蚀刻液的回收方法与流程

技术特征：
1.一种蚀刻液的回收方法，其特征在于，该蚀刻液包含一螯合剂，该螯合剂是选自于二甲基乙醛二肪、乙酰酮、生长激素、胺基乙酸、乙二胺四乙酸、乙二胺、羟基乙叉二膦酸、二氮杂菲的其中之一或以上的混合物，该回收方法包含：一收集步骤，收集铜离子含量超过一标准值的蚀刻液；一过滤步骤，将该收集步骤中所取得的蚀刻液通入一离子交换系统进行过滤，使该蚀刻液的铜离子含量下降至一许可值以下；及一补充步骤，将过滤后的该蚀刻液补充添加剂后，以能够重复进行蚀刻作业。2.根据权利要求1所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，该离子交换系统是选自于弱阳型离子交换树脂、强阳型离子交换树脂、弱阴型离子交换树脂、强阴型离子交换树脂以及螯合型离子交换树脂的至少一种。3.根据权利要求1所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，还包含一再生步骤，是以无机酸进行离子交换系统的再生，使铜离子由树脂脱附，并获得含铜洗脱液。4.根据权利要求3所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，该无机酸为硫酸。5.根据权利要求3所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，于该再生步骤中，是先以清水清洗该离子交换系统，再使用无机酸脱附铜离子。6.根据权利要求1所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，以蚀刻液总量为100wt％，该添加剂至少包括蚀刻液总量的0.5～5wt％的过氧化氢、蚀刻液总量的0.02～0.2wt％的唑类化合物以及蚀刻液总量的0.02～0.2wt％的胺类化合物。7.根据权利要求1所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，该标准值为大于4000ppm。8.根据权利要求1所述的蚀刻液的回收方法，其特征在于，该许可值为小于3000ppm。

技术总结
本发明提供了一种蚀刻液的回收方法，该蚀刻液包含一螯合剂，该螯合剂是选自于二甲基乙醛二肪、乙酰酮、生长激素、胺基乙酸、乙二胺四乙酸、乙二胺、羟基乙叉二膦酸、二氮杂菲的其中之一或以上的混合物，该回收方法包含一收集步骤、一过滤步骤及一补充步骤。该收集步骤是收集铜离子含量超过一标准值的蚀刻液，该过滤步骤是将该收集步骤中所取得的蚀刻液通入一离子交换系统进行过滤，使该蚀刻液的铜离子含量下降至一许可值以下。该补充步骤是将过滤后的该蚀刻液补充添加剂后，可重复进行蚀刻作业。以此，该螯合剂能让蚀刻液中的铜离子以离子交换的方式被回收，使蚀刻液可重复使用而延长使用寿命，更利于环保，且降低废液的处理成本。且降低废液的处理成本。且降低废液的处理成本。


技术研发人员：陈志强 张景皓 张景棠 温燕益
受保护的技术使用者：三福化工股份有限公司
技术研发日：2021.06.09
技术公布日：2022/12/8