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一种自动数槽方法、装置、设备及可读存储介质与流程

2022-12-09 23:03:29 来源:中国专利 TAG:


1.本发明属于硅片切割技术领域,尤其是涉及一种自动数槽方法、装置、设备及可读存储介质。


背景技术:

2.空槽的数量确认直接影响硅片切割的品质,目前采用的是人工数线槽数量,存在费时以及准确度不高的问题。目前现场数槽需指定人员使用手机拍照,然后由人工对照片上的空槽数进行确认,有时候为了保证准确性,需要2次确认,数槽时间长,由于人工数槽无法保证准确性,导致钢线缠绕出现错误,进而影响了硅片的品质,数槽的用时过长,影响了切线的产能。


技术实现要素:

3.鉴于上述问题,本发明提供一种自动数槽方法、装置、设备及可读存储介质,以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
4.为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种自动数槽方法,包括以下步骤,
5.获取槽轮检测区域的图像;
6.对检测区域的图像进行处理,对检测区域的空槽的数量进行计数;
7.对检测区域图像及处理结果进行存储;
8.输出检测区域处理结果。
9.进一步的,检测区域的图像进行处理,计算检测区域内空槽的数量步骤中,根据空槽与有线槽的色差进行空槽的数量的计算,获取空槽的数量。
10.进一步的,对检测区域的图像进行处理,计算检测区域内空槽的数量步骤中,包括:
11.识别检测区域的边界,确定检测区域的边界的空槽,计数模块对边界空槽个数进行计数;
12.识别检测区域内的各个空槽的边界,计数模块对识别的边界数进行计数;
13.计算空槽的总数量,空槽的总数量为边界空槽个数与检测区域内边界的个数之和。
14.进一步的,检测区域的边界为沿着槽依次设置的方向的第一个空槽和最后一个空槽。
15.进一步的,获取槽轮检测区域的图像步骤中,包括:
16.确定摄取图像位置,图像获取装置摄取视野内设有基准线,以基准线为参考点进行摄取位置的调节;
17.调整视野范围,将检测区域的宽度调整至基准线长度的1/2-3/4;
18.调整基准线位置,使得基准线位于有线槽内的切割线与槽轮槽梗所在平面平齐
处;
19.调整基准线长度,使得检测区域内的空槽全部位于基准线长度范围内;
20.摄取检测区域的图像。
21.进一步的,获取槽轮检测区域的图像步骤中,采用标定块对检测区域进行定位,以便准确获取检测区域的图像。
22.进一步的,输出检测区域处理结果步骤中,包括:
23.输出检测区域的空槽的数量;
24.输出检测区域内的空槽标记,每一个被计数的空槽均被配置为一个空槽标记以显示该空槽被计数。
25.进一步的,空槽标记数量为多个,被设置为检测区域中的每一个空槽内,且沿着依次相邻设置的空槽,多个空槽标记被设计为多组,每组中的多个空槽标记的尺寸逐渐增大或逐渐减小。
26.进一步的,输出检测区域处理结果步骤中,还包括:
27.输出检测区域部分的放大图,放大图内显示配置有空槽标记的被计数的空槽。
28.进一步的,在获取槽轮检测区域的图像之前,获取设备的编号信息,以使得存储的检测区域的图像与槽轮所在的设备相对应,以便于将检测区域的图像与设备信息绑定。
29.一种自动数槽装置,包括:
30.图像获取模块,用于获取槽轮检测区域的图像;
31.图像处理模块,用于对检测区域的图像进行处理;
32.计数模块,用于计算空槽的数量;
33.存储模块,用于存储检测区域的图像及处理结果;
34.输出模块,用于输出检测区域内的空槽数量;
35.图像获取模块获取槽轮检测区域的图像,并将检测区域的图像传送给图像处理模块,图像处理模块对检测区域的图像进行处理,计算检测区域的空槽的数量,并将检测区域的图像及处理结果存储在存储模块内,计数模块对空槽的数量进行计数,并通过输出模块输出空槽数量。
36.进一步的,图像获取模块为显微镜、相机、平板电脑或手机。
37.进一步的,图像获取模块的数量为一个或多个。
38.一种自动数槽设备,包括处理器和存储器,处理器与存储器相互连接,其中,存储器用于存储计算机程序,计算机程序包括程序指令,处理器用于调用程序指令,执行上述的自动数槽方法。
39.一种计算机可读存储介质,计算机可读存储介质上存储有计算机指令,计算机指令在计算机上运行时,使得计算机执行上述的自动数槽方法。
40.由于采用上述技术方案,通过获取槽轮的检测区域的图像,并对该检测区域的图像进行处理,自动识别检测区域中的各个空槽的位置,并对检测区域中的空槽的数量进行自动计数,并将空槽的总数量显示出来,以使得操作人员能够清楚快速的知道槽轮的检测区域的空槽的数量,自动化程度高,缩短数空槽数量的时间,提高工作效率;采用空槽与有线槽的色差对空槽的边界进行识别,空槽的位置识别准确,空槽的数量计数准确;自动数槽且能够存储图像处理结果及空槽的数量,减少工作时间,单次识别整体时间少于30s,进而
提高产能,增加准确性来提高硅片的质量;
41.该自动数槽装置结构简单,使用方便,历史数据易查询,能快速并准确计算出空线槽数;该自动数槽装置是采用便携式手持终端对布线后的槽轮进行空槽个数检测,通过图像算法对终端采集回的图像进行数据处理,精确计算出空槽个数并显示在便携终端上,同时可以保存图像进行人工复检,能够清晰的显示图片,准确识别空槽数;操作方便快捷,识别结果显示在界面上,显示界面直观;有信息存储功能,能记录时间与对应的线切机。
附图说明
42.图1是本发明的一实施例的自动数槽方法的流程图;
43.图2是本发明的一实施例的槽轮的检测区域的图像。
具体实施方式
44.下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。
45.图1示出了本发明一实施例的流程图,本实施例涉及一种自动数槽方法、自动数槽装置、设备及可读存储介质,用于对线切机上的槽轮进行空槽数量的计数,通过获取槽轮检测区域的图像,对检测区域的图像进行处理,自动计算出检测区域内空槽的数量,并进行空槽数量的计数,同时将空槽数量显示出来,以使得操作人员能够直接确定槽轮该检测区域内空槽的数量,无需操作人对空槽的数量进行人工确认,并将检测区域的图像及处理结果进行存储,以便后续进行查询,能够准确识别空槽的数量,工作效率高,减少数槽的工作时间,提高产能,增加线网布线的准确性来提高硅片切割的质量。
46.对于不同尺寸的硅棒及拼接棒进行切割之前,在线切机上进行线网布置,槽轮上的线槽会有不布线的情况,也就是槽轮上的线槽有空槽的情况,如:槽轮的两端端部,与拼接棒拼缝位置相对应的槽轮线槽需跳过,不进行布线等,空槽数量的确认直接影响硅片切割的品质;在对线切机布完线网后,需要对槽轮上没有布线的空槽进行数量的计数,以保证布线的准确性,以保证硅片的切割品质。
47.一种自动数槽方法,如图1和2所示,包括以下步骤,
48.获取槽轮检测区域的图像:设定槽轮需要统计空槽数量的部分为检测区域,对该检测区域进行拍照或扫描,获取该检测区域的图像,在图像中显示该检测区域部分的多个槽;
49.由于槽轮上槽的尺寸很小,在获取检测区域图像时,需要获取该部分的放大图像,鉴于槽轮的长度,在获取检测区域的图像时检测区域的位置不能准确定位,所以,在获取检测区域的图像时,首先需要对检测区域进行准确定位,以便于能够准确摄取检测区域的图像,缩短寻找检测区域的时间,提高工作效率。
50.在一个可以实施的方案中,获取槽轮检测区域的图像步骤中,包括:
51.确定摄取图像位置,图像获取模块的摄取视野内设有基准线,以基准线为参考点进行摄取位置的调节,可以先从超远范围确定所要摄取图像的位置,使得检测区域位于图像获取模块的摄取视野内,并将基准线与检测区域相叠加,以基准线为参考点,确定检测区域在图像获取模块的摄取视野中的位置;然后向目标推进,放大检测区域,直至检测区域清楚的显示在图像获取模块的摄取视野中,且检测区域位于基准线的长度范围内,确定检测
区域的位置;在本实施例中,基准线为直线,且基准线与槽轮的长度方向相一致,则基准线与槽轮的线槽相交设置,优选的,基准线与槽轮的线槽垂直设置,槽轮的多个线槽沿着基准线的长度方向依次设置。当槽轮的检测区域位于基准线上时,可以确定摄取图像位置,在该位置进行图像的摄取。
52.调整视野范围,将检测区域的宽度调整至基准线长度的1/2-3/4,当确定摄取位置后,对图像获取模块的视野中的检测区域的宽度进行调整,使得检测区域在宽度范围内均位于图像获取模块的视野中,且以基准线为参考点,调节检测区域的位置及放大的倍数,使得检测区域的宽度位于基准线的长度范围内,且检测区域的宽度占基准线长度的1/2-3/4,优选的,在实施例中,检测区域的宽度占基准线的长度的2/3,此时,检测区域位于图像获取模块的视野的中部,以便于获取的检测区域的图像能够清楚完整的显示槽轮的检测区域,以便于后续对检测区域的图像进行处理及空槽的计数,视野范围的调整,对检测区域在视野范围内的左右方向的位置进行确定。
53.调整基准线位置,使得基准线位于有线槽内的切割线与槽轮槽梗所在平面平齐处,为了便于后续对检测区域的图像进行处理时处理结果准确,检测区域的空槽的数量计算准确,对基准线的位置进行调整,调整时,调整检测区域在图像获取模块的视野中的上下方向的位置,使得基准线位于切割线与槽梗的平面平齐处,也就是,切割线完全位于线槽内,且切割线与线槽的开口所在的平面平齐,以使得后续对检测区域的图像进行处理时,对检测区域的空槽的数量进行计数时,大致沿着基准线的长度方向进行计算,以使得后续对检测区域的图像进行处理时的处理结果准确。
54.调整基准线长度,使得检测区域内的空槽全部位于基准线长度范围内,左右移动图像获取模块的视野中的检测区域的图像,基准线的两端随着图像的左右移动而移动,图像向左移动时,基准线的左侧端点跟随图像的移动距离的延伸,图像向右移动时,基准线的右侧端点跟随图像的移动距离的变化而延伸,实现对基准线的长度的调整,以使得基准线的两侧的端点完全位于检测区域的外侧,为后续对检测区域的图像处理时提供基准点;
55.摄取检测区域的图像,摄取位置、检测区域在图像获取模块的视野中的位置及检测区域与基准线的位置确定后,进行检测区域的图像的摄取。
56.在另一个可以实施的方案中,在该获取槽轮检测区域的图像步骤中,采用标定块对检测区域进行定位,以便准确获取检测区域的图像。
57.采用标定块进行检测区域的定位,以便准确快速的确定检测区域的位置。具体地,将标定块放置于槽轮检测区域的一侧,直接对准标定块进行拍照或扫描,准确快速获取检测区域的图像。为避免标定块对检测区域图像的获取的过程中的影响,该标定块的材质与槽轮的材质相一致。
58.对检测区域的图像进行处理,对检测区域的空槽的数量进行计数,图像获取模块获取检测区域的图像后,将检测区域的图像传送给图像处理模块,图像处理模块对检测区域的图像进行处理,对检测区域中的空槽的数量进行计数。
59.对检测区域的图像进行处理,计算检测区域内空槽的数量步骤中,根据空槽与有线槽的色差进行空槽的数量的计算,获取空槽的数量。由于槽轮的线槽没有布线时,线槽具有一定的槽深,当线槽内布线时,切割线位于线槽内,则,在槽轮的检测区域进行图像摄取时,空槽与有切割线的线槽对光的反射色光不同,则检测区域的图像中,空槽与有线槽的明
亮度不一样,空槽与有线槽的色差不一样,空槽处亮度低,颜色为深色(如黑色),有线槽亮度高,颜色为浅色(如白色),所以,根据空槽与有线槽的色差进行空槽与有线槽的区分,进行空槽的计数。
60.具体地,对检测区域的图像进行处理,计算检测区域内空槽的数量步骤中,包括:
61.识别检测区域的边界,确定检测区域的边界的空槽,计数模块对边界空槽个数进行计数;以基准线为基准,沿着基准线对检测区域的图像的色差进行计算,沿着基准线的长度方向,由检测区域的外侧至检测区域的边界再至检测区域的内部,依次计算不同位置的色差,当色差发生明显变化时,对检测区域的边界进行识别,此处为检测区域的边界空槽。
62.检测区域的边界为沿着槽依次设置的方向的第一个空槽和最后一个空槽,检测区域内具有多个空槽,该检测区域为具有一定宽度的条形形状区域,具有两个边界,且两个边界为检测区域的两侧边的两个空槽,根据空槽与有线槽或空槽与槽梗的色差进行边界处的两个空槽的识别,确定两个空槽的位置,计数模块对两个空槽进行计数。
63.识别检测区域内的各个空槽的边界,计数模块对识别的边界数进行计数,在检测区域内,具有多个依次相邻设置的空槽,当检测区域的边界的空槽被识别后,沿着基准线的长度方向,识别与检测区域的一侧边界的一个空槽相邻的空槽,根据空槽与构成该空槽的槽梗的色差区别进行识别,识别该空槽,并对该空槽进行标记,同时进行计数;根据槽距和空槽与槽梗的色差依次进行相邻空槽的识别,并对各个空槽进行标记,并进行计数,计数模块对检测区域内的空槽的数量进行计数,获得检测区域内空槽的数量。
64.计算空槽的总数量,空槽的总数量为边界空槽个数与检测区域内边界的个数之和,计数模块将检测区域边界的空槽的数量与检测区域内的空槽的数量进行相加,得到空槽的总数量,并将该空槽的总数量传送至输出模块,进行空槽总数量的输出。
65.对检测区域图像及处理结果进行存储,将该空槽的总数量和检测区域的图像的处理结果存储在存储模块内,以便后续进行查询,并将检测区域的图像的处理结果及空槽的数量回传至显示模块,显示空槽的数量及图像处理结果。
66.输出检测区域内的处理结果,在输出检测区域处理结果步骤中,包括:
67.输出检测区域的空槽的数量,将获得的空槽的数量输出,并显示出来,以使得操作人员能够清楚的了解检测区域中的空槽的数量;
68.输出检测区域内的空槽标记,每一个被计数的空槽均被配置为一个空槽标记以显示该空槽被计数,在识别检测区域的边界的空槽和检测区域的空槽时,识别一个空槽后,在该空槽位置设置一个空槽标记,以便于清楚显示检测区域中的空槽的位置及显示该空槽被计数。该空槽标记可以是一个线段或
“×”
,或其他形状,根据实际需求进行选择。
69.空槽标记数量为多个,被设置为检测区域中的每一个空槽内,且沿着依次相邻设置的空槽,多个空槽标记被设计为多组,每组中的多个空槽标记的尺寸逐渐增大或逐渐减小,每一个空槽处均设置有一个空槽标记,则多个空槽标记沿着基准线长度方向依次设置,例如,每一组中具有5个空槽标记,这5个空槽标记的尺寸逐渐减小,由大到小依次排列,多个组别的空槽标记依次设置,能够清楚的显示要计数的空槽的数量,避免空槽在识别时存在遗漏情况,当然,这5个空槽标记也可以是尺寸逐渐增大,根据实际进行选择设置。
70.输出检测区域处理结果步骤中,还包括输出检测区域部分的放大图,放大图内显示配置有空槽标记的被计数的空槽,输出检测区域的放大图,便于操作者清楚了解空槽被
计数,了解是否有空槽被遗漏而没有被计数。
71.在获取槽轮检测区域的图像之前,获取设备的编号信息,以使得存储的检测区域的图像与槽轮所在的设备相对应,以便于将检测区域的图像与设备信息绑定。图像获取模块在摄取检测区域的图像之前,首先获取线切机设备的编号信息,并将该编号编号信息传送给图像处理模块,图像处理模块存储该设备编号信息,并将该编号信息与检测区域的图像绑定,以使得设备的信息与检测区域的图像一一对应,绑定在一起,以便后期进行查询时了解每一个检测区域的图像对应的线切机设备。
72.一种自动数槽装置,包括:
73.图像获取模块,用于获取槽轮检测区域的图像;
74.图像处理模块,用于对检测区域的图像进行处理;
75.计数模块,用于计算空槽的数量;
76.存储模块,用于存储检测区域的图像及处理结果;
77.输出模块,用于输出检测区域的处理结果;
78.图像获取模块获取槽轮检测区域的图像,并将检测区域的图像传送给图像处理模块,图像处理模块对检测区域的图像进行处理,计算检测区域的空槽的数量,并将检测区域的图像及处理结果存储在存储模块内,计数模块对空槽的数量进行计数,并通过输出模块输出空槽数量。
79.图像获取模块为显微镜、相机、平板电脑或手机,根据实际需求进行选择。
80.图像获取模块的数量为一个或多个,根据实际需求进行选择,这里不做具体要求。
81.一种自动数槽设备,包括处理器和存储器,处理器与存储器相互连接,其中,存储器用于存储计算机程序,计算机程序包括程序指令,处理器用于调用程序指令,执行上述的自动数槽方法。
82.一种计算机可读存储介质,计算机可读存储介质上存储有计算机指令,计算机指令在计算机上运行时,使得计算机执行上述的自动数槽方法。
83.上述的各功能模块可以集成在一个处理模块中,也可以是各个模块单独物理存在,也可以两个或两个以上模块集成在一个模块中。上述的集成的模块既可以采用硬件的形式实现,也可以采用软件功能单元的形式实现。
84.集成的模块如果以软件功能单元的形式实现时,可以存储在一个计算机可读取存储介质中。本技术的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机、服务器或者网络设备等)执行本技术中的实施例所述的自动数槽方法的全部或部分步骤。
85.前述的存储介质包括:u盘、移动硬盘、只读存储器、随机存取存储器、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
86.由于采用上述技术方案,通过获取槽轮的检测区域的图像,并对该检测区域的图像进行处理,自动识别检测区域中的各个空槽的位置,并对检测区域中的空槽的数量进行自动计数,并将空槽的总数量显示出来,以使得操作人员能够清楚快速的知道槽轮的检测区域的空槽的数量,自动化程度高,缩短数空槽数量的时间,提高工作效率;采用空槽与有线槽的色差对空槽的边界进行识别,空槽的位置识别准确,空槽的数量计数准确;自动数槽
且能够存储图像处理结果及空槽的数量,减少工作时间,单次识别整体时间少于30s,进而提高产能,增加准确性来提高硅片的质量;
87.该自动数槽装置结构简单,使用方便,历史数据易查询,能快速并准确计算出空线槽数;该自动数槽装置是采用便携式手持终端对布线后的槽轮进行空槽个数检测,通过图像算法对终端采集回的图像进行数据处理,精确计算出空槽个数并显示在便携终端上,同时可以保存图像进行人工复检,能够清晰的显示图片,准确识别空槽数;操作方便快捷,识别结果显示在界面上,显示界面直观;有信息存储功能,能记录时间与对应的线切机。
88.以上对本发明的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
再多了解一些

本文用于创业者技术爱好者查询,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。

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