一种真空基板输送装置的制作方法

1.本实用新型涉及输送装置技术领域，尤其涉及一种真空基板输送装置。


背景技术：

2.光学制作工艺广泛应用于各个领域之中，光学制作工艺中包含光掩模、显影、蚀刻等不同步骤，依设计来逐步或反复施作，而形成最后所需的晶片或晶体管或色阻结构，在各个制作工艺步骤中，均需对承载的基板进行输送，在通过输送装置对基板进行输送时，由于基板存在不同的型号，不同型号的基板的宽度不同，现有的输送装置无法对不同宽度的基板进行输送。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的无法对不同宽度的基板进行输送的缺点，而提出的一种真空基板输送装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.设计一种真空基板输送装置，包括底架、两个平行设置的输送机构、支撑板、若干凹口、间距调节机构和两个平行设置的限位机构，其中：
6.所述支撑板固定连接至所述底架上，若干所述凹口沿所述支撑板的长度方向等间距分布，两个平行设置的所述输送机构可滑动的连接至所述底架上，所述输送机构与所述凹口相配合，所述底架上连接用于调节两个所述输送机构之间距离的所述间距调节机构，两个平行设置的所述限位机构连接至所述支撑板上。
7.优选的，所述输送机构包括活动架和若干输送组件，所述活动架可滑动的连接至所述底架上，所述活动架连接所述间距调节机构，若干所述输送组件沿所述活动架的长度方向等间距分布，所述输送组件与所述凹口相配合。
8.优选的，所述输送组件包括电机、转轴、转动辊和防滑套，所述电机固定连接至所述活动架上，所述转轴的一端固定连接至所述电机的输出端上，所述转轴的另一端固定连接至所述转动辊上，所述转动辊与所述凹口相配合，所述防滑套套接至所述转动辊上。
9.优选的，所述间距调节机构包括安装板、双向螺杆、两个平行设置的活动块和第一手柄，所述安装板固定连接至所述底架上，所述双向螺杆的一端可转动的连接至所述安装板上，所述双向螺杆的另一端固定连接至所述第一手柄上，两个平行设置的所述活动块上开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔与所述双向螺杆相配合，两个平行设置的所述活动块与所述底架相接触，两个平行设置的所述活动块连接至不同的所述输送机构上。
10.优选的，所述限位机构包括插杆、限位板、螺纹杆和第二手柄，所述螺纹杆的一端可转动的连接至所述支撑板上，所述螺纹杆的另一端固定连接至所述第二手柄上，所述限位板上开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述螺纹杆相配合，所述插杆的一端固定连接至所述限位板上，所述插杆的另一端可滑动的插接至所述支撑板上。
11.本实用新型提出的一种真空基板输送装置，有益效果在于：
12.通过底架上连接用于调节两个输送机构之间距离的间距调节机构，间距调节机构转动后调节两个输送机构之间距离，使得两个输送机构与基板的外侧接触，通过间距调节机构调节两个输送机构之间距离，便于对不同宽度的基板进行输送。
附图说明
13.图1为本实用新型提出的一种真空基板输送装置的结构示意图；
14.图2为本实用新型提出的一种真空基板输送装置中间距调节机构的结构示意图；
15.图3为本实用新型提出的一种真空基板输送装置中限位机构的结构示意图。
16.图中：底架1、输送机构2、支撑板3、凹口4、间距调节机构5、限位机构6、活动架21、输送组件22、电机221、转轴222、转动辊223、防滑套224、安装板51、双向螺杆52、活动块53、第一手柄54、插杆61、限位板62、螺纹杆63、第二手柄64。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
18.实施例1
19.参照图1-3，一种真空基板输送装置，包括底架1、两个平行设置的输送机构2、支撑板3、若干凹口4、间距调节机构5和两个平行设置的限位机构6，其中：
20.支撑板3固定连接至底架1上，支撑板3用于支撑基板，若干凹口4沿支撑板3的长度方向等间距分布，两个平行设置的输送机构2可滑动的连接至底架1上，输送机构2启动后对支撑板3上的基板进行输送，输送机构2与凹口4相配合，底架1上连接用于调节两个输送机构2之间距离的间距调节机构5，间距调节机构5转动后调节两个输送机构2之间距离，便于对不同宽度的基板进行输送，两个平行设置的限位机构6连接至支撑板3上，两个平行设置的限位机构6用于对进入支撑板3上的基板进行限位。
21.工作过程：基板放置在支撑板3上，两个平行设置的限位机构6对支撑板3上基板进行限位，间距调节机构5转动后调节两个输送机构2之间距离，使得两个输送机构2与基板的外侧接触，输送机构2通电启动后对支撑板3上的基板进行输送，通过间距调节机构5调节两个输送机构2之间距离，便于对不同宽度的基板进行输送。
22.实施例2
23.参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，与实施例1的区别在于输送机构2包括活动架21和若干输送组件22，活动架21可滑动的连接至底架1上，活动架21用于安装输送组件22，活动架21连接间距调节机构5，若干输送组件22沿活动架21的长度方向等间距分布，输送组件22启动后对支撑板3上的基板进行输送，输送组件22与凹口4相配合；
24.输送组件22包括电机221、转轴222、转动辊223和防滑套224，电机221固定连接至活动架21上，转轴222的一端固定连接至电机221的输出端上，转轴222的另一端固定连接至转动辊223上，转动辊223与凹口4相配合，防滑套224套接至转动辊223上，电机221通电启动后带动转轴222转动，转轴222带动转动辊223转动，转动辊223带动防滑套224转动，转动的防滑套224与基板接触，对支撑板3上的基板进行输送。
25.实施例3
26.参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，与实施例1的区别在于间距调节机构5包括安装板51、双向螺杆52、两个平行设置的活动块53和第一手柄54，安装板51固定连接至底架1上，双向螺杆52的一端可转动的连接至安装板51上，双向螺杆52的另一端固定连接至第一手柄54上，两个平行设置的活动块53上开设有第一螺纹孔，第一螺纹孔与双向螺杆52相配合，两个平行设置的活动块53与底架1相接触，两个平行设置的活动块53连接至不同的输送机构2上，第一手柄54带动双向螺杆52转动，双向螺杆52转动后两个活动块53之间的间距改变，活动块53带动输送机构2移动。
27.实施例4
28.参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，与实施例1的区别在于限位机构6包括插杆61、限位板62、螺纹杆63和第二手柄64，螺纹杆63的一端可转动的连接至支撑板3上，螺纹杆63的另一端固定连接至第二手柄64上，限位板62上开设有第二螺纹孔，第二螺纹孔与螺纹杆63相配合，插杆61的一端固定连接至限位板62上，插杆61的另一端可滑动的插接至支撑板3上，第二手柄64带动螺纹杆63转动，螺纹杆63转动后在插杆61的导向下限位板62发生移动，改变两个限位机构6之间的距离。
29.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。