感光树脂组合物及其制备方法与应用与流程

技术特征：
式ⅳ式
ⅴꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
式ⅵ式ⅶ式
ⅷ
所述二胺的结构式如下式
ⅸ
所示：
式
ⅸ
式
ⅸ
中，x表示单键或选自-ch
2-、
ꢀ‑
o-、
ꢀ‑
co-、
ꢀ‑
s-、
ꢀ‑
so
2-、
ꢀ‑
nhco-、
ꢀ‑
c(cf3)
2-和-c(ch3)
2-中至少一种；r2、r3、r4、r5、r6、r7、r8、r9各自独立地选自-oh；所述含不饱和双键的醇类化合物中含有酯基；所述含不饱和双键的醇类化合物选自2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸甲酯、2-羟基-3-丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-叔丁氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3环己氧基丙基丙烯酸酯、2-羟基-3-甲氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-丁氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-叔丁氧基丙基甲基丙烯酸酯、2-羟基-3-环己氧基丙基甲基丙烯酸酯和甲基丙烯酸-2-羟乙酯中的至少一种化合物；所述分子量调节剂选自苯酐、氢化苯酐、4-苯乙炔苯酐、氢化4-甲苯酐、3-氯代苯酐、3-溴代苯酐、4-氯代苯酐、4-溴代苯酐、全氯代苯酐、全溴代苯酐、3,4-二氯代苯酐、3,4-二溴代苯酐、苯胺、4-苯乙炔基苯胺和3-苯乙炔基苯胺中的至少一种。4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚酰亚胺前驱体通过包括如下步骤的方法制备得到：(1)将所述含氟芳香族二酐与所述含不饱和双键的醇类化合物反应生成含氟芳香族二酯二酸；(2)将所述含氟芳香族二酯二酸与酰氯化试剂反应，得到混合二酯二酰氯；(3)将所述二胺加入有机溶剂中，搅拌使其溶解形成均相的二胺溶液；将所述混合二酯二酰氯、所述二胺溶液和所述分子量调节剂混合，进行缩聚反应，得到聚酰亚胺前驱体树脂。5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其特征在于，步骤(1)中，所述含氟芳香族二酐与所述含不饱和双键的醇类化合物的摩尔比为1：1.2~2；所述含氟芳香族二酯二酸与所述酰氯化试剂的摩尔比为1:1.8~2.2；所述混合二酯二酰氯、所述二胺溶液和所述分子量调节剂的摩尔比为1:0.8~1.2:0.01~0.4；步骤(3)中还包括对所述缩聚反应的体系后进行后处理的步骤；所述后处理过程如下：将所述体系与不良溶剂混合，析出固体树脂；将所述固体树脂进行洗净、干燥；所述不良溶剂选自去离子水、甲醇、乙醇、己烷、丁基溶纤剂和甲苯中的至少一种。6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述光致交联剂的结构式中不含有亲水性基团；所述光致交联剂选自丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸环氧丙酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯和三环葵烷二甲醇二丙烯酸酯中的至少一种；所述光引发剂选自二苯甲酮、二苯甲酮衍生物、苯乙酮衍生物、噻吨酮、噻吨酮衍生物、苯偶酰、苯偶酰衍生物、苯偶姻、苯偶姻衍生物、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、1-苯基1,2-丁二酮-2-(邻甲氧基羰基)肟和1,3-二苯基丙三酮-2-(邻乙氧基羰基)肟中的至少一种；所述无机填料选自二氧化硅、云母粉、氧化铝和玻璃粉中的至少一种；
所述无机填料占总固体物的质量百分含量为40~70%；所述无机填料经过如下过程处理后使用：将所述无机填料与含氟硅烷混合，在220~240℃下改性，脱水，分级得到改性无机填料；在所述脱水过程中通入气流温度为100~150℃；所述含氟硅烷的结构式中不含有卤素；所述含氟硅烷选自（3,3,3-三氟丙基）三甲氧基硅烷、十七氟葵基三甲氧基硅烷、十三氟辛基三甲基硅烷、三氟甲基三甲基硅烷、六氟丁基三乙氧基硅烷和三氟丙烷三甲氧基硅烷中的至少一种；所述含氟硅烷与所述无机填料的质量比为1~8：100；所述改性无机填料与所述无机填料的尺寸范围相同；所述溶剂为n-甲基吡咯烷酮、n,n
’‑
二甲基乙酰胺、n,n
’‑
二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、四甲基脲、γ-丁内酯、乳酸乙酯、环戊酮、环己酮、甲基乙基酮、四氢呋喃、乙酸乙酯和乙酸丁酯中的至少一种；所述黏合剂为具有环氧基团的黏合剂；所述具有环氧基团的黏合剂选自聚（丙二醇）二缩水甘油酯、聚乙二醇二缩水甘油酯、1，3，5-三缩水甘油-三嗪三酮、4，5-环氧环己烷-1，2-二甲酸二缩水甘油酯、脂肪族环氧树脂和双酚a二缩水甘油醚中的至少一种；所述阻聚剂选自氢醌、4-甲氧基苯酚、n-亚硝基二苯基胺、对叔丁基儿 茶酚、吩噻嗪、n-苯基萘基胺、2,6-二叔丁基对甲基苯酚、5-亚硝基-8-羟基喹啉、1-亚硝基2-萘酚、2-亚硝基-1-萘酚和2-亚硝基-5-(n-乙基-磺基丙基氨基)苯酚中的至少一种；所述热交联剂所含的反应基团甲氧基与树脂上的羟基摩尔数比为1.01~1.05；所述热交联剂选自4,4,4'-乙二烯三醇[2,6-双（甲氧基甲基）苯酚]、3,3',5,5'-四(甲氧基甲基)-[1,1'-联苯]-4,4'-二醇、六羟甲基三聚氰胺六甲醚和四甲氧基甘脲中的至少一种。7.一种聚酰亚胺前驱体，其特征在于，它通过包括如下步骤的方法制备得到：(1)将含氟芳香族二酐与含不饱和双键的醇类化合物反应生成含氟芳香族二酯二酸；(2)将所述含氟芳香族二酯二酸与酰氯化试剂反应，得到混合二酯二酰氯；(3)将二胺加入有机溶剂中，搅拌使其溶解形成均相的二胺溶液；将所述混合二酯二酰氯、所述二胺溶液和分子量调节剂混合，进行缩聚反应，得到聚酰亚胺前驱体树脂。8.权利要求7所述的聚酰亚胺前驱体或权利要求1-6中任一项所述的感光性树脂组合物在制备碱性水系显影的负型感光性固态胶膜中的应用。9.一种碱性水系显影的负型感光性固态胶膜的制备方法，包括如下步骤：（a）涂敷：将权利要求1-6中任一项所述的感光性树脂组合物涂敷支撑膜表面；（b）预烘：将涂敷在所述支撑膜表面上的感光性树脂组合物进行烘烤，形成带有支撑膜的感光性固态胶膜；（c）保护膜贴合：将保护膜与所述带有支撑膜的感光性固态胶膜进行贴合，得到碱性水系显影的负型的感光性固态胶膜。10.根据权利要求9中所述的制备方法，其特征在于，所述支撑膜的材质包括pet或pp材
质；所述涂敷的方法选自刮涂法、甩涂法、喷涂法和丝网印刷中的至少一种，且上述方法均涂敷出恒定厚度；步骤（2）中，所述烘烤的条件如下：在60~120℃热板、烘箱或烘道中烘烤1~60min；经过烘烤后的所述感光性固态胶膜中溶剂的质量百分比含量为3~20%；步骤（3）中，所述保护膜选自pet和/或pp材质；所述支撑膜的厚度为10~200μm；所述保护膜的厚度为5~200μm；所述保护膜贴合在温度25~120℃下进行；所述保护膜贴合压力为0~0.3mpa。11.一种权利要求9或10中所述的方法制备得到的所述碱性水系显影的负型感光性固态胶膜。12.权利要求11所述的碱性水系显影的负型感光性固态胶膜在制备需要构建中空结构的电子器件中的应用。

技术总结
本发明公开了感光树脂组合物及其制备方法与应用。本发明感光性树脂组合物，包括如下质量份的组分制成：聚酰亚胺前驱体30份；光致交联剂3~20份；光引发剂0.01~5份；无机填料60~77份；溶剂20~60份；黏合剂1~15份；阻聚剂0.001~1.0份；硅烷偶联剂0.001~2份；热交联剂0.1~3份。本发明感光性树脂组合物的制备方法的步骤如下：将光致交联剂、光引发剂、溶剂、黏合剂、阻聚剂、硅烷偶联剂和热交联剂混合，得到混合溶液；向混合溶液中加入无机填料混合，得到无机物分散液；向无机物分散液加入聚酰亚胺前驱体混合，即得感光树脂组合物。本发明应用于制备碱性水系显影的负型感光性固态胶膜中。本发明降低了固化后的含有无机填料的负性聚酰亚胺薄膜的吸水率，提高了在半导体中的可靠性。提高了在半导体中的可靠性。提高了在半导体中的可靠性。


技术研发人员：唐新颖 贾斌 赵云云 范树东 孙朝景 李涛
受保护的技术使用者：明士（北京）新材料开发有限公司
技术研发日：2022.11.03
技术公布日：2022/11/29