氧自由基产生装置及氧自由基产生方法与流程

技术特征：
1.一种氧自由基产生装置，所述氧自由基产生装置产生氧自由基，其特征在于，具备：第一气体供给部，所述第一气体供给部被供给包含氧的第一气体；第二气体供给部，所述第二气体供给部被供给包含氧的第二气体；放电处理部，所述放电处理部对供给到所述第二气体供给部的所述第二气体实施放电处理而产生所述氧自由基；混合部，所述混合部生成将由所述放电处理部实施所述放电处理后的所述第二气体与供给到所述第一气体供给部的所述第一气体混合而成的混合气体；以及混合气体排出部，所述混合气体排出部将由所述混合部生成的所述混合气体排出。2.根据权利要求1所述的氧自由基产生装置，其特征在于，所述氧自由基产生装置还具备出口部位，该出口部位将由所述放电处理部实施所述放电处理后的所述第二气体向所述混合部引导，所述出口部位在与从所述第一气体供给部朝向所述混合气体排出部的气流方向交叉的交叉方向上与所述混合部连接。3.根据权利要求1或2所述的氧自由基产生装置，其特征在于，具备：喷嘴部位，所述喷嘴部位沿着气流方向位于所述第一气体供给部与所述混合部之间，并构成为从所述第一气体供给部侧朝向所述混合部侧缩径，将供给到所述第一气体供给部的所述第一气体向所述混合部引导；以及扩散器部位，所述扩散器部位沿着所述气流方向位于所述混合部与所述混合气体排出部之间，并构成为从所述混合部侧朝向所述混合气体排出部侧扩径，将在所述混合部中混合后的所述混合气体向所述混合气体排出部引导。4.根据权利要求1～3中任一项所述的氧自由基产生装置，其特征在于，所述放电处理部中的所述第二气体的气压为1kpa至50kpa。5.根据权利要求1～4中任一项所述的氧自由基产生装置，其特征在于，在将所述放电处理的电力除以所述放电处理部的放电体积而得到的值即放电电力密度设为w，将在所述放电处理部中流动的所述第二气体的气压设为p时，满足w＞1.1
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。6.根据权利要求1～5中任一项所述的氧自由基产生装置，其特征在于，在将所述第一气体的流量设为q1，将所述第二气体的流量设为q时，满足(q q1)/q≥10。7.根据权利要求1～6中任一项所述的氧自由基产生装置，其特征在于，所述氧自由基产生装置还具备向所述放电处理部供给惰性气体的惰性气体供给部，在开始施加所述放电处理的电力时，从所述惰性气体供给部供给所述惰性气体，在发生放电后减少所述惰性气体的供给并增加所述第二气体的流量。8.根据权利要求1～7中任一项所述的氧自由基产生装置，其特征在于，将所述第一气体的水分含量设为0.5％以下。9.一种氧自由基产生方法，所述氧自由基产生方法产生氧自由基，其特征在于，具备：第一气体供给步骤，在所述第一气体供给步骤中向第一气体供给部供给包含氧的第一气体；第二气体供给步骤，在所述第二气体供给步骤中向第二气体供给部供给包含氧的第二气体；放电处理步骤，在所述放电处理步骤中对供给到所述第二气体供给部的所述第二气体
实施放电处理而产生所述氧自由基；混合步骤，在所述混合步骤中在混合部将通过所述放电处理步骤实施所述放电处理后的所述第二气体与供给到所述第一气体供给部的所述第一气体混合而生成混合气体；以及混合气体排出步骤，在所述混合气体排出步骤中将通过所述混合步骤生成的所述混合气体从混合气体排出部排出。10.根据权利要求9所述的氧自由基产生方法，其特征在于，所述氧自由基产生方法还具备第二气体引导步骤，在所述第二气体引导步骤中将通过所述放电处理步骤实施所述放电处理后的所述第二气体在与从所述第一气体供给部朝向所述混合气体排出部的气流方向交叉的交叉方向上向所述混合部引导。11.根据权利要求9或10所述的氧自由基产生方法，其特征在于，具备：喷嘴部位准备步骤，在所述喷嘴部位准备步骤中准备喷嘴部位，所述喷嘴部位沿着气流方向位于所述第一气体供给部与所述混合部之间，并构成为从所述第一气体供给部侧朝向所述混合部侧缩径，将供给到所述第一气体供给部的所述第一气体向所述混合部引导；以及扩散器部位准备步骤，在所述扩散器部位准备步骤中准备扩散器部位，所述扩散器部位沿着所述气流方向位于所述混合部与所述混合气体排出部之间，并构成为从所述混合部侧朝向所述混合气体排出部侧扩径，将在所述混合部中混合后的所述混合气体向所述混合气体排出部引导。12.根据权利要求9～11中任一项所述的氧自由基产生方法，其特征在于，所述放电处理步骤中的所述第二气体的气压为1kpa至50kpa。13.根据权利要求9～12中任一项所述的氧自由基产生方法，其特征在于，在将所述放电处理步骤中的所述放电处理的电力除以放电体积而得到的值即放电电力密度设为w，将所述第二气体的气压设为p时，满足w＞1.1
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。14.根据权利要求9～13中任一项所述的氧自由基产生方法，其特征在于，在将所述混合步骤中的所述第一气体的流量设为q1，将所述第二气体的流量设为q时，满足(q q1)/q≥10。15.根据权利要求9～14中任一项所述的氧自由基产生方法，其特征在于，在所述放电处理步骤之前还具备放电开始步骤，在所述放电开始步骤中对惰性气体进行放电处理而开始放电。

技术总结
本发明提供一种能够高效地将氧自由基注入空气的氧自由基产生装置。具备：第一气体供给部(62)，其被供给包含氧的第一气体；第二气体供给部(71)，其被供给包含氧的第二气体；放电处理部(72)，其对供给到第二气体供给部的第二气体实施放电处理而产生氧自由基；混合部(63)，其生成将由放电处理部实施放电处理后的所述第二气体与供给到所述第一气体供给部的第一气体混合而成的混合气体；以及混合气体排出部(65)，其将由混合部生成的混合气体排出。其将由混合部生成的混合气体排出。其将由混合部生成的混合气体排出。


技术研发人员：葛本昌树 盐田有波 内藤皓贵
受保护的技术使用者：三菱电机株式会社
技术研发日：2020.04.09
技术公布日：2022/12/1