验证掩模设计的自由曲线特征的制作方法

技术特征：
1.一种非暂时性计算机可读介质，在所述非暂时性计算机可读介质上具有指令所述指令在由计算机执行时使得所述计算机：确定掩模设计的特征的局部形状；和基于所述局部形状确定是否存在所述特征对验证准则的违反，其中所述验证准则指定图案特性的阈值与局部形状之间的对应关系。2.根据权利要求1所述的介质，其中，所述局部形状包括所述特征的区段上的单独的部位的局部曲率。3.根据权利要求2所述的介质，其中，确定所述局部曲率包括对单独的区段执行曲线拟合、和/或确定单独的区段的局部角度偏差。4.根据权利要求2所述的介质，其中，所述图案特性的所述阈值包括间距阈值，并且其中所述验证准则将所述间距阈值指定为所述局部曲率的函数。5.根据权利要求2所述的介质，其中，所述指令还被配置成使计算机将类似的局部曲率分成组，并且针对不同组确定不同验证准则。6.根据权利要求2所述的介质，其中，所述指令还被配置成使计算机识别特征上的两个部位或不同特征上的两个部位、以及基于所述部位的局部曲率确定所述图案特性的在所述两个部位之间的所述阈值。7.根据权利要求6所述的介质，其中所述图案特性的在所述两个部位之间的所述阈值包括间距阈值，并且其中确定所述两个部位之间的所述间距阈值包括：基于第一部位的局部曲率确定第一阈值；基于第二部位的局部曲率确定第二阈值；和/或确定所述第一阈值与所述第二阈值的加权组合。8.根据权利要求1所述的介质，其中，所述图案特性包括最小线宽、临界尺寸、或弯曲形状之间的最小间距。9.根据权利要求1所述的介质，其中，所述掩模设计的所述特征是自由曲线掩模特征。10.根据权利要求1所述的介质，其中，所述指令还被配置成响应于所述特征对所述验证准则的违反而使计算机基于所述违反来调整所述特征。11.根据权利要求10所述的介质，其中，所述违反是由以下操作来检测的：(1)确定所述特征的尺寸、所述特征的形状、所述掩模设计中的所述特征的部位、和/或所述掩模设计中的所述特征相对于其它特征的位置；以及(2)将所述特征的所述尺寸、所述特征的所述形状、所述掩模设计中的所述特征的所述部位、和/或所述掩模设计中的所述特征相对于其它特征的位置与所述验证准则的对应阈值进行比较。12.根据权利要求10所述的介质，其中，所述调整包括改变所述特征的尺寸、所述特征的形状、所述掩模设计中的所述特征的部位、和/或所述掩模设计中的所述特征相对于其它特征的位置。13.根据权利要求10所述的介质，其中，所述调整包括识别所述特征的两个或更多个相关的单独的区段、确定所述两个或更多个相关的单独的区段中的哪个区段或哪些区段待调整、以及确定对所述两个或更多个相关的单独的区段中的每个区段的调整程度。14.根据权利要求13所述的介质，其中，基于对所述两个或更多个相关的单独的区段中的单独的区段的调整减去或排除对应的违反的程度，确定调整所述两个或更多个相关的单
独的区段中的哪个区段或哪些区段，以及对给定区段的调整程度。15.根据权利要求14所述的介质，其中，所述调整包括一个或更多个惩罚调整，所述一个或更多个惩罚调整包括对所述两个或更多个相关的单独的区段中的每个区段的相等调整、对所述两个或更多个相关的单独的区段中的仅一个区段的调整，或对所述两个或更多个相关的单独的区段中的每个区段的不相等调整。

技术总结
描述了一种用于验证掩模设计的特征的方法。所述方法包括：确定所述特征的局部形状；和基于所述局部形状确定是否存在所述特征对验证准则的违反。所述验证准则指定图案特性的阈值与局部形状之间的对应关系。例如，所述掩模设计的所述特征可以是自由曲线掩模特征。所述局部形状可以包括所述特征的区段上的单独的部位的局部曲率。在一些实施例中，所述图案特性的所述阈值是间距阈值，并且所述验证准则将所述间距阈值指定为所述局部曲率的函数。所述方法可以促成实现增强型掩模规则检查(MRC)，包括针对自由曲线掩模的MRC准则的更优定义和验证，和/或具有其它优势。和/或具有其它优势。和/或具有其它优势。


技术研发人员：艾曼
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2021.05.13
技术公布日：2023/1/31