用于检测流体中的颗粒尺寸的方法及设备与流程

技术特征：
1.一种用于使颗粒成像的系统，包含：第一成像装置，包含：透镜；和数字检测器；和激光源，配置为发射第一激光束和第二激光束，其中所述数字检测器配置为累积通过所述透镜的累积的光的强度的度量，所述累积的光从所述颗粒散射，所述累积的光包含来自所述第一激光束和所述第二激光束的光。2.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，包含：激光终结器，设置在所述第一激光束的路径和所述第二激光束的路径中，所述激光终结器配置为中断所述第一激光束和所述第二激光束的路径。3.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，包含：封装区段，具有用于接收所述颗粒的入口和用于允许所述颗粒通过出口离开所述封装区段的所述出口。4.如权利要求3所述的用于使颗粒成像的系统，包含：射束移位器，设置在所述激光源与所述封装区段之间，所述射束移位器配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位。5.如权利要求3所述的用于使颗粒成像的系统，包含：射束移位器，在所述封装区段内侧，所述射束移位器配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位。6.如权利要求3所述的用于使颗粒成像的系统，包含：射束移位器，设置在所述激光源与所述封装区段之间，所述射束移位器配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位；和聚焦透镜，设置在所述激光源和所述封装区段之间。7.如权利要求6所述的用于使颗粒成像的系统，其中所述聚焦透镜配置为使所述第二激光束与所述第一激光束偏振约90度。8.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，其中所述第二激光束从所述第一射束的方向偏移，并且所述第二激光束相对于所述第一射束的偏振由一射束移位器以约90度偏振。9.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，包含：封装区段，配置为接收所述第一激光束和所述第二激光束；第一反射器，配置为反射所述第一激光束；和激光终结器，配置为中断所述第二激光束的路径。10.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，包含：封装区段，配置为接收所述第一激光束和所述第二激光束；和激光终结器，配置为中断所述第一激光束和所述第二激光束的路径。11.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，包含：封装区段，配置为接收所述第一激光束和所述第二激光束；射束移位器，配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位；和激光终结器，配置为中断所述第二激光束的路径。
12.如权利要求1所述的用于使颗粒成像的系统，包含：射束移位器，配置为产生第二激光束并使所述第一激光束与所述第二激光束移位；其中所述第二激光束的偏振相对于第一激光束移位器的偏振旋转约90度。13.一种颗粒成像系统，包含：第一成像装置，包括：透镜；和数字检测器；封装区段，包括配置成接收颗粒的入口和配置成允许颗粒离开所述封装区段的出口；和激光源，配置为发射第一激光束和第二激光束，其中所述数字检测器配置为累积通过所述透镜的累积的光的强度的度量，所述累积的光从所述颗粒散射并且含有来自所述第一激光束和所述第二激光束的光。14.如权利要求13所述的颗粒成像系统，包含：射束移位器，设置在所述激光源与所述封装区段之间，所述射束移位器配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位。15.如权利要求13所述的颗粒成像系统，包含：射束移位器，设置在所述封装区段内侧，所述射束移位器配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位。16.如权利要求13所述的颗粒成像系统，包含：射束移位器，设置在所述激光源与所述封装区段之间，所述射束移位器配置为使所述第一激光束与所述第二激光束移位；和聚焦透镜，设置在所述激光源和所述封装区段之间。17.如权利要求1所述的颗粒成像系统，其中所述第二激光束与所述第一激光束偏振约90度。18.一种确定颗粒尺寸的方法，包含以下步骤：从激光源发射第一激光束和第二激光束；将所述第二激光束与所述第一激光束分开一定距离；和使所述第一激光束穿过所述封装区段，所述封装区段配置为允许颗粒从中流过；累积穿过成像装置的透镜的第一光的第一强度的第一度量，所述第一光从穿过所述第一激光束的颗粒散射；累积穿过所述成像装置的所述透镜的第二光的第二强度的第二度量，所述第二光从穿过所述第二激光束的所述颗粒散射；和基于所述第一度量和所述第二度量分类颗粒尺寸。19.如权利要求18所述的确定颗粒尺寸的方法，进一步包含以下步骤：使所述第二激光束与所述第一激光束偏振约90度。20.如权利要求18所述的确定颗粒尺寸的方法，进一步包含以下步骤：一旦所述第一激光束通过射束移位器之后，使所述第二激光束与所述第一激光束移位一定距离。

技术总结
于此公开的示例通常涉及用于检测流体中的颗粒的尺寸的系统和方法。在一个示例中，一种用于使颗粒成像的系统包括第一成像装置。第一成像装置包括透镜和数字检测器。系统进一步包括激光源。氦激光源配置为发射第一激光束和第二激光束。数字检测器配置为累积通过透镜的累积光的强度的度量。累积的光从颗粒散射。累积的光包括来自第一激光束和第二激光束的光。积的光包括来自第一激光束和第二激光束的光。积的光包括来自第一激光束和第二激光束的光。


技术研发人员：梅迪
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2021.04.13
技术公布日：2023/1/31