一种硅材料微孔清洗工装的制作方法

1.本实用新型涉及硅材料微孔孔隙清洗技术领域，具体为一种硅材料微孔清洗工装。


背景技术：

2.硅材料是重要的半导体材料，高纯度的硅因具有优良的电学和机械性能而被广泛的应用于电子工业领域。
3.硅材料在实际使用过程中，经常被制作成圆盘形，而为了使得硅盘具有更出色的性能或满足一些特定的需求，就会在硅盘上开设出一定数量且均匀分布的微孔。
4.而这些微孔孔隙内容易积攒杂质，为了保证硅盘能够更加稳定的进行工作，就需要对这些微孔孔隙进行彻底地清理，现有的对于孔隙进行清理的方式主要是通过清水对微孔进行冲洗，但是由于微孔的孔隙较小，很多的水会沿着盘面流走，从而造成对微孔的冲洗效果不佳。


技术实现要素：

5.(一)解决的技术问题
6.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅材料微孔清洗工装，解决了现有的对于磁材料微孔进行冲洗的方式无法有效彻底地对微孔孔隙进行清理的问题。
7.(二)技术方案
8.实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅材料微孔清洗工装，包括集水箱，集水箱内设有清洗组件，所述清洗组件上设有硅材料安装组件，且硅材料安装组件包括硅材料放置单元和硅材料固定单元，其中硅材料固定单元包括压盘，且压盘中央部位开设有贯穿腔，硅材料位于压盘和硅材料放置单元之间，还包括设在清洗组件上的密封组件。
9.上述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述清洗组件包括安装在集水箱内的清洗箱，所述清洗箱的一个侧面上开设有出水口，所述出水口上设有第一下沉台，所述清洗箱的侧面上连通有高压进水管，且高压进水管远离清洗箱的一端延伸至集水箱的外部。
10.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述硅材料放置单元包括放置在第一下沉台上的放置环，所述放置环顶部对称开设有两个耳腔，且两个耳腔与放置环内圈相连通，所述放置环内圈顶部开设有第二下沉台，所述清洗箱顶部呈环形连接有多个卡钳，且多个卡钳将放置环压紧限位在第一下沉台上。
11.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述耳腔的宽度不小于两厘米。
12.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述固定单元还包括呈环形开设在压盘上的多个第一通槽，且固定单元还包括呈环形开设在放置环上的多个第二通槽和呈环形开设在放置环上的多个限位槽，所述限位槽位于第二通槽下侧且两者相互连通，所述第一通槽和第二通槽以及限位槽数量相等并相互连通，且第一通槽和第二通槽完全对齐连通，而第二通槽和限位槽相互垂直并连通，所述固定单元还包括限位销，所述限位销包括旋转柄和连
接在旋转柄上的插杆，所述插杆远离旋转柄的一端连接有限位矩形块，且插杆贯穿第一通槽和第二通槽并使得限位矩形块插入限位槽内，且限位矩形块与第二通槽相互垂直。
13.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述限位矩形块和第一通槽以及第二通槽均为圆头矩形，所述第一通槽和第二通槽形状大小相同，所述限位矩形块的长度和宽度分别小于第二通槽的长度和宽度，所述限位槽为圆形，且限位槽的直径大于限位矩形块的长度。
14.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述密封组件包括嵌入连接在放置环顶部的第一密封环，且密封组件还包括嵌入连接在放置环顶部的第二密封环。
15.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述压盘中央部位的贯穿腔为圆形，且贯穿腔的直径小于放置在第一下沉台内的硅材料半径。
16.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述第二下沉台上侧等角度呈环形开设有多个溢出槽，且溢出槽靠近放置环轴心线的一端与清洗箱内部相连通，所述压盘的圆形贯穿腔上开设有限位台，所述限位台内侧壁上开设有泡沫储存槽。
17.前述的一种硅材料微孔清洗工装中，所述限位台顶部安装有第三密封环，且压盘的底部安装有第四密封环。
18.(三)有益效果
19.与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅材料微孔清洗工装，具备以下有益效果：
20.1、本实用新型通过设置的磁材料固定单元能够将硅材料固定夹紧在磁材料放置单元上，如此既可将磁材料固定在清洗箱出水口处，再配合密封组件和磁材料放置单元能够使得清洗箱内的水只能够通过磁材料上的微孔孔隙流出，如此既可有效地提高对磁材料微孔孔隙的清洗效果。
21.2、本实用新型通过设置的第一通槽、第二通槽、限位槽和限位矩形块，使得工作人员只需要将限位矩形块转动九十度既可使得压盘和放置环被锁紧在一起，或使得压盘和放置环处于可分离状态，从而简化了磁材料的固定安装和拆卸取出的工作，极大地提高了该清洗工装的实用性和便捷性。
附图说明
22.图1为本实用新型的结构示意图
23.图2为本实用新型的第一剖视结构示意图；
24.图3为本实用新型的第二剖视结构示意图；
25.图4为本实用新型的第三剖视结构示意图；
26.图5为本实用新型的第四剖视结构示意图；
27.图6为放置环的第一结构示意图；
28.图7为放置环的第二结构示意图
29.图8为限位销的结构示意图；
30.图9为图3中a处的放大示意图
31.图10为实施例二中的安装组件的正视剖视图
32.图11为实施例二中的放置环的俯视图
33.图12为图10中b处的放大示意图。
34.图中：1、集水箱：2、清洗组件；21、清洗箱；22、出水口；23、第一下沉台；24、高压进水管；3、安装组件；31、硅材料放置单元；311、放置环；312、耳腔；313、第二下沉台；314、卡钳；32、硅材料固定单元；321、压盘；322、第一通槽；323、第二通槽；324、限位槽；325、限位销；3251、旋转柄；3252、插杆；3253、限位矩形块；4、密封组件；41、第一密封环； 42、第二密封环；5、排水管；6、连接块；7、溢出槽；8、泡沫储存槽；9、第三密封环；10、第四密封环；11、对开门；12、调压阀；13、循环泵；14、滤芯。
具体实施方式
35.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.如图1-9所示，本实用新型实施例一提供一种技术方案：一种硅材料微孔清洗工装，包括集水箱1，且集水箱1的侧面底部连通有排水管5，集水箱 1内设有清洗组件2，清洗组件2上设有硅材料安装组件3，且硅材料安装组件3包括硅材料放置单元31和硅材料固定单元32，其中硅材料固定单元32 包括压盘321，且压盘321中央部位开设有贯穿腔，硅材料位于压盘321和硅材料放置单元31之间，还包括设在清洗组件2上的密封组件4，所述集水箱 1上安装有对开门11，所述进水管24一端连通有调压阀12，所述调压阀12 另一端连通有循环泵13，所述循环泵13连通有滤芯14，且滤芯14与排水管 5相连通，如此使得清洗磁材料孔隙的水能够得到过滤净化后进行循环实用，有效的节约的水资源。
37.其中，清洗组件2包括通过连接块6固定连接在集水箱1内侧壁上的清洗箱21，清洗箱21的一个侧面上开设有出水口22，出水口22上设有第一下沉台23，清洗箱21的侧面上连通有高压进水管24，且高压进水管24远离清洗箱21的一端延伸至集水箱1的外部，通过高压进水管24向清洗箱21内部注入清水，使得清洗箱21内溢出的水在压力作用下通过出水口22并挤入磁材料的微孔孔隙内，从而能够有效的提高对磁材料微孔的清洗效果。
38.其中，硅材料放置单元31包括放置在第一下沉台23上的放置环311，放置环311顶部对称开设有两个耳腔312，且两个耳腔312与放置环311内圈相连通，放置环311内圈顶部开设有第二下沉台313，清洗箱21顶部呈环形连接有多个卡钳314，且多个卡钳314将放置环311压紧限位在第一下沉台23 上，使得放置环311能够被可靠的固定安装在出水口22处。
39.其中，耳腔312的宽度不小于两厘米，便于工作人员通过两个耳孔311 将磁材料从第一下沉台23处取出或者将磁材料放入第一下沉台23处，从而简化了工作人员的操作过程，提高了清洗工作的效率。
40.其中，固定单元32还包括呈环形开设在压盘321上的多个第一通槽322，且固定单元32还包括呈环形开设在放置环311上的多个第二通槽323和呈环形开设在放置环311上的多个限位槽324，限位槽324位于第二通槽323下侧且两者相互连通，第一通槽322和第二通槽323以及限位槽324数量相等并相互连通，且第一通槽322和第二通槽323完全对齐连通，而第二通槽323 和限位槽324相互垂直并连通，固定单元32还包括限位销325，限位销325 包括旋转柄3251和连接在旋转柄3251上的插杆3252，插杆3252远离旋转柄 3251的一端连接有限位矩形块3253，且插杆3252贯穿第一通槽322和第二通槽323并使得限位矩形块3253
插入限位槽324内，且限位矩形块3253与第二通槽323相互垂直，使得工作人员只需要通过将旋转柄3251转动九十度，既可使得放置环311和压盘321处于锁紧状态或者使得放置环311和压盘321 处于可分离状态，从而进一步简化了磁材料的固定安装和取出操作，极大地简化了清洗工作操作，提高了清洗工作的效率，也提高了该清洗工作的实用性和便捷性。
41.其中，限位矩形块3253和第一通槽322以及第二通槽323均为圆头矩形，第一通槽322和第二通槽323形状大小相同，限位矩形块3253的长度和宽度分别分别小于第二通槽323的长度和宽度，限位槽324为圆形，且限位槽324 的直径大于限位矩形快3253的长度，保证了限位矩形块3253能够顺利地在限位槽324内进行转动，同时配合第二通槽323和第一通槽321完成压盘321 和放置环311之间的锁紧或分离操作。
42.其中，密封组件4包括嵌入连接在放置环311顶部的第一密封环41，且密封组件4还包括嵌入连接在放置环311顶部的第二密封环42，能够防止清水通过放置环311与清洗箱21之间的间隙以及第二下沉台313和磁材料之间的间隙处溢出，保证了所有的清水均只能通过磁材料上的微孔处流出，如此既可可靠地保证对磁材料微孔孔隙的清洗效果。
43.其中，压盘321中央部位的贯穿腔为圆形，且贯穿腔的直径小于放置在第一下沉台23内的硅材料半径，保证压盘321配合放置环311能够将磁材料有效地夹紧固定住，保证了清洗工作的顺利进行。
44.如图10-12所示，本实用新型实施例二提供一种技术方案：一种硅材料微孔清洗工装，包括集水箱1，且集水箱1的侧面底部连通有排水管5，集水箱1内设有清洗组件2，清洗组件2上设有硅材料安装组件3，且硅材料安装组件3包括硅材料放置单元31和硅材料固定单元32，其中硅材料固定单元 32包括压盘321，且压盘321中央部位开设有贯穿腔，硅材料位于压盘321 和硅材料放置单元31之间，还包括设在清洗组件2上的密封组件4，所述集水箱1上安装有对开门11，所述进水管24一端连通有调压阀12，所述调压阀12另一端连通有循环泵13，所述循环泵13连通有滤芯14，且滤芯14与排水管5相连通，如此使得清洗磁材料孔隙的水能够得到过滤净化后进行循环实用，有效的节约的水资源。
45.其中，清洗组件2包括通过连接块6固定连接在集水箱1内侧壁上的清洗箱21，清洗箱21的一个侧面上开设有出水口22，出水口22上设有第一下沉台23，清洗箱21的侧面上连通有高压进水管24，且高压进水管24远离清洗箱21的一端延伸至集水箱1的外部，通过高压进水管24向清洗箱21内部注入清水，使得清洗箱21内溢出的水在压力作用下通过出水口22并挤入磁材料的微孔孔隙内，从而能够有效的提高对磁材料微孔的清洗效果。
46.其中，硅材料放置单元31包括放置在第一下沉台23上的放置环311，放置环311顶部对称开设有两个耳腔312，且两个耳腔312与放置环311内圈相连通，放置环311内圈顶部开设有第二下沉台313，清洗箱21顶部呈环形连接有多个卡钳314，且多个卡钳314将放置环311压紧限位在第一下沉台23 上，使得放置环311能够被可靠的固定安装在出水口22处。
47.其中，耳腔312的宽度不小于两厘米，便于工作人员通过两个耳孔311 将磁材料从第一下沉台23处取出或者将磁材料放入第一下沉台23处，从而简化了工作人员的操作过程，提高了清洗工作的效率。
48.其中，固定单元32还包括呈环形开设在压盘321上的多个第一通槽322，且固定单元32还包括呈环形开设在放置环311上的多个第二通槽323和呈环形开设在放置环311上的多个限位槽324，限位槽324位于第二通槽323下侧且两者相互连通，第一通槽322和第二通
槽323以及限位槽324数量相等并相互连通，且第一通槽322和第二通槽323完全对齐连通，而第二通槽323 和限位槽324相互垂直并连通，固定单元32还包括限位销325，限位销325 包括旋转柄3251和连接在旋转柄3251上的插杆3252，插杆3252远离旋转柄 3251的一端连接有限位矩形块3253，且插杆3252贯穿第一通槽322和第二通槽323并使得限位矩形块3253插入限位槽324内，且限位矩形块3253与第二通槽323相互垂直，使得工作人员只需要通过将旋转柄3251转动九十度，既可使得放置环311和压盘321处于锁紧状态或者使得放置环311和压盘321 处于可分离状态，从而进一步简化了磁材料的固定安装和取出操作，极大地简化了清洗工作操作，提高了清洗工作的效率，也提高了该清洗工作的实用性和便捷性。
49.其中，限位矩形块3253和第一通槽322以及第二通槽323均为圆头矩形，第一通槽322和第二通槽323形状大小相同，限位矩形块3253的长度和宽度分别小于第二通槽323的长度和宽度，限位槽324为圆形，且限位槽324 的直径大于限位矩形块3253的长度，保证了限位矩形块3253能够顺利地在限位槽324内进行转动，同时配合第二通槽323和第一通槽321完成压盘321 和放置环311之间的锁紧或分离操作。
50.其中，密封组件4包括嵌入连接在放置环311顶部的第一密封环41，且密封组件4还包括嵌入连接在放置环311顶部的第二密封环42，能够防止清水通过放置环311与清洗箱21之间的间隙以及第二下沉台313和磁材料之间的间隙处溢出，保证了所有的清水均只能通过磁材料上的微孔处流出，如此既可可靠地保证对磁材料微孔孔隙的清洗效果。
51.其中，压盘321中央部位的贯穿腔为圆形，且贯穿腔的直径小于放置在第一下沉台23内的硅材料半径，保证压盘321配合放置环311能够将磁材料有效地夹紧固定住，保证了清洗工作的顺利进行。
52.其中，第二下沉台313上侧等角度呈环形开设有多个溢出槽7，且溢出槽 7靠近放置环311轴心线的一端与清洗箱21内部相连通，压盘321的圆形贯穿腔上开设有限位台，限位台内侧壁上开设有泡沫储存槽8，使得在清洗过程中产生的泡沫能够通过溢出槽7和限位台进入泡沫储存槽8内，从而能够防止泡沫长时间停留在磁材料下表面而导致磁材料下表面产生色斑，从而有效提高了磁材料的成品率。
53.其中，限位台顶部安装有第三密封环9，且压盘321的底部安装有第四密封环10，能够防止泡沫和水通过限位台和圆形贯穿腔与磁材料之间的缝隙溢出，保证了清水只能通过磁材料微孔孔隙流出，保证了清洗的效果。
54.工作原理：工作时，将磁材料放置到第二下沉台313上，然后将压盘321 放置在磁材料上并使得多个第一通槽322分别对准多个第二通槽323，此时插接在第一通槽322上的插杆3252和限位矩形块3253贯穿第二通槽323并插入限位槽324内部，接着通过旋转柄3251将各个限位矩形快3253旋转九十度既可完成压盘321和放置环311之间的锁紧工作，此时磁材料的固定安装工作完成。
55.然后通过高压进水管24向清洗箱21内注入高压清水，当清水箱21内的清水蓄满后，多余的清水会在水压和密封组件4的作用下穿过磁材料上的微孔，从而对磁材料上的微孔孔隙进行彻底有效的清洗直至清洗完成，穿过微孔孔隙的清水会流入集水箱1内，当集水箱1内的水快蓄满时，通过排水管5 将集水箱1内的水排出。
56.该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
57.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将两个实体或者操作与另两个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
58.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。