一种冷却铜环管用绝缘隔热罩的制作方法

1.本实用新型涉及隔热罩技术领域，具体为一种冷却铜环管用绝缘隔热罩。


背景技术：

2.在芯片制造领域中的高密度等离子电浆化学沉积镀膜设备使用过程中需要进行冷却，通过铜环管进行制冷介质的导入，进行热交换冷却。
3.但现有的铜环管外侧大多为裸露状态，冷却效果不佳，降低制冷效果，基于此，本实用新型设计了一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，以解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，包括罩体，所述罩体为隔热绝缘树脂材料制作，所述罩体上设置多个固定孔，所述罩体的内部设置有环形的管沟道，所述罩体的内部设置有多个卡位槽，所述罩体上设置有定位缺口，所述罩体的内部卡接有铜管组件，所述铜管组件的突起部分卡接在定位缺口内，所述铜管组件卡接在管沟道内，所述铜管组件上连接多个固定组件，所述固定组件卡接在卡位槽内。
6.优选的，所述管沟道的直径大于铜管组件的管道的直径，所述管沟道为u形设置。
7.优选的，多个所述卡位槽的分部位置与固定组件的分部位置相匹配，所述卡位槽为类l形。
8.优选的，所述罩体的底部设置有两组安装槽，所述安装槽内安装有橡胶条。
9.优选的，所述橡胶条的内部为中空设置，所述橡胶条为弹性橡胶制作。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
11.(1)本实用新型在罩体的内部设置有管沟道和卡位槽，通过管沟道和定位缺口进行铜管组件的卡接安装，通过定位缺口对铜管组件进行定位安装，罩体内部的卡位槽进行固定组件的卡位，让罩体对铜管组件进行整体覆盖，隔热绝缘的树脂材料进行铜管组件的隔热绝缘，保证铜管组件的冷却效果，在罩体上设置有多个固定孔，固定孔将罩体进行固定安装，让罩体与安装基板安装，罩体安装稳定；
12.(2)本实用新型在罩体的底部连接有两组安装槽，通过安装槽进行橡胶条的安装，中空设置的橡胶条可与连接基板紧密接触，进而让罩体与基板紧密连接，同时可减少与基板连接的空隙，让罩体与基板连接更加紧密，进一步增加隔热效果。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得
其他的附图。
14.图1为本实用新型冷却铜环管用绝缘隔热罩的仰视立体结构图；
15.图2为本实用新型冷却铜环管用绝缘隔热罩的图1中a处放大结构图；
16.图3为本实用新型冷却铜环管用绝缘隔热罩的立体结构图；
17.图4为本实用新型冷却铜环管用绝缘隔热罩的仰视爆炸结构图。
18.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
19.1、罩体；2、固定孔；3、管沟道；4、卡位槽；5、安装槽；6、橡胶条；7、定位缺口；8、铜管组件；9、固定组件。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，包括罩体1，罩体1为隔热绝缘树脂材料制作，罩体1上设置多个固定孔2，罩体1的内部设置有环形的管沟道3，罩体1的内部设置有多个卡位槽4，罩体1上设置有定位缺口7，罩体 1的内部卡接有铜管组件8，铜管组件8的突起部分卡接在定位缺口 7内，铜管组件8卡接在管沟道3内，铜管组件8上连接多个固定组件9，固定组件9卡接在卡位槽4内，管沟道3的直径大于铜管组件 8的管道的直径，管沟道3为u形设置，多个卡位槽4的分部位置与固定组件9的分部位置相匹配，卡位槽4为类l形。
22.其中，在罩体1的内部设置有管沟道3和卡位槽4，通过管沟道 3和定位缺口7进行铜管组件8的卡接安装，通过定位缺口7对铜管组件8进行定位安装，罩体1内部的卡位槽4进行固定组件9的卡位，让罩体1对铜管组件8进行整体覆盖，隔热绝缘的树脂材料进行铜管组件8的隔热绝缘，保证铜管组件8的冷却效果，在罩体1上设置有多个固定孔2，固定孔2将罩体1进行固定安装，让罩体1与安装基板安装，罩体1安装稳定。
23.请参阅图1-图4，罩体1的底部设置有两组安装槽5，安装槽5 内安装有橡胶条6，橡胶条6的内部为中空设置，橡胶条6为弹性橡胶制作。
24.其中，在罩体1的底部连接有两组安装槽5，通过安装槽5进行橡胶条6的安装，中空设置的橡胶条6可与连接基板紧密接触，进而让罩体1与基板紧密连接，同时可减少与基板连接的空隙，让罩体1 与基板连接更加紧密，进一步增加隔热效果。
25.整体的工作原理为，在罩体1的内部设置有管沟道3和卡位槽4，通过管沟道3和定位缺口7进行铜管组件8的卡接安装，通过定位缺口7对铜管组件8进行定位安装，罩体1内部的卡位槽4进行固定组件9的卡位，让罩体1对铜管组件8进行整体覆盖，隔热绝缘的树脂材料进行铜管组件8的隔热绝缘，保证铜管组件8的冷却效果，在罩体1上设置有多个固定孔2，固定孔2将罩体1进行固定安装，让罩体1与安装基板安装，罩体1安装稳定，在罩体1的底部连接有两组安装槽5，通过安装槽5进行橡胶条6的安装，中空设置的橡胶条6 可与连接基板紧密接触，进而让罩体1与基板紧密连接，同时可减少与基板连接的空隙，让罩体1与基板连接更加紧密，进一步增加隔热效果。
26.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
27.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。


技术特征：
1.一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，包括罩体(1)，其特征在于：所述罩体(1)为隔热绝缘树脂材料制作，所述罩体(1)上设置多个固定孔(2)，所述罩体(1)的内部设置有环形的管沟道(3)，所述罩体(1)的内部设置有多个卡位槽(4)，所述罩体(1)上设置有定位缺口(7)，所述罩体(1)的内部卡接有铜管组件(8)，所述铜管组件(8)的突起部分卡接在定位缺口(7)内，所述铜管组件(8)卡接在管沟道(3)内，所述铜管组件(8)上连接多个固定组件(9)，所述固定组件(9)卡接在卡位槽(4)内。2.根据权利要求1所述的一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，其特征在于：所述管沟道(3)的直径大于铜管组件(8)的管道的直径，所述管沟道(3)为u形设置。3.根据权利要求1所述的一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，其特征在于：多个所述卡位槽(4)的分部位置与固定组件(9)的分部位置相匹配，所述卡位槽(4)为类l形。4.根据权利要求1所述的一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，其特征在于：所述罩体(1)的底部设置有两组安装槽(5)，所述安装槽(5)内安装有橡胶条(6)。5.根据权利要求4所述的一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，其特征在于：所述橡胶条(6)的内部为中空设置，所述橡胶条(6)为弹性橡胶制作。

技术总结
本实用新型公开了隔热罩技术领域的一种冷却铜环管用绝缘隔热罩，包括罩体，所述罩体为隔热绝缘树脂材料制作，所述罩体上设置多个固定孔，所述罩体的内部设置有环形的管沟道，所述罩体的内部设置有多个卡位槽，所述罩体上设置有定位缺口。本实用新型在罩体的内部设置有管沟道和卡位槽，通过管沟道和定位缺口进行铜管组件的卡接安装，通过定位缺口对铜管组件进行定位安装，罩体内部的卡位槽进行固定组件的卡位，让罩体对铜管组件进行整体覆盖，隔热绝缘的树脂材料进行铜管组件的隔热绝缘，保证铜管组件的冷却效果，在罩体上设置有多个固定孔，固定孔将罩体进行固定安装，让罩体与安装基板安装，罩体安装稳定。罩体安装稳定。罩体安装稳定。


技术研发人员：张华
受保护的技术使用者：上海高芯机电有限公司
技术研发日：2022.06.16
技术公布日：2022/12/9