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测试分类机及其操作方法与流程

2022-12-09 23:04:01 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种测试分类机,其特征在于,包含:测试腔室,具有开口;空气帘,设置于该测试腔室的外部,该空气帘具有复数个孔洞朝下设置;承载盘,设置于该空气帘下方,配置以经由该开口在该测试腔室的内部和该外部之间移动;及干空气源,与该空气帘连接。2.根据权利要求1所述的测试分类机,其中,还包含一对固定柱设置于该测试腔室的侧壁上,该空气帘设置于该对固定柱之间。3.根据权利要求1所述的测试分类机,其中该干空气源提供干空气,该干空气的压力介于0.49百万帕至0.69百万帕。4.根据权利要求1所述的测试分类机,其中该干空气源提供干空气,该干空气的流量小于1200nl/分钟。5.根据权利要求1所述的测试分类机,其中该空气帘与该承载盘的垂直距离介于19.8公分至20.2公分。6.一种测试分类机的操作方法,其特征在于,包含:接收测试分类机,该测试分类机包含:测试腔室,具有开口;空气帘,设置于该测试腔室的外部,该空气帘具有复数个孔洞朝下设置;承载盘,设置于该空气帘下方;及干空气源,与该空气帘连接;放置芯片于该承载盘上;及将放置有该芯片的该承载盘经由该开口,从该测试腔室的该外部运送至该测试腔室的内部,其中该干空气源提供干空气自该空气帘的该些孔洞吹出。7.根据权利要求6所述的方法,其中该干空气源提供干空气,该干空气的压力介于0.49百万帕至0.69百万帕。8.根据权利要求6所述的方法,其中该干空气源提供干空气,该干空气的流量小于1200nl/分钟。9.根据权利要求6所述的方法,其中,还包含:在将放置有该芯片的该承载盘经由该开口,从该测试腔室的该外部运送至该测试腔室的该内部后,对该芯片进行电性测试。10.根据权利要求9所述的方法,其中进行该电性测试的连续操作时间大于90小时。

技术总结
一种测试分类机包含测试腔室、空气帘、承载盘和干空气源。测试腔室具有开口。空气帘设置于测试腔室的外部,空气帘具有复数个孔洞朝下设置。承载盘设置于空气帘下方,配置以经由开口在测试腔室的内部和外部之间移动。干空气源与空气帘连接。本揭示内容提供一种可以减少测试腔室外的水气进入到测试腔室内的测试分类机以及操作此测试分类机的方法,其可以避免因水气而损坏测试治具、测试头和/或测试器等装置,也可以增加芯片的电性测试的时间,从而增加测试分类机的测试效率。增加测试分类机的测试效率。增加测试分类机的测试效率。


技术研发人员:苏建华 张欣雅
受保护的技术使用者:南亚科技股份有限公司
技术研发日:2021.09.15
技术公布日:2022/12/8
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