一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的制作方法

1.本发明涉及显影液混合搅拌领域，具体涉及一种电子级负胶显影液配置搅拌设备。


背景技术：

2.负性光刻胶一般采用负性显影液显影，负性显影液一般为koh，个别工厂也有使用na2co3，但无论哪种成份的碱液，都会含有表面活性剂。弱酸性区域的光刻胶不曝光区，仅从化学反应层来看，就是未曝光区域光刻胶与碱性显影液发生酸碱度的关系，由于负性光刻胶分子量大且具有疏水性，需要通过显影液中的界面活性剂来提高显影液的亲水性，从而使其溶解。
3.授权公告号为cn102743996b的中国专利公开了一种萃取混合搅拌机，所述叶片的上方设有上挡盖板，叶片的下方设有中心为流体吸入口的下盖板，所述上盖板和下盖板之间设有用于径向通过并且混合流体的混合元件，所述混合元件上设有若干个用于径向通过流体的流体通过孔，流体通过这些流体通过孔后在搅拌器内流径交错。但是在现有技术中，目前现有的在对碱液与水的分层处理中，均采用改变叶片方式打破现有的循环方式，但是对于分层明显的混合，单纯改变循环方式而无明显的溶液间的正向冲击，在溶液本体破坏效果不明显的情况下混合效果也不理想。


技术实现要素：

4.本发明提供一种电子级负胶显影液配置搅拌设备，以解决目前在负胶显影液进行搅拌时发生碱液和水的分层且无法及时将分层混合从而混合效率低的技术问题。
5.本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备采用如下技术方案：包括用于进行提供搅拌环境的搅拌釜，所述搅拌釜内部安装有循环机构以及用于配合所述循环机构的挤压机构，所述循环机构包括与搅拌釜转动连接的主动管，所述主动管内部设置有循环腔，挤压螺旋叶片安装在循环腔内部且叶片与所述主动管滑动配合，所述主动管上靠近顶部位置设置有进液口，所述主动管上靠近底部位置设置有出液口，所述主动管上位于所述出液口上侧安装有搅拌叶；所述主动管通过减速配合件连接所述挤压机构的底环，所述底环内壁成型有配合减速配合件的齿槽，所述底环上端对应所述出液口位置固连有切断片，两个套环设置在所述主动管上且周向旋转配合所述主动管，两个套环分别设置在所述进液口外部和所述出液口上侧，两个所述套环上均设置有四个支撑杆，且两组支撑杆之间固连有螺旋挤压杆，所述螺旋挤压杆外侧面与所述搅拌釜内壁之间均匀设置有四个三角挤压管，所述三角挤压管内部成型有挤压腔，所述三角挤压管底部设置有底部喷管，所述底部喷管上侧面成型有喷水口，且喷水口方向对应所述出液口方向。
6.进一步的，所述主动管的减速配合件为底部太阳轮和行星轮组，所述底部太阳轮固连在所述主动管底部，所述底部太阳轮外侧配合所述行星轮组，所述行星轮组与所述底
环的齿槽啮合，通过底部太阳轮、所述行星轮组与所述底环配合，将主动管的快速旋转力转化为底环的慢速同向旋转，从而保证所述螺旋挤压杆的旋转和加压效果。
7.进一步的，四个所述切断片固连在所述套环和所述底环之间，且所述切断片迎水面向内设置有圆角，通过圆角处理，当切断片旋转时，能够为所述出液口提供少许压力，从而使出液口喷出的水压与切断片和水压进行冲击，提高出液口喷水的液体破碎效果。
8.进一步的，所述三角挤压管俯视截面为中空三角形，所述螺旋挤压杆与所述搅拌釜内壁的配合间隙为所述三角挤压管对折后的厚度，所述三角挤压管在常态下能够将外围高密度液体灌入，当受到螺旋挤压杆的顺序挤压后，通过配合挤压，将高密度液体向下传输再通过底部喷管的喷口喷出。
9.进一步的，所述螺旋挤压杆成螺旋结构，且所述螺旋挤压杆上设置有套筒，套筒转动连接于所述螺旋挤压杆，通过旋转的套筒与三角挤压管配合挤压时，避免滑动摩擦，提高三角挤压管和螺旋挤压杆交错时的挤压效果。
10.进一步的，所述挤压螺旋叶片底部通过固定轴贯穿所述主动管和所述底部太阳轮连接在搅拌釜底面上，挤压螺旋叶片通过固定轴固连在搅拌釜上，从而配合旋转的主动管，使液体能够被挤压螺旋叶片传输挤压。
11.进一步的，所述搅拌釜外部固定有支撑架，所述搅拌釜上端安装有为所述主动管提供动力的搅拌电机。
12.本发明的有益效果是：本发明的通过主动管带动搅拌叶正转快速搅拌，使内部液体形成径向流的漩涡，使低密度液体集中向通过进液口向主动管内部供给，当液体进入到主动管内部后，通过固定的挤压螺旋叶片配合旋转的主动管，使液体从上往下传输，再从出液口口挤出，主动管再通过底部的减速配合件带动底环以及上端附属的切断片和套环慢速正转，使套环上固连的支撑杆和螺旋挤压杆对三角挤压管形成顺序挤压，高密度液体被三角挤压管抽进后，再通过底部的底部喷管喷出，从而与出液口喷出的低密度液体发生冲击，利用碱液和水本身的分层性质配合搅拌釜原有的径向流利用其两特性的结合，从而提高水碱的混合效果及混合效率。
附图说明
13.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的搅拌釜结构示意图；图2为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的支撑架结构示意图；图3为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的搅拌釜内部结构示意图；图4为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的挤压螺旋叶片结构示意图；
图5为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的螺旋挤压杆结构示意图；图6为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的挤压螺旋叶片与主动管配合关系结构示意图；图7为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的减速配合件与底环配合关系结构示意图；图8为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的螺旋挤压杆与底部喷管配合关系结构示意图；图9为本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例的切断片结构示意图。
15.图中：2、挤压机构；3、循环机构；11、搅拌釜；12、支撑架；13、搅拌电机；21、三角挤压管；22、挤压腔；23、螺旋挤压杆；24、底部喷管；25、支撑杆；26、套环；27、切断片；28、底环；31、主动管；32、循环腔；33、进液口；34、搅拌叶；35、出液口；36、挤压螺旋叶片；37、底部太阳轮；38、行星轮组。
具体实施方式
16.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
17.本发明的一种电子级负胶显影液配置搅拌设备的实施例，如图1至图9所示，包括用于进行提供搅拌环境的搅拌釜11，搅拌釜11内部安装有循环机构3以及用于配合循环机构3的挤压机构2，如图3、4所示，循环机构3包括与搅拌釜11转动连接的主动管31，主动管31内部设置有循环腔32，挤压螺旋叶片36安装在循环腔32内部且叶片与主动管31滑动配合，主动管31上靠近顶部位置设置有进液口33，主动管31上靠近底部位置设置有出液口35，主动管31上位于出液口35上侧安装有搅拌叶34；如图5、6所示，主动管31通过减速配合件连接挤压机构2的底环28，底环28内壁成型有配合减速配合件的齿槽，底环28上端对应出液口35位置固连有切断片27，两个套环26设置在主动管31上且周向旋转配合主动管31，两个套环26分别设置在进液口33外部和出液口35上侧，两个套环26上均设置有四个支撑杆25，且两组支撑杆25之间固连有螺旋挤压杆23，螺旋挤压杆23外侧面与搅拌釜11内壁之间均匀设置有四个三角挤压管21，三角挤压管21内部成型有挤压腔22，三角挤压管21底部设置有底部喷管24，底部喷管24上侧面成型有喷水口，且喷水口方向对应出液口35方向。
18.如图6、7所示，主动管31的减速配合件为底部太阳轮37和行星轮组38，底部太阳轮37固连在主动管31底部，底部太阳轮37外侧配合行星轮组38，行星轮组38与底环28的齿槽啮合，通过底部太阳轮37、行星轮组38与底环28配合，将主动管31的快速旋转力转化为底环28的慢速同向旋转，从而保证螺旋挤压杆23的旋转和加压效果。
19.如图9所示，四个切断片27固连在套环26和底环28之间，且切断片27迎水面向内设置有圆角，通过圆角处理，当切断片27旋转时，能够为出液口35提供少许压力，从而使出液
口35喷出的水压与切断片27和水压进行冲击，提高出液口35喷水的液体破碎效果。
20.如图8所示，三角挤压管21俯视截面为中空三角形，螺旋挤压杆23与搅拌釜11内壁的配合间隙为三角挤压管21对折后的厚度，三角挤压管21在常态下能够将外围高密度液体灌入，当受到螺旋挤压杆23的顺序挤压后，通过配合挤压，将高密度液体向下传输再通过底部喷管24的喷口喷出。
21.如图3所示，螺旋挤压杆23成螺旋结构，且螺旋挤压杆23上设置有套筒，套筒转动连接于螺旋挤压杆23，通过旋转的套筒与三角挤压管21配合挤压时，避免滑动摩擦，提高三角挤压管21和螺旋挤压杆23交错时的挤压效果。
22.如图6所示，挤压螺旋叶片36底部通过固定轴贯穿主动管31和底部太阳轮37连接在搅拌釜11底面上，挤压螺旋叶片36通过固定轴固连在搅拌釜11上，从而配合旋转的主动管31，使液体能够被挤压螺旋叶片36传输挤压。
23.如图2所示，搅拌釜11外部固定有支撑架12，搅拌釜11上端安装有为主动管31提供动力的搅拌电机13。
24.综上，搅拌电机13启动后，带动主动管31旋转，当慢速状态下，碱液层漂浮在水面上，此时主动管31底部的底部太阳轮37通过行星轮组38带动底环28慢速旋转，则此时底环28通过套环26带动螺旋挤压杆23旋转，螺旋挤压杆23顺序挤压三角挤压管21，使碱液层被挤压的三角挤压管21提供的抽力灌进三角挤压管21内部，当三角挤压管21再次受到螺旋挤压杆23的挤压时，碱液即可被挤压在三角挤压管21内部由上向下挤压，到达底部喷管24后喷出，而旋转的主动管31和固定的挤压螺旋叶片36配合，将碱液层下的水进行挤压向下传输，从出液口35口喷出，使水和碱液能够正向冲击，配合活性剂进行混合，当主动管31速度升高后，通过主动管31带动搅拌叶34正转快速搅拌，使内部液体形成径向流的漩涡，使碱液集中向通过进液口33向主动管31内部供给，当液体进入到主动管31内部后，通过固定的挤压螺旋叶片36配合旋转的主动管31，使液体从上往下传输，再从出液口35口挤出，主动管31带动螺旋挤压杆23慢速正转，水被三角挤压管21抽进后，再通过底部的底部喷管24喷出，从而与出液口35喷出的碱液发生冲击，再配合活性剂从而提高水碱的混合效果及混合效率。
25.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。