一种光电集成装置的制作方法

技术特征：
1.一种光电集成装置，其特征在于，包括：多芯插针(1)、起偏分束器(2)、准直光透镜(4)、法拉第旋转片(6)、mems微镜(7)和底板(8)，其中：所述多芯插针(1)、起偏分束器(2)、准直光透镜(4)、法拉第旋转片(6)和mems微镜(7)均设置于所述底板(8)上，所述底板(8)用于进行承载支撑；所述多芯插针(1)设置于所述起偏分束器(2)的一侧并与所述起偏分束器(2)相贴合，所述准直光透镜(4)设置于所述起偏分束器(2)的另一侧，所述起偏分束器(2)用于对所述多芯插针(1)发射的光信号进行分光，所述准直光透镜(4)用于接收分光后的光信号并进行准直；所述mems微镜(7)设置于所述准直光透镜(4)的一侧，并且所述mems微镜(7)和所述准直光透镜(4)之间还设置有所述法拉第旋转片(6)，所述法拉第旋转片(6)将分光后的光信号的振动方向进行旋转，并发射给所述mems微镜(7)进行光信号的反射，将光信号逆方向反射回所述多芯插针(1)并输出。2.根据权利要求1所述的光电集成装置，其特征在于，所述起偏分束器(2)与所述准直光透镜(4)之间还设置有波片(3)，所述波片(3)与所述起偏分束器(2)相贴合，所述波片(3)用于将分光后的光信号的振动方向进行调整。3.根据权利要求1所述的光电集成装置，其特征在于，所述光电集成装置还包括光栅(5)，其中：所述光栅(5)设置于所述准直光透镜(4)与所述法拉第旋转片(6)之间，或者设置于所述法拉第旋转片(6)和所述mems微镜(7)之间，所述光栅(5)用于对接收到的光信号进行衍射。4.根据权利要求1所述的光电集成装置，其特征在于，所述起偏分束器(2)用于对所述多芯插针(1)发射的光信号进行分光，具体包括：所述多芯插针(1)发射的光信号被所述起偏分束器(2)分成振动方向互相垂直的第一光信号和第二光信号。5.根据权利要求4所述的光电集成装置，其特征在于，所述法拉第旋转片(6)周边还设置有磁铁，所述磁铁用于在法拉第旋转片(6)周边施加外部磁场，从而将所述第一光信号和所述第二光信号的振动方向旋转预设角度。6.根据权利要求1所述的光电集成装置，其特征在于，所述mems微镜(7)为一维转镜、二维转镜和温控转镜中的一个。7.根据权利要求6所述的光电集成装置，其特征在于，当所述mems微镜(7)为一维转镜或二维转镜时，所述mems微镜(7)绕x轴或者y轴转动。8.根据权利要求7所述的光电集成装置，其特征在于，所述mems微镜(7)绕x轴或者y轴转动时的转动角度为预设角度。9.根据权利要求1所述的光电集成装置，其特征在于，所述多芯插针(1)的芯距为预设距离。10.根据权利要求1所述的光电集成装置，其特征在于，所述准直光透镜(4)为自聚焦透镜、球透镜、非球透镜中的一个。

技术总结
本实用新型提供一种光电集成装置，通过将多芯插针、起偏分束器、准直光透镜、法拉第旋转片和MEMS微镜依次设置于底板上，多芯插针发射光信号并被起偏分束器分光，并被准直光透镜进行准直，而后法拉第旋转片将光信号的振动方向进行旋转，光信号发射至MEMS微镜后被反射，将光信号逆方向反射回多芯插针，通过调整MEMS微镜的旋转状态，光模块可以独立完成隔离器与可调光衰减器的功能，也可以独立完成隔离器与可调谐光滤波器的功能，在实际使用中，用户可以根据实际需要选择性切换光模块的功能。根据实际需要选择性切换光模块的功能。根据实际需要选择性切换光模块的功能。


技术研发人员：曹俊红 罗勇 王敏 陈龙 蒋磊
受保护的技术使用者：武汉光迅科技股份有限公司
技术研发日：2022.10.24
技术公布日：2023/1/13