用于对真空泵排出口监测反应副产物的沉积物的装置和方法与流程

技术特征：
1.一种用于对真空泵(1；100)的排出口(7)监测反应副产物的沉积物的装置(200)，其特征在于，该装置(200)包括：-热式流量计(20)，该热式流量计包括：-在所述排出口(7)处放置在沿气体流动方向的上游位置的第一温度探针(23)，-放置在下游位置的第二温度探针(24)，-插设在温度探针(23，24)之间的加热元件(25)，-将温度探针(23，24)和所述加热元件(25)彼此隔绝的基板(26)，和-处理单元(22)，该处理单元被配置为通过热式流量计(20)执行测量，以便根据由热式流量计(20)测定的流量与由真空泵(1；100)泵送的气体的流量的估计值之间的差异，来确定在所述排出口(7)处的反应副产物的沉积物的存在。2.根据前一项权利要求所述的监测装置(200)，其特征在于，所述热式流量计(20)是mems部件。3.根据前述权利要求中任一项所述的监测装置(200)，其特征在于，所述监测装置(200)还包括被配置为确定所述真空泵(1；100)的排出口(7)处的压力的压力传感器(21)，所述处理单元(22)被配置为基于与电机(16)的功率参数和所述压力传感器(21)的测量值有关的信息来估计泵送气体流量。4.根据权利要求3所述的监测装置(200)，其特征在于，所述真空泵(1；100)的电机(16)的功率参数是电流。5.根据前述权利要求中任一项所述的监测装置(200)，其特征在于，所述处理单元(22)被配置为与借助于所述真空泵(1)减压的处理室(102)通信，以估计泵送气体流量。6.一种真空泵(1；100)，包括：-定子(2)，所述定子(2)包括入口孔(6)和出口孔(8)，-至少一个转子(3；300)，所述转子布置在所述定子(2)中并且构造成驱动气体在所述入口孔(6)与所述出口孔(8)之间被泵送，其特征在于，所述真空泵(1；100)还包括根据前述权利要求中任一项所述的监测装置(200)，热式流量计(20)布置在所述真空泵(1)内部。7.根据权利要求6所述的真空泵(1；100)，其特征在于，所述热式流量计(20)布置在所述排出口(7)的导管(14)中。8.根据权利要求6和7中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)是涡轮分子真空泵。9.根据权利要求6和7中任一项所述的真空泵(100)，其特征在于，所述真空泵(100)是包括两个转子(300)的粗真空泵，所述两个转子被配置为在至少一个泵送级中反向同步旋转，以驱动气体在所述入口孔(6)与所述出口孔(8)之间被泵送。10.一种借助于根据权利要求1至5中任一项所述的监测装置(200)对真空泵(1；100)的排出口(7)监测反应副产物的沉积物的方法，其中，通过热式流量计(20)执行测量，以根据由热式流量计(20)测定的流量与由真空泵(1；100)泵送的气体的流量的估计值之间的差异，来确定所述排出口(7)处的反应副产物的沉积物的存在。11.根据权利要求10所述的监测沉积物的方法，其特征在于，对所述热式流量计(20)的加热元件(25)供电，以便按照分隔开10小时以上的间隔执行测量，例如每日测量。
12.根据权利要求10和11中任一项所述的监测沉积物的方法，其特征在于，所述热式流量计(20)的测量持续时间小于两分钟，例如小于一分钟。13.根据权利要求10至12中任一项所述的监测沉积物的方法，其特征在于，根据所述热式流量计(20)的测量值的偏差值来评估沉积物的厚度。14.根据权利要求10至13中任一项所述的监测沉积物的方法，其特征在于，所述方法包括初步校准步骤，其中记录针对真空泵(1；100)中的预定气体流量获得的来自所述热式流量计(20)的至少一个测量值。

技术总结
一种用于对真空泵(1；100)的排出口(7)监测反应副产物的沉积物的装置(200)，其特征在于，该装置包括：-热式流量计(20)，该热式流量计(20)包括在排出口(7)处放置在沿气体流动方向的上游位置的第一温度探针、放置在下游位置的第二温度探针、插设在这些温度探针之间的加热元件、将这些温度探针与加热元件彼此隔绝的基板，和-处理单元(22)，该处理单元被配置为通过热式流量计(20)执行测量，以便根据由热式流量计(20)测定的流量与由真空泵(1；100)泵送的气体流量的估计值之间的差异，来确定排出口(7)处的反应副产物的沉积物的存在。(7)处的反应副产物的沉积物的存在。(7)处的反应副产物的沉积物的存在。


技术研发人员：神原久徳
受保护的技术使用者：普发真空公司
技术研发日：2021.04.16
技术公布日：2022/12/23