一体化控制的大型精密装备隔振系统的制作方法

1.本实用新型涉及大型精密装备隔振技术领域，尤其涉及一种一体化控制的大型精密装备隔振系统。


背景技术：

2.对于大型精密装备而言，如应用于空间载荷光学检测试验的光学精密设备，其整体或者其内部若干精密器件都可能需要进行隔振，与之相配套的精密装备隔振系统就成为精密生产、加工、试验等工作的重要环境保障技术。
3.现有的与大型精密装备配套的隔振系统主要采取分离式隔振，即精密装备放置于地面基础上，隔振系统只对内部对振动要求组件进行隔振。分离式隔振无法满足精密装备内部多维度隔振要求，导致大型精密装备隔振系统投入和运行成本极高，甚至不能满足设备精密生产、加工、试验等工作。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例提供一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，以解决大型精密装备应用现有的隔振方式无法满足多维度隔振要求的问题。
5.本实用新型实施例提出了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统，包括隔振组件及承载平台；隔振组件设置于精密装备下方；承载平台为多个，多个承载平台在精密装备内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件支撑。
6.根据本实用新型实施例的一个方面，隔振组件包括平铺排布的多个隔振支撑装置。
7.根据本实用新型实施例的一个方面，隔振组件还包括高刚性平台，高刚性平台由多个隔振支撑装置支撑于精密装备下方，多个隔振支撑装置沿高刚性平台的延伸方向排列成至少一排，每排包括一个或多个隔振支撑装置。
8.根据本实用新型实施例的一个方面，承载平台包括第一承载平台及第二承载平台，第二承载平台被配置为在竖直方向上位于第一承载平台上方。
9.根据本实用新型实施例的一个方面，第二承载平台的数量为多个，多个第二承载平台在竖直方向上依次层叠设置。
10.根据本实用新型实施例的一个方面，第一承载平台的数量为多个，多个第一承载平台在水平方向上平铺设置。
11.根据本实用新型实施例的一个方面，第一承载平台通过贯穿精密装备壁的多个第一支撑件与隔振组件连接，第二承载平台通过贯穿精密装备壁的多个第二支撑件与隔振组件连接。
12.根据本实用新型实施例的一个方面，第一支撑件及第二支撑件均由精密装备上的通孔贯穿精密装备壁，第一支撑件及第二支撑件与通孔之间均设置有柔性密封件。
13.根据本实用新型实施例的一个方面，第一支撑件的第一端与隔振组件连接，第一
支撑件的第二端贯穿精密装备的底壁延伸至精密装备内部底部而与第一承载平台连接。
14.根据本实用新型实施例的一个方面，多个第一支撑件的第二端沿第一承载平台的延伸方向排列成至少一排，每排的第一支撑件的第二端的数量为一个或多个。
15.根据本实用新型实施例的一个方面，第二支撑件的第一端与隔振组件连接，第二支撑件的第二端贯穿精密装备的侧壁延伸至精密装备内部上部而与第二承载平台连接。
16.根据本实用新型实施例的一个方面，第二承载平台通过设置于精密装备内的多个第二支撑件与第一承载平台连接。
17.根据本实用新型实施例的一个方面，第二支撑件的第一端与第一承载平台连接，第二支撑件的第二端延伸至精密装备上部而与第二承载平台连接。
18.根据本实用新型实施例的一个方面，第二承载平台通过设置于精密装备内的、贯穿第一承载平台的多个第二支撑件与隔振组件连接。
19.根据本实用新型实施例的一个方面，多个第二支撑件的第二端沿第二承载平台的周向环绕第二承载平台设置。
20.根据本实用新型实施例的一个方面，多个第二支撑件通过环状的定位件与第二承载平台连接，第二承载平台通过多个连接件设置于定位件中部。
21.根据本实用新型实施例的一个方面，多个第二支撑件中，一部分第二支撑件靠近第一承载平台的一侧，另一部分第二支撑件靠近第一承载平台的另一侧；靠近第一承载平台同一侧的第二支撑件中，相邻第二支撑件之间设置有斜撑件。
22.本实用新型实施例提供的一体化控制的大型精密装备隔振系统，在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台，并一体化受控于隔振组件之上，通过一体化的方式实现对精密装备内部不同维度的精密器件的隔振，解决了采取分离式隔振方式困扰业界许久的无法满足精密装备内部多维度隔振要求的问题，该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上，还能够大幅降低投入和运行成本，提高精密装备检测效率，在精密装备领域具有极高的推广价值。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1为本实用新型实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统在某一视角的结构示意图。
25.图2为本实用新型另一实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统在某一视角的结构示意图。
26.图3为本实用新型实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统在另一视角的结构示意图。
27.图4为本实用新型又一实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统在另一视角的结构示意图。
28.图5为本实用新型再一实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统在另一视角
的结构示意图。
29.图6为本实用新型实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统的第一承载平台的结构示意图。
30.图7为本实用新型实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统的第二承载平台在某一视角的结构示意图。
31.图8为本实用新型实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统的第二承载平台在另一视角的结构示意图。
32.附图中：
33.100-隔振组件，200-精密装备，300-第一承载平台，400-第二承载平台， 500-第一支撑件，600-第二支撑件，700-柔性密封件；
34.101-隔振支撑装置,102-高刚性平台；
35.401-定位件，402-连接件，403-安装接口，404-不锈钢钢板，405-不锈钢框架；
36.601-斜撑件。
具体实施方式
37.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本实用新型的原理，但不能用来限制本实用新型的范围，即本实用新型不限于所描述的实施例。
38.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有说明，术语“第一”和“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；“多个”的含义是两个或两个以上；术语“内”、“外”、“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
39.请参阅图1，本实用新型实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统，包括隔振组件100及承载平台；隔振组件100设置于精密装备200下方；承载平台为多个，多个承载平台在精密装备200内竖向排布，且各个承载平台均由隔振组件100支撑。在本实施例中，在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台，并一体化受控于隔振组件100之上，通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振，该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上，还能够大幅降低投入和运行成本，提高精密装备检测效率，解决了应用现有的隔振方式使得精密装备检测的过程复杂、繁琐，经济及时间成本较高的问题。
40.其中，精密装备200可为真空罐的结构形式，精密装备200的形状可为类圆柱体状或类长方体状，精密装备200可支撑于地基基础或其他隔振基础之上，与承载平台之间为分离式隔振，避免了精密装备200对内部的振动干扰。
41.作为一个可选实施例，隔振组件100包括平铺排布的多个隔振支撑装置 101。
42.在本实施例中，多个隔振支撑装置101平铺排布于精密装备200下方，构成一个支撑平面，第一承载平台300和第二承载平台400由相同的该多个隔振支撑装置101支撑，保证了第一承载平台300和第二承载平台400振动相位的一致性，从而保证了各自所承载的检测装置的振动相位的一致性。
43.结合图2及图3，根据本实用新型实施例的一个方面，隔振组件100还包括高刚性平
台102，高刚性平台102由多个隔振支撑装置101支撑于精密装备 200下方，多个隔振支撑装置101沿高刚性平台102的延伸方向排列成至少一排，每排包括一个或多个隔振支撑装置101。
44.在本实施例中，第一承载平台300和第二承载平台400均由高刚性平台102 支撑，能够进一步提升振动相位的一致性。多个隔振支撑装置101位于高刚性平台102下方，共同将高刚性平台102支撑在地基或其他基础平台上；多个隔振支撑装置101成排设置，当其中一排或多排隔振支撑装置101包括多个隔振支撑装置101时，相邻排的隔振支撑装置101之间可交错设置，或者对齐设置，或者为其他对应关系，多个隔振支撑装置101整体上可均匀排布，以能够稳定地支撑第一承载平台300和第二承载平台400为原则。
45.其中，高刚性平台102在竖直方向上的投影形状可为长方形、正方形、圆形、椭圆形等多种形状，可根据精密装备200在竖直方向上的投影形状而具体确定，当然还需保证能够平稳地支撑第一承载平台300和第二承载平台400；高刚性平台102可采用板材结构、钢混结构、框架结构等，本身需具备较高的结构稳定性，且应满足本实施例使用场景所需的刚性要求。隔振支撑装置101 可采用空气弹簧、钢弹簧、橡胶弹簧等，或者采用气囊、气室等结构形式，或者采用其它能够应用于本实施例使用场景的具备隔振及支撑功能的结构。
46.作为一个可选实施例，承载平台包括第一承载平台300及第二承载平台400，第二承载平台400被配置为在竖直方向上位于第一承载平台300上方。
47.在具体实施中，承载平台细分为相对位于上方的第一承载平台300和相对位于下方的第二承载平台400，本实施例的一体化控制的大型精密装备隔振系统，能够满足大型精密装备内的不同高度的精密器件的隔振要求，实现不同高度的精密器件的分别隔振。
48.在某种具体应用中，第一承载平台300用于承载精密器件，包括被测精密器件及水平检测装置，水平检测装置能够对第一承载平台300所承载的被测精密器件进行水平检测，第二承载平台400用于承载垂直检测装置，上下设置的第一承载平台300和第二承载平台400，能够同时满足水平微振动隔振和垂直微振动隔振，能够同时使得垂直检测装置对第一承载平台300所承载的被测精密器件进行垂直检测。该种应用能够实现为大型被测精密器件的试验，如光学试验，提供水平和垂直一体化隔振，使得水平检测和垂直检测能够应用同一套隔振设备，有效地降低了地面及精密装备200振动对被测精密器件及检测装置的振动传递率，提高隔振效率，保证了试验的振动环境要求，能够降低试验经济成本和时间成本，且结构简单，易于实现。
49.在本实施例中，第一承载平台300和第二承载平台400由同一隔振组件100 支撑，保证了第一承载平台300和第二承载平台400振动相位的一致性，从而保证了各自所承载的精密器件的振动相位的一致性，在提高检测效率的基础上，还能够保证检测的准确性。
50.可选地，在竖直方向上，第二承载平台400可与第一承载平台300的中部对齐，便于检测设备在第二承载平台400上的架设。同时，第二承载平台400 位于第一承载平台300上方，第二承载平台400距离第一承载平台300的高度应保证足够在第一承载平台300上放置精密器件。
51.作为一个可选实施例，第二承载平台400的数量为多个，多个第二承载平台400在竖直方向上依次层叠设置；第一承载平台300的数量为多个，多个第一承载平台300在水平方向上平铺设置。
52.在本实施例中，第二承载平台400的数量可为多个，多个第二承载平台400 可在竖直方向上依次层叠，且可为对齐层叠或错位层叠，第一承载平台300的数量也可为多个，多个第一承载平台300可在水平方向上平铺，且可为对齐平铺或错位平铺，多个第二承载平台400及多个第一承载平台300可根据大型精密装备的不同内部部件的隔振需求及分布情况而具体排布，全部的第二承载平台400及第一承载平台300相互连接，一体化受控于隔振组件100，实现全部承载平台的一体化振动控制。
53.作为一个可选实施例，第一承载平台300通过贯穿精密装备200壁的多个第一支撑件500与隔振组件100连接，并且，第一支撑件500由精密装备200 上的通孔贯穿精密装备200壁，第一支撑件500与通孔之间设置有柔性密封件 700。
54.本实施例的柔性密封件700用于密封通孔，同时使得第一支撑件500与精密装备200之间为软接触，大幅降低精密装备200及外界的振动对第一承载平台300的影响，进而降低对检测的影响。当第一承载平台300的数量为多个时，多个第一承载平台300均由第一支撑件500支撑。
55.可选地，柔性密封件700为波纹管，连接方式可选为焊接，具备一定的变形能力，能够有效地起到隔振作用，同时能够保证第一支撑件500与精密装备 200之间的密封，维持精密装备200内的真空度及温度；柔性密封件700还可为其他能够起到柔性连接和密封作用的构件，如大挠度波纹管、橡胶管、橡胶密封圈、膜式减振结构等。
56.作为一个可选实施例，第一支撑件500的第一端与隔振组件100连接，第一支撑件500的第二端贯穿精密装备200的底壁延伸至精密装备200内部底部而与第一承载平台300连接。
57.本实施例的第一支撑件500可由精密装备200的底壁伸入精密装备200内部，在精密装备200内部底部将第一承载平台300支撑；第一支撑件500整体可呈直线状延伸，也可为由多段依次连接而形成的折线状，优选地，贯穿精密装备200的底壁的一段为直线状。
58.作为一个可选实施例，多个第一支撑件500的第二端沿第一承载平台300 的延伸方向排列成至少一排，每排的第一支撑件500的第二端的数量为一个或多个。
59.本实施例的多个第一支撑件500的第二端成排设置，当其中一排或多排包括多个第一支撑件500的第二端时，相邻排的第一支撑件500的第二端之间可交错设置，或者对齐设置，或者为其他对应关系，应保证能够稳定地支撑第一承载平台300。
60.作为一个可选实施例，第二承载平台400通过贯穿精密装备200壁的多个第二支撑件600与隔振组件100连接，第二支撑件600由精密装备200上的通孔贯穿精密装备200壁，第二支撑件600与通孔之间设置有柔性密封件700。
61.在本实施例中，同样地，柔性密封件700用于密封通孔，同时使得第二支撑件600与精密装备200之间为软接触，大幅降低精密装备200及外界的振动对第二承载平台400的影响，进而降低对检测的影响。当第二承载平台400的数量为多个时，多个第二承载平台400均由第二支撑件600支撑。
62.作为一个可选实施例，第二支撑件600的第一端与隔振组件100连接，第二支撑件600的第二端贯穿精密装备200的侧壁延伸至精密装备200内部上部而与第二承载平台400连接。
63.本实施例的第二支撑件600可由精密装备200的侧壁伸入精密装备200内部，在精
密装备200内部上部将第二承载平台400支撑。
64.其中，第二支撑件600可为曲线状、折线状或其他形状，可与精密装备200 的侧壁轮廓相契合，在精密装备200的外部向上延伸，由精密装备200的上部侧壁伸入精密装备200内部。
65.并且，沿精密装备200的长度方向观察，多个第二支撑件600可对称布置于精密装备200的两侧，包括数量均匀和位置均匀，以能够更加稳定地支撑第二承载平台400。
66.作为一个可选实施例，第二承载平台400通过设置于精密装备200内的多个第二支撑件600与第一承载平台300连接。
67.在本实施例中，第二支撑件600可设置于精密装备200内，将第二承载平台400与第一承载平台300连接，使得第二承载平台400被支撑于第一承载平台300上方。
68.作为一个可选实施例，第二支撑件600的第一端与第一承载平台300连接，第二支撑件600的第二端延伸至精密装备200上部而与第二承载平台400连接。
69.本实施例的第二支撑件600可在精密装备200内向上延伸，在精密装备200 内部上部将第二承载平台400支撑。
70.其中，第二支撑件600可为曲线状、折线状或其他形状，可与精密装备200 的侧壁内侧轮廓相契合，在精密装备200的内部向上延伸至精密装备200的上部。
71.作为一个可选实施例，第二承载平台400通过设置于精密装备200内的、贯穿第一承载平台300的多个第二支撑件600与隔振组件100连接。
72.可以理解，第二支撑件600的第一端与隔振组件100连接时，第二支撑件 600的第二端可贯穿精密装备200的底壁延伸至精密装备200内部上部而与第二承载平台400连接，如果需要，如考虑到第二支撑件600架设的便利性，或受限于第一承载平台300与精密装备200的尺寸关系，第二支撑件600的第二端可同时贯穿第一承载平台300而与第二承载平台400连接，第一承载平台300 上对应设置有用于供第二支撑件600穿过的通孔。
73.作为一个可选实施例，多个第二支撑件600的第二端沿第二承载平台400 的周向环绕第二承载平台400设置。
74.本实施例的多个第二支撑件600的第二端可在精密装备200内沿第二承载平台400的周向均匀布置，以能够更加稳定地支撑第二承载平台400。
75.作为一个可选实施例，多个第二支撑件600通过环状的定位件401与第二承载平台400连接，第二承载平台400通过多个连接件402设置于定位件401 中部，如图7所示。
76.在本实施例中，定位件401的设置，使得第二承载平台400与多个第二支撑件600的连接更加方便，也使得第二承载平台400的位置更加稳定。其中，多个连接件402可沿定位件401的周向均匀分布，使得定位件401稳定地承载第二承载平台400。
77.对于定位件401的设置情况进行如下说明：当第二承载平台400通过由外向内贯穿精密装备200壁的多个第二支撑件600与高刚性平台102连接时，定位件401设置于精密装备200内部上部，多个第二支撑件600的第二端在精密装备200的外部向上延伸至精密装备200上部，贯穿精密装备200壁而延伸至精密装备200内部，在精密装备200内部上部而与定位件401连接，第二承载平台400通过多个连接件402设置于定位件401中部，从而第二承载平台400 通过多个第二支撑件600被支撑于高刚性平台102上；当第二承载平台400通过设置于精密装备200内的多个第二支撑件600与第一承载平台300连接时，如图4所示，或贯穿第一
承载平台300而与高刚性平台102连接时，如图5所示，定位件401设置于精密装备200内部上部，多个第二支撑件600的第二端延伸至精密装备200内部上部而与定位件401连接，第二承载平台400通过连接件402设置于定位件401的中部，从而第二承载平台400通过多个第二支撑件600被支撑于第一承载平台300上，或高刚性平台102上。
78.作为一个可选实施例，多个第二支撑件600中，一部分第二支撑件600靠近第一承载平台300的一侧，另一部分第二支撑件600靠近第一承载平台300 的另一侧；靠近第一承载平台300同一侧的第二支撑件600中，相邻第二支撑件600之间设置有斜撑件601。
79.在本实施例中，相邻第二支撑件600之间可设置有斜撑件601，以提高全部第二支撑件600的整体刚性。
80.进一步地，当多个第二支撑件600环绕第一承载平台300设置时，尤其地，当多个第二支撑件600的第一端环绕第一承载平台300设置时，相邻第二支撑件600之间也设置有斜撑件601。
81.结合图6，作为一个可选实施例，第一承载平台300的结构形式为不锈钢框架结构，空间桁架结构，网架结构，或者蜂窝板结构，或者采用其他的高刚性的结构形式，可具有斜撑构件以提高整体刚性。
82.作为一个可选实施例，第二承载平台400的形状为圆形或者多边形，结构形式为不锈钢框架结构，网架结构，或者夹心结构，者采用其他的高刚性的结构形式。同时，预留有检测设备，如平行光管，的安装接口403，还可预留有用于安装、维修的通道，如图7所示；当第二承载平台400为夹心结构时，上下两层可为不锈钢钢板404或穿孔板，预留有安装螺栓孔，中间可为不锈钢框架405，如图8所示。
83.作为一个可选实施例，第一支撑件500和第二支撑件600均可为支撑立柱、混凝土框架结构的结构形式。第一承载平台300和第二承载平台400，第一支撑件500和第二支撑件600，均选用高刚性构件制成，如上述的不锈钢钢板、穿孔板、不锈钢框架，以及不锈钢立柱等，整体形成高刚性结构，降低振动放大率。其中，第一承载平台300和第二承载平台400设计时均需考虑平台的整体刚性，可参考地，整体刚性要求可大于14hz。
84.并且，考虑到更有效地隔振，第一支撑件500与第一承载平台300之间为刚性连接，第二支撑件600与第二承载平台400之间也为刚性连接。
85.本领域内的技术人员应明白，以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。