缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法与流程

技术特征：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置包括：照明单元、图像探测单元、焦面测量单元以及控制存储单元；所述照明单元用于提供测量光；所述图像探测单元用于获取所述测量光经待测物上的缺陷后发生散射并产生的散射光的光强，并根据所述光强获得所述待测物上的缺陷信息；所述焦面测量单元用于测量所述待测物与所述图像探测单元之间的实时距离，并根据所述实时距离获取所述待测物的实时振幅；所述控制存储单元用于将所述图像探测单元获取的所述散射光的光强与所述焦面测量单元获取的实时振幅相匹配，以获得并存储光强与振幅的对应关系，以及根据所述对应关系补偿所述图像探测单元探测到的所述散射光的光强，以校正所述缺陷信息。2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述控制存储单元包括编码器，所述编码器用于标记时间变化量，以将每一时间段标记为对应的码值区间。3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括位置调整单元，所述位置调整单元用于调整所述待测物的位置。4.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述位置调整单元包括第一运动台和第二运动台；所述第一运动台用于根据所述焦面测量单元获得的实时距离来调整所述待测物相对于所述图像探测单元在第一方向上的间距；所述第二运动台用于承载所述待测物并带动所述待测物沿第二方向移动，以实现所述测量光扫描所述待测物的整个表面。5.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。6.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明单元包括发光器和扩束镜；所述发光器用于提供光照；所述扩束镜用于扩束经所述发光器发出的所述光照，以使所述光照的直径被扩大且能平行传播。7.根据权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明单元还包括光调整镜组，所述光调整镜组用于调整经扩束后的所述光照的发散角至预设值。8.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述光调整单元镜组包括柱面微透镜阵列和/或鲍威尔棱镜。9.根据权利要求7所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述照明单元还包括准直镜组，所述准直镜组用于对经所述光调整镜组的所述光照进行扩束并形成平行的所述测量光。10.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述图像探测单元包括探测镜组以及探测器；所述探测镜组用于汇聚所述散射光，并传递至所述探测器中；所述探测器用于扫描检测所述待测物。11.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述焦面测量单元包括调焦传感器；所述调焦传感器用于测量所述待测物与所述图像探测单元之间的实时距离，并根据所述实时距离获取所述待测物的实时振幅。12.一种缺陷检测的校正方法，其特征在于，使用如权利要求1-11中任意一项所述的缺陷检测装置，所述缺陷检测校正方法包括：
所述照明单元提供测量光；所述测量光经所述待测物上的缺陷后发生散射并产生散射光，所述图像探测单元获取所述散射光的光强，并根据所述光强获得缺陷信息；所述控制存储单元将所述图像探测单元获取的所述散射光的光强与所述焦面测量单元获取的所述待测物的实时振幅相匹配，以获取并存储光强与振幅的对应关系，以及根据所述对应关系来补偿所述图像探测单元探测到的所述散射光的光强，以校正所述缺陷信息。13.根据权利要求12所述的缺陷检测的校正方法，其特征在于，将所述焦面测量单元的测量频率与所述图像探测单元的采集频率相匹配，以使所述待测物的振幅和对应的所述散射光的光强相匹配。14.根据权利要求12所述的缺陷检测的校正方法，其特征在于，在所述控制存储单元将所述图像探测单元获取的所述散射光的光强与所述焦面测量单元获取的所述待测物的实时振幅相匹配之前，采用所述控制存储单元中的编码器标记时间变化量，以将每一时间段标记为对应的码值区间。15.根据权利要求14所述的缺陷检测的校正方法，其特征在于，在所述的缺陷检测的校正方法中对所述光强的补偿方法包括：对所述码值区间内的所述实时振幅进行平均化处理，以获得平均振幅；将所述码值区间内每一码值对应的所述实时振幅减去所述平均振幅，以获得振幅相对值矩阵；根据光强与振幅的对应关系，将振幅相对值矩阵转换为光强波动比例系数矩阵；将所述码值区间内的每一所述码值对应的所述光强形成的光强矩阵，点除所述光强波动比例系数矩阵，以对所述光强进行补偿，并获得补偿后的光强。16.根据权利要求15所述的缺陷检测的校正方法，其特征在于，获得补偿后的所述散射光的光强之后，所述图像探测单元根据补偿后的所述散射光的光强，获得校正后的所述缺陷信息。

技术总结
本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测的校正方法，其中，所述方法包括：照明单元提供远心光照作为测量光。测量光经待测物上的缺陷后产生散射光，图像探测单元获取散射光的光强，并根据光强获得缺陷信息。控制存储单元将散射光的光强与待测物的实时振幅，以获取并存储光强与振幅的对应关系，并以此来补偿所述光强，进而对缺陷信息进行校正。因此，本发明通过将散射光的光强与待测物的实时振幅相关联，并据此获得二者的对应关系，从而根据对应关系实现对光强的补偿，进而实现对缺陷信息的校正，避免了因内部运动机构和外部振动所引起的待测物的振动对缺陷检测精度的影响，以提高缺陷检测精度及产品良率。检测精度及产品良率。检测精度及产品良率。


技术研发人员：张一志 张逸群 娄尚 杨晓青
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2021.05.28
技术公布日：2022/11/29