基板分离装置的制作方法

技术特征：
1.一种基板分离装置，其特征在于，包括：一基座，包括：一分离区，设置有一承载单元，适于承载一载板；一加热单元，用以加热一第一基板与一第二基板，其中该第一基板与该第二基板互相键合；及一真空单元，用以吸附该第一基板；及一放置区，设置有一放置台；及一吸附移动模块，包括：一吸附组件，用以吸附该第二基板；一升降机构，连接该吸附组件，并带动该吸附组件及其吸附的该第二基板相对于该基座升降；一本体，连接该基座及该升降机构，并带动该吸附组件及其吸附的该第二基板在该分离区及该放置区之间位移；及复数个弹性抵件，连接该升降机构，其中该吸附组件吸附该第二基板时，该第二基板会压缩该弹性抵件，使其处于一压缩状态，而该吸附组件解除对该第二基板的吸力时，该弹性抵件会由该压缩状态释放而伸长，使该第二基板离开该吸附组件。2.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中该弹性抵件包括：一弹性部，连接该升降机构；及一接触部，连接该弹性部，用以与该第二基板接触。3.根据权利要求2所述的基板分离装置，其特征在于，其中该弹性部包括一弹簧。4.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中该复数个弹性抵件围绕该吸附组件设置。5.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中：该吸附移动模块在该分离区的上方，该升降机构带动该吸附组件及该弹性抵件下降，该弹性抵件会抵接至该第二基板，该升降机构带动该吸附组件继续下降，该弹性抵件由一松弛状态被压缩，直到该吸附组件接触到该第二基板，该吸附组件吸附该第二基板；或该吸附移动模块在该放置区的上方，该升降机构带动该吸附组件及其吸附的该第二基板下降，直到该第二基板接触该放置台，该吸附组件解除对该第二基板的吸力并受该升降机构带动而上升，该弹性抵件自该压缩状态释放而持续抵接至该第二基板，使该第二基板离开该吸附组件。6.根据权利要求5所述的基板分离装置，其特征在于，其中该弹性抵件在该松弛状态下会凸出该吸附组件。7.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中该基座包括一轨道，该吸附移动模块透过该轨道连接该基座，并沿着该轨道相对于该基座位移。8.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中该承载单元包括复数个升降杆及一承载台，该升降杆用以承载该载板以及放置其上的该第一基板及该第二基板，并带动承载的该载板、该第一基板及该第二基板朝该承载台靠近，以将该载板、该第一基板及该第二基板放置在该承载台。9.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中该载板具有复数个穿孔，该真空单元经由该载板的该复数个穿孔吸附该第一基板。
10.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，其中该吸附移动模块的该吸附单元吸附位于该分离区的该第二基板，该本体带动该吸附组件及其吸附的该第二基板相对于该第一基板滑动，使该第二基板自该第一基板分离。

技术总结
本发明提供一种基板分离装置，包括一基座及一吸附移动模块。吸附移动模块包括一吸附组件、一升降机构、一本体及复数个弹性抵件。吸附组件吸附一第二基板，升降机构连接吸附组件，并带动吸附组件及其吸附的第二基板相对于基座升降，本体连接基座及升降机构，并带动吸附组件及其吸附的第二基板相对于基座位移，弹性抵件连接升降机构，其中吸附组件吸附第二基板时，第二基板会压缩弹性抵件，使其处于一压缩状态，而吸附组件解除对第二基板的吸力时，弹性抵件会由压缩状态释放而伸长，使第二基板离开吸附组件。开吸附组件。开吸附组件。


技术研发人员：林俊成 郭大豪
受保护的技术使用者：鑫天虹(厦门)科技有限公司
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2022/12/5