薄膜特性测量设备的制作方法

技术特征：
1.一种薄膜特性测量设备，所述薄膜特性测量设备用于测量对象的薄膜的厚度或宽度，所述薄膜特性测量设备包括：光源，所述光源由超发光二极管sld构造；第一反射镜，所述第一反射镜反射从所述光源照射的光线；第一致动器，所述第一致动器使所述第一反射镜在预定角度范围内往复运动和倾斜；以及透镜组件，所述透镜组件包括多个透镜，并且在所述透镜组件中由所述第一反射镜反射的光线被入射和透射，其中，所述透镜组件被构造成使得透射穿过所述透镜组件的光线的主光线与光轴之间的角度等于或小于入射在所述透镜组件上的光线的主光线与所述光轴之间的角度。2.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，其中，当入射在所述透镜组件上的所述光线的所述主光线与所述光轴之间的所述角度为0
°
至3.7
°
时，透射穿过所述透镜组件的所述光线的所述主光线与所述光轴之间的所述角度为0
°
至0.1
°
。3.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，其中，从所述光源照射的所述光线具有800nm至900nm的中心波长和100nm至200nm的带宽。4.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，其中，所述光源包括输送光线的光纤，并且所述光纤具有10μm或更小的直径和0.3或更小的数值孔径na。5.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，其中，所述光源包括输送光线的光纤，并且所述薄膜特性测量设备还包括定位在所述光源和所述第一反射镜之间的准直器，并且所述准直器的数值孔径na大于所述光纤的数值孔径na。6.根据权利要求5所述的薄膜特性测量设备，其中，所述光纤具有10μm或更小的直径，并且穿过所述准直器的光线的尺寸为50μm至200μm，所述尺寸为直径。7.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，其中，入射在所述透镜组件上的所述光线的所述主光线之间的所述角度由所述第一致动器控制。8.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，其中，所述第一反射镜的中心定位在所述透镜组件的所述光轴的延伸线上。9.根据权利要求1所述的薄膜特性测量设备，所述薄膜特性测量设备还包括：第二反射镜，所述第二反射镜反射由所述第一反射镜反射的光线；以及第二致动器，所述第二致动器使所述第二反射镜在预定角度范围内往复运动和倾斜，其中，由所述第二反射镜反射的所述光线入射在所述透镜组件上。10.根据权利要求9所述的薄膜特性测量设备，所述薄膜特性测量设备还包括：第一透明板，从所述光源照射的光线透射穿过所述第一透明板；第三致动器，所述第三致动器使所述第一透明板在预定角度范围内往复运动和倾斜；第二透明板，透射穿过所述第一透明板的所述光线透射穿过所述第二透明板；以及第四致动器，所述第四致动器使所述第二透明板在预定角度范围内往复运动和倾斜，其中，所述第一透明板的倾斜轴与所述第二透明板的倾斜轴彼此不同，并且
透射穿过所述第二透明板的光线被所述第一反射镜和所述第二反射镜折射，然后入射在所述透镜组件上。11.一种薄膜特性测量设备，所述薄膜特性测量设备用于测量对象的薄膜的厚度或宽度，所述薄膜特性测量设备包括：光源，所述光源由超发光二极管sld构造；第一反射镜，所述第一反射镜反射从所述光源照射的光线；第一致动器，所述第一致动器使所述第一反射镜在预定角度范围内往复运动和倾斜；以及透镜组件，所述透镜组件包括多个透镜，并且在所述透镜组件中由所述第一反射镜反射的光线被入射和透射，其中，所述透镜组件包括：第一透镜，所述第一透镜由发散透镜构造；第二透镜，所述第二透镜设置在所述第一透镜后面，并且由会聚透镜构造；第三透镜，所述第三透镜设置在所述第一透镜前面，并且由会聚透镜构造；第四透镜，所述第四透镜设置在所述第三透镜与所述第一透镜之间，并且由会聚透镜构造；以及第五透镜，所述第五透镜设置在所述第三透镜与所述第一透镜之间，并且由发散透镜构造。12.根据权利要求11所述的薄膜特性测量设备，其中，所述透镜组件还包括第六透镜，所述第六透镜设置在所述第五透镜和所述第一透镜之间，并且由会聚透镜构造，并且所述第四透镜设置在所述第五透镜前面。13.根据权利要求12所述的薄膜特性测量设备，其中，当入射在所述透镜组件上的光线的主光线与光轴之间的角度为0
°
至3.7
°
时，透射穿过所述透镜组件的光线的主光线与所述光轴之间的角度为0
°
至0.1
°
。14.根据权利要求12所述的薄膜特性测量设备，其中，为所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜和所述第六透镜的焦距的总和的fl1比为所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜和所述第一透镜的焦距的总和的fl2短，并且所述第二透镜的焦距fl3比所述fl1长并且比所述fl2短。15.根据权利要求12所述的薄膜特性测量设备，其中，当由平行于所述透镜组件的光轴的入射在所述第三透镜上的光线形成的区域的直径为d1时，在透射穿过所述透镜组件的光线接触所述对象的表面时形成的区域的直径为d2，所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜和所述第一透镜的焦距的总和为fl2，并且所述第二透镜的焦距为fl3，fl3/fl2的值在d2/d1的值的
±
10％的范围内。16.根据权利要求12所述的薄膜特性测量设备，其中，当所述第一反射镜与所述第三透镜之间的距离为l1时，并且所述第二透镜和所述对象之间的距离为l2，所述l1和所述l2是20mm或更大，并且
所述透镜组件的有效焦距为85mm。17.根据权利要求12所述的薄膜特性测量设备，其中，所述第一透镜是非对称双凹透镜，所述第二透镜是平凸透镜，所述第三透镜是正弯月透镜，所述第四透镜是非对称双凸透镜，所述第五透镜是平凹透镜，并且所述第六透镜是非对称双凸透镜。18.根据权利要求11所述的薄膜特性测量设备，其中，所述薄膜特性测量设备包括：准直器，所述准直器定位在所述光源与所述第一反射镜之间，以及壳体，所述透镜组件和所述第一致动器被固定到所述壳体，并且所述壳体容纳所述第一反射镜，并且朝向所述准直器打开。19.根据权利要求18所述的薄膜特性测量设备，其中，在所述第一致动器中形成有多个散热翅片。20.根据权利要求11所述的薄膜特性测量设备，其中，所述薄膜特性测量设备还包括：衍射光学元件，所述衍射光学元件定位在所述光源与所述透镜组件之间。

技术总结
公开了一种薄膜特性测量设备，其用于测量待被检查物体的薄膜的厚度或宽度。薄膜特性测量设备包括光源、第一反射镜、第一致动器和透镜组件。透镜组件形成为使得由光轴和透射穿过透镜组件的光线的主光线形成的角度小于或等于由光轴和入射到透镜组件的光线的主光线形成的角度。光源可以包括超发光二极管(SLD)。提供了薄膜特性测量设备、方法等，该薄膜特性测量设备使得透射穿过透镜组件的光能够在待被检查物体的入射表面上往复运动，同时第一反射镜在预定角度范围内反复地倾斜，并且因此可以准确地测量相对大的区域以及可以不同地控制待被测量的位置。待被测量的位置。待被测量的位置。


技术研发人员：朴准 安世源 丁润琡
受保护的技术使用者：LG电子株式会社
技术研发日：2020.06.01
技术公布日：2023/2/3