金属层蚀刻液及其回收设备的制作方法

技术特征：
1.一种金属层蚀刻液，其特征在于，包含：0.01至20wt％的氧化剂；0.01至3wt％的腐蚀抑制剂；0.6至6wt％的溶剂；1至10wt％的酸碱值调整剂；1至20wt％的有机酸；0.01至30wt％的螯合剂，其中，该螯合剂是选自二甲基乙醛二肪、乙酰酮、生长激素、胺基乙酸、乙二胺四乙酸、乙二胺、羟基乙叉二膦酸、二氮杂菲的其中之一或以上的混合物；及水性介质，补至100wt％。2.根据权利要求1所述的金属层蚀刻液，其特征在于，该氧化剂选自于：过氧化氢、硝酸铁、碘酸钾、乙酸及过锰酸钾所组成的一群组中的至少一种，该有机酸选自于：琥珀酸、丙二酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乙醇酸、丙氨酸及胱氨酸所组成的一群组中的至少一种。3.根据权利要求1所述的金属层蚀刻液，其特征在于，该腐蚀抑制剂选自于：苯并三唑、三聚氰酸、1，2，3-三唑、3-胺基-1，2，4-三唑、3-硝基-1，2，4-三唑、波沛得、苯并三唑-5-羧酸、3-胺基-1，2，4-三唑-5-羧酸、1-羟基苯并三唑及硝基苯并三唑所组成的一群组中的至少一种。4.根据权利要求1所述的金属层蚀刻液，其特征在于，该溶剂选自于：苯脲、乙二醇单苯醚、二乙二醇单甲醚、乙酰苯胺及单乙醇胺所组成的一群组中的至少一种，该酸碱值调整剂选自于：亚氨基二乙酸、依替膦酸、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、乙二胺四乙酸、二甲基乙醇胺、硝基三乙酸及乙酰苯胺所组成的一群组中的至少一种。5.根据权利要求1所述的金属层蚀刻液，其特征在于，该水性介质为去离子水，其含量为30至50wt％，该氧化剂的含量为1至15wt％，该腐蚀抑制剂的含量为0.04至1wt％，该溶剂的含量为1.2至4wt％，该酸碱值调整剂的含量为2至8wt％，该螯合剂的含量为0.1至10wt％。6.一种金属层蚀刻液的回收设备，用以回收权利要求1至5中任一项所述的金属层蚀刻液，其特征在于，该回收设备包含：一蚀刻槽，盛装有蚀刻液，并具有一第一铜离子监测设备，用以量测该蚀刻液的铜离子浓度；一离子交换系统，与该蚀刻槽连通，用以将该蚀刻槽内铜离子浓度过高的蚀刻液进行离子交换以降低铜离子浓度，并进行添加剂的补充后，蚀刻液会再送回蚀刻槽重复使用；及一树脂再生系统，用以对进行离子交换后的离子交换系统进行再生，并将再生后产生的洗脱液收集至一洗脱液槽，以回收洗脱液内的铜离子。7.根据权利要求6所述的金属层蚀刻液的回收设备，其特征在于，该离子交换系统包括至少一与该蚀刻槽连通的暂存桶、至少一连通该暂存桶的树脂塔及一量测该暂存桶内的蚀刻液的第二铜离子监测设备，蚀刻液进入该暂存桶后是与该树脂塔进行循环式的铜离子吸附，该第二铜离子监测设备量测该暂存桶内的蚀刻液的铜离子浓度是否降至适当范围。8.根据权利要求7所述的金属层蚀刻液的回收设备，其特征在于，该离子交换系统还包括一添加剂槽，用以对该暂存桶进行添加剂的补充，其中，以蚀刻液总量为100wt％，该添加剂至少包括蚀刻液总量的0.5～5wt％的过氧化氢、蚀刻液总量的0.02～0.2wt％的唑类化
合物以及蚀刻液总量的0.02～0.2wt％的胺类化合物。9.根据权利要求7所述的金属层蚀刻液的回收设备，其特征在于，该离子交换系统的树脂塔是选自于弱阳型离子交换树脂、强阳型离子交换树脂、弱阴型离子交换树脂、强阴型离子交换树脂以及螯合型离子交换树脂的至少一种，该树脂再生系统包括一用以对该树脂塔通入无机酸液的酸液桶槽，及一收集该树脂塔的洗脱液的洗脱液槽。10.根据权利要求7所述的金属层蚀刻液的回收设备，其特征在于，当该蚀刻槽内蚀刻液的铜离子浓度大于4000ppm时需输送至该离子交换系统进行铜离子的回收，当该暂存桶内的蚀刻液的铜离子浓度小于3000ppm时再送回蚀刻槽重复使用。

技术总结
本发明提供了一种金属层蚀刻液及其回收设备，其中该金属层蚀刻液包含0.01至20wt％的氧化剂、0.01至3wt％的腐蚀抑制剂、0.6至6wt％的溶剂、1至10wt％的酸碱值调整剂、1至20wt％的有机酸、0.01至30wt％的螯合剂及补至100wt％的水性介质。其中，该螯合剂是选自二甲基乙醛二肪、乙酰酮、生长激素、胺基乙酸、乙二胺四乙酸、乙二胺、羟基乙叉二膦酸、二氮杂菲的其中之一或以上的混合物。本发明的回收设备能以离子交换的方式回收金属层蚀刻液内含的铜离子，以使经回收后的金属层蚀刻液经添加适当补充后可重复进行蚀刻作业，延长蚀刻液的使用寿命，同时减少蚀刻废液内的铜离子含量及其处理成本，进而降低整体蚀刻制程的成本。进而降低整体蚀刻制程的成本。进而降低整体蚀刻制程的成本。


技术研发人员：张景皓 陈志强 张景棠 温燕益
受保护的技术使用者：三福化工股份有限公司
技术研发日：2021.06.09
技术公布日：2022/12/8