衍射光学元件的复制方法

技术特征：
1.一种衍射光学元件的复制方法，其特征在于，包括如下步骤：s1、在母版衍射光学元件的图形表面涂覆一层润滑油；s2、在涂覆润滑油的图形表面涂覆一层紫外固化胶；s3、将基底置于涂覆紫外固化胶的图形表面，并采用紫外光照射，使所述紫外固化胶固化，将所述母版衍射光学元件的图形复制到所述基底上；s4、将所述基底与所述母版衍射光学元件分离，并在所述基底的图像表面蒸镀一层铝反射膜。2.如权利要求1所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，在步骤s1之前，还包括如下步骤：s0、对所述母版衍射光学元件与所述基底进行超声波清洗。3.如权利要求2所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，步骤s0具体包括如下步骤：s01、先后采用sc-1溶液、sc-2溶液对所述母版衍射光学元件与所述基底进行超声波清洗；s02、再依次采用甲苯、丙酮、酒精、水对所述母版衍射光学元件与所述基底进行超声波清洗。4.如权利要求3所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，在步骤s01中，所述sc-1溶液按照nh4oh、h2o2和h2o的体积比1:2:4混合而成，所述sc-2溶液按照hcl、h2o2和h2o的体积比1:3:7混合而成。5.如权利要求1所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，步骤s1具体包括如下步骤：s11、将所述润滑油中的气泡排出；s12、将所述润滑油均匀旋涂在所述母版衍射光学元件的图形表面。6.如权利要求5所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，在所述步骤s12中，旋涂速度为11000～15000rpm，旋涂时间为20～30s，润滑油的厚度为15～20nm。7.如权利要求1所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，步骤s2具体包括如下步骤：s21、将所述紫外固化胶中的气泡排出；s22、将所述紫外固化胶均匀旋涂在涂覆润滑油的图形表面。8.如权利要求7所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，在所述步骤s12中，旋涂速度为3100～3500rpm，旋涂时间为20～25s，紫外固化胶的厚度为15～20μm。9.如权利要求1所述的衍射光学元件的复制方法，其特征在于，在步骤s4之后，还包括如下步骤：s5、将蒸镀铝反射膜的基底依次放入丙酮和去离子水中进行清洗。

技术总结
本发明提供一种衍射光学元件的复制方法，包括如下步骤：S1、在母版衍射光学元件的图形表面涂覆一层润滑油；S2、在涂覆润滑油的图形表面涂覆一层紫外固化胶；S3、将基底置于涂覆紫外固化胶的图形表面，并采用紫外光照射，使紫外固化胶固化，将母版衍射光学元件的图形复制到基底上；S4、将基底与母版衍射光学元件分离，并在基底的图像表面蒸镀一层铝反射膜。本发明在复制过程中因所使用的紫外固化胶对环境温度没有特殊要求，只需要经过紫外汞灯进行适当照明即可实现衍射光学元件的复制，所以，本发明提出的复制方法可以有效缩短衍射光学元件的制作周期，提高衍射光学元件的制作速率。率。率。


技术研发人员：谭鑫 焦庆斌 马振予 刘思琪
受保护的技术使用者：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日：2021.06.04
技术公布日：2022/12/5