量测辐射系统中的高压和真空水平传感器的制作方法

技术特征：
1.一种用于测量极紫外(euv)辐射系统中的辐射燃料的燃料填充水平的方法，所述方法包括：以预定入射角，引导检查射束通过所述辐射燃料的顶部表面处的燃料箱观察端口；在与所述观察端口相邻定位的传感器处，接收所述检查射束的由所述辐射燃料的所述顶部表面反射的一部分；确定所述检查射束的传输位置的传输坐标；确定所述检查射束的所接收的一部分的接收位置的接收坐标；测量所述接收坐标与所述传输坐标之间的距离；以及基于所测量的距离，计算所述燃料箱中的所述辐射燃料的所述填充水平。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述检查射束在多个照射点处被引导，并且所述计算基于具有最高信号强度的一个或多个反射。3.根据权利要求1所述的方法，还包括：向第一上游箱传输信号，所述信号指示所计算的填充水平，所述第一上游箱向所述燃料箱供应所述辐射燃料。4.根据权利要求3所述的方法，其中所传输的信号还包括对所述第一上游箱的维持动作过程命令，所述维持动作过程命令用于响应于所述填充水平在预定阈值内而维持动作过程。5.根据权利要求3所述的方法，还包括：向第二上游箱传输第二信号，所述第二信号指示所计算的填充水平，所述第二上游箱向所述第一上游箱供应所述辐射燃料，所述第二上游箱被配置为收集所述辐射燃料并且将所述辐射燃料加热到预定温度。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述辐射燃料是锡(sn)，并且其中传输所述第二信号还包括：传输用于供应所述锡的时间参数，所述时间参数把加热所述锡所需的时间考虑在内。7.根据权利要求5所述的方法，其中所述第二信号还指令所述第二上游箱将所收集和加热的辐射燃料供应到所述第一上游箱。8.根据权利要求7所述的方法，还包括：测量正在被加热的辐射燃料的量；以及向所述传感器传输所测量的量，所测量的量指示达到所述euv辐射系统的所述燃料供给水平的辐射燃料的量。9.根据权利要求3所述的方法，还包括：对来自所述一个或多个反射的另一反射信号进行处理，所述另一反射信号的强度比具有最高信号强度的所述一个或多个反射的强度低；以及生成操作员消息，所述消息指示与所述观察端口相关联的污染水平。10.根据权利要求1所述的方法，还包括：响应于所述燃料箱被定位在与竖直位置的角度偏差处，测量所述检查射束的从箱壁接收的一部分检查射束的箱光强度反射，所述箱光强度反射指示所述箱中的燃料水平；以及测量来自所述燃料箱中的所述燃料的燃料光强度反射，所述燃料光强度反射指示所述燃料的纯度水平。
11.一种用于测量极紫外(euv)辐射系统中的辐射燃料的燃料填充水平的测量设备，所述测量设备定位成与燃料箱观察端口相邻，所述测量设备包括：传输器，被配置为以预定入射角引导检查射束通过所述辐射燃料的顶部表面处的所述燃料箱观察端口；接收器，被配置为接收所述检查射束的由所述辐射燃料的所述顶部表面反射的一部分；以及处理电路系统，被配置为确定所述检查射束的传输位置的传输坐标；确定所述检查射束的所接收的一部分的接收位置的接收坐标；测量所述接收坐标与所述传输坐标之间的距离；以及基于所测量的距离，计算所述燃料箱中的所述辐射燃料的填充水平。12.根据权利要求11所述的测量设备，其中所述检查射束在多个照射点处被引导，并且所述计算基于具有最高信号强度的一个或多个反射。13.根据权利要求11所述的测量设备，其中所述处理电路系统还被配置为向第一上游箱传输信号，所述信号指示所计算的填充水平，所述第一上游箱向所述燃料箱供应所述辐射燃料。14.根据权利要求13所述的测量设备，其中所传输的信号还包括对所述第一上游箱的维持动作过程命令，所述维持动作过程命令用于响应于所述填充水平在预定阈值内而维持动作过程。15.根据权利要求13所述的测量设备，其中所述处理电路系统还被配置为向第二上游箱传输第二信号，所述第二信号指示所计算的填充水平，所述第二上游箱向所述第一上游箱供应所述辐射燃料，所述第二上游箱是被配置为收集所述辐射燃料、并且将所述辐射燃料加热到预定温度的箱。16.根据权利要求15所述的测量设备，其中所述辐射燃料是锡(sn)，并且所述处理电路系统还被配置为在所述第二信号内传输用于供应所述锡的时间参数，所述时间参数把加热所述锡所需的时间考虑在内。17.根据权利要求15所述的测量设备，其中所述第二信号还指令所述第二上游箱将所收集和加热的辐射燃料供应到所述第一上游箱。18.根据权利要求17所述的测量设备，其中所述处理电路系统还被配置为：从与所述第二上游箱相关联的传感器，接收正在被加热并供应到所述第一上游箱的所测量的量的辐射燃料；更新测量结果，所述测量结果指示达到所述euv辐射系统的所述燃料填充水平的辐射燃料的量；以及计算所加热的辐射燃料预计到达所述燃料箱的时间间隔。19.根据权利要求13所述的测量设备，其中所述处理电路系统还被配置为：对来自所述一个或多个反射的另一反射信号进行处理，所述另一反射信号的强度比具有最高信号强度的所述一个或多个反射的强度低；以及生成操作员消息，所述消息指示与所述观察端口相关联的污染水平。20.根据权利要求11所述的测量设备，其中所述处理电路系统还被配置为：
响应于所述燃料箱被定位成与竖直位置成角度偏差，测量来自箱壁的箱光强度反射，所述箱光强度反射指示所述燃料箱中的燃料水平；以及测量来自所述燃料箱中的所述燃料的燃料光强度反射，所述燃料光强度反射指示所述燃料的纯度水平。21.一种用于测量极紫外(euv)辐射系统中的辐射燃料的燃料填充水平的测量设备，所述测量设备位于燃料箱内，所述测量设备包括：测量传感器，包括：多个探针，在所述燃料箱内延伸，所述多个探针中的每个探针被配置为响应于与所述辐射燃料接触而生成信号，其中所述多个探针通过多个气密高压密封件连接到所述燃料箱；以及控制器，包括处理电路系统，所述控制器被配置为：响应于接收到一个或多个所生成的信号，计算所述燃料箱内的燃料填充水平，生成输出信号，所述输出信号指示所计算的填充水平，以及将所述输出信号传输到至少另一控制器。22.根据权利要求21所述的测量设备，其中所述至少另一控制器是与向所述燃料箱供应所述辐射燃料的第一上游箱相关联的第一上游控制器。23.根据权利要求22所述的测量设备，其中所传输的输出信号包括对所述第一上游控制器的维持动作过程命令，所述维持动作过程命令用于响应于所述填充水平在预定阈值内而维持供给动作过程。24.根据权利要求22所述的测量设备，其中所述控制器还配置为向第二上游控制器传输第二信号，所述第二信号指示所计算的填充水平，所述第二上游控制器与向所述第一上游箱供应所述辐射燃料的第二上游箱相关联，所述第二上游箱是被配置为收集所述辐射燃料并且将所述辐射燃料加热到预定温度的箱。25.根据权利要求24所述的测量设备，其中所述辐射燃料是锡(sn)，并且所述控制器还被配置为在所述第二信号内传输时间参数，所述时间参数用于基于加热所述sn所需的时间来供应所述sn。26.根据权利要求24所述的测量设备，其中所述第二信号还指令所述第二上游控制器将所收集和加热的辐射燃料供应到所述第一上游箱。27.根据权利要求26所述的测量设备，其中所述控制器还被配置为：从所述第二上游控制器，接收正在被加热并供应到所述第一上游箱的所测量的量的辐射燃料；更新测量结果，所述测量结果指示达到所述euv辐射系统的所述燃料填充水平的辐射燃料的量；以及计算所加热的辐射燃料预计到达所述燃料箱的时间间隔。28.根据权利要求21所述的测量设备，其中所述多个探针向下延伸到所述燃料箱内的不同深度。29.根据权利要求21所述的测量设备，其中所述多个探针在不同的竖直位置处侧向延伸到所述箱中。
30.一种光刻辐射系统，包括：第一燃料箱，耦合到第一传感器设备和第一控制器；以及第二燃料箱，耦合到第二传感器设备和第二控制器，所述第二燃料箱位于燃料填充系统中的所述第一燃料箱的上游、并且向所述光刻辐射系统提供辐射燃料，所述第一控制器被配置为：计算所述第一燃料箱内的燃料填充水平，生成输出信号，所述输出信号指示所计算的填充水平，以及将所述输出信号传输到所述第二控制器。31.根据权利要求30所述的光刻辐射系统，其中所述第一传感器设备是光学传感器。32.根据权利要求31所述的光刻辐射系统，其中所述光学传感器被配置为：以预定入射角，引导检查射束通过所述辐射燃料的顶部表面处的第一箱观察端口，以及接收所述检查射束的由所述辐射的所述顶部表面反射的一部分。33.根据权利要求32所述的光刻辐射系统，其中所述光学传感器还被配置为：确定所述检查射束的传输位置的传输坐标；确定所述检查射束的所接收的一部分的接收位置的接收坐标；以及测量所述接收坐标与所述传输坐标之间的距离。34.根据权利要求33所述的光刻辐射系统，其中所述光学传感器还被配置为基于所测量的距离来计算所述燃料箱中的所述辐射燃料的填充水平。35.根据权利要求30所述的光刻辐射系统，其中所述第一传感器设备位于燃料箱内。36.根据权利要求35所述的光刻辐射系统，其中所述测量传感器包括：多个探针，在所述燃料箱内延伸，所述多个探针中的每个探针被配置为响应于与所述辐射燃料接触而生成信号。37.根据权利要求36所述的光刻辐射系统，其中所述多个探针通过多个气密高压密封件连接到所述燃料箱。38.根据权利要求35所述的光刻辐射系统，还包括：控制器，包括处理电路系统，所述控制器被配置为：响应于接收到一个或多个所生成的信号，计算所述燃料箱内的燃料填充水平，生成输出信号，所述输出信号指示所计算的填充水平；以及将所述输出信号传输到至少另一控制器。39.根据权利要求38所述的光刻辐射系统，其中所述至少另一控制器是与向所述燃料箱供应所述辐射燃料的第一上游箱相关联的第一上游控制器。40.根据权利要求39所述的光刻辐射系统，其中所传输的信号包括对所述第一上游控制器的维持过程动作命令，所述维持过程动作命令用于响应于所述填充水平在预定阈值内而维持供给动作过程。41.根据权利要求37所述的光刻辐射系统，其中所述多个探针向下延伸到所述燃料箱内的不同深度。42.根据权利要求37所述的光刻辐射系统，其中所述多个探针在不同的竖直位置处侧
向延伸到所述箱中。

技术总结
提供了用于测量极紫外(EUV)辐射系统中的辐射燃料的水平的系统、装置和方法。在一个示例中，一种用于测量燃料水平的方法包括：以预定入射角，引导检查射束通过辐射燃料的顶部表面处的燃料箱观察端口。该方法还可以包括：在与观察端口相邻定位的传感器处，接收检查射束的由辐射燃料的顶部表面反射的一部分。此外，该方法可以包括：测量与辐射燃料的顶部表面相距的距离；并且基于所测量的距离来计算燃料箱中的辐射燃料的填充水平。中的辐射燃料的填充水平。中的辐射燃料的填充水平。


技术研发人员：E
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2021.04.29
技术公布日：2023/1/31