一种用于TopCon电池的PECVD设备的制作方法

一种用于topcon电池的pecvd设备
技术领域
1.本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，特别是涉及一种用于topcon电池的pecvd设备。


背景技术：

2.太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。可分为单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池。在能量转换效率和使用寿命等综合性能方面，单晶硅和多晶硅电池优于非晶硅电池。多晶硅比单晶硅转换效率低，但价格更便宜。
3.硅基光伏电池历经三代变化，新的技术不断涌现推动光伏发电的性价比不断上升。光伏电池早期以bsf(铝背场电池)为主要技术路线，该电池技术于1973年提出；随着光伏产业对于发电效率的不懈追求以及perc(发射极钝化和背面接触)技术的成熟，成本不断下降，光伏电池转向以perc技术为主，该技术于1982年提出。
4.随着等离子体(plasma)技术的不断发展，等离子体装置已经被广泛地应用于制造集成电路(ic)或光伏(pv)产品的制造工艺中，同时由于平行板电容耦合等离子体。
5.目前，公开号为cn103866282b的中国专利公开了一种本发明提出一种pecvd设备，包括：腔体，晶片托架，多个射频电极，传输装置和升降装置。具体地，所述腔体上设有进气口和出气口，所述腔体设有第一传输口和第二传输口；所述晶片托架包括沿前后方向间隔布置且竖直放置的多个载板，所述晶片托架在所述反应腔内沿竖向在上部位置和下部位置之间可移动；
6.所述多个射频电极设在所述反应腔的顶部且垂直于顶面放置，所述多个射频电极沿前后方向间隔布置，且在所述晶片托架位于所述反应腔的上部位置时所述多个射频电极分别对应地插入到相邻载板之间。
7.该种pecvd设备降低了设备的占地面积，但是其晶片托架进行更换时较为困难，影响了生产效率。


技术实现要素：

8.本发明针对上述技术问题，克服现有技术的缺点，提供一种用于topcon电池的pecvd设备。
9.为了解决以上技术问题，本发明提供一种用于topcon电池的pecvd设备。
10.技术效果：在晶片托架受损需要更换时，或者晶片在晶片托架上冷却静置时，可以通过连接组件将晶片托架从设备上卸下，对晶片托架进行更换；更换后的晶片组件能够继续使用投入生产，则无需在晶片生产完成后停机，保证了晶片生产的连续性，另外晶片托架受损时也能够快速将其更换，使得整体效率更高，提高了生产效率。
11.本发明进一步限定的技术方案是：一种用于topcon电池的pecvd设备，包括机体和晶片托架，机体上设有安装座，安装座内形成有若干个用于配合晶片托架设置的安装孔，晶片托架上设有若干根与安装孔配合设置的安装杆，安装杆上开设有若干个等距设置的安装
槽，安装座内滑移连接有固定杆，固定杆与安装槽相互适配，固定杆分别位于安装杆的两侧并与安装杆相互垂直设置，同一侧的若干根安装杆通过连动杆相互连接，安装座内形成有活动腔，活动腔内滑移设有驱动件，驱动件连接连动杆，用于驱动若干根连动杆同步活动，实现若干个安装槽于固定杆的相互配合。
12.进一步的，驱动件包括滑移连接在活动腔内的滑动块，滑动块固定在连动杆的中间位置，连动杆与滑动块均关于机体的中心线对称设有两个，活动腔内转动连接有驱动丝杠，驱动丝杠穿透滑动块并与之螺纹连接。
13.前所述的一种用于topcon电池的pecvd设备，驱动丝杠上包括两段关于其中线对称设置的螺纹段，两个滑动块分别位于两个螺纹段内，两个螺纹段的螺纹方向相反，驱动丝杠一段穿透机体的侧面延伸至外界，形成驱动端，驱动端侧面开设有螺丝槽或内六角槽。
14.前所述的一种用于topcon电池的pecvd设备，驱动件包括滑移连接在活动腔内的驱动齿条，驱动齿条的末端与连动杆相互固定，活动腔内转动连接有驱动轴，驱动轴上同轴心设置有驱动齿轮，驱动齿轮与驱动齿条相互啮合。
15.前所述的一种用于topcon电池的pecvd设备，驱动轴上设有若干组平行设置的驱动齿条和驱动齿轮。
16.前所述的一种用于topcon电池的pecvd设备，驱动件包括同轴心连接在一根驱动轴上的驱动蜗轮，活动腔内转动连接有驱动蜗杆，驱动蜗杆于驱动蜗轮相互啮合，驱动蜗杆一段延伸至外界形成驱动端，用于驱动整个驱动件旋转。
17.前所述的一种用于topcon电池的pecvd设备，驱动件包括一体形成在连动杆末端的活动杆，活动杆延伸至机体外，连动杆与活动杆对称设有两根，连动杆与活动杆均滑移连接在机体内，连动杆与机体内侧面之间形成有若干根等距设置的驱动弹簧。
18.本发明的有益效果是：
19.(1)本发明中，在需要更换晶片托架时，操作人员可以通过启动驱动件，带动若干根连动杆同步滑移，连动杆带动其上的固定杆活动，固定杆脱离安装杆上的安装槽后，操作人员可以将整个晶片托架连着安装杆一起从机体上抽出，从而完成晶片托架的拆卸，完成晶片托架的更换后，操作人员反向启动驱动件，即可完成固定杆与安装槽之间的锁紧，从而实现晶片托架的快速更换，避免停机时间过长导致的生产效率降低；
20.(2)本发明中，操作人员通过螺丝槽或内六角槽带动驱动端旋转，驱动端带着驱动丝杠一起转动，由于驱动丝杠上设有两端螺纹方向相反的螺纹段，在螺纹作用下能够驱动两个滑动块和两根连动杆同步朝向或背向滑移，从而使得固定杆与安装槽之间的形成固定配合或脱离，完成晶片托架的安装和拆卸；
21.(3)本发明中，操作人员通过驱动端带动驱动蜗杆转动，联动与之啮合的驱动蜗轮旋转，驱动蜗轮带动驱动轴和其上的驱动齿轮转动，即可带动驱动齿条和连动杆滑移，实现固定杆与安装槽之间的相对配合固定或脱离拆卸；而相邻驱动轴之间通过主动锥齿轮与从动锥齿轮之间的相互配合实现联动旋转，若干根转动轴能够电动对应的连动杆同步旋转；
22.(4)本发明中，驱动弹簧能够驱使连动杆与固定杆朝向安装槽活动，使得固定杆与安装槽之间相对配合实现对晶片托架的固定，当需要拆卸晶片托架时，操作人员推动两根活动杆，使两根活动杆朝向相反方向滑移，压缩两侧的驱动弹簧，使活动杆脱离安装槽，就能够完成固定杆与安装槽之间的脱离，完成晶片托架的拆卸；
23.(5)本发明中，在晶片托架受损需要更换时，或者晶片在晶片托架上冷却静置时，可以通过连接组件将晶片托架从设备上卸下，对晶片托架进行更换；更换后的晶片组件能够继续使用投入生产，则无需在晶片生产完成后停机，保证了晶片生产的连续性，另外晶片托架受损时也能够快速将其更换，使得整体效率更高，提高了生产效率。
附图说明
24.图1为实施例1的整体示意图；
25.图2为实施例1的结构图；
26.图3为实施例1中驱动件的结构图；
27.图4为实施例2中驱动件的结构图；
28.图5为实施例3中驱动件的结构图。
29.其中：1、机体；11、晶片托架；12、安装座；13、安装孔；14、安装杆；15、安装槽；16、固定杆；17、活动腔；18、连动杆；2、驱动件；21、滑动块；22、驱动丝杠；221、螺纹段；222、驱动端；23、驱动齿条；24、驱动轴；25、驱动齿轮；26、驱动蜗轮；27、驱动蜗杆；28、活动杆；29、驱动弹簧。
具体实施方式
30.本实施例提供的一种用于topcon电池的pecvd设备，结构如图1-3所示，包括机体1和晶片托架11，机体1上设有安装座12，安装座12内形成有若干个用于配合晶片托架11设置的安装孔13，晶片托架11上设有若干根与安装孔13配合设置的安装杆14，安装杆14上开设有若干个等距设置的安装槽15。
31.如图1-3所示，安装座12内滑移连接有固定杆16，固定杆16与安装槽15相互适配，固定杆16分别位于安装杆14的两侧并与安装杆14相互垂直设置，同一侧的若干根安装杆14通过连动杆18相互连接，安装座12内形成有活动腔17，活动腔17内滑移设有驱动件2，驱动件2连接连动杆18，用于驱动若干根连动杆18同步活动，实现若干个安装槽15于固定杆16的相互配合。
32.如图1-3所示，驱动件2包括滑移连接在活动腔17内的滑动块21，滑动块21固定在连动杆18的中间位置，连动杆18与滑动块21均关于机体1的中心线对称设有两个，活动腔17内转动连接有驱动丝杠22，驱动丝杠22穿透滑动块21并与之螺纹连接。
33.如图1-3所示，驱动丝杠22上包括两段关于其中线对称设置的螺纹段221，两个滑动块21分别位于两个螺纹段221内，两个螺纹段221的螺纹方向相反，驱动丝杠22一段穿透机体1的侧面延伸至外界，形成驱动端222，驱动端222侧面开设有螺丝槽或内六角槽。
34.操作人员通过螺丝槽或内六角槽带动驱动端222旋转，驱动端222带着驱动丝杠22一起转动，由于驱动丝杠22上设有两端螺纹方向相反的螺纹段221，在螺纹作用下能够驱动两个滑动块21和两根连动杆18同步朝向或背向滑移，从而使得固定杆16与安装槽15之间的形成固定配合或脱离，完成晶片托架11的安装和拆卸。
35.具体实施方式：在需要更换晶片托架11时，操作人员可以通过启动驱动件2，带动若干根连动杆18同步滑移，连动杆18带动其上的固定杆16活动，固定杆16脱离安装杆14上的安装槽15后，操作人员可以将整个晶片托架11连着安装杆14一起从机体1上抽出，从而完
成晶片托架11的拆卸，完成晶片托架11的更换后，操作人员反向启动驱动件2，即可完成固定杆16与安装槽15之间的锁紧，从而实现晶片托架11的快速更换，避免停机时间过长导致的生产效率降低。
36.实施例2，一种用于topcon电池的pecvd设备，与实施例1的不同之处在于，如图4所示，驱动件2包括滑移连接在活动腔17内的驱动齿条23，驱动齿条23的末端与连动杆18相互固定，活动腔17内转动连接有驱动轴24，驱动轴24上同轴心设置有驱动齿轮25，驱动齿轮25与驱动齿条23相互啮合。驱动轴24上设有若干组平行设置的驱动齿条23和驱动齿轮25。
37.如图4所示，驱动件2包括同轴心连接在一根驱动轴24上的驱动蜗轮26，活动腔17内转动连接有驱动蜗杆27，驱动蜗杆27于驱动蜗轮26相互啮合，驱动蜗杆27一段延伸至外界形成驱动端222，用于驱动整个驱动件2旋转。
38.操作人员通过驱动端222带动驱动蜗杆27转动，联动与之啮合的驱动蜗轮26旋转，驱动蜗轮26带动驱动轴24和其上的驱动齿轮25转动，即可带动驱动齿条23和连动杆18滑移，实现固定杆16与安装槽15之间的相对配合固定或脱离拆卸；而相邻驱动轴24之间通过主动锥齿轮与从动锥齿轮之间的相互配合实现联动旋转，若干根转动轴能够电动对应的连动杆18同步旋转。
39.实施例3，一种用于topcon电池的pecvd设备，与实施例1或2的不同之处在于，如图5所示，驱动件2包括一体形成在连动杆18末端的活动杆28，活动杆28延伸至机体1外，连动杆18与活动杆28对称设有两根，连动杆18与活动杆28均滑移连接在机体1内，连动杆18与机体1内侧面之间形成有若干根等距设置的驱动弹簧29。
40.驱动弹簧29能够驱使连动杆18与固定杆16朝向安装槽15活动，使得固定杆16与安装槽15之间相对配合实现对晶片托架11的固定，当需要拆卸晶片托架11时，操作人员推动两根活动杆28，使两根活动杆28朝向相反方向滑移，压缩两侧的驱动弹簧29，使活动杆28脱离安装槽15，就能够完成固定杆16与安装槽15之间的脱离，完成晶片托架11的拆卸。
41.本发明中，在晶片托架11受损需要更换时，或者晶片在晶片托架11上冷却静置时，可以通过连接组件将晶片托架11从设备上卸下，对晶片托架11进行更换；更换后的晶片组件能够继续使用投入生产，则无需在晶片生产完成后停机，保证了晶片生产的连续性，另外晶片托架11受损时也能够快速将其更换，使得整体效率更高，提高了生产效率。
42.除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围。