产品版图的评估系统及评估方法与流程

1.本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种产品版图的评估系统及评估方法。


背景技术：

2.随着集成电路技术的发展，集成电路中晶体管的特征尺寸变得越来越小，并且由此掩模上与目标图案相对应的版图图案的密度增加。由于光波会在掩模的版图图案处发生衍射，这会导致高密度的版图图案在实际生产中产生某些缺陷。这些缺陷的出现，极有可能在集成电路的实际运行中，产生开路或短路现象，烧毁电路。这些可能产生缺陷的局部版图图案通常被称为热点(hotspot)。制造者需要总结众多关键参数对热点所造成的集成电路性能以及成品率的影响，将更多与生产制造相关的信息反馈给设计者，以指导其版图设计。然而，诸如用于设计的模拟参数、生产过程中的晶圆数据以及版图布局等关键参数，对热点所造成的影响的程度在不同的制程技术中并不完全相同。因此，评估版图中热点影响，对于缺陷分析至关重要。
3.而目前，对于半导体晶圆代工厂，新产品出版一直都是具有高风险的事，尤其是新客户的产品，设计没有经过验证，容易出现版图导致的工艺窗口不足，最终影响良率。现在的常规解决方案是进行设计规则检查，根据平台建立时期的验证数据，制定版图的设计规则，并要求客户遵守，以减少版图设计导致工艺窗口不足的情况。但是设计规则检查有几个问题，一是规则由人为制定，难免出现考虑不周导致的规则缺失；二是设计规则的数值不一定都有验证数据，未必代表真实风险，相比之下用以往量产品数据作为基准判断更好；三是对于其他工厂转移过来的产品，并不遵守自家设计规则，设计规则检查中必然出现大量问题，干扰判断。因此，目前缺少一种不基于设计规则的版图检查手段。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种产品版图的评估系统及评估方法，以提出一种新的无需人为定义检查规则就可判断产品版图是否符合设计要求的评估方法，进而提高产品版图的评分效率。
5.第一方面，为解决上述技术问题，本发明提供一种产品版图的评估系统，包括：
6.版图输出模块，可以用于通过输入的目标版图信息数据输出目标版图信息数据所包含的各层图层的坐标信息，所述目标版图信息数据包括已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据，且版图信息数据包括多个图层；
7.设计特征计算模块，与所述版图输出模块电性连接，并可以在接收到所述目标版图信息数据所包含的各层图层的坐标信息的情况下，根据其预先设定的本次评估所要计算的检查规则，得到所述目标版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据；
8.评估模块，与所述设计特征计算模块电性连接，并可以根据预先设定的评估方式，先将所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对
应的规则数据作为参考规则数据，再将所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述参考规则数据进行比较，且在所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据在预设阈值范围内时，确定所述待进行评估的版图信息数据所对应的产品版图符合设计要求。
9.进一步的，所述版图输出模块所能实现的功能可以采用calibre语句编写。
10.进一步的，所述设计特征计算模块所能实现的功能可以采用java语句编写。
11.进一步的，所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据和/或所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据可以包括：各层图层的图形尺寸、图形间距以及多个图层之间的包围量、延伸量、重叠量和距离中的至少一种。
12.第二方面，基于如上所述的产品版图的评估系统的产品版图，本发明还提供了一种产品版图的评估方法，具体可以包括如下步骤：
13.获取目标版图信息数据，所述目标版图信息数据包括已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据，且版图信息数据包括多个图层；
14.将所述目标版图信息数据作为所述版图输出模块的输入，以得到所述已有产品的版图信息数据所对应的各层图层的坐标信息和所述待进行评估的版图信息数据所对应的各层图层的坐标信息；
15.将通过所述版图输出模块得到的各层图层的坐标信息作为所述设计特征计算模块的输入，并根据所述设计特征计算模块预先设定的本次评估所要计算的检查规则，得到所述目标版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据；
16.将所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据作为参考规则数据，并根据所述评估模块预先设定的评估方式，将所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述参考规则数据进行比较，且在所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据在预设阈值范围内时，确定所述待进行评估的版图信息数据所对应的产品版图符合设计要求。
17.进一步的，所述已有产品的版图信息数据和所述待进行评估的版图信息数据可以为同一工艺平台得到的版图信息数据。
18.进一步的，所述已有产品的版图信息数据和所述待进行评估的版图信息数据为采用相同或不同的版图设计规则得到的版图信息数据。
19.进一步的，所述已有产品的版图信息数据的产品类型与所述待进行评估的版图信息数据的产品类型可以相同，也可以不同，且产品类型的种类越多越好。
20.进一步的，所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据和/或所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据可以包括：各层图层的图形尺寸、图形间距以及多个图层之间的包围量、延伸量、重叠量和距离中的至少一种。
21.进一步的，所述评估模块预先设定的评估方式可以包括：当所述待进行评估的版
图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据比所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据都小时，将该待进行评估的版图信息数据所对应的产品的评分在预设初始分数的基础上减2；
22.以及，当所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的最小规则数据相等，且其规则数据中的最小尺寸数量占比大于所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的最小尺寸数量占比时，将该待进行评估的版图信息数据所对应的产品的评分在预设初始分数的基础上减1。
23.第三方面，基于如上所述的产品版图的评估方法，本发明还提供了一种电子设备，包括处理器、通信接口、存储器和通信总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过通信总线完成相互间的通信；
24.存储器，用于存放计算机程序；
25.处理器，用于执行存储器上所存放的程序时，实现如上所述的产品版图的评估方法。
26.第四方面，本发明还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质内存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述产品版图的评估方法的步骤。
27.与现有技术相比，本发明技术方案至少具有如下有益效果之一：
28.在本发明提供的产品版图的评估方法中，通过利用本发明提供的产品版图的评估系统，先确定出与待进行评估的产品版图(新产品的版图)的设计工艺平台相同的工艺平台得到已有产品的版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据和待进行评估的产品版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据，然后，将已有产品的版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据作为参考规则数据库，之后，再无需人为定义检查规则的情况下，只需要基于已有产品的版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据，便可判断出待进行评估的产品版图(新产品的版图)是否有潜在风险，从而提出一种新型的产品版图的评估方法，并弥补了现有技术中基于设计规则检查来确定产品版图是否存在设计风险的不足。
附图说明
29.图1为本发明一实施例中提供的一种产品版图的评估系统的结构示意图。
30.图2为本发明一实施例中提供的一种产品版图的评估方法的流程示意图。
31.图3为本发明一实施例中一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
32.承如背景技术所述，目前，对于半导体晶圆代工厂，新产品出版一直都是具有高风险的事，尤其是新客户的产品，设计没有经过验证，容易出现版图导致的工艺窗口不足，最终影响良率。现在的常规解决方案是进行设计规则检查，根据平台建立时期的验证数据，制
定版图的设计规则，并要求客户遵守，以减少版图设计导致工艺窗口不足的情况。但是设计规则检查有几个问题，一是规则由人为制定，难免出现考虑不周导致的规则缺失；二是设计规则的数值不一定都有验证数据，未必代表真实风险，相比之下用以往量产品数据作为基准判断更好；三是对于其他工厂转移过来的产品，并不遵守自家设计规则，设计规则检查中必然出现大量问题，干扰判断。因此，目前缺少一种不基于设计规则的版图检查手段。
33.为此，本发明提供了一种一种产品版图的评估系统及评估方法，以提出一种新的无需人为定义检查规则就可判断产品版图是否符合设计要求的评估方法，进而提高产品版图的评分效率。
34.以下结合附图和具体实施例对本发明提出的产品版图的评估系统及评估方法作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
35.如本技术和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
36.下面首先对本发明实施例提供的一种产品版图的评估系统进行介绍。
37.参见图1，图1为发明一实施例中提供的一种产品版图的评估系统的结构示意图，如图1所示，本发明提供的产品版图的评估系统可以包括版图输出模块10、设计特征计算模块20和评估模块30，其中，
38.所述版图输出模块10，具体可以用于通过输入的目标版图信息数据输出目标版图信息数据所包含的各层图层的坐标信息，所述目标版图信息数据包括已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据，且版图信息数据包括多个图层；
39.所述设计特征计算模块20，可以与所述版图输出模块10电性连接，并可以在接收到所述目标版图信息数据所包含的各层图层的坐标信息的情况下，根据其预先设定的本次评估所要计算的检查规则，得到所述目标版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据；
40.所述评估模块30，可以与所述设计特征计算模块20电性连接，并可以根据预先设定的评估方式，先将所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据作为参考规则数据，再将所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述参考规则数据进行比较，且在所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据在预设阈值范围内时，确定所述待进行评估的版图信息数据所对应的产品版图符合设计要求。
41.进一步的，所述版图输出模块所能实现的功能可以采用calibre语句编写，而所述设计特征计算模块所能实现的功能采用java语句编写。
42.并且，所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据和/或所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据具体可以包括：各层图层的图形尺寸、图形间距以及多个图层之间的包围量、延伸量、重叠量和距离中的至少一种。
43.下面本发明将结合如上所述的产品版图的评估系统，并结合附图2来介绍本发明提供的产品版图的评估方法。
44.具体参见图2，图2为发明一实施例中提供的一种产品版图的评估方法的流程示意图，如图2所示，本发明提供的一种新型的产品版图的评估方法可以包括如下步骤：
45.步骤s201，获取目标版图信息数据，所述目标版图信息数据包括已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据，且版图信息数据包括多个图层。
46.在本实施例中，所述已有产品的版图信息数据是用于作为参考规则数据的，从而在利用本发明提供的评估模块进行新产品的待进行产品版图评估时，便可再无需人为定义检查规则的情况下，只需要基于参考规则数据的情况下，便可判断出待进行评估的产品版图(新产品的版图)是否有潜在风险，进而弥补了现有技术中基于设计规则检查确定产品版图是否存在设计风险的不足。因此，所述已有产品的版图信息数据和所述待进行评估的版图信息数据需要为同一工艺平台得到的版图信息数据，或者，所述已有产品的版图信息数据和所述待进行评估的版图信息数据为采用相同版图设计规则得到的版图信息数据。
47.步骤s202，将所述目标版图信息数据作为所述版图输出模块的输入，以得到所述已有产品的版图信息数据所对应的各层图层的坐标信息和所述待进行评估的版图信息数据所对应的各层图层的坐标信息。
48.在本实施例中，可以先利用calibre语句编写可以实现本发明所需要的可以求解版图中所包含的各层图层的坐标信息的calibre脚本，从而的版图输出模块，之后，再将步骤s201获取的包括已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据的目标版图信息数据作为该calibre脚本的输入参数值，进而可以得到所述已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据各自所包含的各个图层的坐标信息。
49.需要说明的是，本发明所提到的版图信息数据各自所包含的各个图层的坐标信息可以是某一个图层的整体坐标信息，还可以是某一个图层中所包含的每个图形的坐标信息，具体根据设计特征计算模块所设置的规则数据确定。
50.步骤s203，将通过所述版图输出模块得到的各层图层的坐标信息作为所述设计特征计算模块的输入，并根据所述设计特征计算模块预先设定的本次评估所要计算的检查规则，得到所述目标版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据。
51.其中，所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据和/或所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据可以包括：各层图层的图形尺寸、图形间距以及多个图层之间的包围量、延伸量、重叠量和距离中的至少一种。
52.在本实施例中，可以预先在设计特征计算模块预先设定的本次评估所要计算的检查规则，例如，可以设置本次评估所要计算的检查规则是检查新产品版图所包含的各层图层的图形尺寸，那么，在步骤s201确定出所述已有产品的版图信息数据和待进行评估的版
图信息数据各自包含的各个图层的坐标信息之后，便可利用预先用java语句编写的可以求解规则数据的设计特征计算模块的程序脚本，求解出所述已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据各自包含的各个图层所对应的图形尺寸。
53.需要说明的是，这里只是示例性的解释所述检查规则是检查新产品版图所包含的各层图层的图形尺寸，其还可以是本发明提出的所述各层图层的图形尺寸、图形间距以及多个图层之间的包围量、延伸量、重叠量和距离等多种检查规则中的一种或多种。
54.步骤s204，将所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据作为参考规则数据，并根据所述评估模块预先设定的评估方式，将所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述参考规则数据进行比较，且在所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据在预设阈值范围内时，确定所述待进行评估的版图信息数据所对应的产品版图符合设计要求。
55.在本实施例中，所述评估模块预先设定的评估方式可以包括：当所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据比所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据都小时，将该待进行评估的版图信息数据所对应的产品的评分在预设初始分数的基础上减2；以及，当所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的最小规则数据相等，且其规则数据中的最小尺寸数量占比大于所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的最小尺寸数量占比时，将该待进行评估的版图信息数据所对应的产品的评分在预设初始分数的基础上减1。
56.其中，所述预设阈值范围可以根据实际情况而定，示例性的本发明规定的预设阈值范围为70～100，例如可以为70、80、90和100。
57.作为一种示例，假设预设阈值为100，并以分析某平台一颗新产品版图设计为例(产品t)，准备了同平台10颗已量产验证产品版图用以产生数据库(产品a～产品j)。首先编写calibre脚本将产品版图各层次输出，得到这11个版图的各层次坐标信息。然后，将这些坐标信息数据输入到设计规则计算模块，在设计规则计算模块中的规则设定文件中设置此次要计算的规则为单层最小宽度、距离、面积。经过计算产生11个版图的各层次最小宽度、距离、面积信息。将产品a～产品j的设计规则信息作为参考规则数据库，与产品t的设计规则信息一同输入评估系统，就可以得到产品t哪些规则比数据库中任何产品都小，哪些规则与数据库中最小产品数值相等，但最小尺寸占比更高。我们在记分规则列表中设定比参考规则数据库中任何产品都小的情况扣2分，与数据库中最小产品数值相等，但最小尺寸占比更高得情况扣1分。最终得到产品t的得分为93分，如下表1所示。
58.表1
[0059][0060]
综上所述，在本发明提供的产品版图的评估方法中，通过利用本发明提供的产品版图的评估系统，先确定出与待进行评估的产品版图(新产品的版图)的设计工艺平台相同的工艺平台得到已有产品的版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据和待进行评估的产品版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据，然后，将已有产品的版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据作为参考规则数据库，之后，再无需人为定义检查规则的情况下，只需要基于已有产品的版图的在某次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据，便可判断出待进行评估的产品版图(新产品的版图)是否有潜在风险，从而提出一种新型的产品版图的评估方法，并弥补了现有技术中基于设计规则检查来确定产品版图是否存在设计风险的不足。
[0061]
本发明实施例还提供了一种电子设备，如图3所示，包括处理器301、通信接口302、存储器303和通信总线304，其中，处理器301，通信接口302，存储器303通过通信总线304完成相互间的通信，
[0062]
存储器303，用于存放计算机程序；
[0063]
处理器301，用于执行存储器303上所存放的程序时，实现本发明实施例提供的一种产品版图的评估方法。
[0064]
具体的，上述一种产品版图的评估方法，包括：
[0065]
获取目标版图信息数据，所述目标版图信息数据包括已有产品的版图信息数据和待进行评估的版图信息数据，且版图信息数据包括多个图层；
[0066]
将所述目标版图信息数据作为所述版图输出模块的输入，以得到所述已有产品的版图信息数据所对应的各层图层的坐标信息和所述待进行评估的版图信息数据所对应的各层图层的坐标信息；
[0067]
将通过所述版图输出模块得到的各层图层的坐标信息作为所述设计特征计算模块的输入，并根据所述设计特征计算模块预先设定的本次评估所要计算的检查规则，得到
所述目标版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据；
[0068]
将所述已有产品的版图信息所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据作为参考规则数据，并根据所述评估模块预先设定的评估方式，将所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据与所述参考规则数据进行比较，且在所述待进行评估的版图信息数据所包含的各层图层在本次评估所要计算的检查规则下所对应的规则数据在预设阈值范围内时，确定所述待进行评估的版图信息数据所对应的产品版图符合设计要求。
[0069]
另外，处理器301执行存储器303上所存放的程序而实现的产品版图的评估方法的其他实现方式，与前述方法实施例部分所提及的实现方式相同，这里也不再赘述。
[0070]
上述控制终端提到的通信总线可以是外设部件互连标准(peripheral component interconnect，pci)总线或扩展工业标准结构(extended industry standard architecture，eisa)总线等。该通信总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。
[0071]
通信接口用于上述电子设备与其他设备之间的通信。
[0072]
存储器可以包括随机存取存储器(random access memory，ram)，也可以包括非易失性存储器(non-volatile memory，nvm)，例如至少一个磁盘存储器。可选的，存储器还可以是至少一个位于远离前述处理器的存储装置。
[0073]
上述的处理器可以是通用处理器，包括中央处理器(central processing unit，cpu)、网络处理器(network processor，np)等；还可以是数字信号处理器(digital signal processing，dsp)、专用集成电路(application specific integrated circuit，asic)、现场可编程门阵列(field-programmable gate array，fpga)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。
[0074]
在本发明提供的又一实施例中，还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质中存储有指令，当其在计算机上运行时，使得计算机执行上述实施例中任一所述的产品版图的评估方法。
[0075]
在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本发明实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(dsl))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质，(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，dvd)、或者半导体介质(例如固态硬盘solid state disk(ssd))等。
[0076]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实
体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0077]
本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置、电子设备以及计算机可读存储介质实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
[0078]
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本发明的保护范围内。