一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪的制作方法

技术特征：
1.一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，包括灯源（8）、摄像机（2）和玻璃放置台（5），所述玻璃放置台（5）固定于工作台面上，其特征在于：所述灯源（8）与所述摄像机（2）均通过升降支架与所述工作台面连接。2.根据权利要求1所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述升降支架为伸缩结构或者折叠结构中的任意一种。3.根据权利要求2所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述折叠结构包括底座（4）和至少两根折叠臂（1），任意相邻的所述折叠臂（1）之间通过转轴铰接，使任意相邻的所述折叠臂（1）之间能够绕转轴摆动，所述折叠结构最下端的折叠臂（1）与底座（4）铰接，所述折叠结构最上端的折叠臂（1）与摄像机（2）和灯源（8）连接，所述底座（4）与所述工作台面连接。4.根据权利要求3所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述灯源（8）外套设有灯罩（3），所述灯罩（3）底部设置有透光板，所述透光板位于灯罩（3）的下侧。5.根据权利要求4所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述灯源（8）通过灯罩（3）与所述升降支架连接，所述灯罩（3）与所述升降支架最上端的折叠臂（1）铰接。6.根据权利要求1所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述摄像机（2）可转动地与所述升降支架连接，用于调节所述摄像机（2）的角度。7.根据权利要求6所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述摄像机（2）的转动范围为在竖直面内转动。8.根据权利要求1所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述工作台面为一个箱体（7）的顶面，所述箱体（7）内设置有工控机（9），所述摄像机（2）与所述工控机（9）电连接。9.根据权利要求8所述的一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，其特征在于：所述箱体（7）侧面设置有托板（6），所述托板（6）用于放置键盘，所述托板（6）通过铰链与箱体（7）侧面连接，使所述托板（6）在不使用的状态下向上翻折与箱体（7）侧面相贴。

技术总结
本实用新型公开了一种多自由度的光刻掩膜版基版平面度检测仪，涉及光刻掩膜版技术领域。本实用新型包括灯源、摄像机和玻璃放置台，所述玻璃放置台固定于工作台面上，所述灯源与所述摄像机均通过升降支架与所述工作台面连接。本实用新型可以直接调节灯源与摄像机的高度，在检测不同尺寸参数的光刻掩膜版时，都可以拍摄到准确全面的干涉条纹，从而提高了工作人员对平面度检测的准确性。人员对平面度检测的准确性。人员对平面度检测的准确性。


技术研发人员：杨伟 伍玮 黎玉华
受保护的技术使用者：成都中科卓尔智能科技集团有限公司
技术研发日：2022.08.31
技术公布日：2022/12/13