中间电极层侧为正，在下部电极层侧为负。2.根据权利要求1所述的压电器件，其中，所述中间电极层的厚度比所述下部电极层和所述上部电极层各自的厚度厚。3.根据权利要求1或2所述的压电器件，其中，所述中间电极层由si构成。4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电器件，其中，所述第二单晶压电体层由在极化电荷的正侧和负侧产生蚀刻速率差的材料构成，所述第二单晶压电体层的极化电荷在中间电极层侧为正，在上部电极层侧为负。5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电器件，其中，所述第一单晶压电体层和所述第二单晶压电体层各自由铌酸锂(linbo3)或者钽酸锂(litao3)构成。6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电器件，其中，所述下部电极层和所述中间电极层中的至少一者由导电性氧化物构成。7.根据权利要求1至5中任一项所述的压电器件，其中，所述下部电极层和所述上部电极层中的至少一者为外延生长膜。8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电器件，其中，在所述下部电极层中的位于所述孔部的下方的部分的下侧设置有增强用下部电极层。

技术总结
层叠部(120)至少在开口部(113)的上方包括第一单晶压电体层(130)、第二单晶压电体层(140)、中间电极层(150)、下部电极层(160)和上部电极层(170)。第一单晶压电体层(130)由在极化电荷的正侧和负侧产生蚀刻速率差的材料构成。第一单晶压电体层(130)的极化电荷在中间电极层(150)侧为正，在下部电极层(160)侧为负。负。负。


技术研发人员：茶谷宗人
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2023/1/31