一种基于电信号叠加的物料定位检测装置及方法与流程

技术特征：
1.一种基于电信号叠加的物料定位检测装置，所述装置包括直流电压源、信号线、电信号检测单元、开关、电阻及解码器，直流电压源和电信号检测单元连接信号线，电信号检测单元输出连接解码器，其特征在于，在传送片装置中的每个承载盘架上设置一个开关，承载盘放置和离开承载盘架时触发所述开关动作；每个开关配套一个电阻，组成编码单元；信号线连接编码单元；所述解码器中设置解码电路，根据电信号检测单元的输出，判断各承载盘架上是否放置承载盘；所述电阻的阻值满足以下条件：每个电阻的阻值及任意两个或两个以上的电阻阻值之和，都是不同的数值。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述编码单元中，开关和电阻串联连接，编码单元经信号线并联连接。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述编码单元中，开关和电阻并联连接，编码单元经信号线串联连接，所述信号线上串联一个保护电阻。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述解码电路包括mcu。5.一种基于电信号叠加的物料定位检测方法，基于权利要求1-4任一所述的基于电信号叠加的物料定位检测装置实现，其特征在于，电阻设置，最小电阻为r；设置n个编码单元，第i个编码单元中的电阻阻值r
i
=2
i-1
*r，其中，1≤i≤n；将编码单元设置在承载盘架上并连接信号线；设直流电压源的输出电压为u；如果编码单元经信号线并联连接，所述方法包括：计算编码单元电流i
i
=u/r
i
；计算从0开始，2
n
种组合方式下电流的和，并存储在mcu的电流数据表中；mcu获取电信号检测单元输出的电流值ic，与电流数据表中的数值作比较，得到电流数据表中对应该ic的组合方式，输出检测结果；如果编码单元经信号线串联连接，所述方法包括：计算从0开始，2
n
种组合方式下电阻的和，并存储在mcu的电阻数据表中；mcu获取电信号检测单元输出的电流值ic，计算得出总电阻rs，设保护电阻的阻值为rp，计算rc=rs-rp，rc与电阻数据表中的数值作比较，得到电阻数据表中对应该rc的组合方式，输出检测结果。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，n≤10。7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编码单元中电阻的最大允许误差x满足：。8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编码单元中电阻阻值范围为：100ω
‑‑
1mω。

技术总结
一种基于电信号叠加的物料定位检测装置及方法，属于半导体制造设备领域，所述装置包括直流电压源、信号线、电信号检测单元、开关、电阻及解码器，每个开关配套一个电阻，组成编码单元，信号线连接编码单元；所述方法为获取信号线的输出电流，根据输出电流进行逆向解码，判断各承载盘架上是否放置承载盘。采用本发明提出的技术方案，最低只需2根导线实现多个位置的检测；简化承载盘架的设计安装，减少出入真空腔室的信号线数量，结构简单，降低了设备后期该部分的故障率和维修难度，可提高修复速度，缩短设备宕机时长；在检测点数量较多时，本发明具备扩展应用功能，可以增加被检测承载盘数量，保证检测的可靠性，满足设备设计研制或改造需求。研制或改造需求。研制或改造需求。


技术研发人员：赵英伟 郝晓亮 张文朋 程壹涛 文黎波 吴爱华 吴海
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2022.11.03
技术公布日：2023/2/3