基片处理设备
1.相关申请的交叉引用该申请要求享有于2020年2月5日提交的编号为62/970,565的美国临时专利申请的权益且是其非临时申请，该美国临时专利申请的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。
技术领域
2.示例性实施例大体上涉及基片(substrate)处理工具，且更特别地涉及基片传送设备。
背景技术：
3.半导体制造设施可利用基片处理系统，该系统包括联接到共同真空传送系统的双处理模块。在一些常规系统中，半导体基片(也称为基片或晶片(wafer))大体上由传送设备递送到双处理模块，该传送设备包括可到达双处理模块的并排基片保持站(station)中的并排伸缩臂。在其它常规系统中，长距离“偏航”型传递设备(例如，具有由臂连杆构成的臂，其允许非径向对准的基片保持器延伸)用于一次将一个基片传递到双处理模块的基片保持站中的每个。
4.大体上，传递基片来回于基片保持站的上述偏航型传递设备和其它铰接(articulate)连杆式基片传送设备(如选择性顺应性铰接式机器人臂(scara)型传送装置)采用金属带和滑轮传动机构来传送运动至偏航型传递设备的至少一些臂连杆。金属带和滑轮传动机构的尺寸限制至少部分地规定例如臂连杆的高度和/或整体尺寸。长臂连杆长度还可由重力负载导致臂偏转，其可影响带和滑轮的对准。
5.上述传递设备大体上采用双联轴承对，这些轴承对在臂连杆之间的旋转接头处利用轴承夹具保持到轴。双联轴承是一组两个轴承，构造成用于安装到轴，其中内圈和外圈以预载夹紧在一起，以获得较大的轴向刚度和径向刚度。与金属带一样，双联轴承对的尺寸限制至少部分地规定例如臂连杆的高度和/或整体尺寸。如可认识到的，基片传送臂的尺寸可至少部分地规定传送臂在其中操作的传送室的尺寸，其中传送室的尺寸可能影响半导体产量。双联轴承的安装大体上通过加热双联轴承，且然后让双联轴承冷却且收缩到轴上，以在双联轴承与轴之间产生收缩配合。双联轴承在高温环境中的操作可能会影响双联轴承与轴之间的收缩配合的刚度。
附图说明
6.本公开内容的前述方面和其它特征连同附图一起在以下描述中解释，其中：图1a是结合本公开内容的方面的示例性基片处理设备的示意图；图1b和1c是根据本公开内容的方面的图1a的基片处理设备的部分的示意图；图2a、2b、2c和2d是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；
图3是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图3a是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图3b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图3c是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图4是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性截面图；图4a是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意图；图4b是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意图；图5a是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性侧视图；图5b是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性前视图；图5c是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的模块化臂连杆的示意性透视图；图5d是根据本公开内容的方面的图5c的模块化臂连杆的另一示意性透视图；图5e是根据本公开内容的方面的图5c的模块化臂连杆的一部分的示意性端视图；图5f是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性透视图；图6a-6d是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的部分的示意图；图6e和6f是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的示例性线缆或线和滑轮传动机构的示意性侧视图和平面视图；图6g和6h是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的顺列(inline)线缆或线张紧器的示意图；图6i是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的交叉滚子滑轮的示意图；图6j是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的交叉滚子轴承的示意图；图7a-7l是根据本公开内容的方面的结合图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的示例性基片处理设备的示意图；图8是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图9是结合本公开内容的特征的基片传送设备的示意图；图10是用于如本文中所述且结合本公开内容的特征的传送设备的示例性基片保
持器的示意性侧视图；图11是用于如本文中所述且结合本公开内容的特征的传送设备的示例性基片保持器的示意性侧视图；图12是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图13是结合本公开内容的特征的基片传送设备的示意图；图14是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图15是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图16是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图17是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图18a-18c是根据本公开内容的方面的多轴自动晶片定心的示例性示意图；图19是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图20是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图21是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图22是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图23是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图23a是根据本公开内容的方面的结合图23的基片传送设备的示例性基片处理设备的示意图；图24是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图25是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图26a、26b、26c和26d是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图27a、27b和27c是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图28是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图29是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图30是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图31是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图32是根据本公开内容的方面的图19的基片传送设备的示意图；图33a和33b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图34a和34b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图35a和35b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图36a和36b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图37是根据本公开内容的方面的已成形端部联接件和完成的端部联接件的示意性比较示图；图38是根据本公开内容的方面的另一已成形端部联接件和完成的端部联接件的示意性比较示图；图39是根据本公开内容的方面的已成形中心臂区段和完成的中心臂区段的示意性比较示图；图40是根据本公开内容的方面的伸缩式中心臂区段的示意性透视图；
图40a是根据本公开内容的方面的分段式臂区段的示意图；图41是根据本公开内容的方面的端部联接件与中心臂区段之间的联接件的示意性截面视图；图42是根据本公开内容的方面的端部联接件与中心臂区段之间的联接件的示意性截面视图；图43是根据本公开内容的方面的端部联接件与中心臂区段之间的联接件的示意性截面视图；图44是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意图和中心臂区段的相应截面；图44a是根据本公开内容的方面的基片传送设备的中心臂区段的示意性截面图；图44b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的中心臂区段的示意性截面图；图44c是根据本公开内容的方面的基片传送设备的中心臂区段的示意性截面图；图45是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意性透视图；图46是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意性透视图；图47是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意性透视图；以及图48是根据本公开内容的方面的基片传送臂连杆构件的热膨胀的示意图。
具体实施方式
7.图1a示出根据本公开内容的方面的示例性基片处理设备100。尽管将参照附图描述本公开内容的方面，但应理解，本公开内容的方面可以许多形式体现。另外，可使用任何合适的尺寸、形状和类型的元件或材料。
8.本公开内容的方面提供用于基片处理设备100，其包括基片传送设备130。基片传送设备130包括臂131，臂131具有至少两个臂连杆和端部执行器(在本文中也称为基片保持器)，它们可旋转地连结到彼此，且在一个方面具有在固定位置中的肩部接头/轴线sx。基片传送设备130配置成基本同时将基片拾取(和/或放置)到并排基片处理(或其它保持)站190-191,192-193,194-195,196-197，同时提供基片s的快速交换。基片传送设备130的配置使得能够将基片基本同时拾取到传递室125,125a(如本文中所述)的每侧上的每个并排基片处理站，其中每个基片的独立自动晶片定心与由基片传送设备130的基片传递是同时的。注意到，简要参照图7e-7j，基片s的快速交换是利用基片传送设备130基本同时从一组或一对并排基片处理站(例如，如基片处理站190-191)移除基片s，且利用基片传送设备130将其它不同基片s(s3,s4)基本同时放置到相同的并排基片处理站(即基片处理站188-189)，其中移除和放置快速连续地发生，而没有移除的基片s(s1,s2)的任何居间放置(即，其中移除的基片s(s1，s2)由基片传送设备保持)。在其它方面，基片的快速交换基本在基片的拾取与放置之间没有居间z轴线运动的情况下发生。换言之，除了将基片提升(拾取)或降低(放置)到基片保持站之外，基片传送设备130基本没有居间z轴线运动。例如，如本文中将进一步描述的，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递。
9.本公开内容的方面还提供用于传送臂传动系统，其采用线缆或线和滑轮，其与常规的带和滑轮传动机构相比至少减少传递臂连杆的高度。与常规的带和滑轮传动机构相比，所述的线缆或线和滑轮传动机构(为了便于解释，在本文中称为线缆和滑轮传动机构)还可基本消除或减少线缆与相应滑轮之间的对准问题，且可在不受重力造成的臂连杆偏转影响下操作。线缆和相应滑轮之间的对准问题的基本消除或减少可提供用于更长长度的臂连杆，以实现基片传送臂的更长范围。
10.本公开内容的方面可通过在传送臂的旋转接头处包括交叉滚子轴承来提供用于更坚固更紧凑的传送臂(例如，与双联轴承的常规使用相比)。在一些方面，交叉滚子轴承可形成传送臂传动系统的滑轮，以进一步降低传送臂连杆的高度且减少传送臂的零件数量。根据本公开内容的方面，交叉滚子轴承可以基本不受基片传送臂操作环境的高操作温度和/或操作温度变化影响的方式联接到相应的轴。
11.还参照图2，根据本公开内容的方面，臂131包括至少两个基片保持器(也称为端部执行器或端部执行器连杆)203,204。尽管臂131描述为具有至少两个基片保持器，但在其它方面，臂可具有少于两个的(例如，一个或至少一个)基片保持器或多于两个的基片保持器。在一个方面，基片保持器203,204是双端或双盘基片保持器，其中每个基片保持器具有两个沿纵向分开的端部，在每个端部处具有至少一个基片保持站或盘；然而，在其它方面，基片保持器可具有任何合适的构造，如本文中所述的那些构造。至少两个基片保持器203,204围绕基片传送设备130的腕部轴线wx彼此独立且相对地旋转，以便实现自动晶片定心和适应并排基片处理站190-191,192-193,194-195,196-197之间不同节距中的一项或多项。
12.再次参照图1a，示出根据本公开内容的方面的基片处理设备100，例如，如半导体工具站。尽管在附图中示出半导体工具站，但是本文中所述的本公开内容的方面可应用于采用机器人操纵器的任何工具站或应用。在一个方面，基片处理设备100示为具有集群布置(例如，具有连接到中心室或共同室的基片处理站190-197)，而在其它方面，处理设备可为线性布置的工具，然而，本公开内容的方面可应用于任何合适的工具站。基片处理设备100大体上包括大气前端101(在本文中也称为大气区段)、两个或更多个真空负载锁102a,102b和真空后端103。两个或更多个真空加载锁102a,102b可以任何合适的布置联接到前端101和/或后端103的任何合适的端口或开口。例如，在一个方面，如图1b中可见，两个或更多个真空加载锁102a,102b(以及传送室壁125w中的相应开口)可以并排布置布置在共同水平平面中。在其它方面，如图1c中所示，两个或更多个真空加载锁102a,120b可布置成网格形式，使得两个或更多个真空加载锁102a,102b,102c,102d(以及传送室壁125w中的相应开口)布置成行(例如，具有间隔开的水平平面)和列(例如，具有间隔开的竖直平面)。
13.应理解，尽管两个或更多个真空加载锁102a,102b示为在传送室125的端部100e1上，但是在其它方面，两个或更多个真空加载锁102a,102b可布置在传送室125的任何数量的侧部100s1,100s2和/或端部100e1,100e2上。两个或更多个真空加载锁102a,102b,102c,102d中的每个还可包括一个或多个晶片/基片搁置平面wrp(图1b和1c)，其中基片保持在相应的真空加载锁102a,102b,102c,102d内的合适支承件上。在其它方面，基片处理设备100可具有任何合适的构造。
14.前端101、两个或更多个真空加载锁102a,102b和后端103中的每个的构件可连接到控制器110，该控制器可为任何合适的控制架构的一部分，例如，集群架构控制。控制系统
可为具有主控制器、集群控制器和自主远程控制器的闭环控制器，如于2011年3月8日公告的题为“scalable motion control system”的编号为7,904,182的美国专利中公开的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在其它方面，可使用任何合适的控制器和/或控制系统。
15.在一个方面，前端101大体上包括加载端口模块105和微型环境106，例如，如设备前端模块(efem)。加载端口模块105可为至工具标准(bolts)接口的开箱器/加载器，其符合用于300mm加载端口、前开口或底部开口箱/盒体和盒的semi标准e15.1、e47.1、e62、e19.5或e1.9。在其它方面，加载端口模块可配置为200mm晶片/基片接口、450mm晶片/基片接口或任何其它合适的基片接口，例如，如更大或更小的半导体晶片/基片、用于平板显示器的平板、太阳能电池板、中间掩模或任何其它合适的物体。尽管图1a中示出两个加载端口模块105，但在其它方面，任何合适数量的加载端口模块都可结合到前端101中。加载端口模块105可配置为从架空传送系统、自动引导车辆、人员引导车辆、轨道引导车辆或任何其它合适的传送方法接收基片载体或盒c。加载端口模块105可通过加载端口107与微型环境106对接。加载端口107可允许基片s在基片盒c与微型环境106之间通过。微型环境106大体上包括任何合适的传递机器人108，其可结合本文中所述的本公开内容的一个或多个方面。在一个方面，机器人108可为履带安装式机器人(诸如于1999年12月14日公告的编号为6,002,840的美国专利；2013年4月16日公告的编号为8,419,341的美国专利；以及于2010年1月19日公告的编号为7,648,327的美国专利中描述的那样，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中)。在其它方面，机器人108可基本类似于本文中关于后端103所描述的那样。微型环境106可为多个加载端口模块之间的基片传递提供受控的清洁区。
16.两个或更多个真空加载锁102a,102b(和102c,120d)可位于微型环境106与后端103之间且连接到微型环境和后端。在其它方面，加载端口105可基本直接联接到至少一个加载锁102a,102b或传送室125，其中基片载体c抽空至传送室125的真空，且基片s在基片载体c与相应的加载锁102a,120b或传递室125之间直接传递。在该方面，基片载体c可用作加载锁，使得传送室的处理真空延伸到基片载体c中。如可认识到的，在基片载体c通过合适的加载端口基本直接联接到真空加载锁102a,120b的情况下，任何合适的传递设备可设在加载锁内，或以其它方式接近载体c以传递基片s来回于基片载体c。注意，如本文中使用的用语真空可表示其中处理基片s的高真空，如10-5
托或更低。两个或更多个真空加载锁102a,102b大体上包括大气槽/狭缝阀asv和真空槽/狭缝阀vsv(在本文中大体上称为槽阀sv)。加载锁102a,102b(以及用于基片站模块150)的槽阀sv可提供环境隔离，其用于在从大气前端101加载基片s之后对加载锁102a,120b抽空，且在用如氮气的惰性气体对加载锁102a,120b进行排气时，维持传送室125中的真空度。处理设备100的槽阀sv可位于相同平面或不同的竖直堆叠平面中(如上文关于真空加载锁102a,102b,120c,120d所述)，以适应至少来回于基片站模块150(在本文中也称为处理站)和联接到传送室125的加载锁102a,102b的基片传递。两个或更多个加载锁102a,102b(和/或前端101)还可包括对准器109，以用于将基片s的基准对准用于处理的期望位置或任何其它合适的基片计量设备。在其它方面，两个或更多个真空加载锁102a,120b可位于处理设备的任何合适的位置中，且具有任何合适的构造。
17.真空后端103大体上包括传送室125、一个或多个基片站模块150和任何合适数量的基片传送设备130，其可包括本文中所述的本公开内容的一个或多个方面。基片传送室
125构造成在其中保持隔离的气氛，且具有侧壁125w，侧壁具有多于一个的基片传送开口(如槽阀sv或与在壁125w中的其对应的开口，如图1b和1c中所示，槽阀联接到开口以密封地关闭开口)，传送开口沿侧壁125w在共同水平(图1b)上或在其它方面以行和列(图1c)相对于彼此分开和并列。传送室125可具有例如符合semi标准e72指南的任何合适的形状和尺寸。基片传送设备130将在下文进行描述，且可至少部分地位于传送室125内，以在两个或更多个真空加载锁102a,102b(或位于加载端口处的盒c)与各种基片站模块150之间传送基片。在一个方面，基片传送设备130可作为模块化单元从传送室125移除，使得基片传送设备130符合semi标准e72指南。
18.基片站模块150可并排布置在传递室125的共同侧或小面上，和/或单个基片站模块150可设置在传递室125的单侧或小面上；然而，在其它方面，基片站模块可为单基片站模块150s(图8)、三基片站模块150t(图12)，和/或具有位于单个壳体内或以其它方式并排布置在传送室125的共同侧/小面上的任何合适数量的基片处理/保持站的基片站模块。在一个方面，并排基片处理站布置在共同的(即，相同的)处理模块壳体150h内(图1a)，以形成可称为双或纵列(tandem)基片处理模块150d的物件；而在其它方面，并排基片处理站是彼此分开且不共用共同壳体的单基片处理站150s(图7a)。应理解，双基片站模块150d、单基片站模块150s、三基片站模块150t和具有任何合适数量的基片处理站的任何其它基片站模块可以任何合适组合联接到相同的(即，共同)传递室125(例如，见图8，其中单基片站模块和双基片站模块联接到同一传递室)。
19.参照图1a和例如传递室125的侧部100s1上的基片站模块150，基片处理站190,191并排布置在共同壳体150h中，且可从传递室125内通过两个基片处理站共用的单个槽阀进入(例如，见基片处理站192,193)，或每个基片处理站可具有相应可独立地操作的槽阀(例如，见基片处理站190,191)。并排基片处理站(例如，如190,191)彼此分开或隔开任何合适的，如本文中将描述的，可通过改变基片传送设备130的至少两个双端基片保持器203,204的基片处理站之间的距离来适应该距离或节距d。
20.基片站模块150可通过各种沉积、蚀刻或其它类型的工艺在基片s上操作，以在基片上形成电路或其它所需结构。典型工艺包括但不限于使用真空的薄膜工艺，如等离子蚀刻或其它蚀刻工艺、化学气相沉积(cvd)、等离子气相沉积(pvd)、如离子注入的注入、计量、快速热处理(rtp)、干法剥离原子层沉积(ald)、氧化/扩散、氮化物形成、真空光刻、外延(epi)、引线接合器和蒸发，或使用真空压力的其它薄膜工艺。基片站模块150以任何合适的方式(如通过槽阀sv)连通地连接到传送室125，以允许基片从传送室125转移到基片站模块150，反之亦然。传送室125的槽阀sv可布置成允许双处理模块的连接。
21.注意，当基片传送设备130的至少两个双端基片保持器203,204的至少一部分与预定成组或成对并排基片处理站190-191,192-193,194-195,196-197中的相应基片处理站对准时，可能发生来回于基片站模块150和联接到传递室125的加载锁102a,102b(或盒c)的基片传递。根据本公开内容的方面，两个基片s可基本同时地传递到相应的预定基片站模块150(例如，如当以本文中所述的方式从双处理模块拾取/放置基片时)。
22.基片传送设备130在本文中大体上描述为具有至少一个铰接式多连杆臂131，其具有在固定位置处连接到传送室125的驱动区段220,200a,220b,220c；然而，在其它方面，基片传送设备130可安装在吊杆(boom)臂或线性滑架上，如于2014年10月16日提交的且题为“processing apparatus”的编号为15/103,268的美国专利申请和于2013年2月11日提交的且题为“substrate processing apparatus”的编号为pct/us13/25513的国际专利申请中描述的那些，这些专利申请的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。至少一个铰接式多连杆臂131具有上臂201和位于传送室125中的前臂202。上臂201的近端201e1在固定位置处可旋转地连结到驱动区段220,220a,220b,220c。前臂202在上臂201的远端201e2处可旋转地连结到上臂201，且上臂201是近端201e1与远端201e2之间的基本刚性的非铰接连杆。
23.在本文中所述的本公开内容的方面，至少一个端部执行器连杆(如本文中将描述的)在前臂202的一端处可旋转地连结到接头(例如，腕部接头或轴线wx)，使得至少一个执行器连杆相对于前臂202在接头处围绕共同旋转轴线旋转，至少一个端部执行器连杆具有从属于其的多于一个的基片保持站(如本文中将描述的)，基片保持站相对于彼此沿共同平面499(例如见图2d、10和11)并列，且构造成使得至少一个端部执行器连杆围绕共同旋转轴线的旋转使多于一个的基片保持站围绕共同旋转轴线旋转。如本文中将描述的，基片传送设备130的驱动区段220,220a,220b,220c构造成至少使多连杆臂131(以及联接到其上的至少一个执行器)沿非径向线性路径相对于固定位置延伸和缩回，因此多于一个的并列的基片保持站各自随着臂131的延伸和缩回而沿非径向路径线性地穿过，且基本同时穿过在共同水平上的多于一个的并列的基片传送开口中的单独对应开口(如槽阀sv，或如图1b和1c中所示的在壁125w中的对应于槽阀sv的开口，槽阀联接到开口以密封地关闭开口)。在其它方面，基片传送设备130的驱动区段220,220a,220b,220c配置成沿径向线性路径和非径向线性路径中的一者或两者相对于固定位置延伸和缩回多连杆臂131，以用于传送如本文中所述的基片。
24.仍参照图1a且还参照图2a-2d，基片传送设备130包括框架220f(在本文中也称为支承框架)、连接到框架220f的驱动区段220，以及至少一个铰接臂131(仅出于示例性目的示出单个臂)，铰接臂具有至少一个可移动臂连杆201,202和连接到可移动臂连杆的端部执行器连杆203,204，端部执行器连杆203,204具有位于其上的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2。在该方面，铰接臂是多连杆臂131。在一个方面，臂131是选择性顺应性铰接式机器人臂(在本文中称为“scara臂”)，但在其它方面，臂可具有任何合适的构造。例如，臂131包括上臂连杆201、前臂连杆202和至少一个端部执行器连杆203,204(即，具有至少一个端部执行器的双连杆scara)；但在其它方面，臂131可具有任何合适数量的臂连杆和基片保持器。上臂连杆201是基本刚性的连杆(即，上臂连杆201在纵向端201e1,201e2之间是非铰接的)。上臂连杆201在一个纵向端201e1(形成可称为肩部接头或轴线sx的物件)处可旋转地联接到驱动区段220，以便围绕臂131的肩部轴线sx旋转。在一个方面，肩部接头或轴线sx位于固定位置处(在图中沿传送室的对称轴线示出，但在其它方面可偏离传送室的对称轴线)。前臂连杆202是基本刚性的连杆(即，前臂连杆202在纵向端202e1,202e2之间是非铰接的)。前臂连杆202的纵向端202e1可旋转地联接到上臂连杆201的纵向端201e2，使得前臂连杆202围绕臂131的肘部轴线ex旋转。这里，前臂连杆202和上臂连杆201具有相似的长度(例如，从接头中心到接头中心)，但在其它方面，前臂连杆202和上臂连杆201可具有不同的长度(例如，从接头中心到接头中心)。
25.还参照5a-5e，在一个方面，可移动臂连杆201,202是可重构的臂连杆201r,202r，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳201c,
202c，以及容纳于模块化复合臂连杆壳201c,202c的基本端到端(例如，在例如臂连杆的每端处的旋转轴线sx,ex,wx之间)的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统655(例如，由传动机构部件和一对滑轮形成)。这里，如本文中将更详细描述的，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个中心臂区段510a,510b(在本文中也称为可互换连杆壳延伸模块或挤制臂壳构件)连接的端部联接件511,512,513,514(在本文中也称为连杆壳端部模块)，中心臂区段具有确定可移动臂连杆201,202的长度oal的预定特性。根据本公开内容的方面，至少一个中心臂区段510a,510b可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的中心臂区段(可互换连杆壳延伸模块)510a1-510an,510b1-510bn中选择以用于连接到端部联接件511,512,513,514且形成可重构的臂连杆201r,202r，不同对应预定特性确定可移动臂连杆201,202的对应不同长度，以便将模块化复合臂连杆壳201c,202c和可重构的臂连杆201r,202r从多个预定臂连杆长度oaln(每个不同长度oaln对应于不同中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn的不同长度cal1-caln)选择性地设置到预定臂连杆长度oal。
26.例如，上臂连杆201和前臂连杆202中的每个是模块化臂连杆，其具有相应的中心臂区段510a,510b和相应的端部联接件511-514。例如，上臂连杆201包括形成上臂连杆201的近端201e1的近端联接件511。中心臂区段510a以任何合适的方式联接到近端联接件511，如利用任何合适的可移除紧固件。远端联接件512与近端联接件511相对地联接到中心臂区段510a，以便形成上臂201的远端201e2。类似地，前臂连杆202包括形成前臂连杆202的近端202e1的近端联接件513。中心臂区段510b以任何合适的方式联接到近端联接件511，如利用任何合适的可移除紧固件。远端联接件514与近端联接件513相对地联接到中心臂区段510b，以便形成前臂连杆202的远端202e2。
27.用于上臂连杆201的端部联接件511,512可基本彼此类似，使得端部联接件511,512可与彼此互换(即，端部联接件511可联接到中心臂区段510a的任一端，以便形成上臂连杆201的远端201e2或近端201e1，且端部联接件512可联接到中心臂区段510a的任一端，以便形成上臂连杆201的远端201e2或近端201e1)。类似地，用于前臂连杆202的端部联接件513,514可基本彼此类似，使得端部联接件513,514可与彼此互换(即，端部联接件513可联接到中心臂区段510b的任一端，以便形成前臂连杆202的远端202e2或近端202e1，且端部联接件514可联接到中心臂区段510b的任一端，以便形成前臂连杆202的远端202e2或近端202e1)。在一些方面，上臂连杆201的端部联接件可与前臂连杆202的端部联接件互换。可互换的端部联接件可减少传送臂的零件数量，且降低与制造不同零件相关联的成本。
28.如本文中所述，中心臂区段510a,510b具有闭合的截面(例如，闭合的箱形状)。例如，中心臂区段510a,510b包括可具有任何合适截面的整体管框架510f。在图5a-5e所示的示例中，管框架510f示为具有矩形截面，然而，在其它方面，截面可为方形、圆形、卵形、“i”梁形(见图44，其中线缆在“i”梁的内部(截面a-a)上或“i”梁的外部(图44a)上)等。在还其它的方面，中心臂区段510a,510b可具有开放的箱形状(见图44b，其中框架510f'的一侧或多侧是开放的(例如，具有或不具有面板4400来闭合开放侧))。在其它方面，中心臂区段510a,510b可具有框架510f"，该框架是如图44c所示的混合闭合-开放的箱形状，其中框架510f"的一部分是闭合的箱，而框架510f"的另一相邻部分是开放的箱(例如，滑轮传动机构的线缆延伸通过开放的箱和闭合的箱中的一个或多个)。如可认识到的，中心臂区段510a,510b的开放的箱形状、闭合的箱形状、“i”梁形状或任何其它合适的截面形状可以本文中所
述的方式形成，如通过挤制。注意，与开放的箱形状(例如，“u”形)截面(例如，取决于为“u”形截面选择的材料的刚度)相比，闭合的箱形状可提供用于基片传送设备130的改进的刚度和性能。
29.中心臂区段510a,510b机械地紧固到(相应的)端部联接件511,512,513,514中的每个以形成模块化复合臂连杆壳201c,202c，且布置成使得形成的模块化复合臂连杆壳201c,202c在所选择的预定臂连杆长度oal,oaln(图5c)内与连接(相应)滑轮系统(如滑轮系统655a-655e——图4)的滑轮轮体(wheel)(如滑轮480,484,488,482,486,491,470,474,472,476——图4)的滑轮传动机构(如传动机构部件490,492,493,494,495——图4)的错位(misalignment)容差相匹配。在一个方面，中心臂区段510a,510b用机械紧固件接头(包括如本文中将描述的可移除式机械紧固件)来机械地紧固到端部联接件511,512,513,514中的每个，以形成模块化复合臂连杆壳201c,202c，且机械紧固件接头构造成使得所形成的模块化复合臂连杆壳201c,202c在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。例如，接头的机械紧固件的匹配和/或互补部分之间的配合和(相反地)间隙(例如，将螺栓或销配合到每个单独的接口和接头处的对应孔中，且共同穿过臂连杆)构造为以便匹配(使得机械紧固件的配合不会引起游隙超过在给定臂连杆长度中滑轮系统的可接受的设计错位容差)。作为进一步的示例，简要参照图6b，随着臂连杆201,202的长度增加，臂的自由端也可能由于重力效应和/或臂连杆201,202上的负载而下垂或垂下预定量，如于2018年1月25日提交的且题为“method and apparatus for substrate transport apparatus position compensation”的编号为15/880,387的美国专利申请(于2018年10月4日公布为编号2018/0286728的美国预授权公开案)中所述，该美国专利申请的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。臂连杆的下降可限定进一步的错位，其也必须位于相应滑轮系统655a-655e的错位容差(即，传动机构节段可相对于它们相应的滑轮成角度或沿轴向移动而基本没有引起臂位置错误的可允许量)内。臂连杆201,202的这样垂下可引起滑轮传动机构(在图6b中包括线缆(或线)节段660a,660b)相对于滑轮476的旋转平面以角度β(在预定的错位容差内)成角度，或沿滑轮的外周面/侧表面沿轴向行进(在预定的错位容差内)。在一些方面，线缆节段660a,660b的角度β可能会使线缆节段660a,660b与滑轮476错位。这里，中心臂区段510a,510b与端部联接件511,512,513,514之间的联接使得联接件中的任何容差匹配(或在某些方面抵消或消除)滑轮传动机构与滑轮476之间的错位容差。
30.管框架510f包括端部凸缘540,541，端部凸缘构造成用于将端部联接件511,512,513,514中的任一个联接到管框架510f。凸缘540,541可以任何合适的方式与管框架510f一体形成或联接到管框架510f。例如，凸缘540,541可与管框架510f一起锻造、铸造或模制；而在其它方面，凸缘540,541可由焊接、机械紧固件、粘合剂、摩擦配合(例如，收缩配合、压配合等)、夹具或以任何其它合适的方式联接到管框架。端部凸缘540,541可包括定位特征(如孔545和槽546)，且端部联接件511,512,513,514可包括匹配定位特征(例如，如销547或接合端部凸缘540,541的定位特征的其它突出部——见图5c)，其将上臂连杆201(或相对于前臂连杆202，端部联接件513,514)的端部联接件511,512中的每个以至少两个自由度定向/定位到中心臂区段510a(或相对于前臂连杆202，中心臂区段510b)和彼此。在一个方面，定位特征和匹配定位特征是不对称的，使得联接是防错的(例如，当端部联接件联接到相应的
中心臂区段时，不对称定位特征基本避免组装错误)。还参照图41，定位特征可包括形成在中心臂区段510a,510b和端部联接件511,512,513,514中的突出部4100和凹部4110，其中突出部4100和凹部4110构造成将端部联接件511,512,513,514相对于相应的中心臂区段510a,510b定位在预定位置处。例如，中心臂区段510a,510b可包括凹部4110，且端部联接件511,512,513,514可包括突出部4100，其中凹部4110接收相应的突出部4100以将端部联接件511,512,513,514相对于相应中心臂区段510a,510b定位在预定位置处。在其它方面，端部联接件可包括凹部，且中心臂区段可包括突出部。在一个方面，凹部和突出部可为连续的且围绕相应的端部联接件和中心臂区段的整个外围边缘延伸；而在其它方面，凹部和突出部可为不连续的，以便围绕相应的端部联接件和中心臂区段的外围边缘的预定部分延伸。在一个方面，突出部和凹部可与一个或多个销/孔/槽一起使用，使得销/孔/槽限定端部联接件相对于中心臂区段的定向(directional)组装定向(orientation)(例如，端部联接件的哪个表面是顶部、底部等)，而凹部和突出部将端部联接件相对于中心臂区段定位在预定位置中。在一个方面，端部联接件511,512,513,514可联接到相应的中心臂区段510a,510b，而无需定位特征，其中端部联接件和中心臂区段组件从一个端部联接件到相对端部联接件二次机加工成预定尺寸容差。
31.在一个方面，端部凸缘540,541还包括紧固件联接件560-563，且端部联接件511,512,513,514包括匹配紧固件联接件560a-563a，它们一起实现端部联接件511,512,513,514与中心臂区段510a,510b的联接。例如，紧固件联接件560-563和匹配紧固件联接件560a-563a可为螺栓/螺钉插入其中的螺纹孔和孔口或任何其它可移除式紧固件系统的形式。还参照图42，且如本文中所述，端部联接件511,512,513,514示为利用夹具4200联接到中心臂区段510a,510b，其中每个夹具接合端部联接件511,512,513,514和中心臂区段510a,510b两者，以便在端部联接件511,512,513,514与中心臂区段510a,510b之间形成压缩联接。还参照图43，且如本文中所述，端部联接件511,512,513,514示为通过摩擦配合(例如，收缩配合、压配合等)联接到中心臂区段510a,510b，其中端部联接件511,512,513,514上的突出部4300与中心臂区段510a,510b上的凹部4310(或内部表面或外部表面)摩擦接合(或反之亦然)，以便将端部联接件511,512,513,514联接到中心臂区段510a,510b。凹部4310和凸部4300可基本类似于上述凹部4110和凸部4100，但具有摩擦配合(也称为压配合或过盈配合，其是在零件强制推在一起之后通过摩擦实现的两个零件之间的紧固——在组装的零件之间没有间隙)(图43)，而不是滑动配合(例如，端部联接件和中心臂区段在组装期间容易相对彼此滑动——在组装的零件之间有间隙)(如图41中)。
32.在一个方面，端部凸缘540,541可基本彼此类似，使得中心臂区段510a,510b可安装在上臂连杆201或前臂连杆202中，其中端部凸缘541朝向臂的远端201e2,202e2或近端201e1,202e1(或反之亦然)。
33.在一个方面，管框架510f包括一个或多个孔口588，该孔口构造成提供通向上臂连杆201和前臂连杆202中相应一个的内部的通路。进入内部可便于上臂连杆201和前臂连杆202的任何适当维护，而基本无需拆卸基片传送设备和/或其臂连杆。在一个方面，可提供盖510c(图5c)以覆盖一个或多个进入孔口588，以便容纳可由臂连杆生成的任何颗粒。如可认识到的，还参照图5f，盖510c的移除提供通过进入孔口588进入相应臂连杆的内部。例如，可通过进入孔口588对本文中所述的线缆和滑轮传动机构进行调整(例如，如通过操纵顺列线
缆张紧器691来调整线缆节段中的一个或多个的张力，如本文中将描述的)。
34.在一个方面，中心臂区段510a,510b可具有长度cal，其与相应的端部联接件511,512,513,514一起限定相应的上臂连杆201或前臂连杆202的总长度oal(从接头中心到接头中心——见图5c)。臂131(和本文中所述的其它臂)可通过改变中心臂区段510a,510b的长度cal来构造/重构。如本文中所述，中心臂区段510a,510b可如本文中所述制造，以便具有不同的预定长度cal,cal1-caln。因此，中心臂区段510a,510b中的每个可从多个中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中选择，其中“n”是表示中心臂区段数量的上限的整数。可选择的中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个可具有与可选择的中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的另一个的长度不同的长度cal1-caln。这里，用于安装在相应的上臂连杆201或前臂连杆202中的可选择臂部分510a1-510an,510b1-510bn的选择与相应的端部联接件511,512,513,514一起限定上臂连杆201或前臂连杆202的可变(即，通过中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn的选择)长度。如可认识到的，可通过可选择的中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn的选择来增加或减少上臂连杆201和前臂连杆202中的一个或多个的总长度oal。
35.在其它方面，还参照图40，中心臂区段510a,510b中的一个或多个可为伸缩式中心臂区段510t(例如，伸缩臂部分的臂部分以类似于分段光学望远镜的方式滑入彼此以改变长度)。在该方面，伸缩式中心臂区段510t包括第一框架部分510t1和第二框架部分510t2。第一框架部分510t1的形状和尺寸设定成以滑动配合接收第二框架部分510t2，使得第一框架部分510t1或第二框架部分510t2相对于第一框架部分510t1或第二框架部分510t2中的另一个沿纵向方向线性滑动，以增加或减少伸缩式中心臂区段510t的长度cal。伸缩式中心臂区段510t可包括任何合适的可移除或不可移除式紧固件4000(例如，螺钉、螺栓、销、夹子、焊接等)，以锁定第一框架部分510t1相对于第二框架部分510t2的移动，以便设置/固定伸缩式中心臂区段510t的长度cal。在紧固件可移除的情况下，臂连杆的长度可根据需要调整，以符合附加的或移除的基片处理模块、传递室部分(例如，臂的范围可根据需要增大或减小)。
36.在其它方面，参照图40a，中心臂区段510a,510b中的一个或多个可为分段式臂区段510s，其中每个节段4020具有固定长度cas，且以邻接方式(例如，端到端)联接到彼此，使得当端到端联接在一起时，这些节段具有中心臂区段510a,510b的长度cal。在一个方面，不同节段4020的固定长度cas可相同，而在其它方面，节段4020的固定长度可不同。在还其它的方面，参照图45，中心臂区段510a,510b中的一个或多个可为多壳模块4500，每个多壳模块4500具有第一框架部件4501和第二框架部件4502(其中每个可基本类似于本文中所述的框架510f,510f',510f")，它们并排布置且在相应的端部联接件511,512,513,514之间延伸且联接相应的端部联接件。这里，传动系统的线缆可在相应的第一框架部件4501和第二框架部件4502内延伸。在该方面，第一框架部件4501和第二框架部件4501可单独地联接到相应的端部联接件511,512,513,514(例如，框架部件4501与端部联接件511的联接独立于框架部件4502与端部联接件512的联接)；而在其它方面，框架部件4501,4502可联接到端板4030，其中端板4030实现框架部件4501,4502与相应的端部联接件513,514的联接。
37.不同长度的中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可由如本文中所述的任何合适的材料以任何合适的方式制造。例如，至少一个可互换中心臂区段510a,510b和
多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个具有与其对应的箱形截面598，且预定特性在于，可互换的中心臂区段510a,510b和多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个具有不同对应长度cal,cal1-caln。
38.箱形截面598提供用于管框架510f的管状形状，且便于以低成本和/或大批量制造方法制造中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn。例如，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可通过挤制或铸造制造(例如，以便形成具有箱形截面598的挤制部件)，其降低机加工要求(例如，与由材料坯料机加工的常规臂连杆相比)。可采用的其它制造方法包括但不限于增材制造、常规机加工、折叠和焊接金属板、锻造和注塑成型。管框架510f的管状形式(其可通过上述制造工艺实现)实现具有整体箱形区段598的挤制部件，当与上述常规机加工的臂连杆相比时，该整体箱形区段明显更坚固。与另外用常规机加工的臂连杆会实现的相比，较坚固的箱形截面598提供用于较长的臂长度和具有较薄侧壁510w的管框架510f的制造，其减少臂连杆的重量且提供用于基片传送设备130的操作速度提高。
39.在一个方面，对应的箱形截面598的尺寸和形状设定成与不同对应长度cal,cal1-caln相称，以便保持关于每个不同的可互换中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn的预定刚度(端到端)。在另一方面，对应的箱形截面598的尺寸和形状设定成与不同对应长度cal,cal1-caln相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度oal,oaln内保持预定刚度(端到端)。例如，关于预定刚度，随着中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn的长度cal,cal1-caln增加，箱形截面598的壁510w中的一个或多个的厚度thk(图5e)也可增加。在其它方面，壁510w中的一个或多个的厚度thk可沿相应的长度cal,cal1-caln渐缩，其中壁在臂连杆的近端处最厚(相对于肩部轴线sx)且在臂连杆的远端处最薄(相对于肩部轴线sx；例如，考虑臂连杆202，壁厚可能在肘部轴线zx附近最大，而在腕部轴线wx附近最薄)。在其它方面，加强肋可在例如箱形截面598的挤制期间形成在箱形截面598中。在其它方面，还参照图46，中心臂区段510a,510b可具有渐缩长度，其中心臂区段510a,510b的相应近端(例如，支承端)具有高度ahpe1,ahpe2，其大于相应中心臂区段510a,510b的相应远端(例如，自由端或无支承端)的高度ahde1,ahde2。如图46中所示的渐缩长度可保持臂连杆的预定刚度，同时减少臂连杆的重量，其可提供用于基片传送设备130的操作速度提高。在其它方面，箱形截面598可以与不同对应长度cal,cal1-caln相称的任何合适的方式来设定尺寸和形状，以便保持关于每个不同的可互换中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn的预定刚度(端到端)。
40.在一个方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可由与用于臂连杆传动线缆(本文中所述)相同(或具有相同的热膨胀系数)的材料制成，如铝、不锈钢、铬镍铁合金或其它金属合金，或本文中所述的任何其它合适的材料(注意，由于成本和重量，在由坯料制造的常规臂连杆中可能限制使用不锈钢)。由与运动传动硬件(例如，线缆、带、滑轮等)相同的材料制造中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn提供用于在构件之间相同的热膨胀系数，其提高基片传送设备130的拾取/放置移动的准确性。在一个方面，中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn由与端部联接件511,512,513,514中的一个或两个的材料相同(或具有相同的热膨胀系数)的材料制成；而在其它方面，中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn由与端部联接件511,512,513,514中的一个或两
个的材料不同的材料制成。在一个方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn、端部联接件511,512,513,514和运动传动硬件由相同(或具有相同的热膨胀系数)的材料制成。参照图48，示出臂连杆构件的热膨胀，其中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn大体上用参考标记510表示。这里，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn、端部联接件511,512,513,514以及运动传动硬件的材料可选择为以便保持以下等式，该等式表示由于臂连杆的壳构件和其中的滑轮传动机构的热膨胀(和收缩)引起的总长度变化分别在臂连杆的长度上归一化：ꢀꢀꢀꢀ[1]其中，i是表示可移动臂连杆节段壳构件的整数(例如，在图48中，i=1表示端部联接件511(或513)，i=2表示中心臂区段510，i=3表示端联接件512(或514))，j是表示运动传动硬件构件的整数(例如，在图48中，j=1表示第一滑轮，j=2表示线缆，j=3表示第二滑轮)，l是相应臂连杆构件的长度，
ℓ
是相应运动传动硬件构件的长度(在线缆的情况下)或半径(在滑轮的情况下)，ll是臂连杆的从接头中心到接头中心的长度，且符号δ和d表示由于热膨胀(和收缩)导致的对应长度l、
ℓ
的“变化”。在一个方面，对于壳和滑轮传动机构的每个对应构件，(即，i=j和li=
ℓj)，且通过将相应的壳构件(i)的热膨胀(和收缩)与其中对应的滑轮传动机构构件(j)相匹配来基本满足。然而，在至少一个壳构件具有不同于对应的滑轮传动机构构件(例如)的热膨胀(和收缩)的不同方面(例如，)中，具有补偿(例如，在大的热变化上可能在尺寸上基本不变或以在其它情况下可视为具有可忽略的热膨胀系数)与之间的差异的热膨胀系数的任何合适的热膨胀补偿插入件4800(由任何合适的材料制成，如陶瓷、复合材料、金属、聚合物等)可设在可移动臂连杆节段壳构件中的一个或多个之间(且具有足够的长度)，使得保持上面的等式[1]。此类热膨胀补偿插入件4800也可为模块化的，紧固到如前所述的壳构件，或可与例如所需长度的中心臂区段510a,510b的形成一体地形成。
[0041]
在一个方面，至少一个可互换中心臂区段510a,510b和多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个的材料具有比端部联接件511,512,513,514的材料更高的刚度(弹簧模量)。在一个方面，至少一个可互换中心臂区段510a,510b和多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个的材料具有与相应滑轮系统655a-655e的滑轮传动机构490,492,493,494,495的材料刚度相称的刚度(图4)。
[0042]
如可认识到的，模块化臂连杆构造还简化臂连杆端部的制造。例如，对于常规的臂连杆，臂滑轮和滑轮轴所联接到的臂连杆的端部与臂的中心部分作为一个单元由材料坯料来机加工。根据本公开内容的方面，臂连杆的模块化形式提供用于端部联接件511,512,513,514和中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn的单独制造技术。例如，尽管中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可挤制(或用如本文中所述的其它方法制造)，但端部联接件511,512,513,514可通过铸造、锻造、增材制造、常规机加工和注塑成型来制造，使得端部联接件511,512,513,514铸造或锻造成近净形状(即，端部联接件的初始产生非常接近端部联接件的最终(净)形状，减少对于表面精整的需要)，以便减少端部联接件511,512,513,514的机加工和成本，其继而降低基片传送设备130的总体成本。在一些
方面，端部联接件511,512,513,514可提供为预组装/制造的臂接头4700，其中传动机构部件的至少一部分(如传动机构部件490,492,493,494,495中的一个或多个的至少一个滑轮)预安装在预组装臂接头4700中。预组装臂接头4700可降低制造成本且减少传送臂组件的交付时间。
[0043]
在一个方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个可由金属构件构成，例如，如铝、不锈钢、铬镍铁合金或其它金属合金，或任何其它合适的材料中的一种或多种。在其它方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个可由包括非金属材料的任何合适的材料构成，包括但不包括仅限于陶瓷、聚合物、复合材料和碳纤维。如本文中所述，可使用大批量制造方法(例如，模制、铸造、锻造、挤制等)以近净形状或粗糙(rough)形状(这需要比近净形状铸造、锻造、模制等更多的二次机加工操作)中的一种或多种来构造中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个，注意中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个的内部可锻造、铸造等成近净形状，而外部锻造、铸造等成粗糙形状。二次机加工操作可包括但不限于常规机加工、切割、磨削、电磁放电(discharge)机加工等。具有已成形(例如，铸造、锻造、挤制等)表面和机加工表面/特征两者的臂构件的示例在图37-39中示出。注意，在图37-39中，二次机加工的表面/特征示为“阴影”(例如，变暗区域)，而已成形(未机加工的)表面/特征没有阴影。图37示出已形成的端部联接件511,513(例如，近净形状或粗糙形状)，以及具有机加工(使用如本文中所述的方法)表面/特征的对应的精整端部联接件511,513。图38示出已形成的端部联接件512,514(例如，近净形状或粗糙形状)，以及具有机加工(使用如本文中所述的方法)表面/特征的对应的精整端部联接件512,514。图39示出已成形的中心臂区段510a,510b(例如，近净形状或粗糙形状)，以及具有机加工(使用如本文中所述的方法)表面/特征的对应的精整中心臂区段510a,510b。
[0044]
如图5a,5b和5c中可见，上臂连杆201和前臂连杆202中的每个具有相应的高度ah。在一个方面，前臂连杆202的高度ah1可小于上臂连杆201的高度ah2(或反之亦然)，而在其它方面，前臂连杆202的高度ah1可与上臂连杆201的高度ah2基本相同。在一个方面，相应的高度ah1,ah2可取决于设置在臂中的传动机构部件的数量(例如见图4，其中上臂连杆201包括三组传动机构部件490,492,494，且前臂连杆202包括两组传动机构部件493,495)。如可认识到的，在上臂连杆201和前臂连杆202的高度不同的情况下，前臂连杆202的端部联接件513,514和中心臂区段510b可能不能与上臂连杆201的端部联接件511,512和中心臂区段510a互换。
[0045]
再次参照图1a和2a-2d，在一个方面，至少一个端部执行器连杆203,204(在本文中也称为基片保持器)包括两个双(端)基片保持器203,204；然而，在其它方面，如本文中所述，至少一个基片保持器可具有任何合适的构造。双基片保持器203,204是分开的且彼此不同。双基片保持器203,204中的每个在前臂连杆202的共同端处可旋转地且单独地连结到接头，使得每个端基片保持器203,204相对于前臂连杆202围绕接头或由此形成的共同旋转轴线(例如见腕部轴线或接头wx)旋转。双基片保持器203,204中的每个具有从属于其且从接头延伸的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2，使得多于一个的基片保持
器203,204沿共同平面499(见图2d、4、10和11)相对于彼此并列。共同平面499由多于一个的基片保持器203,204的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2中的至少三个确定，其中至少三个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2中的两个基片保持站(例如，基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)对应于多于一个的基片保持器203,204中的共同基片保持器203,204。如本文中所述，两个基片保持站(例如，基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)分别设置在共同基片保持器203,204的相对端处。
[0046]
从属于至少一个基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2包括位于至少一个基片保持器203,204的相对端处的一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2。至少一个基片保持器203,204在相对端之间是基本刚性且非铰接的，且在相对端中的一个处的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2与彼此分开且不同的基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2基本共面。在一个方面，在至少一个基片保持器203,204的相对端处的基片保持站(见基片保持器203的基片保持站203h1,203h2和基片保持器204的基片保持站204h1,204h2)与彼此基本共面。在其它方面，至少一个基片保持器(见基片保持器203或204中的一个)的相对端处的基片保持站(见基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)与彼此分开且不同的端部执行器连杆(见基片保持器203或204中的另一个)的至少一个基片保持站(见基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2中的另一个)基本共面。在还其它的方面，每个分开且不同的基片保持器(见基片保持器203,204中的每个)的对应至少一个基片保持站(见基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2)包括在至少一个基片保持器203,204的相对端处的一个基片保持站，且分开且不同的基片保持器203,204中的每个在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0047]
仍参照图2a-2d，将更详细地描述双基片保持器203,204。例如，在一个方面，双基片保持器203,204中的每个包括沿纵向延伸的框架203f,204f(图2a)，其具有设置在框架203f,204f的相对纵向端处的相应基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2。在一个方面，位于共同基片保持器的相对端处的两个基片保持站(例如，基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)与彼此基本共面；而在其它方面，两个基片保持器可在不同的堆叠平面中(例如，见图10)。如上文所述，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。框架203f,204f中的每个形成从相应的基片保持站203h1,204h1到相应的基片保持站203h2,204h2的基本刚性连杆(即，双端基片保持器203,204在其相应的纵向分开的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2之间是非铰接的)。双端基片保持器203,204中的每个包括从框架203f,204f横向延伸的偏移安装突出部210,211。双端基片保持器203,204的偏移安装突出部210,211围绕腕部轴线wx可旋
转地联接到前臂202，使得双端基片保持器203,204中的每个围绕腕部轴线wx独立于彼此旋转。
[0048]
偏移安装突出部210,211可具有任何合适的长度，该长度设置或以其它方式限定(并排基片保持站203h1-204h1之间以及并排基片保持站203h2-204h2之间(以便与基本节距bp相称)的)任何合适的基本节距bp，和/或基片保持位置203h1,203h2,204h1,204h2中的每个相对于腕部轴线wx的任何合适的基片保持器偏移距离sd。在一个方面，基本节距bp可基本等于并排基片处理站(例如，如190,191(见图1a))之间的节距d。在其它方面，如本文中所述，自动晶片定心的实现是通过改变基本节距bp(例如，可增加或减少并排基片保持站203h1-204h1,203h2-204h2之间的距离)以适应节距d的变化，和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197。例如，如本文中所述，基片保持器203,204中的一个或多个可围绕腕部轴线wx独立地旋转，以便增加或减少(或以其它方式改变)相应的偏移距离sd，且在基本节距bp中做出对应的改变。在一个方面，如本文中所述，驱动区段220构造成将基片保持器203,204中的每个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2相对于基片保持器203,204中的另一个的对应基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2独立地对准。
[0049]
双端基片保持器203,204以任何合适的方式构造，使得基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2设置在共同平面499中(见图2d和4)。例如，偏移安装突出部210,211可各自包括与相应框架203f,204f基本共面的第一部分230,231。偏移安装突出部210,211可各自包括第二部分232,233，第二部分偏移以便延伸到由相应框架203f,204f限定的平面外侧。第二部分232,233的偏移使得当第二部分一个堆叠在另一个上方(见图2d)且围绕腕部轴线wx可旋转地联接到前臂202时，基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2设置在共同平面499中。
[0050]
双基片保持器203,204设置成使得臂131的径向延伸和缩回实现每个基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2通过传送室壁125w(图1a)中的相应单独开口(见槽阀sv)的基本同时延伸和缩回，这些开口在基本共同水平上相对于彼此并列(见图1b和1c中的一个或多个晶片/基片搁置平面wrp)。在其它方面，基片保持器203,204可延伸通过堆叠在不同平面中的传送室壁中的开口。
[0051]
现在参照图2a-3a，示出根据本公开内容的方面的示例性驱动区段220。在一个方面，驱动区段220构造成以径向延伸来延伸(和缩回)臂131，其中腕部轴线wx的移动沿径向延伸/缩回的轴线或路径700保持，该轴线或路径延伸通过肩部轴线sx(图7b)，使得基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2(偏离径向轴线)从并排基片处理站拾取和放置基片s。在另一方面，驱动区段220构造成以非径向延伸来延伸(和缩回)臂131，其中腕部的移动沿路径701(图7f)行进，该路径与径向延伸/缩回轴线700偏离和/或成角度(即，路径701不穿过肩部轴线sx或从肩部轴线sx辐射——注意，图7c示出径向延伸路径702，其中腕部轴线wx沿延伸通过肩部轴线sx或从肩部轴线sx辐射的移动路径移动)。在还其它的方面，驱动区段220构造成沿径向路径和非径向路径两者延伸臂(见图7a-7l)。
[0052]
在一个方面，驱动区段可具有同轴驱动布置，而在其它方面，驱动区段可具有任何合适的驱动布置，包括但不限于并排马达、谐波驱动器、开关或可变磁阻马达等。驱动区段布置的合适示例在编号为6,485,250；5,720,590；5,899,658；5,813,823；8,283,813；8,918,203；和9,186,799的美国专利中描述，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在该方面，驱动区段220包括壳体310，以用于至少部分地容纳四同轴驱动轴组
件300(也见图4)，该组件具有四个驱动轴301-304和四个马达342,344,346,348(例如四自由度马达)。在本公开内容的其它方面，驱动区段220可具有任何合适数量的驱动轴和马达，例如，如两个或三个同轴马达或多于四个的同轴马达以及相关联的驱动轴。驱动区段220还可包括构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的臂131的z轴线驱动器312；然而，在其它方面，联接到臂131所在的传递室的基片处理站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂131提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0053]
在一个方面，驱动区段220是多轴驱动区段，其限定至少一个基片保持器203,204相对于其它基片保持器203,204的独立自由度；而在其它方面，对于多个基片保持器中的至少一个基片保持器，存在独立的自由度；而在还其它的方面，每个基片保持器都有独立的自由度。每个基片保持器203,204的独立自由度使得能够在双基片保持器203,204中的每一个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,2034h1,204h2处独立地自动晶片定心。在一个方面，驱动区段220是多轴驱动区段，其构造成实现在双基片保持器203,204中的每一个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,2034h1,204h2处的独立自动晶片定心，自动晶片定心与双基片保持器203,204中的每个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,2034h1,204h2通过传送室壁125w中的相应单独开口(见槽阀sv)的基本同时延伸是基本同时的。
[0054]
参照图3a，驱动区段至少包括马达342,344,346,348。驱动区段220的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。第四马达348包括定子348s和连接到第四或内轴301的转子348r。四个定子342s,344s,346s,348s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到壳体310。每个定子342s,344s,346s,348s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r,348r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346,348可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在还其它的方面，马达342,344,346,348可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r,3418r与定子342s,344s,346s,348s之间，使得同轴驱动轴组件300位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0055]
第四或内轴301从底部或第四定子348s延伸，且包括与定子348s基本对准的转子348r。轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承350-353围绕轴301-304和壳体310设置，以允许每个轴301-304相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-374。位置传感器371-374可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴301-304相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-374可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0056]
参照图3a，在其它方面，基本类似于驱动区段220的示例性驱动区段220a包括壳体310，以用于至少部分地容纳三同轴驱动轴组件300a，该三同轴驱动轴组件具有三个驱动轴302-304和三个马达342,344,346(例如三自由度马达)。驱动区段220a还可包括z轴线驱动器312，其构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的基片传送设备130的臂(如本文中所述的那些)；然而，在其它方面，联接到臂所在的传递室的基片保持站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0057]
驱动区段220a的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。三个定子342s,344s,346s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到壳体310。每个定子342s,344s,346s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在还其它的方面，马达342,344,346可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r与定子342s,344s,346s之间，使得同轴驱动轴组件300a位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0058]
轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承350-353围绕轴302-304和壳体310设置，以允许每个轴302-304相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-373。位置传感器371-373可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴302-304相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-373可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0059]
参照图3b，在其它方面，基本类似于驱动区段220的示例性驱动区段220b包括壳体310，以用于至少部分地容纳六同轴驱动轴组件300b，该六同轴驱动轴组件具有六个驱动轴301-306和六个马达342,344,346,348,343,345(例如六自由度马达)。驱动区段220b还可包括构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的基片输送设备130的臂(如本文所中所述的那些)的z轴线驱动器312；然而，在其它方面，联接到臂所在的传递室的基片保持站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0060]
驱动区段220a的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。第四马达348包括定子348s和连接到轴301的转子348r。第五马达343包括定子343s和连接到轴305的转子343r。第六马达345包括定子345s和连接到轴306的转子345r。六个定子342s,344s,346s,348s,343s,345s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到
壳体310。每个定子342s,344s,346s,348s,343s,345s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r,348r,343r,345r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346,348,343,345可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在还其它的方面，马达342,344,346,348,343,345可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r,348r,343r,345r与定子342s,344s,346s,348s,343s,345s之间，使得同轴驱动轴组件300b位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0061]
轴306从第六定子345s延伸且包括与定子345s基本对准的转子345r。轴305从第五定子343s延伸且包括与定子343s基本对准的转子343r。轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴301从第四定子348s延伸且包括与定子348s基本对准的转子348r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承(如上文所述的那些)围绕轴301-306和壳体310设置，以允许每个轴301-306相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-376。位置传感器371-376可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴301-306相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-376可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0062]
参照图3c，在其它方面，基本类似于驱动区段220的示例性驱动区段220c包括壳体310，以用于至少部分地容纳五同轴驱动轴组件300b，该五同轴驱动轴组件具有五个驱动轴301-305和五个马达342,344,346,348,343(例如五自由度马达)。驱动区段220c还可包括构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的基片输送设备130的臂(如本文所中所述的那些)的z轴线驱动器312；然而，在其它方面，联接到臂131所在的传递室的基片保持站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0063]
驱动区段220a的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。第四马达348包括定子348s和连接到轴301的转子348r。第五马达343包括定子343s和连接到轴305的转子343r。五个定子342s,344s,346s,348s,343s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到壳体310。每个定子342s,344s,346s,348s,343s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r,348r,343r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346,348,343可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在
还其它的方面，马达342,344,346,348,343可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r,348r,343r与定子342s,344s,346s,348s,343s之间，使得同轴驱动轴组件300c位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0064]
轴305从第五定子343s延伸且包括与定子343s基本对准的转子343r。轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴301从第四定子348s延伸且包括与定子348s基本对准的转子348r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承(如上文所述的那些)围绕轴301-305和壳体310设置，以允许每个轴301-305相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-375。位置传感器371-375可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴301-306相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-375可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0065]
如本文中所述，驱动区段220,220a,220b,220c构造成沿非径向线性路径延伸和缩回至少一个多连杆臂131，且使每个端部执行器连杆(例如，基片保持器)的至少一个对应的基片保持站分别基本同时穿过沿例如传递室125的侧壁并列的单独基片传送开口(如图1b和1c中所示)，且将至少一个对应基片保持站相对于多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)中的另一个独立地对准。
[0066]
参照图2a、3a和4，如上文所述，基片传送设备130包括至少一个臂131，该臂具有两个双端基片保持器203,204。注意，本文中所述的基片传送设备130的两个双端基片保持器203,204可允许本文中所述的基本同时拾取和放置基片(例如，两个双端基片保持器203,204基本同时分别延伸到和缩回自并排基片处理站190-191,192-193,194-195,196-197的相应基片处理站以用于基本拾取和/或放置基片)。
[0067]
在本公开内容的一个方面，上臂连杆201由外轴304驱动来围绕肩部轴线sx旋转，前臂连杆202由内轴301驱动来围绕肘部轴线ex旋转，双端基片保持器203由轴303驱动来围绕腕部轴线wx旋转，且双端基片保持器204由轴302驱动来围绕腕部轴线wx旋转。例如，上臂连杆201固定地附接到外轴304，使得上臂连杆201与轴304作为一个单元在中心旋转轴线(例如肩部轴线sx)上旋转。
[0068]
前臂连杆202由任何合适的传动机构联接到内轴301。例如，滑轮480固定地附接到轴301。上臂连杆201包括柱481。滑轮482可旋转地安装到柱481或以其它方式由柱481支承。柱481固定地安装到上臂连杆201的内表面。第一组传动机构部件490在滑轮480与滑轮482之间延伸。应认识到，任何合适类型的传动机构部件都可用于联接滑轮480,482，例如，如带状物、带或链。还应认识到，尽管示出两个传动机构部件(见图6a和6b)联接滑轮480,482，但在其它方面，任何合适数量的传动机构部件可用于联接滑轮480,482(例如，多于或少于两个)。轴482s固定地联接到滑轮482，使得轴482s与滑轮482一起围绕肘部轴线ex旋转。轴482s可以任何合适的方式可旋转地支承在柱481上。前臂连杆202固定地安装到轴482s，使
得前臂连杆202与轴482s作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。
[0069]
双端基片保持器203由任何合适的传动机构联接到轴303。例如，滑轮488固定地联接到轴303，使得滑轮488与轴303作为一个单元围绕肩部轴线sx旋转。滑轮491可旋转地联接到柱481或以其它方式支承在柱481上。第二组传动机构部件492(基本类似于传动机构部件490)在滑轮488与滑轮491之间延伸。轴491s固定地联接到滑轮491，使得轴491s与滑轮491作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。轴491s可以任何合适的方式可旋转地支承在柱481上。前臂连杆202包括滑轮470，滑轮固定地安装到轴491s的顶端，使得滑轮470与轴491s(和滑轮491)作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。前臂连杆202还包括柱471和滑轮472，该滑轮可旋转地安装到柱471或以其它方式由柱471支承。第三组传动机构部件493(基本类似于传动机构部件490)在滑轮470,472之间延伸且联接滑轮470,472。双端基片保持器203通过轴472s固定地安装到滑轮472，使得滑轮472和双端基片保持器203作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转。
[0070]
双端基片保持器204由任何合适的传动机构联接到轴302。例如，滑轮484固定地联接到轴302，使得滑轮484与轴302作为一个单元围绕肩部轴线sx旋转。滑轮486可旋转地联接到柱481或以其它方式支承在柱481上。第四组传动机构部件494(基本类似于传动机构部件490)在滑轮484和滑轮486之间延伸。轴486s固定地联接到滑轮486，使得轴486s与滑轮486作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。轴486s可以任何合适的方式可旋转地支承在柱481上。前臂连杆202包括滑轮474，滑轮固定安装到轴486s的顶端，使得滑轮474与轴486s(和滑轮486)作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。前臂连杆202还包括滑轮476，该滑轮可旋转地安装到柱471或以其它方式由柱471支承。第五组传动机构部件495(基本类似于传动机构部件490)在滑轮474,476之间延伸且联接滑轮474,476。双端基片保持器204通过轴476s固定地安装到滑轮476，使得滑轮476和双端基片保持器204作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转。
[0071]
参照图2a-2c、3a和4，如可认识到的，上臂连杆201、前臂连杆202、双端基片保持器203和双端基片保持器204中的每个由相应的驱动马达342,344,346,348独立地驱动以围绕相应的轴线(例如，肩部轴线sx、肘部轴线ax和腕部轴线wx)旋转。每个双端基片保持器203,204围绕腕部轴线wx的独立旋转提供基片保持站203h1,204h1,203h2,204h2中的每个处的基片s中的每个处的独立自动晶片定心，自动晶片定心与基片由双端基片保持器203,204通过相应并列基片处理站的开口(见图1b,1c)的传送是基本同时的。本文中描述的自动晶片定心可以与以下美国专利中描述的那些类似的方式利用设置在传送室125,125a中/上、槽阀sv上、传送臂131上等的任何合适的传感器来执行：于2019年1月25日提交的且题为“automatic wafer centering method and apparatus”的编号为16/257,595的美国专利申请、于2018年11月20日公告的且题为“on the fly automatic wafer centering method and apparatus”的编号为10,134,623的美国专利、于2016年12月6日公告的且题为“process apparatus with on-the-fly substrate centering”的编号为9,514,974的美国专利、于2010年9月7日公告的且题为“wafer center finding”的编号为7,792,350的美国专利、于2015年1月13日公告的且题为“wafer center finding with kalman filter”的编号为8,934,706的美国专利，以及于2011年4月12日公告的且题为“process apparatus with on-the-fly workpiece centering”的编号为7,925,378的美国专利，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。对应地，自动晶片定心通过改变并排基片保
持站203h1,204h1之间和并排基片保持站203h2,204h2之间的基本节距bp来实现。例如，通过沿相反方向旋转轴302,303，使双端基片保持器203,204围绕腕部轴线wx沿相反方向旋转。例如，轴302,303可沿相反方向驱动以增加并排基片保持站203h1,204h1之间的距离(图2b)，以便实现并排基片保持站203h1,204h1之间的任何合适的增加节距wp(以及基片保持站203h2,204h2之间的任何合适的对应减小节距np)。轴302,303也可沿相反方向驱动以减小并排基片保持站203h1,204h1之间的距离(图2c)，以便实现并排基片保持站203h1,204h1之间的任何合适的减小节距np(以及基片保持站203h2,204h2之间的任何合适的对应增加节距wp)。轴302,303在相同方向上基本以相同的旋转速率旋转使双端基片保持器203,204作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转，以实现基片s的快速交换。因而，传动机构490,492,493,494,495配置成使得双端基片保持器203,204作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转至少180
°
(度)的旋转量。再次，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。
[0072]
传动机构部件490,492,493,494,495和滑轮480,484,488,470,474,482,486,491,472,476形成本文中所述的相应滑轮系统655a-655e。如本文中所述，滑轮系统655a-655e中的一个或多个接合到模块化复合臂连杆壳201c,202c，且布置成使得由驱动区段220提供功率，一个或多个滑轮系统655a-655e实现至少一个臂连杆201,202或端部执行器203,204的铰接。注意，滑轮480,484,488,470,474可称为“驱动”滑轮，而滑轮482,486,491,472,476可称为“从动”或“惰”滑轮。参照图5d、6a和6j，端部联接件511,512,513,514中的至少一个容纳滑轮系统655a-655e中的至少一个的至少一个滑轮轮体480,484,488,470,474,482,486,491,472,476。例如，滑轮(如滑轮488,484,480,486,482,470,474,472)中的一个或多个通过例如交叉滚子轴承600(也称为台轴承——例如，端部联接件容纳安装有交叉滚子轴承的滑轮系统的滑轮轮体，使得滑轮轮体的位置和对准取决于与如本文中描述的交叉滚子轴承的接合且由其来控制)或以任何其它合适的方式联接到相应的端部联接件511,512,513,514。在一个方面，端部联接件511,512,513,514包括轴承座566(见图5d和6a)，交叉滚子轴承600的外圈601(或内圈，取决于轴承座的构造)联接到该轴承座。例如，外圈601可利用任何合适的紧固件或固持器特征663联接到轴承座566，且利用延伸到外圈601和轴承座566两者中的任何合适的定位销664相对于臂定位。在其它方面，外圈601可以任何合适的方式联接到轴承座566。滑轮(如图6a中示出的滑轮474，其中为了清楚，省略其它滑轮)可使用任何合适的紧固件668和任何合适的定位销669联接到内圈602(或外圈，取决于轴承座的构造)。在其它方面，内圈602可以任何合适的方式联接到滑轮474。轴(如轴486s)可以任何合适的方式联接到滑轮，如通过摩擦配合、夹具或以任何其它合适的方式，使得轴186s和滑轮474
作为一个单元围绕相应的旋转轴线(如轴线ex)旋转。
[0073]
交叉滚子轴承600提供优于双联(即，成对的)轴承和在半导体传送臂中常用的其它类型的轴承的若干优点。例如，交叉滚子轴承600具有更薄的形状因子，使得减小的高度/厚度665(与相同尺寸轴和负载要求的双联轴承或其它常用轴承的高度/厚度相比)允许给定轴承直径下的更小连杆高度ah。交叉滚子轴承600还可减少基片传送设备130的零件数量、成本和复杂性，因为不需要轴承夹具(如与双联轴承或其它常用轴承一起使用)来将交叉滚子轴承联接到臂连杆和滑轮。另外，由于紧固件用于将交叉滚子轴承600联接到臂连杆和滑轮，因此与安装双联轴承或其它常用的轴承(通常通过收缩/干涉配合安装)相比，轴承的安装更容易。交叉滚子轴承600可增加传送臂的刚度，且较少取决于臂连杆的机加工容差和操作温度(例如，与摩擦配合双联轴承或其它常用轴承相比，其中摩擦配合可由机加工容差和操作温度中的一个或多个影响)。
[0074]
注意，模块化复合臂连杆壳201c,202c是在限定的预定臂长度oal,oaln内具有紧凑高度ah(图5c和5e)的低轮廓(low profile)壳，该紧凑高度ah与容纳在端部联接件511,512,513,514中的至少一个中的滑轮系统655a-655e中的至少一个的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体(如上文描述的那样)相称。对于具有可相比(comparable)长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度ah小于带滑轮传动机构壳体高度。例如，简要参照图4a，臂连杆201具有紧凑高度ah和长度oal。在该示例中，臂连杆201包括三个滑轮系统655a-655c，其中每个滑轮系统包括相对的线缆节段(如本文中所述)和一对滑轮。当与具有相同长度oal和相同数量的滑轮系统(其中每个滑轮系统包括常规双联轴承)的臂连杆相比时，包括本文中所述的线缆/滑轮传动机构中的三个和交叉滚子轴承的臂连杆201的高度ah小于包括带/滑轮传动机构中的三个和常规双联轴承的臂连杆的高度。
[0075]
还参照图4和4a，交叉滚子轴承600提供用于将滑轮486和相应的轴486s安装到相应的交叉滚子轴承600a的共同凸缘。如在图4a中可见，滑轮486和轴486s都以任何合适方式由任何合适紧固件461(如螺钉或螺栓)安装到交叉滚子轴承600a的相同凸缘(例如，内圈602凸缘)。例如，紧固件461可延伸通过滑轮486和轴486s的凸缘两者，以将滑轮486和轴486s两者都联接到交叉滚子轴承600a；而在其它方面，滑轮486和轴486s可由相应的紧固件461联接到交叉滚子轴承600a，其中交叉滚子轴承600a内圈602的交替螺纹孔用于以类似于本文中关于图4b所述的方式将滑轮486和轴486s联接到交叉滚子轴承600a。
[0076]
如也在图4a中可见且还参照图4b，在滑轮和相应驱动轴的凸缘互锁/交错在一起的情况下，臂接头的堆叠高度可减小，以便于滑轮和相应的轴与相应的交叉滚子轴承的联接。例如，交叉滚子轴承600b的外圈601可联接到柱481，使得交叉滚子轴承600b悬挂在柱481下方(但在其它方面，柱481可具有任何合适的构造，且交叉滚子轴承可坐置或悬挂在柱上)。在该示例中，滑轮491和轴491s均联接到交叉滚子轴承600b的内圈602。滑轮491包括轮毂491h且轴491s包括凸缘491sf，其中轮毂491h和凸缘491sf具有互补的形状，使得当联接到交叉滚子轴承600b时，轮毂491h和凸缘491sf共面(位于同一平面内且不是一个堆叠在另一个上方——见图4a和4b)。例如，轮毂491h包括中心孔口491ha，其形状和尺寸设定成使得紧固件461延伸通过轮毂491h且接合交叉滚子轴承600b的内圈602的每隔一个紧固件孔。凸缘491sf的形状和尺寸设定成与中心孔口491ha的边界互补和配合(例如，凸缘491sf与轮毂491h互锁/交错)，且使得紧固件461延伸通过凸缘491sf，且接合交叉滚子轴承600b的内圈
buckle)线缆张紧器691tbk1。注意，在与采用多个相对的楔形物和螺钉来张紧带的常规带张紧装置相比时，顺列线缆张紧器691可减少传动臂零件的数量和成本。本体691b可联接到线缆节段661a,661b的相应部分cp1，使得本体691b在方向692上围绕其纵向轴线独立于线缆旋转来旋转，使得随着本体691b旋转，线缆节段661a,661b不会沿方向692扭转。螺纹部分691t可以任何合适的方式，且在一个方面以基本类似于上文关于本体691b所述的方式联接到线缆节段661a,661b的相应部分cp2。这里，本体691b沿方向692旋转，使得螺纹部分691t旋入本体或从本体中旋出以调节相应线缆节段661a,661b中的张力。注意，线缆节段661a,661b(以及本文中所述的其它线缆节段)预拉伸(例如，预张紧)，以便在传送臂在正常(例如，设计)负载下的操作期间基本消除线缆节段661a,661b的拉伸(线缆节段在传送臂的正常操作负载下不会拉伸)。
[0083]
图6h示出根据本公开内容的方面的螺旋扣式线缆张紧器691tbk2的另一个示例。在该示例中，每个线缆部分cp1,cp2包括基本类似于上文所述的螺纹部分691t1,691t2。螺纹部分691t1,691t2与螺旋扣本体691b1接合，使得随着螺旋扣本体691b1沿方向692旋转，螺纹部分691t1,691t2朝向或远离彼此移动，以便增加或减少线缆节段中的张力661a。
[0084]
尽管顺列线缆张紧器691在上文描述为螺旋扣式线缆张紧器，但在其它方面(如上文所述)，顺列线缆张紧器691可为缩短线缆长度以便将张力施加到线缆的任何合适的线缆张紧器。例如，在一个方面，顺列线缆张紧器691可为弹性型线缆张紧器691rm(图6c和6f)，其以类似于上文关于图6g和6h所述的方式联接到相应线缆节段的线缆部分cp1,cp2中的每个。这里，弹性型线缆张紧器691rm包括将线缆部分cp1,cp2中的每个联接到彼此的弹性部件691br。弹性部件691br可为弹簧或其它合适的弹性部件，其具有的弹簧力大于在本文中所述的基片传送臂的操作期间可施加在线缆661a,661b,660a,660b上的任何操作负载，使得尽管弹性部件691br具有弹性，相应线缆661a,661b,660a,660b上的张力保持稳定状态(或恒定)。在该方面，弹性部件691br可受拉伸以将线缆节段661a,661b,660a,660b安装在相应的滑轮上，其中一旦将线缆节段661a,661b,660a,660b安装在相应的滑轮上，弹性部件691br就至少部分地松弛以在相对的相应线缆节段661a,661b,660a,660b上自动设置预定张力。
[0085]
类似地，惰滑轮476具有端部执行器接口，其中惰滑轮476的表面抵靠相应的双端基片保持器204坐置，或在其它方面，端部执行器接口由如上文所述的轴476s形成。惰滑轮476由相应的分段传动环660(即，第五组传动机构部件495)联接到相应的肘部驱动滑轮474。分段传动环660包括单独的线缆节段660a,660b或任何其它合适的传动机构连杆(如带节段)，其联接到惰滑轮476和肘部驱动滑轮474两者，以实现惰滑轮476的旋转。
[0086]
惰滑轮476包括周边边缘650，其形成与分段传动环660的相应线缆660a,660b对接的线缆缠绕凹槽635,636。线缆锚定点643,644(图6c)将单独的线缆节段660a,660b中的每个连结到惰滑轮476。例如，周边边缘650形成上线缆缠绕凹槽635，线缆660b缠绕在该上线缆缠绕凹槽周围。周边边缘650还形成下线缆缠绕凹槽636，线缆660a缠绕在该下线缆缠绕凹槽636周围。上线缆缠绕凹槽635和下线缆缠绕凹槽636设置在惰滑轮476上的不同高度处，使得线缆660a,660b相对于彼此设置在不同的平面中(即，一个线缆不缠绕在其它线缆上方)。参照图6d，肘部驱动滑轮474基本类似于上述惰滑轮476。
[0087]
在一个方面，如图7a-7l中所示，惰滑轮472,476和惰滑轮472,476由分段传动环
660,661联接到的相应肘部驱动滑轮470,474具有任何合适的传动比，该传动比提供双端基片保持器203,204的充分旋转，以用于基片的传送。例如，惰滑轮472,476和肘部滑轮470,474之间的比率可为1:2或任何其它合适的比率。注意，常规的带和滑轮传动机构提供端部执行器在腕部接头wx处的约 /-160
°
旋转。采用线缆和滑轮传动机构的本公开内容的方面提供腕部接头wx处的端部执行器或滑轮(例如本文中所述的那些)围绕相应的轴线sx,ex,wx的大于 /-160
°
旋转。
[0088]
例如，在一个方面，与滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476进行滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476接合的滑轮传动机构490,492,493,494,495布置成以便确定通过相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476在相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476上的滑轮传动机构490,492,493,494,495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476的旋转。例如，参照图4，滑轮系统655e的滑轮传动机构493可卷绕在滑轮470,472周围，以使滑轮472(由滑轮470的旋转所驱动)通过在滑轮472上的滑轮传动机构493的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。滑轮系统655d的滑轮传动机构495也可卷绕在滑轮474,476周围，以使滑轮476(由滑轮474的旋转所驱动)通过在滑轮476上的滑轮传动机构495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。在一些方面，其它滑轮系统655a-655c可类似地构造成用于从动滑轮的至少360
°
旋转。
[0089]
在一个方面，与滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476进行滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476接合的滑轮传动机构490,492,493,494,495布置成以便确定通过端部执行器203,204相对于至少一个可移动臂连杆201,202在相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476上的滑轮滑动机构490,492,493,494,495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的相应端部执行器203,204的旋转。例如，参照图4，滑轮系统655e的滑轮传动机构493可卷绕在滑轮470,472周围，以使端部执行器203(由滑轮472的旋转所驱动)通过相对于臂连杆201,202在滑轮472上的滑轮传动机构493的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。滑轮系统655d的滑轮传动机构495也可卷绕在滑轮474,476周围，以使端部执行器203(由滑轮476的旋转所驱动)通过相对于臂连杆201,202在滑轮476上的滑轮传动机构495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。
[0090]
在一个方面，还参照图6e和6f，示出示例性的线缆和滑轮传动机构。线缆和滑轮传动机构可基本类似于本文中所述的那些。在该方面，凹槽635,636中的每个可形成在相应滑轮470,472的外周表面中，以便形成螺旋线，该螺旋线构造成引导相应线缆661a,661b围绕相应滑轮470,472沿螺旋路径缠绕，而线缆本身不重叠或彼此不重叠。线缆661a,661b围绕相应的滑轮470,472的该螺旋卷绕允许线缆缠绕在相应的滑轮470,472中的每个周围多于一圈(例如，任何合适的圈数-见图6f)，以便提供腕部接头wx处的端部执行器或滑轮轮体围绕相应的轴线sx、ex、wx的大于 /-160
°
或至少360
°
的旋转。
[0091]
图6e和6f中的滑轮470,472示为具有基本1:1的传动比，但在其它方面，滑轮可具有任何合适的传动比，如2:1或3:1传动比，以便增加(单独地或与螺旋卷绕线缆组合)端部执行器围绕腕部轴线的旋转量。注意，与结合带和滑轮传动机构的滑轮相比，本文中关于线
缆和滑轮传动机构所述的滑轮与滑轮传动比可利用更小直径的滑轮来实现。例如，与带相比时，本文中描述的线缆大体上可比带更柔性且提供用于更小的弯曲半径。用本文中描述的线缆传动机构，线缆的较小弯曲半径提供用于比另外用带传送机构会提供用于的更小直径的滑轮。
[0092]
第一组传动机构部件490、第二组传动机构部件492、第四组传动机构部件494、肩部驱动滑轮480,484,488和肘部惰滑轮482,486,491基本类似于上面关于惰滑轮472,476、驱动滑轮470,474和分段传动环660,661所述的(见图6c和6d)。如上文所述，用于第一组传动机构部件490、第二组传动机构部件492、第四组传动机构部件494的线缆锚定点基本类似于上文关于线缆锚定点643所述的。
[0093]
如本文中所述，模块化复合臂连杆壳201c,202c是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度oal,oaln内具有紧凑高度ah(图5c和5e)，其与具有紧凑基本双对称(by-symmetrical)截面的连接相应滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体的双对称(bi-symmetrically)柔性滑轮传动机构(如传动机构部件490,492,493,494,495)相称。例如，线缆节段(如图6a和6b中所示的线缆节段660a,660b)具有基本圆形的截面，然而线缆节段可具有任何其它合适的双对称截面。对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度ah小于带滑轮传动机构壳体高度。例如，简要参照图4a，臂连杆201具有紧凑高度ah和长度oal。在该示例中，臂连杆201包括三个滑轮系统655a-655c，其中每个滑轮系统包括相对的线缆节段(如本文中所述)和一对滑轮。当与具有相同长度oal和相同数量的滑轮系统(其中每个滑轮系统包括相对的带节段和一对滑轮)的臂连杆相比时，包括本文中所述的线缆/滑轮传动机构中的三个的臂连杆201的高度ah小于包括带/滑轮传动机构中的三个的臂连杆的高度。
[0094]
尽管上文描述基片传送设备130具有双盘基片保持器203,204，但在其它方面，基片保持器可具有任何合适的构造。例如，参照图8、9和10，多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)中的每个具有从属于其的多于一个的并列(例如，并排)基片保持站中的多于一个的对应基片保持站，且分别是从属于相应端部执行器连杆(例如，基片保持器)的多于一个的对应基片保持站之间的基本刚性的非铰接连杆。例如，基片传送设备130包括基本类似上文所述那些的双盘基片保持器203a,204a；然而，在该方面，基片保持站203h1,204h1并排设置在共同平面中(分开基本节距bp)，而基片保持站203h2,204h2位于不同的平面中且一个堆叠在另一个上方(分开任何合适的高度h10，其可对应于堆叠基片处理站150的堆叠保持站、堆叠的真空加载锁102a,102b,102c,102d或任何其它合适的堆叠的基片保持位置之间的距离——见图1c)。这里，通向基片处理站的传送室开口可在不同的平面/水平处(见图1c)，其中每个平面与两个双/双端基片保持器203,204的并列基片保持站203h1-204h1,203h2-204h2的平面/水平对应。在还其它的方面，如图11中所示，基片保持站203h1,204h1并排设置在共同平面中(分开基本节距bp)，而基片保持站203a,204a中仅一个构造为双盘基片保持器(在该示例中，基片保持器203a包括双基片保持站203h1,203h2，整个基片保持器204a包括单个基片保持站204h1)。再次，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个
相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。自动晶片定心(如在图8、9和10中所示的本公开内容的方面)以基本类似于上文所述的方式通过改变基片保持站203h1,204h1之间的基本节距bp(例如，可增加或减少)来实现。如可认识到的，基片保持器203h2,204h2也可围绕腕部轴线wx独立地旋转，以实现独立于基片保持站204h2的基片保持站203h2的自动晶片定心和/或独立于基片保持站203h2的基片保持站204h2的自动晶片定心。
[0095]
参照图12和图13，在该方面，基片传送设备130示为包括三个双盘基片保持器。例如，基片传送设备130包括基片保持器203,204(如上文所述)以及基片保持器205。基片保持器203,204以上文描述的方式由驱动区段220驱动，以在方向1300,1301上相对于彼此和相对于基片保持器205围绕腕部轴线wx枢转。在该示例中，驱动区段包括附加驱动轴线(例如，五自由度驱动)，以相对于基片保持器203,204中的每个在方向1302上围绕腕部轴线wx独立地旋转基片保持器205；而在其它方面，基片保持器205可从属于基片传送设备130的任何合适部分，例如，如上臂201，以便保持与穿过肩部轴线sx的径向延伸轴线对准。再次，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。在该示例中，实现自动晶片定心，使得基片保持器203与基片保持器204之间的基本节距bp可增加或减小，基片保持器203与基片保持器205之间的基本节距bp可增加或减小，基片保持器204与基片保持器205之间的基本节距bp可增加或减小，等等，以实现基片保持站203h1,204h1,205h1,203h2,204h2,205h2中的任何一个或多个相对于并排基片处理站190-198和199a-199c的自动晶片定心(见图12)。在其它方面，基片保持站203h2-205h2(或203h1-205h1)可以类似于图10中所示的方式一个堆叠在另一个上方。在还其它的方面，一个或多个基片保持器203-205可为以类似于图11中所示的方式的单盘基片保持器。
[0096]
在还其它的方面，基片传送设备130可具有基片保持器，其具有用于传送基片来回于单个基片站的任何合适的构造、并排布置的基片站的任何合适的数量、布置成一个堆叠在另一个上方的基片站的任何合适的数量，等等。在腕部轴线wx的相对侧上的并排基片保持器和多个堆叠(或单个)基片保持器的组合可在如其中双、单、三等(见图1a、8和12)基片
站模块的组合联接到传递室125的情况下使用。例如，参照图19和32，基片传送设备130包括一个双(并排)基片保持器1900，其以类似于上文所述的方式可旋转地联接到臂131。在该方面，臂131和基片保持器1900可由三轴线驱动区段220a(图3a)驱动旋转和/或延伸(例如，沿径向和/或非径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，且一个驱动轴线使基片保持器1900围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器1900中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到三轴线驱动区段220a(图3a)。这里，基片保持器1900包括(即，共用于)基本类似于上文所述那些的两个并排基片保持站1900h1,1900h2。并排基片保持站1900h1,1900h2之间的距离可与并排基片处理站190-197(图1a)之间的节距d基本相同。基片保持器1900具有第一端1900e1、第二端1900e2，且在第一端1900e1与第二端1900e2之间是基本刚性的非铰接连杆。基片保持器1900在第一端1900e1与第二端1900e2之间的位置处围绕腕部轴线wx可旋转地联接到前臂202。如上文所述，基片保持站1900h1,1900h2设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持器1900可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220a沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。
[0097]
参照图20，基片传送设备130基本类似于上文关于图19所述的；然而，在该方面，基片传送设备130包括可围绕腕部轴线wx可旋转地联接到臂131的两个基片保持器1900a和1900b。基片保持器1900a,1900b中的每个基本类似于基片保持器1900。这里，臂131和基片保持器1900a,1900b由例如四轴线驱动区段220(图3)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器1900a围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器1900b围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器1900a,1900b中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。在该方面，基片保持器1900a包括基片保持站1900h1,1900h2，且基片保持器1900b包括基片保持站1900h3,1900h4。以类似于上文所述的方式，基片保持站1900h1,1900h2,1900h3,1900h4设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持器1900a,1900b可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。臂131和/或基片保持器1900a,1900b也可以与基本类似于本文中所述的方式受驱动来旋转，以快速交换基片保持器1900a,1900b(以及由此拾取或放置的基片)。
[0098]
参照图21，基片传送设备130基本类似于上文关于图19所述的；然而，在该方面，基片传送设备130包括可围绕腕部轴线wx可旋转地联接到臂131的两个单侧基片保持器2100a和2100b。基片保持器2100a,2100b中的每个具有围绕腕部轴线联接到前臂202的相应第一端2100ae1,2100be1，以及相应的基片保持站2100h1,2100h2所处的相应的第二端2100ae2,2100be2。这里，臂131和基片保持器2100a,2100b由例如四轴线驱动区段220(图3)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100a围
绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2100b围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。在该方面，基片保持器2100a包括基片保持站2100h1，且基片保持器2100b包括基片保持站2100h2。以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。
[0099]
基片保持器2100a,2100b可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2100a,2100b围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。
[0100]
参照图22，基片传送设备130包括基片保持器2200，基片保持器以类似于上文所述的方式可旋转地联接到臂131。在该方面，臂131和基片保持器2200可由三轴线驱动区段220a(图3a)驱动旋转和/或延伸(例如，沿径向和/或非径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2200围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器2200中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到三轴线驱动区段220a(图3a)。这里，基片保持器2200包括(即，共用于)两个并排基片保持站2200h1,2200h2和一个相对的基片保持站2200h3，它们基本类似于上文所述的，且基片保持器2200是基片保持站2200h1,2200h2,2200h3之间的基本刚性的非铰接连杆。两个并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离可与并排基片处理站190-197(图1a)之间的节距d基本相同。
[0101]
并排基片保持站2100h1,2100h2提供用于基本同时从并排基片处理站190-197(图1)拾取基片s和将基片s放置到并排基片处理站，而相对的基片保持站2200h3以基本类似于上文关于图8和9所述的方式提供用于单个基片拾取和放置到单个基片处理站(其可为并排基片处理站190-197(图1a)或基片处理站150s(图8)中的一个)。基片保持器2200在基片保持站2200h1,2200h2,2200h3之间的位置处围绕腕部轴线wx可旋转地联接到前臂202。在一个方面，三个基片保持站2200h1,2200h2,2200h3以基本类似于上文关于图2d、10和11所述的方式设置在共同平面499中；而在其它方面，一个或多个基片保持站2200h1,2200h2,2200h3可设置在不同的堆叠平面中。基片保持器2200可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220a沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以利用并排基片保持站2200h1,2200h2沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块150，或利用基片保持站2200h3从基片站模块150,150s失去基片和/或将基片放置到基片站模块。在一个方面，臂131和/或端部执行器2200也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2200h3和并排基片保持站2200h1,2200h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站2200h1,2200h2拾取，且基片由相对基片保持站2200h3放置在基片刚刚由并排基片保持站2200h1,2200h2拾取的位置中的一个中。
[0102]
参照图23，基片传送设备130包括基片保持器1900,2300，基片保持器以类似于上
文所述的方式可旋转地联接到臂131。在该方面，臂131和基片保持器1900,2300可由四轴线驱动区段220(图3)驱动来旋转和/或延伸(例如，沿径向和/或非径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器1900围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2300围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器1900,22300中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。这里，如上文所述，基片保持器1900包括两个并排基片保持站1900h1,1900h2。基片保持器2300是具有单个基片保持站2300h1的相对基片保持器(即，以基本类似于上文关于图8、9和22所述的方式与基片保持器1900相对)。基片保持站2300h1基本类似于上文所述的那些。基片保持器2300具有在腕部轴线wx处联接到前臂202的第一(或近)端和设置基片保持站2300h1的相对(或远)端。基片保持器2300是近端和远端之间的基本刚性的非铰接连杆。如上文所述，两个并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离可与并排基片处理站190-197(图1a)之间的节距d基本相同。
[0103]
如上文所述，并排基片保持站1900h1,1900h2提供用于基本同时从并排基片处理站190-197(图1)拾取基片s和将基片s放置到并排基片处理站，而相对的基片保持站2200h1以基本类似于上文关于图8和9所述的方式提供用于单个基片拾取和放置到单个基片处理站(其可为并排基片处理站190-197(图1a)或基片处理站150s(图8)中的一个)。
[0104]
基片保持器2300的独立旋转提供用于在拾取/放置操作期间由基片保持站2300h1保持的基片的自动晶片定心(如本文中所述)。基片保持器1900,2300的独立旋转还可提供用于基片传送设备130的基片保持器与传递室125a的(例如，内部侧壁125w的)形状的一致性。例如，还参照图23a，基片保持器1900,2300可由驱动区段220旋转，使得单个基片保持器2300随着臂延伸移动来旋转，以便延伸到基片处理站150中，同时旋转基片保持器1900以保持基片保持器1900与传递室125a的壁125w之间的间隙。尽管在图23a中示出六侧传递室125a，但在其它方面，传递室可具有任何合适数量的侧部，且基片保持器1900,2300可以任何合适的方式由驱动区段旋转以符合传递室壁的形状。
[0105]
在一个方面，三个基片保持站1900h1,1900h2,2300h3以基本类似于上文关于图2d、10和11所述的方式设置在共同平面499中；而在其它方面，一个或多个基片保持站1900h1,1900h2,2300h3可设置在不同的堆叠平面中。基片保持器1900,2300可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以利用并排基片保持站1900h1,1900h2沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块150，或利用基片保持站2200h1从基片站模块150,150s拾取基片和/或将基片放置到基片站模块。在一个方面，臂131和/或端部执行器2200也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2300h1和并排基片保持站1900h1,1900h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站1900h1,1900h2拾取，且基片由相对基片保持站2300h1放置在基片刚刚由并排基片保持站1900h1,1900h2拾取的位置中的一个中。
[0106]
参照图24，基片传送设备130基本类似于上文关于图2a-2d所述的；然而，在该方面，基片保持器2403,2404具有“s”形构造且彼此交叉。例如，基片保持器2403具有第一部分2403a；具有与第一部分2403a的纵向轴线基本正交的纵向轴线的第二部分2403b；以及具有
与第一部分2403a的纵向轴线基本平行设置的纵向轴线以便形成基本“s”形的基片保持器的第三部分。第一部分的前端形成基片保持器2403的第一端2403e1，且第三部分2403c的前端形成基片保持器2403的第二端2403e2。第二部分2403b围绕腕部轴线wx联接到前臂202，其中基片保持器2403是第一端2403e1与第二端2403e2之间的基本刚性的非铰接连杆。基片保持器2404的构造与基片保持器2403基本相似，但在手性相反。
[0107]
这里，臂131和基片保持器2403,2404由例如四轴驱动区段220(图3)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2403围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2404围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。在该方面，基片保持器2403包括基片保持站2403h1,2403h2，且基片保持器2404包括基片保持站2404h1,2404h2。以类似于上文所述的方式，基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2403,2404围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。在一个方面，臂131和/或端部执行器2403,2404也可以类似于上文关于图7a所述的方式受驱动旋转以快速交换基片(以基本类似于本文中所述的方式)。
[0108]
参照图25，基片传送设备130基本类似于上文关于图21所述的；然而，在该实施例中，基片传送设备还包括类似于上文关于图23所述的相对基片保持器2300。这里，臂131和基片保持器2100a,2100b,2300由例如五轴驱动区段220c(图3c)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100a围绕腕部轴线wx旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100b围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2300围绕腕部轴线wx。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b,2300中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的那样的线缆和滑轮传动机构)联接到五轴线驱动区段220c(图3c)。在该方面，基片保持器2100a包括基片保持站2100h1，基片保持器2100b包括基片保持站2100h2，且基片保持器2300包括基片保持站2300h1。以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2,2300h1设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持器2100h1,2100h2,2300h1可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220c沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。
[0109]
注意，基片保持器2403,2404围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见
图1a)来提供用于自动晶片定心以用于并排基片站模块150中的基片s的拾取/放置。还要注意，相对的基片保持站2200h1以基本类似于上文关于图8和9所述的方式提供用于单个基片拾取和放置到单个基片处理站(其可为并排基片处理站190-197(图1a)或基片处理站150s(图8)中的一个)。基片保持器2300的独立旋转提供用于在拾取/放置操作期间由基片保持站2300h1保持的基片的进一步自动晶片定心(如本文中所述)。在一个方面，臂131和/或端部执行器2100a,2100b,2300也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2300h1和并排基片保持站2100h1,2100h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取，且基片由相对基片保持站2300h1放置在基片刚刚由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取的位置中的一个中。
[0110]
在一个方面，基片保持器2100a,2100b,2300的独立旋转还可以类似于上文关于图23a所述的方式提供用于基片传送设备130的基片保持器与传递室125a的(例如，内部壁125w的)形状的一致性。然而，在该方面，基片保持器2100a,2100b中的一个或多个可由驱动区段220c旋转以保持相应基片保持器2100a,2100b与传递室125a的壁125w之间的间隙。
[0111]
参照图26a、26b、26c和26d，基片传送设备130基本类似于上文关于图24所述的；然而，在该方面，基片保持器2403,2404中的至少一个沿z方向移动，使得基片保持器2403,2404(和相应的基片保持站2403h1,2404h1,2403h2,3404h2)越过彼此。例如，腕部z驱动器2660(除了或代替z驱动器312——见图3-3c)设在前臂202中或联接到前臂。腕部z驱动器2660配置为将基片保持器2403,2404中的一个或多个相对于基片保持器2403,2404中的另一个沿z方向移动。在图26c所示的示例中，腕部z驱动器2660配置为使基片保持器2403相对于基片保持器2404和前臂202沿z方向移动；然而，在其它方面，两个基片保持器都可相对于前臂202和/或彼此沿z方向移动。腕部z驱动器2660可具有用于实现z移动的任何合适的构造，包括但不限于线性致动器、起重螺杆和磁悬浮升降机中的一种或多种。在该方面，滑轮476联接到轴476s，其中轴476s包括外轴部分476b和内轴部分476a。内轴部分476a和外轴部分476b构造成使得内轴部分476a相对于外轴部分476b沿z方向移动，同时与外轴部分476b作为一个单元旋转。例如，内轴部分476a包括内部花键，且外轴部分476b包括构造成与内部花键配合的外部花键。尽管提供腕部z驱动器2660和轴276s的示例性构造，但在其它方面，腕部z驱动器2660和轴276s可具有实现基片保持器2403的z轴线移动的任何合适的构造。
[0112]
腕部z驱动器2660配置为升高和降低基片保持器2403，使得以类似于上述方式的方式，基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2设置在如图26c中所示的共同平面上(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)，以用于拾取/放置基片到并排基片站模块150。如上文所述，基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2403,2404围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。在一个方面，臂131和/或端部执行器2403,2404也可以类似于上文关于图7a所述的方式受驱动旋转以快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)。
[0113]
腕部z驱动器2660还配置为升高和降低基片保持器2403，使得基片保持器24033的
基片保持站2403h1,2403h3设置在与基片保持器2404的基片保持站2404h1,2404h2不同的平面中，如图26d中可见。这里，基片保持站2403h1,2403h2设置在平面499a中，而基片保持站2404h1,2404h2设置在平面499中。平面499,499a可分开上述距离或高度h10。如图26b中所示，在基片保持器2403,2404位于不同的平面499,499a中的情况下，基片保持器2403,2404可围绕腕部轴线wx相对于彼此旋转，使得由基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)中的每个保持的基片s的中心c沿z方向与彼此基本一致。
[0114]
还参照图1c，基片保持器2403,2404可围绕腕部轴线独立地旋转，且基片保持器2403,2404中的一个或多个可由腕部z驱动器2660沿z方向移动以实现从各种堆叠和/或并排基片保持位置拾取基片。例如，在一个方面，基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)沿共同平面设置，如用于从并排加载锁102a,102b或并排加载锁102c,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。在一个方面，基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)在堆叠平面设置成一个在另一个上方(见如上文所述的图26b)如用于从堆叠的加载锁102a,102c或从堆叠的加载锁102b,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。在还其它的方面，基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)设置在不同的平面中且水平偏移，如用于从堆叠和水平偏移的加载锁102a,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。
[0115]
参照图27a、27b和27c，基片传送设备130基本类似于上文关于图25所述的那些；然而，在该方面，基片保持器2100a,2100b,2300中的至少一个沿z方向移动，使得基片保持器2100a,2100b,2300(和相应的基片保持站2100h1,2100h2,2300h1)越过彼此。例如，腕部z驱动器2660(除了或代替z驱动器312——见图3-3c)设在前臂202中或联接到前臂。腕部z驱动器2660配置为使一个或多个基片保持器2100a,2100b,2300相对于其它基片保持器2100a,2100b,2300沿z方向移动。在图27c所示的示例中，腕部z驱动器2660配置为使基片保持器2100b相对于基片保持器2100a,2300和前臂202沿z方向移动；然而，在其它方面，基片保持器2100a,2100b或所有三个基片保持器2100a,2100b,2300都可相对于前臂202和/或彼此沿z方向移动。注意，滑轮2770、轴2770s和传动机构部件2791示为用于驱动基片保持器2100a围绕腕部轴线wx旋转，其中滑轮2770通过类似于图4中所示和上文所述的传动机构联接到驱动区段220c。
[0116]
腕部z驱动器2660配置为升高和降低基片保持器2100b，使得以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2,2300h1设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上，以用于如上文关于图8、9和25所述那样拾取/放置基片。腕部z驱动器2660还配置为升高和降低基片保持器2100b，使得基片保持器2100b的基片保持站2100h2设置在与基片保持器2100a,2300的基片保持站2100h1,2300h1不同的平面中，如图26c中可见。这里，基片保持站2100h2设置在平面499a中，而基片保持站2100h1,2300h1设置在平面499中。平面499,499a可分开上述距离或高度h10。如图27b中所示，在基片保持器2100a,2100b位于不同平面499,499a中的情况下，基片保持器2100a,2100b可围绕腕部轴线wx相对于彼此旋转，使得由基片保持站21000h1,2100h2中的每个保持的基片s的中心c沿z方向与彼此基本一致。
[0117]
如上文所述，基片保持器2100a,2100b,2300可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基
本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2100a,2100b围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。如上文所述，基片保持器2300的独立旋转还提供用于在拾取/放置操作期间由基片保持站2300h1保持的基片的自动晶片定心。如上文还描述的，在一个方面，臂131和/或端部执行器2200也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2300h1和并排基片保持站2100h1,2100h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取，且基片由相对基片保持站2300h1放置在基片刚刚由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取的位置中的一个中。
[0118]
还参照图1c，基片保持器2100a,2100b可围绕腕部轴线独立地旋转，且基片保持器2100a,2100b中的一个或多个可由腕部z驱动器2660沿z方向移动以实现从各种堆叠和/或并排基片保持位置拾取基片。例如，在一个方面，基片保持站2100h1,2100h2沿共同平面设置，如用于从并排加载锁102a,102b或并排加载锁102c,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。在一个方面，基片保持站2100h1,2100h2在堆叠平面设置成一个在另一个上方(见如上文所述的图27b、27c)，如用于从堆叠的加载锁102a,102c或从堆叠的加载锁102b,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。
[0119]
应理解，尽管关于图26a-26d和27a-27c示出和描述腕部z驱动器2660，但在其它方面，如本文中所述，腕部z驱动器可以基本类似于图26c、26d和27d中所示的方式结合到其中使用多于一个的基片保持器的本文中所述的任何臂构造中，使得基片可在共同平面中传递到并排基片站模块150，或在堆叠平面中传递到堆叠的基片站模块150(见图1c)。
[0120]
在一个方面，类似于上文关于图23和25所述，基片保持器2100a,2100b,2300的独立旋转还可以类似于上文关于图23a所述的方式提供用于基片传送设备130的基片保持器与传递室125a的(例如，内部壁125w的)形状的一致性。然而，在该方面，一个或多个基片保持器2100a,2100b可由驱动区段220c旋转以保持各个基片保持器2100a,2100b与传递室125a的壁125w之间的间隙。例如，还参照图29以及图23、23a和25，基片传送设备130可如图23a中所示定位，使得基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b)的基片保持站对准以用于从基片处理站2333a,2333b中的相应一个中拾取/放置基片。传送臂131延伸(图29，框2900)。在一个方面(如利用可独立地旋转的基片保持器2100a,2100b)，以类似于本文中所述的方式提供独立自动晶片定心(图29，框2910)，使得基片保持器2100a,2100b的基片保持站在待拾取的基片下方居中，或待放置的基片在基片处理站2333a,2333b处居中。基片由基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b)同时从基片处理站2333a,2333b拾取或放置到基片处理站(图29，框2920)。基片传送臂131缩回，且基片传送臂131和/或基片保持器1900(或2100a,2100b)和基片保持器2300旋转(图29，框2930)，以便(单个)基片保持器2300与例如基片处理站2333b对准。传送臂131延伸(图29，框2940)，且可提供自动晶片定心(图29，框2950)，以利用基片保持器2300拾取或放置基片。如图23a中可见，为了将单个基片保持器2300延伸到基片处理站2333b中，基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b中的一个或多个)(例如，并排基片保持站)旋转(图29，框2960)，以在基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b中的一个或多个)与传递室125的内部侧壁125w之间提供间隙，以实现基片保
持器2300延伸到基片保持站2333b中。在基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b中的一个或多个)旋转以提供上述间隙的情况下，利用单个基片保持器2300从基片处理站2333b失去基片或将基片放置到基片处理站2333b。(图29，框2970)。
[0121]
参照图28，基片传送设备130基本类似于上文关于图21所述的；然而，在该方面，基片传送设备130包括两个相对的单侧基片保持器2100c和2100d，其可相对于基片保持器2100a,2100b成相对关系围绕腕部轴线wx可旋转地联接到臂131。基片保持器2100c,2100d基本类似于基片保持器2100a,2100b，且包括相应的基片保持站2100h3,2100h4。这里，臂131和基片保持器2100a,2100b,2100c,2100d由例如六轴线驱动区段220b(图3b)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100a围绕腕部轴线wx旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100b围绕腕部轴线wx旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100c围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2100d围绕腕部轴线wx。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b,2100c,2100d中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到六轴线驱动区段220b(图3b)。在该方面，基片保持器2100a包括基片保持站2100h1，基片保持器2100b包括基片保持站2100h2，基片保持器2100c包括基片保持站2100h3，且基片保持器2100d包括基片保持站2100h4。以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2,2100h3,2100h4设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上；而在其它方面，基片保持站中的一个或多个可由腕部z驱动器以类似于上文所述的方式沿z方向移动。
[0122]
基片保持器2100a,2100b,2100c,2100d可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220b沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2100a,2100b和/或基片保持器2100c,2100d围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2或2100h3,2100h4之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。在一个方面，臂131和/或端部执行器2403,2404也可以类似于上文关于图7a所述的方式受驱动旋转以快速交换基片(以基本类似于本文中所述的方式)。
[0123]
参照图19、20、22和23，在一个方面，多于一个的并列的(例如，并排的)基片保持站从属于共同端部执行器连杆(例如，基片保持器)，其是在多于一个的并列的基片保持站之间的基本刚性的非铰接连接。
[0124]
参照图2a-2d、8-9、20、21、23、24、25、26a-26d、27a-27c和28，至少一个端部执行器连杆(例如，基片保持器)包括多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)，其连结到前臂202的远端202e2以相对于前臂202围绕共同旋转轴(例如，腕部轴线wx)旋转，且多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)中的每个具有从属于其的多于一个的并列(例如，并排)的基片保持站中的至少一个对应的基片保持站。
[0125]
参照图2a-2d、8、9、21、24、25、26a-26d、27a-27c和28，至少一个端部执行器连杆(例如，基片保持器)包括多于一个的端部执行器连杆，其连结到前臂202的远端202e2以相对于前臂202围绕共同旋转轴(例如，腕部轴线wx)旋转，其中，驱动区段220,220a,220b,
220c配置为使得多于一个的端部执行器连杆中的每个分别独立于多于一个的端部执行器连杆中的另一个围绕共同旋转轴线旋转，且多于一个的端部执行器连杆中的每相应一个具有从属于其的多于一个的并列(例如，并排)的基片保持站中的至少一个对应的基片保持站。
[0126]
参照图23、23a、25和27a-27c，在一个方面，多连杆臂131具有可旋转地连结到前臂202的一端处的接头(例如，腕部接头/轴线wx)的至少一个基片保持器(例如，端部执行器连杆)1900,2100a,2100b,2300，使得至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300相对于前臂202围绕腕部接头/轴线wx处的共同旋转轴线旋转。至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300具有多于一个的基片保持站1900h1,1900h2,2100h1,2100h2,2300h1，这些基片保持站从属于基片保持器，且相对于彼此设置在共同平面(例如，平面499——例如见图2d和4)中，且配置成使得至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300围绕腕部旋转轴线wx的旋转使多于一个的基片保持站1900h1,1900h2,2100h1,2100h2,2300h1中的每个围绕腕部轴线wx旋转。这里，驱动区段220,220c配置为至少使多连杆臂131相对于肩部轴线sx(固定位置)沿径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此多于一个的基片保持站中的至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2各自随着臂131的延伸和缩回而沿径向或非径向路径线性地穿过，且基本同时穿过共同水平上的多于一个的并列的基片传送开口中的单独对应开口(例如，见图1b和1c)，且因此与两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h2,2100h2中的每个不同的多于一个的基片保持站2300h1中的至少另一个可独立于至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2围绕腕部轴线wx旋转。
[0127]
仍参照图23、23a、25和27a-27c，至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2和至少另一个基片保持站2300h1设置在至少一个基片上保持器1900,2100a,2100b,2300上，使得至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2和至少另一个基片保持站2300h1布置在腕部轴线wx的相对侧上。在一个方面，如图23a中可见，至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2和至少另一个基片保持站2300h1设置在至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300上，以随臂131沿径向或非径向路径延伸和缩回而围绕腕部轴线wx旋转，以可选择地使至少一个基片保持器的位置符合不同于侧壁125w(传送室的开口位于其上且至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300的多于一个的基片保持站1900h1,1900h2,2100h1,2100h2,2300h1中的至少一个随着臂的延伸和缩回而穿过其)的传送室125的另一侧壁125w。
[0128]
参照图23，至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2设置在至少一个基片保持器1900上，该至少一个基片保持器可操作地连接到驱动区段220且布置成使得至少一个基片保持器1900使至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2围绕腕部旋转轴线wx以共同的独立自由度旋转。
[0129]
参照图25和27a-27c，至少两个并列的基片保持站2100h1,2100h2设置在至少一个基片保持器2100a,2100b上，该至少一个基片保持器可操作地连接到驱动区段220c且布置成使得至少一个基片保持器2100a,2100b使至少两个并列的基片保持站2100h1,2100h2中的每个围绕腕部旋转轴线wx以不同的相应独立自由度旋转，使得至少两个并列的基片保持站2100h1,2100h2中的每个围绕腕部旋转轴线wx相对于彼此独立地旋转。
[0130]
参照图26a-26d和27a-27c，在一个方面，多连杆臂131具有至少一个基片保持器
2403,2404或2100a,2100b，该基片保持器在前臂202的一端处可旋转地连结到接头(例如，腕部轴线wx)，使得至少一个基片保持器2403,2404或2100a,2100b相对于前臂202围绕腕部轴线wx处的共同旋转轴旋转，至少一个基片保持器2403,2404或2100a,2100b具有多于一个的基片保持站3403h1,3403h2,3404h1,2404h2,2100h1,2100h2，这些基片保持站从属于基片保持器，沿不同平面499,499a(图26d,27c)并列，相对于彼此在高度上偏移，且配置成使得至少一个基片保持器2403,2404或2100a,2100b围绕腕部旋转轴线wx旋转使多于一个的基片保持站3403h1,3403h2,3404h1,2404h2,2100h1,2100h2中的每个围绕腕部旋转轴线wx旋转。驱动区段220,220c配置为至少使多连杆臂131相对于肩部轴线sx(例如，固定位置)沿径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此多于一个的基片保持站3403h1,3403h2,3404h1,2404h2,2100h1,2100h2中的至少两个并列基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2100h1,2100h2各自随着臂的延伸和缩回，沿径向或非径向路径线性地移动，且各自可围绕腕部旋转轴线wx彼此独立地旋转，以便分别穿过共同平面(或水平)499上的多于一个的并列基片传送开口的相应(或在其它方面为共同)开口(见图1b和1c)，且与两个并列的基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2100h1,2100h2中的每个不同的多于一个的基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2300h1中的至少另一个基本与至少两个并排基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2100h1,2100h2中的每个相对设置在至少一个基片保持器2403,2404,2300上。这里，驱动区段220,220c包括腕部z驱动器2660，其配置为使至少一个端部执行器连杆的多于一个的基片保持站在高度上相对于彼此移动，以便将共同水平上的多于一个的基片保持站彼此并列放置。
[0131]
如上文所述，基片传送设备130(具有任何合适的端部执行器，如本文中所述的那些)可安装在吊杆臂上。出于示例性目的，图15示出安装到两连杆吊杆臂1500的臂131。两连杆吊杆臂1500包括上连杆1501和前臂连杆1502。上连杆1501的第一端可围绕吊杆肩部轴线bsx旋转地联接到驱动区段(如本文中所述的驱动区段220)。前臂连杆1502的第一端围绕吊杆肘部轴线bex可旋转地联接到上连杆1501的第二端。臂131围绕臂肩部轴线sx可旋转地联接到前臂连杆1502的第二端。上连杆1501和前臂连杆1502中的每个在相应端之间是基本刚性且非铰接的。在另一方面，图16示出安装到单连杆吊杆臂1600的臂131。单连杆吊杆臂1600包括吊杆连杆1601。吊杆连杆1601的第一端可围绕吊杆肩部轴线bsx旋转地联接到驱动区段(如本文中所述的驱动区段220)。臂131围绕臂肩部轴线sx可旋转地联接到吊杆连杆1601的第二端。吊杆连杆1601在吊杆连杆1601的两端之间是基本刚性且非铰接的。尽管示出单连杆吊杆臂1600和双连杆吊杆臂1500，但应理解，吊杆臂可具有任何合适数量的连杆。
[0132]
还参照图3，为了使吊杆臂1500,1600旋转，驱动区段220,220a,220b,220c可包括至少一个吊杆臂驱动轴线(或马达)390,391。例如，可在例如采用单连杆吊杆臂1600的情况下提供单个吊杆臂驱动轴线390。在双连杆吊杆臂1500的前臂连杆1502围绕吊杆肘部轴线bex的旋转从属于例如壳体310的情况下，也可提供单个吊杆臂驱动轴线390。在其它方面，在两连杆吊杆臂1500的上连杆1501和前臂连杆1502围绕相应的吊杆肩部轴线bsx和吊杆肘部轴线bex独立地旋转的情况下，可提供两个吊杆臂驱动轴线390,391。吊杆臂驱动轴线390,391可与马达342,344,346,348同轴布置；而在其它方面，吊杆臂驱动轴线390,391可具有任何合适的构造，如并排马达构造；而在还其它的方面，吊杆臂驱动轴线390,391可布置在吊杆臂肩部轴线bex处，而驱动马达342,344,346,348布置在臂131的肩部轴线sx处。提供
任何合适的传动机构(例如，其在一个方面基本类似于图4-6b中所示的线缆和滑轮传动机构)以将吊杆臂1500,1600的连杆联接到驱动轴线390,391。
[0133]
参照图18a和18b，由本公开内容的方面提供的自动晶片定心可提供用于双基片s的基本同时放置(或拾取)，而不管双基片s中的每个与相应的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2之间的相对偏心性如何。例如，在基片保持站203h1,204h1处于基本节距bp的情况下，自动晶片定心可确定基片s1的偏心性ec2比基片保持站203h1的中心203h1c更靠近肩部轴线sx，且基片s2的偏心性ec1例如是向基片保持站204h1的中心204h1c的右侧(注意方向用语“右”在这里仅为了便于解释)。因此，为了将基片s1,s2放置在例如基片处理站190,191处，每个基片s1,s2的位置不仅经由自动晶片定心相对于基片处理站190,191之间的距离d独立地调整，而且在延伸/缩回方向17700独立地调整，以适应偏心性ec1,ec2。例如，基片保持器203,204各自围绕腕部轴线wx(其中腕部轴线沿径向延伸轴线700(见图7b)或非径向延伸路径701(见图7f)定位)独立地旋转，以在相应基片处理站190,191处实现基片s1,s2的独立自动晶片定心。类似地，参照图18c，自动晶片定心也可实现基片在基片处理站190,191处的放置，所述基片处理站具有距例如基片传送设备130的肩部轴线sx不同的径向距离17020,17021，其中每个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2围绕腕部轴线的独立旋转和/或腕部轴线的放置实现并排基片保持站203h1-204h1,203h2,204h2中的一个相对于并排基片保持站203h1-204h1,203h2,204h2中的另一个的增加的延伸距离(相对于肩部轴线)。
[0134]
参照图2a-2d、7a-7l和15，将描述利用基片传送设备130传送基片的示例性方法。在所述的示例中，基片处理设备100包括传递室125a，该传递室具有六个侧部，但在其它方面基本类似于上文关于图1所述的；然而，在其它方面，传递室可具有任何合适数量的侧部，其中并排基片站模块以类似于图1a、7a、8、12、15和16中所示的方式联接到传递室的相应侧部。此外，在所述的示例中，臂131包括双基片保持器203,204，其中每个具有位于相应基片保持器203,204的相对端处的基片保持器203h1,203h2,204h1,204h2；然而，应理解，本文中所述的方法同样适用于臂131以及在图8-16中示出和描述的本公开内容的方面。
[0135]
如下文将描述的，控制器110可操作地联接到驱动区段220，且配置为延伸臂131以通过传送室壁125w中的相应单独开口(见槽阀sv)，利用双基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站(例如，基片保持站203h1,204h1或203h2,204h2)基本同时拾取或放置两个第一基片(例如，见基片s1,s2)。如下文还将描述的，控制器110配置为通过传递室壁125w中的相应单独开口，利用保持在双基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站(例如，基片保持站203h1,204h1或203h2,204h2)上的至少一个第二基片(例如，见基片s3,4)来基本同时快速交换双第一基片，其中双第一基片s1,s2同时保持在双基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站(例如，基片保持站203h1,204h1或203h2,204h2)上。在一些方面，在控制器110的控制下，驱动区段配置为将对应的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2中的至少一个相对于基片保持器中的另一个独立地对准。
[0136]
根据本公开内容的方面，具有至少一个端部执行器(和/或本文中所述的其它臂构造)的双连杆scara实现围绕肩部轴线sx(见，例如，图1a和7a)的大于或约360
°
的scara臂旋转θ(图17，框1700)，其中臂131和其上的端部执行器203,204(即在/从双scara臂的任何角度θ位置/方向)在传递室的整个内部空间中延伸和缩回(图17，框1710)。具有如本文中所述
的至少一个端部执行器(和/或如本文中所述的其它臂构造)的双连杆scara在每个端部执行器处提供用于独立自动晶片定心，这与如下文所述的臂131和端部执行器203,204的延伸一致(图17，框1720)。如本文中还描述的，具有至少一个端部执行器的双连杆scara提供用于双“快速交换”而无需z轴线移动(如本文中所述，在一个方面，其中端部执行器203,204的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在共同平面499上(例如见图2d和11)，且在其它方面，其中端部执行器203,204的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在不同平面499,499a上(例如见图10))(图7，框1730)，其中端部执行器203,204具有并排基片保持站，且端部执行器203,204中的至少一个是双侧端部执行器(例如，具有位于端部执行器的相对纵向间隔的端部处的至少一个基片保持站)。
[0137]
在示例性方法中，提供本文中所述的基片传送设备130(图14，框1401)。还可提供控制器110(图14，框1420)，且其连接到基片传送设备130。控制器配置为延伸基片传送设备130的至少一个臂131，使得基片保持器203,204(且在图13的情况下，基片保持器205)延伸通过传送室125的侧壁125w,125a。例如，图7a示出基片传送设备130的臂131相对于肩部轴线sx处于原位或缩回构造。在该示例中，缩回构造是其中臂连杆201,202一个位于另一个上方且与彼此基本对准；而在其它方面，缩回构造是腕部轴线wx基本设置在肩部轴线sx上方的位置，如当上连杆201和前臂连杆202从接头中心到接头中心具有基本相同的长度时。控制器110配置为实现驱动区段220的运动，以实现每个基片的独立自动晶片定心，其中基片保持站203h2,204h2的基本节距bp增加(图2b)或减小(图2c)以实现自动晶片定心(在该情况下，基片s3,s4在相应基片保持站203h2,204h2上定心)，使得基片保持站203h2,204h2之间的距离与基片处理站196,197之间的节距基本匹配。如上文所述，自动晶片定心可沿多于一个的轴线(例如，沿对应于基片处理站之间的间隔的轴线和沿对应于基片保持器的延伸方向的轴线)实现。控制器110还配置为实现驱动区段220的运动，使得腕部轴线wx在一个方面沿径向方向700移动，且基片保持站203h2,204h2通过传送室的壁125w中的开口125a延伸到加载锁102a,102b中(见图7b和7c)。
[0138]
在一个方面，控制器110可实现z轴线驱动器312的致动以提升基片保持站203h2,204h2(而在其它方面，z运动可至少部分地由基片处理站196,197提供)，以用于从加载锁102a,102b的基片处理站196,197基本同时拾取双基片s3,s4。在基片s3,s4保持在基片保持站203h2,204h2上的情况下，控制器110实现驱动区段220运动以将臂131缩回至例如缩回构造，使得将基片s3,s4从加载锁102a,102b移除(见图7d)。臂131沿方向777旋转，以便将基片保持站203h1,204h1定位在另一组双基片s1,s2将从其拾取的任何合适的基片处理站(如处理站188,189)附近。
[0139]
以类似于上文所述的方式，控制器110配置为实现驱动区段220的运动以延伸臂131(图14，框1410)，且使得基片保持站203h1的基本节距bp,204h1增加(图2b)或减少(图2c)以实现自动晶片定心(图14，框1430——在该情况下，基片s1,s2在相应的基片保持站203h1,204h1上定心)，使得基片保持站203h1,204h1之间的距离基本匹配基片处理站188,189之间的节距(见图7e)。注意，自动晶片定心(例如，增加或减小基本节距bp)可与臂延伸/缩回基本同时执行，或在臂131延伸之前臂131基本处于缩回构造的情况下执行。为了从基片处理站188,189拾取/放置基片，控制器110配置为实现驱动区段220的运动，使得腕部轴线wx以非径向延伸移动，其中腕部轴线wx的移动在一个方面沿路径701(图7f)行进，该路径
与径向延伸/缩回的轴线偏离和/或成角度(即，路径701不穿过肩部轴线sx或从肩部轴线sx辐射)。腕部wx沿路径701的移动使基片保持站203h1,204h1，通过传送室125a的壁125w中的开口，延伸到基片处理站188,189中。
[0140]
在一个方面，控制器110可实现z轴线驱动器312的致动以提升基片保持站203h1,204h1(而在其它方面，z运动可至少部分地由基片处理站提供188,189)，以用于从并排基片站模块150的基片处理站188,189同时拾取双基片s1,s2(图14，框1440)。在基片s1,s41保持在基片保持站203h1,204h1上的情况下，控制器110实现驱动区段220运动以将臂131缩回至例如缩回构造，使得基片s1,s2从并排基片站模块150移除(见图7g)。基片保持站203h1,204h1的基本节距bp可在臂131从基片处理站188,189缩回期间(基本同时)恢复，或在臂基本处于缩回构造(见图7g)的情况下恢复。
[0141]
在一个方面，以上文描述的方式实现基片s1,s2与基片s3,s4的快速交换(图14，框1450)，其中基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。例如，臂131沿方向777(见图7g-7i)旋转，以便将基片保持站203h2,204h2(其中基片s1-s4由臂131保持)定位在基片s1,s2从其移除且双基片s3,s4将放置在其上的处理站188,189附近。控制器110实现驱动区段220的运动以延伸臂131(图14，框1410)，且使得基片保持站203h2,204h2的基本节距bp增加(图2b)或减少(图2c)以实现自动晶片定心(图14，框1430——在该情况下，基片s3,s4在相应的基片处理站188,189处定心)，使得基片保持站203h2,204h2之间的距离基本匹配基片处理站188,189之间的节距(见图7i)。注意，自动晶片定心(例如，增加或减小基本节距bp)可与臂延伸/缩回基本同时执行，或在臂131延伸之前臂131基本处于缩回构造的情况下执行。为了将基片s3,s4放置到相应的基片处理站188,189，控制器110配置为实现驱动区段220的运动，使得腕部轴线wx沿路径701以非径向延伸移动(图7j)。腕部wx沿路径701的移动使基片保持站203h2,204h2，通过传送室125a的壁125w中的开口，延伸到基片处理站188,189中。
[0142]
在一个方面，控制器110可实现z轴线驱动器312的致动以降低基片保持站203h2,204h2(而在其它方面，z运动可至少部分地由基片处理站提供188,189)，以用于将双基片s3,s4同时放置到并排基片站模块150的基片处理站188,189(图14，框1440)。控制器110实现驱动区段220的运动以将臂131缩回至例如缩回构造，使得将基片保持站203h2,204h2从并排基片站模块150移除。基片保持站203h1,204h1的基本节距bp可在臂131从基片处理站188,189缩回期间(基本同时)恢复，或在臂基本处于缩回构造的情况下恢复。尽管描述基片s1,s2与基片s3,s4的快速交换，但应理解，在其它方面，基片s3,s4可放置在与拾取基片s1,s2的位置不同的另一位置。
[0143]
控制器110可实现驱动区段220的操作，使得臂131以上文描述的方式延伸到加载锁102a,102b中，以便以基本类似于上述关于将基片s3,s4放置在基片处理站188,189处的方式将双基片s1,s2放置到基片处理站196,197(见图7k)。臂131从加载锁102a,102b缩回至例如缩回构造(见图7l)以进一步拾取/放置基片。
[0144]
参照图4、5a-5f和30，根据本公开内容的方面，一种方法包括提供如上述那些的基片传送设备(图30，框3000)。基片传送设备的可移动臂连杆201,202进行重构(图30，框3010)，其中如上文所述，可移动臂连杆201,202是可重构的臂连杆201r,202r，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳201c,202r，以及容纳于模块化复合臂连杆壳201c,202c的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统655。如上文描述的，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个可互换连杆壳延伸模块(例如，中心臂区段510a,510b)连接的连杆壳端部模块(例如，端部联接件511,512,513,514)，该至少一个可互换连杆壳延伸模块具有确定可移动臂连杆201,202的长度oal,oaln的预定特性。在重构可移动臂连杆201,202时，至少一个可互换连杆壳延伸模块510a,510b可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块(例如，中心臂区段)510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn中选择以用于连接到连杆壳端部模块511,512,513,514且形成可重构的臂连杆201r,202r，不同对应预定特性确定可移动臂连杆201,202的对应不同长度oal,oaln，以便将模块化复合臂连杆壳201c,202c和可重构的臂连杆201r,202r选择性地设置到多个预定臂连杆长度oal,oaln中的预定臂连杆长度oal,oaln。
[0145]
参照图4、5a-5f和31，根据本公开内容的方面，一种方法包括提供如上述那些的基片传送设备(图31，框3100)。至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接(如上文描述的用于将子基片传送到不同基片保持位置的那些铰接)利用滑轮系统655a-655e实现(图31，框3110)，该滑轮系统安装和接合到至少一个可移动臂连杆201,202的模块化复合臂连杆壳201c,202c，其中，模块化复合臂连杆壳201c,202c由刚性联接到彼此的连杆壳模块(如本文中所述)形成，且滑轮系统655a-655e容纳于模块化复合臂连杆壳201c,202c的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块。刚性联接的壳连杆模块包括连杆壳端部模块(例如，端部联接件)511,512,513,514，它们由至少一个连杆壳延伸模块(例如，中心臂区段)510a,510b连接，连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块511,512,513,514中的每个以形成模块化复合臂连杆壳201c,202c，且布置成使得形成的模块化臂连杆壳201c,202c匹配滑轮传动机构(如传动机构490,492,493,494,495)的错位容差，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳201c,202c的端部处连接容纳在连杆壳端部模块511,512,513,514中的滑轮系统655a-655e的滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476。
[0146]
参照图33a-36b，示出其它示例性基片传送设备130，且其中可采用本公开内容的上述方面。在图33a-36b中，臂连杆和端部执行器可独立地旋转，或在一些方面，臂连杆的一个或多个和端部执行器的旋转可从属于另一臂连杆。注意，臂连杆和端部执行器可利用例如基本类似于上文描述那些的马达/驱动器和滑轮系统驱动来旋转。例如，图33a和33b示出具有上臂201、前臂202和单端基片保持器的基片传送臂131。图34a和34b示出具有上臂201、前臂202和单个双侧端部执行器的传送臂131。图35a和35b示出具有单臂连杆(例如，上臂
201)和两个可独立地旋转的单端端部执行器的传送臂131。图36a和36b示出具有上臂201、前臂202和两个可独立地旋转的单端端部执行器的传送臂131。尽管本文中提供传送臂的示例，但在其它方面，采用本文中所述的本公开内容的方面的传送臂可具有任何合适的构造(例如，任何合适数量的臂连杆、任何合适数量的端部执行器，其中每个端部执行器可保持单个基片或多于一个的基片等)。
[0147]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：支承框架；铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；其中，可移动臂连杆是可重构的臂连杆，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统，且其中，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个可互换连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，可互换连杆壳延伸模块具有确定可移动臂连杆的长度的预定特性；且其中，至少一个可互换连杆壳延伸模块可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中选择以用于连接到连杆壳端部模块且形成可重构的臂连杆，不同对应预定特性确定可移动臂连杆的对应不同长度，以便将模块化复合臂连杆壳和可重构的臂连杆选择性地设置到多个预定臂连杆长度中的预定臂连杆长度。
[0148]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0149]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0150]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0151]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0152]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0153]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0154]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统接合到模块化复合臂连杆壳，且布
置成使得由驱动区段提供功率，滑轮系统实现至少一个臂连杆或端部执行器的铰接。
[0155]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不锈钢制成的箱形截面。
[0156]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0157]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块用机械紧固件接头(包括可移除的机械紧固件)来机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且机械紧固件接头构造成使得所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0158]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳滑轮系统的滑轮轮体。
[0159]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0160]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0161]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或线滑轮传动机构。
[0162]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳安装有交叉滚子轴承的滑轮系统的滑轮轮体，使得滑轮轮体的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0163]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0164]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过相应滑轮轮体在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的相应滑轮轮体的旋转。
[0165]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0166]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：支承框架；铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到至少一个可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；其中，至少一个可移动臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中
且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统，滑轮系统安装和接合到模块化复合臂连杆壳，且布置成使得由驱动区段提供功率，滑轮系统实现至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接，且其中，刚性联接的壳连杆模块包括由至少一个连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，该至少一个连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化臂连杆壳与滑轮传动机构的错位容差相匹配，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳的端部处连接容纳在连杆壳端部模块中的滑轮系统的滑轮轮体。
[0167]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可移动臂连杆是可重构的臂连杆，其中，连杆壳延伸模块可从各自具有确定至少一个可移动臂连杆的长度的不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中互换。
[0168]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0169]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0170]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0171]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0172]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0173]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0174]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由不锈钢制成的箱形截面。
[0175]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮传动机构是双对称柔性滑轮传动机构，且模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0176]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0177]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或
线滑轮传动机构。
[0178]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0179]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个安装有交叉滚子轴承，使得滑轮轮体中的至少一个的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0180]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过滑轮轮体中的至少一个在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个的旋转。
[0181]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0182]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种方法包括：提供基片传送设备，其包括支承框架，以及铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；以及重构可移动臂连杆，其中可移动臂连杆是可重构的臂连杆，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统，且其中，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个可互换连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，可互换连杆壳延伸模块具有确定可移动臂连杆的长度的预定特性；且其中，至少一个可互换连杆壳延伸模块可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中选择以用于连接到连杆壳端部模块且形成可重构的臂连杆，不同对应预定特性确定可移动臂连杆的对应不同长度，以便将模块化复合臂连杆壳和可重构的臂连杆选择性地设置到多个预定臂连杆长度中的预定臂连杆长度。
[0183]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0184]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0185]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0186]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0187]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0188]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0189]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统接合到模块化复合臂连杆壳，且布置成使得由驱动区段提供功率，滑轮系统实现至少一个臂连杆或端部执行器的铰接。
[0190]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由不锈钢制成的箱形截面。
[0191]
根据本公开内容的一个或多个方面，该方法还包括将至少一个可互换连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，其中所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0192]
根据本公开内容的一个或多个方面，该方法还包括将至少一个可互换连杆壳延伸模块用机械紧固件接头(包括可移除机械紧固件)来机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且机械紧固件接头构造成使得所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0193]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳滑轮系统的滑轮轮体。
[0194]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0195]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0196]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或线滑轮传动机构。
[0197]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳安装有交叉滚子轴承的滑轮系统的滑轮轮体，使得滑轮轮体的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0198]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0199]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与
滑轮轮体的接合布置成以便确定通过相应滑轮轮体在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的相应滑轮轮体的旋转。
[0200]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0201]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种方法包括：提供基片传送设备，其包括支承框架，铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到至少一个可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；以及用安装和接合到至少一个可移动臂的模块化复合臂连杆壳的滑轮系统，实现至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接，其中，模块化复合臂连杆壳由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成，且滑轮系统容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块；其中，刚性联接的壳连杆模块包括由至少一个连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，该至少一个连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化臂连杆壳与滑轮传动机构的错位容差相匹配，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳的端部处连接容纳在连杆壳端部模块中的滑轮系统的滑轮轮体。
[0202]
根据本公开内容的一个或多个方面，该方法还包括重构至少一个可移动臂连杆，其中，连杆壳延伸模块可从各自具有确定至少一个可移动臂连杆的长度的不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中互换。
[0203]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0204]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0205]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0206]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0207]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳
延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0208]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0209]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由不锈钢制成的箱形截面。
[0210]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮传动机构是双对称柔性滑轮传动机构，且模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，其在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，该紧凑高度与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0211]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0212]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或线滑轮传动机构。
[0213]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0214]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个安装有交叉滚子轴承，使得滑轮轮体中的至少一个的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0215]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过滑轮轮体中的至少一个在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个的旋转。
[0216]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0217]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：框架；连接到框架的驱动区段；至少一个铰接式多连杆臂，其具有上臂和前臂，上臂在一端处可旋转地连结到驱动区段，前臂在上臂的相对端处可旋转地连结到上臂，且上臂是一端与相对端之间的基本刚性的非铰接连杆，其中上臂和前臂中的一个或多个包括端部联接件和中心臂区段，中心臂区段可从多个不同的中心臂区段中选择，不同的中心臂区段各自具有不同长度，以便限定从接头中心到接头中心的相应臂连杆长度；以及至少一个端部执行器连杆，其可旋转地连结到前臂。
[0218]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个端部执行器连杆包括彼此分开且不同的双端部执行器连杆，每个端部执行器连杆可旋转地且单独地连结到前臂的共同端，使得每个端部执行器连杆相对于前臂围绕共同旋转轴线旋转，每个端部执行器连杆具有从属
于其的对应至少一个基片保持站。
[0219]
根据本公开内容的一个或多个方面，从属于双端部执行器连杆中的至少一个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站包括在至少一个端部执行器连杆的相对端处的一个基片保持站，端部执行器连杆在相对端之间是基本刚性且非铰接的，且其中，在相对端中的一个处的基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0220]
根据本公开内容的一个或多个方面，双端部执行器连杆设置成使得多连杆臂的径向延伸和缩回实现每个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸和缩回，这些开口在基本共同水平上相对于彼此并列。
[0221]
根据本公开内容的一个或多个方面，在至少一个端部执行器连杆的相对端处的基片保持站彼此基本共面。
[0222]
根据本公开内容的一个或多个方面，在至少一个端部执行器连杆的相对端处的基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0223]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站包括在至少一个端部执行器连杆的相对端处的一个基片保持站，且分开且不同的端部执行器连杆中的每个在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0224]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其限定至少一个端部执行器连杆相对于另一个的独立自由度。
[0225]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个端部执行器连杆的独立自由度使得能够在双端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心。
[0226]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其构造成实现在双端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心，自动晶片定心与双端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸是基本同时的。
[0227]
根据本公开内容的一个或多个方面，基片传送设备还包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动区段，且配置为延伸多连杆臂，以用于通过传送室壁中的相应单独开口，利用双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站来基本同时地拾取或放置双第一基片。
[0228]
根据本公开内容的一个或多个方面，控制器配置为通过相应单独开口，利用保持在双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上的至少一个第二基片基本同时快速更换双第一基片，其中双第一基片同时保持在双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上。
[0229]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片处理设备包括：传送室，其构造成在其中保持隔离的气氛，且具有侧壁，其中多于一个的基片传送开口沿该侧壁在共同水平上相对于彼此分开且并列；至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置连接到传送室的驱动区段，且具有上臂和位于传送室中的前臂，上臂在一端处可旋转地连结到驱动区段，前臂在上臂的相对端处可旋转地连结到上臂，且上臂是一端与相对端之间的基本刚性的非铰接连杆，其中上臂和前臂中的一个或多个包括端部联接件和中心臂区段，中心臂区段可从多个不同的中心臂区段中选择，不同的中心臂区段各自具有不同长度，以便限定从接头中心到接头中心的
相应臂连杆长度；以及其中，多连杆臂具有多于一个的分开且不同的端部执行器连杆，每个端部执行器连杆可旋转地且单独地连结到前臂共同端处的接头，使得每个端部执行器连杆相对于前臂围绕接头处的共同旋转轴线旋转，每个端部执行器连杆具有从属其的对应至少一个基片保持站，且从接头延伸，使得多于一个的端部执行器连杆沿共同平面相对于彼此并列。
[0230]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段配置为至少沿径向轴线延伸和缩回多连杆臂，该延伸和缩回实现每个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站分别通过沿侧壁并列的单独开口基本同时的延伸和缩回，且将对应基片保持站中的至少一个相对于多于一个的端部执行器连杆中的另一个独立地对准。
[0231]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段配置为将端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站相对于端部执行器中的另一个的对应基片保持站独立地对准。
[0232]
根据本公开内容的一个或多个方面，从属于端部执行器连杆中的至少一个的对应至少一个基片保持站包括在端部执行器连杆中的至少一个的相对端处的一个基片保持站，端部执行器连杆在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0233]
根据本公开内容的一个或多个方面，在相对端中的一个处的对应至少一个基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0234]
根据本公开内容的一个或多个方面，在端部执行器连杆中的至少一个的相对端处的对应至少一个基片保持站彼此基本共面。
[0235]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其限定至少一个端部执行器连杆相对于另一个的独立自由度。
[0236]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个端部执行器连杆的独立自由度使得能够在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心。
[0237]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其构造成实现在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心，自动晶片定心与多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站通过传送室的侧壁中的相应基片传送开口的基本同时延伸是基本同时的。
[0238]
根据本公开内容的一个或多个方面，基片传送设备还包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动区段，且配置为延伸多连杆臂，以利用多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的对应至少一个基片保持站，通过传送室的侧壁中的相应基片传送开口基本同时地拾取或放置双第一基片。
[0239]
根据本公开内容的一个或多个方面，控制器配置为通过相应基片传送开口，利用保持在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上的至少一个第二基片基本同时快速更换双第一基片，其中双第一基片同时保持在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上。
[0240]
根据本公开内容的一个或多个方面，上臂和前臂中的一个或多个包括至少一个线缆和滑轮传动机构，该传动机构实现双端部执行器连杆中的至少一个围绕共同旋转轴线的大于 /-160
°
的旋转。
[0241]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个线缆和滑轮传动机构中的每个包括滑轮和卷绕在滑轮周围的相对的线缆节段。
[0242]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个滑轮包括引导凹槽，在相应滑轮的卷绕移动时，相对的线缆中的相应一个在引导凹槽中接收和引导。
[0243]
根据本公开内容的一个或多个方面，相对的线缆节段中的一个或多个包括顺列线缆张紧器。
[0244]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括螺旋扣式线缆张紧器。
[0245]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括弹性线缆张紧器。
[0246]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮中的一个或多个包括交叉滚子滑轮。
[0247]
根据本公开内容的一个或多个方面，其中，至少一个铰接式多连杆臂包括在至少一个铰接式多连杆臂的铰接接头处的至少一个交叉滚子轴承。
[0248]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：框架；连接到框架的驱动区段；至少一个双连杆scara臂，其具有在scara臂的肘部接头处连结到彼此的第一臂连杆和第二臂连杆，第一臂连杆在肩部接头处连结到驱动区段；以及多于一个的端部执行器连杆，这些端部执行器连杆彼此分开且不同，每个端部执行器连杆在共同腕部接头处可旋转地且单独地连结到第二臂连杆，使得每个端部执行器连杆相对于第二臂连杆围绕共同腕部接头处的共同旋转轴线旋转，每个端部执行器连杆具有从属其的对应至少一个基片保持站；其中，肘部接头、肩部接头和共同腕部接头中的一个或多个包括交叉滚子轴承，且交叉滚子轴承形成至少两个连杆scara臂的驱动传动机构的滑轮。
[0249]
根据本公开内容的一个或多个方面，传动机构包括线缆和滑轮传动机构，其中线缆卷绕在交叉滚子轴承的外周表面周围。
[0250]
根据本公开内容的一个或多个方面，线缆包括两个相对的线缆节段，线缆节段沿相对的卷绕方向卷绕在交叉滚子轴承周围。
[0251]
根据本公开内容的一个或多个方面，相对的线缆节段中的一个或多个包括顺列线缆张紧器。
[0252]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括螺旋扣式线缆张紧器。
[0253]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括弹性线缆张紧器。
[0254]
根据本公开内容的一个或多个方面，线缆和滑轮传动机构实现多于一个的端部执行器连杆中的至少一个围绕共同旋转轴线的大于 /-160
°
的旋转。
[0255]
根据本公开内容的一个或多个方面，第一臂连杆和第二臂连杆中的一个或多个包括端部联接件和中心臂区段，中心臂区段可从多个不同的中心臂区段中选择，不同的中心臂区段各自具有不同长度，以便限定从接头中心到接头中心的相应臂连杆长度。
[0256]
根据本公开内容的一个或多个方面，从属于多于一个的端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站设置成与共同平面上的多于一个的端部执行器连杆中的从属于彼此的对应至少一个基片保持站基本共面，共同平面由多于一个的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站中的至少三个确定。
[0257]
根据本公开内容的一个或多个方面，对应至少一个基片保持站中的至少三个中的两个基片保持站对应于多于一个的端部执行器连杆中的共同端部执行器连杆。
[0258]
根据本公开内容的一个或多个方面，两个基片保持站分别设置在共同端部执行器连杆的相对端处。
[0259]
根据本公开内容的一个或多个方面，在共同端部执行器连杆的相对端处的两个基片保持站彼此基本共面。
[0260]
根据本公开内容的一个或多个方面，在共同端部执行器连杆的相对端处的两个基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0261]
根据本公开内容的一个或多个方面，共同端部执行器连杆在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0262]
根据本公开内容的一个或多个方面，多于一个的端部执行器连杆设置成使得scara臂的径向延伸和缩回实现每个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸和缩回，这些开口在基本共同水平上相对于彼此并列。
[0263]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其限定至少一个端部执行器连杆相对于多于一个的端部执行器连杆中的其它端部执行器连杆的独立自由度。
[0264]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个端部执行器连杆的独立自由度使得能够在多于一个的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心。
[0265]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其构造成实现在多于一个的端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心，自动晶片定心与多于一个的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸是基本同时的。
[0266]
根据本公开内容的一个或多个方面，基片传送设备还包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动区段且配置为延伸scara臂，以用于通过传送室壁中的相应单独开口，利用多于一个的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站来基本同时地拾取或放置双第一基片。
[0267]
根据本公开内容的一个或多个方面，控制器配置为通过相应单独开口，利用保持在双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上的至少一个第二基片基本同时快速更换双第一基片，其中双第一基片同时保持在多于一个的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上。
[0268]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：支承框架；铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到至少一个可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；其中，至少一个可移动臂连杆具有包括至少一个挤制臂壳构件的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的挤制臂壳构件中且延伸通过该挤制臂壳构件的滑轮系统，滑轮系统安装和接合到模块化复合臂连杆壳，且布置成使得由驱动
区段提供功率，滑轮系统实现至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接，且其中，模块化复合臂连杆壳包括由至少一个挤制臂壳构件连接的连杆壳端部模块，挤制臂壳构件机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化臂连杆壳与滑轮传动机构的错位容差相匹配，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳的端部处连接容纳在连杆壳端部模块中的滑轮系统的滑轮轮体。
[0269]
应理解，前述描述仅是对本公开内容的方面的说明。在不背离本公开内容的方面的情况下，本领域技术人员可设计各种备选方案和改型。因此，本公开内容的方面旨在涵盖落入本文所附任何权利要求范围内的所有此类备选方案、改型和变型。此外，仅在相互不同的从属或独立权利要求中记载不同特征的事实并不表示不能有利地使用这些特征的组合，这样的组合保持在本公开内容的方面的范围内。
1.相关申请的交叉引用该申请要求享有于2020年2月5日提交的编号为62/970,565的美国临时专利申请的权益且是其非临时申请，该美国临时专利申请的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。
技术领域
2.示例性实施例大体上涉及基片(substrate)处理工具，且更特别地涉及基片传送设备。
背景技术：
3.半导体制造设施可利用基片处理系统，该系统包括联接到共同真空传送系统的双处理模块。在一些常规系统中，半导体基片(也称为基片或晶片(wafer))大体上由传送设备递送到双处理模块，该传送设备包括可到达双处理模块的并排基片保持站(station)中的并排伸缩臂。在其它常规系统中，长距离“偏航”型传递设备(例如，具有由臂连杆构成的臂，其允许非径向对准的基片保持器延伸)用于一次将一个基片传递到双处理模块的基片保持站中的每个。
4.大体上，传递基片来回于基片保持站的上述偏航型传递设备和其它铰接(articulate)连杆式基片传送设备(如选择性顺应性铰接式机器人臂(scara)型传送装置)采用金属带和滑轮传动机构来传送运动至偏航型传递设备的至少一些臂连杆。金属带和滑轮传动机构的尺寸限制至少部分地规定例如臂连杆的高度和/或整体尺寸。长臂连杆长度还可由重力负载导致臂偏转，其可影响带和滑轮的对准。
5.上述传递设备大体上采用双联轴承对，这些轴承对在臂连杆之间的旋转接头处利用轴承夹具保持到轴。双联轴承是一组两个轴承，构造成用于安装到轴，其中内圈和外圈以预载夹紧在一起，以获得较大的轴向刚度和径向刚度。与金属带一样，双联轴承对的尺寸限制至少部分地规定例如臂连杆的高度和/或整体尺寸。如可认识到的，基片传送臂的尺寸可至少部分地规定传送臂在其中操作的传送室的尺寸，其中传送室的尺寸可能影响半导体产量。双联轴承的安装大体上通过加热双联轴承，且然后让双联轴承冷却且收缩到轴上，以在双联轴承与轴之间产生收缩配合。双联轴承在高温环境中的操作可能会影响双联轴承与轴之间的收缩配合的刚度。
附图说明
6.本公开内容的前述方面和其它特征连同附图一起在以下描述中解释，其中：图1a是结合本公开内容的方面的示例性基片处理设备的示意图；图1b和1c是根据本公开内容的方面的图1a的基片处理设备的部分的示意图；图2a、2b、2c和2d是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；
图3是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图3a是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图3b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图3c是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示例性驱动区段的示意性截面图；图4是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性截面图；图4a是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意图；图4b是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意图；图5a是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性侧视图；图5b是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性前视图；图5c是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的模块化臂连杆的示意性透视图；图5d是根据本公开内容的方面的图5c的模块化臂连杆的另一示意性透视图；图5e是根据本公开内容的方面的图5c的模块化臂连杆的一部分的示意性端视图；图5f是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的一部分的示意性透视图；图6a-6d是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的部分的示意图；图6e和6f是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的示例性线缆或线和滑轮传动机构的示意性侧视图和平面视图；图6g和6h是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的顺列(inline)线缆或线张紧器的示意图；图6i是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的交叉滚子滑轮的示意图；图6j是根据本公开内容的方面的图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的交叉滚子轴承的示意图；图7a-7l是根据本公开内容的方面的结合图2a、2b、2c和2d的基片传送设备的示例性基片处理设备的示意图；图8是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图9是结合本公开内容的特征的基片传送设备的示意图；图10是用于如本文中所述且结合本公开内容的特征的传送设备的示例性基片保
持器的示意性侧视图；图11是用于如本文中所述且结合本公开内容的特征的传送设备的示例性基片保持器的示意性侧视图；图12是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图13是结合本公开内容的特征的基片传送设备的示意图；图14是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图15是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图16是结合根据本公开内容的方面的基片传送设备的基片处理设备的示意图；图17是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图18a-18c是根据本公开内容的方面的多轴自动晶片定心的示例性示意图；图19是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图20是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图21是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图22是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图23是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图23a是根据本公开内容的方面的结合图23的基片传送设备的示例性基片处理设备的示意图；图24是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图25是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图26a、26b、26c和26d是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图27a、27b和27c是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图28是根据本公开内容的方面的图1的基片处理设备的基片传送设备的示意图；图29是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图30是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图31是根据本公开内容的方面的示例性方法的流程图；图32是根据本公开内容的方面的图19的基片传送设备的示意图；图33a和33b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图34a和34b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图35a和35b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图36a和36b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的示意图；图37是根据本公开内容的方面的已成形端部联接件和完成的端部联接件的示意性比较示图；图38是根据本公开内容的方面的另一已成形端部联接件和完成的端部联接件的示意性比较示图；图39是根据本公开内容的方面的已成形中心臂区段和完成的中心臂区段的示意性比较示图；图40是根据本公开内容的方面的伸缩式中心臂区段的示意性透视图；
图40a是根据本公开内容的方面的分段式臂区段的示意图；图41是根据本公开内容的方面的端部联接件与中心臂区段之间的联接件的示意性截面视图；图42是根据本公开内容的方面的端部联接件与中心臂区段之间的联接件的示意性截面视图；图43是根据本公开内容的方面的端部联接件与中心臂区段之间的联接件的示意性截面视图；图44是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意图和中心臂区段的相应截面；图44a是根据本公开内容的方面的基片传送设备的中心臂区段的示意性截面图；图44b是根据本公开内容的方面的基片传送设备的中心臂区段的示意性截面图；图44c是根据本公开内容的方面的基片传送设备的中心臂区段的示意性截面图；图45是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意性透视图；图46是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意性透视图；图47是根据本公开内容的方面的基片传送设备的一部分的示意性透视图；以及图48是根据本公开内容的方面的基片传送臂连杆构件的热膨胀的示意图。
具体实施方式
7.图1a示出根据本公开内容的方面的示例性基片处理设备100。尽管将参照附图描述本公开内容的方面，但应理解，本公开内容的方面可以许多形式体现。另外，可使用任何合适的尺寸、形状和类型的元件或材料。
8.本公开内容的方面提供用于基片处理设备100，其包括基片传送设备130。基片传送设备130包括臂131，臂131具有至少两个臂连杆和端部执行器(在本文中也称为基片保持器)，它们可旋转地连结到彼此，且在一个方面具有在固定位置中的肩部接头/轴线sx。基片传送设备130配置成基本同时将基片拾取(和/或放置)到并排基片处理(或其它保持)站190-191,192-193,194-195,196-197，同时提供基片s的快速交换。基片传送设备130的配置使得能够将基片基本同时拾取到传递室125,125a(如本文中所述)的每侧上的每个并排基片处理站，其中每个基片的独立自动晶片定心与由基片传送设备130的基片传递是同时的。注意到，简要参照图7e-7j，基片s的快速交换是利用基片传送设备130基本同时从一组或一对并排基片处理站(例如，如基片处理站190-191)移除基片s，且利用基片传送设备130将其它不同基片s(s3,s4)基本同时放置到相同的并排基片处理站(即基片处理站188-189)，其中移除和放置快速连续地发生，而没有移除的基片s(s1,s2)的任何居间放置(即，其中移除的基片s(s1，s2)由基片传送设备保持)。在其它方面，基片的快速交换基本在基片的拾取与放置之间没有居间z轴线运动的情况下发生。换言之，除了将基片提升(拾取)或降低(放置)到基片保持站之外，基片传送设备130基本没有居间z轴线运动。例如，如本文中将进一步描述的，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递。
9.本公开内容的方面还提供用于传送臂传动系统，其采用线缆或线和滑轮，其与常规的带和滑轮传动机构相比至少减少传递臂连杆的高度。与常规的带和滑轮传动机构相比，所述的线缆或线和滑轮传动机构(为了便于解释，在本文中称为线缆和滑轮传动机构)还可基本消除或减少线缆与相应滑轮之间的对准问题，且可在不受重力造成的臂连杆偏转影响下操作。线缆和相应滑轮之间的对准问题的基本消除或减少可提供用于更长长度的臂连杆，以实现基片传送臂的更长范围。
10.本公开内容的方面可通过在传送臂的旋转接头处包括交叉滚子轴承来提供用于更坚固更紧凑的传送臂(例如，与双联轴承的常规使用相比)。在一些方面，交叉滚子轴承可形成传送臂传动系统的滑轮，以进一步降低传送臂连杆的高度且减少传送臂的零件数量。根据本公开内容的方面，交叉滚子轴承可以基本不受基片传送臂操作环境的高操作温度和/或操作温度变化影响的方式联接到相应的轴。
11.还参照图2，根据本公开内容的方面，臂131包括至少两个基片保持器(也称为端部执行器或端部执行器连杆)203,204。尽管臂131描述为具有至少两个基片保持器，但在其它方面，臂可具有少于两个的(例如，一个或至少一个)基片保持器或多于两个的基片保持器。在一个方面，基片保持器203,204是双端或双盘基片保持器，其中每个基片保持器具有两个沿纵向分开的端部，在每个端部处具有至少一个基片保持站或盘；然而，在其它方面，基片保持器可具有任何合适的构造，如本文中所述的那些构造。至少两个基片保持器203,204围绕基片传送设备130的腕部轴线wx彼此独立且相对地旋转，以便实现自动晶片定心和适应并排基片处理站190-191,192-193,194-195,196-197之间不同节距中的一项或多项。
12.再次参照图1a，示出根据本公开内容的方面的基片处理设备100，例如，如半导体工具站。尽管在附图中示出半导体工具站，但是本文中所述的本公开内容的方面可应用于采用机器人操纵器的任何工具站或应用。在一个方面，基片处理设备100示为具有集群布置(例如，具有连接到中心室或共同室的基片处理站190-197)，而在其它方面，处理设备可为线性布置的工具，然而，本公开内容的方面可应用于任何合适的工具站。基片处理设备100大体上包括大气前端101(在本文中也称为大气区段)、两个或更多个真空负载锁102a,102b和真空后端103。两个或更多个真空加载锁102a,102b可以任何合适的布置联接到前端101和/或后端103的任何合适的端口或开口。例如，在一个方面，如图1b中可见，两个或更多个真空加载锁102a,102b(以及传送室壁125w中的相应开口)可以并排布置布置在共同水平平面中。在其它方面，如图1c中所示，两个或更多个真空加载锁102a,120b可布置成网格形式，使得两个或更多个真空加载锁102a,102b,102c,102d(以及传送室壁125w中的相应开口)布置成行(例如，具有间隔开的水平平面)和列(例如，具有间隔开的竖直平面)。
13.应理解，尽管两个或更多个真空加载锁102a,102b示为在传送室125的端部100e1上，但是在其它方面，两个或更多个真空加载锁102a,102b可布置在传送室125的任何数量的侧部100s1,100s2和/或端部100e1,100e2上。两个或更多个真空加载锁102a,102b,102c,102d中的每个还可包括一个或多个晶片/基片搁置平面wrp(图1b和1c)，其中基片保持在相应的真空加载锁102a,102b,102c,102d内的合适支承件上。在其它方面，基片处理设备100可具有任何合适的构造。
14.前端101、两个或更多个真空加载锁102a,102b和后端103中的每个的构件可连接到控制器110，该控制器可为任何合适的控制架构的一部分，例如，集群架构控制。控制系统
可为具有主控制器、集群控制器和自主远程控制器的闭环控制器，如于2011年3月8日公告的题为“scalable motion control system”的编号为7,904,182的美国专利中公开的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在其它方面，可使用任何合适的控制器和/或控制系统。
15.在一个方面，前端101大体上包括加载端口模块105和微型环境106，例如，如设备前端模块(efem)。加载端口模块105可为至工具标准(bolts)接口的开箱器/加载器，其符合用于300mm加载端口、前开口或底部开口箱/盒体和盒的semi标准e15.1、e47.1、e62、e19.5或e1.9。在其它方面，加载端口模块可配置为200mm晶片/基片接口、450mm晶片/基片接口或任何其它合适的基片接口，例如，如更大或更小的半导体晶片/基片、用于平板显示器的平板、太阳能电池板、中间掩模或任何其它合适的物体。尽管图1a中示出两个加载端口模块105，但在其它方面，任何合适数量的加载端口模块都可结合到前端101中。加载端口模块105可配置为从架空传送系统、自动引导车辆、人员引导车辆、轨道引导车辆或任何其它合适的传送方法接收基片载体或盒c。加载端口模块105可通过加载端口107与微型环境106对接。加载端口107可允许基片s在基片盒c与微型环境106之间通过。微型环境106大体上包括任何合适的传递机器人108，其可结合本文中所述的本公开内容的一个或多个方面。在一个方面，机器人108可为履带安装式机器人(诸如于1999年12月14日公告的编号为6,002,840的美国专利；2013年4月16日公告的编号为8,419,341的美国专利；以及于2010年1月19日公告的编号为7,648,327的美国专利中描述的那样，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中)。在其它方面，机器人108可基本类似于本文中关于后端103所描述的那样。微型环境106可为多个加载端口模块之间的基片传递提供受控的清洁区。
16.两个或更多个真空加载锁102a,102b(和102c,120d)可位于微型环境106与后端103之间且连接到微型环境和后端。在其它方面，加载端口105可基本直接联接到至少一个加载锁102a,102b或传送室125，其中基片载体c抽空至传送室125的真空，且基片s在基片载体c与相应的加载锁102a,120b或传递室125之间直接传递。在该方面，基片载体c可用作加载锁，使得传送室的处理真空延伸到基片载体c中。如可认识到的，在基片载体c通过合适的加载端口基本直接联接到真空加载锁102a,120b的情况下，任何合适的传递设备可设在加载锁内，或以其它方式接近载体c以传递基片s来回于基片载体c。注意，如本文中使用的用语真空可表示其中处理基片s的高真空，如10-5
托或更低。两个或更多个真空加载锁102a,102b大体上包括大气槽/狭缝阀asv和真空槽/狭缝阀vsv(在本文中大体上称为槽阀sv)。加载锁102a,102b(以及用于基片站模块150)的槽阀sv可提供环境隔离，其用于在从大气前端101加载基片s之后对加载锁102a,120b抽空，且在用如氮气的惰性气体对加载锁102a,120b进行排气时，维持传送室125中的真空度。处理设备100的槽阀sv可位于相同平面或不同的竖直堆叠平面中(如上文关于真空加载锁102a,102b,120c,120d所述)，以适应至少来回于基片站模块150(在本文中也称为处理站)和联接到传送室125的加载锁102a,102b的基片传递。两个或更多个加载锁102a,102b(和/或前端101)还可包括对准器109，以用于将基片s的基准对准用于处理的期望位置或任何其它合适的基片计量设备。在其它方面，两个或更多个真空加载锁102a,120b可位于处理设备的任何合适的位置中，且具有任何合适的构造。
17.真空后端103大体上包括传送室125、一个或多个基片站模块150和任何合适数量的基片传送设备130，其可包括本文中所述的本公开内容的一个或多个方面。基片传送室
125构造成在其中保持隔离的气氛，且具有侧壁125w，侧壁具有多于一个的基片传送开口(如槽阀sv或与在壁125w中的其对应的开口，如图1b和1c中所示，槽阀联接到开口以密封地关闭开口)，传送开口沿侧壁125w在共同水平(图1b)上或在其它方面以行和列(图1c)相对于彼此分开和并列。传送室125可具有例如符合semi标准e72指南的任何合适的形状和尺寸。基片传送设备130将在下文进行描述，且可至少部分地位于传送室125内，以在两个或更多个真空加载锁102a,102b(或位于加载端口处的盒c)与各种基片站模块150之间传送基片。在一个方面，基片传送设备130可作为模块化单元从传送室125移除，使得基片传送设备130符合semi标准e72指南。
18.基片站模块150可并排布置在传递室125的共同侧或小面上，和/或单个基片站模块150可设置在传递室125的单侧或小面上；然而，在其它方面，基片站模块可为单基片站模块150s(图8)、三基片站模块150t(图12)，和/或具有位于单个壳体内或以其它方式并排布置在传送室125的共同侧/小面上的任何合适数量的基片处理/保持站的基片站模块。在一个方面，并排基片处理站布置在共同的(即，相同的)处理模块壳体150h内(图1a)，以形成可称为双或纵列(tandem)基片处理模块150d的物件；而在其它方面，并排基片处理站是彼此分开且不共用共同壳体的单基片处理站150s(图7a)。应理解，双基片站模块150d、单基片站模块150s、三基片站模块150t和具有任何合适数量的基片处理站的任何其它基片站模块可以任何合适组合联接到相同的(即，共同)传递室125(例如，见图8，其中单基片站模块和双基片站模块联接到同一传递室)。
19.参照图1a和例如传递室125的侧部100s1上的基片站模块150，基片处理站190,191并排布置在共同壳体150h中，且可从传递室125内通过两个基片处理站共用的单个槽阀进入(例如，见基片处理站192,193)，或每个基片处理站可具有相应可独立地操作的槽阀(例如，见基片处理站190,191)。并排基片处理站(例如，如190,191)彼此分开或隔开任何合适的，如本文中将描述的，可通过改变基片传送设备130的至少两个双端基片保持器203,204的基片处理站之间的距离来适应该距离或节距d。
20.基片站模块150可通过各种沉积、蚀刻或其它类型的工艺在基片s上操作，以在基片上形成电路或其它所需结构。典型工艺包括但不限于使用真空的薄膜工艺，如等离子蚀刻或其它蚀刻工艺、化学气相沉积(cvd)、等离子气相沉积(pvd)、如离子注入的注入、计量、快速热处理(rtp)、干法剥离原子层沉积(ald)、氧化/扩散、氮化物形成、真空光刻、外延(epi)、引线接合器和蒸发，或使用真空压力的其它薄膜工艺。基片站模块150以任何合适的方式(如通过槽阀sv)连通地连接到传送室125，以允许基片从传送室125转移到基片站模块150，反之亦然。传送室125的槽阀sv可布置成允许双处理模块的连接。
21.注意，当基片传送设备130的至少两个双端基片保持器203,204的至少一部分与预定成组或成对并排基片处理站190-191,192-193,194-195,196-197中的相应基片处理站对准时，可能发生来回于基片站模块150和联接到传递室125的加载锁102a,102b(或盒c)的基片传递。根据本公开内容的方面，两个基片s可基本同时地传递到相应的预定基片站模块150(例如，如当以本文中所述的方式从双处理模块拾取/放置基片时)。
22.基片传送设备130在本文中大体上描述为具有至少一个铰接式多连杆臂131，其具有在固定位置处连接到传送室125的驱动区段220,200a,220b,220c；然而，在其它方面，基片传送设备130可安装在吊杆(boom)臂或线性滑架上，如于2014年10月16日提交的且题为“processing apparatus”的编号为15/103,268的美国专利申请和于2013年2月11日提交的且题为“substrate processing apparatus”的编号为pct/us13/25513的国际专利申请中描述的那些，这些专利申请的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。至少一个铰接式多连杆臂131具有上臂201和位于传送室125中的前臂202。上臂201的近端201e1在固定位置处可旋转地连结到驱动区段220,220a,220b,220c。前臂202在上臂201的远端201e2处可旋转地连结到上臂201，且上臂201是近端201e1与远端201e2之间的基本刚性的非铰接连杆。
23.在本文中所述的本公开内容的方面，至少一个端部执行器连杆(如本文中将描述的)在前臂202的一端处可旋转地连结到接头(例如，腕部接头或轴线wx)，使得至少一个执行器连杆相对于前臂202在接头处围绕共同旋转轴线旋转，至少一个端部执行器连杆具有从属于其的多于一个的基片保持站(如本文中将描述的)，基片保持站相对于彼此沿共同平面499(例如见图2d、10和11)并列，且构造成使得至少一个端部执行器连杆围绕共同旋转轴线的旋转使多于一个的基片保持站围绕共同旋转轴线旋转。如本文中将描述的，基片传送设备130的驱动区段220,220a,220b,220c构造成至少使多连杆臂131(以及联接到其上的至少一个执行器)沿非径向线性路径相对于固定位置延伸和缩回，因此多于一个的并列的基片保持站各自随着臂131的延伸和缩回而沿非径向路径线性地穿过，且基本同时穿过在共同水平上的多于一个的并列的基片传送开口中的单独对应开口(如槽阀sv，或如图1b和1c中所示的在壁125w中的对应于槽阀sv的开口，槽阀联接到开口以密封地关闭开口)。在其它方面，基片传送设备130的驱动区段220,220a,220b,220c配置成沿径向线性路径和非径向线性路径中的一者或两者相对于固定位置延伸和缩回多连杆臂131，以用于传送如本文中所述的基片。
24.仍参照图1a且还参照图2a-2d，基片传送设备130包括框架220f(在本文中也称为支承框架)、连接到框架220f的驱动区段220，以及至少一个铰接臂131(仅出于示例性目的示出单个臂)，铰接臂具有至少一个可移动臂连杆201,202和连接到可移动臂连杆的端部执行器连杆203,204，端部执行器连杆203,204具有位于其上的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2。在该方面，铰接臂是多连杆臂131。在一个方面，臂131是选择性顺应性铰接式机器人臂(在本文中称为“scara臂”)，但在其它方面，臂可具有任何合适的构造。例如，臂131包括上臂连杆201、前臂连杆202和至少一个端部执行器连杆203,204(即，具有至少一个端部执行器的双连杆scara)；但在其它方面，臂131可具有任何合适数量的臂连杆和基片保持器。上臂连杆201是基本刚性的连杆(即，上臂连杆201在纵向端201e1,201e2之间是非铰接的)。上臂连杆201在一个纵向端201e1(形成可称为肩部接头或轴线sx的物件)处可旋转地联接到驱动区段220，以便围绕臂131的肩部轴线sx旋转。在一个方面，肩部接头或轴线sx位于固定位置处(在图中沿传送室的对称轴线示出，但在其它方面可偏离传送室的对称轴线)。前臂连杆202是基本刚性的连杆(即，前臂连杆202在纵向端202e1,202e2之间是非铰接的)。前臂连杆202的纵向端202e1可旋转地联接到上臂连杆201的纵向端201e2，使得前臂连杆202围绕臂131的肘部轴线ex旋转。这里，前臂连杆202和上臂连杆201具有相似的长度(例如，从接头中心到接头中心)，但在其它方面，前臂连杆202和上臂连杆201可具有不同的长度(例如，从接头中心到接头中心)。
25.还参照5a-5e，在一个方面，可移动臂连杆201,202是可重构的臂连杆201r,202r，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳201c,
202c，以及容纳于模块化复合臂连杆壳201c,202c的基本端到端(例如，在例如臂连杆的每端处的旋转轴线sx,ex,wx之间)的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统655(例如，由传动机构部件和一对滑轮形成)。这里，如本文中将更详细描述的，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个中心臂区段510a,510b(在本文中也称为可互换连杆壳延伸模块或挤制臂壳构件)连接的端部联接件511,512,513,514(在本文中也称为连杆壳端部模块)，中心臂区段具有确定可移动臂连杆201,202的长度oal的预定特性。根据本公开内容的方面，至少一个中心臂区段510a,510b可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的中心臂区段(可互换连杆壳延伸模块)510a1-510an,510b1-510bn中选择以用于连接到端部联接件511,512,513,514且形成可重构的臂连杆201r,202r，不同对应预定特性确定可移动臂连杆201,202的对应不同长度，以便将模块化复合臂连杆壳201c,202c和可重构的臂连杆201r,202r从多个预定臂连杆长度oaln(每个不同长度oaln对应于不同中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn的不同长度cal1-caln)选择性地设置到预定臂连杆长度oal。
26.例如，上臂连杆201和前臂连杆202中的每个是模块化臂连杆，其具有相应的中心臂区段510a,510b和相应的端部联接件511-514。例如，上臂连杆201包括形成上臂连杆201的近端201e1的近端联接件511。中心臂区段510a以任何合适的方式联接到近端联接件511，如利用任何合适的可移除紧固件。远端联接件512与近端联接件511相对地联接到中心臂区段510a，以便形成上臂201的远端201e2。类似地，前臂连杆202包括形成前臂连杆202的近端202e1的近端联接件513。中心臂区段510b以任何合适的方式联接到近端联接件511，如利用任何合适的可移除紧固件。远端联接件514与近端联接件513相对地联接到中心臂区段510b，以便形成前臂连杆202的远端202e2。
27.用于上臂连杆201的端部联接件511,512可基本彼此类似，使得端部联接件511,512可与彼此互换(即，端部联接件511可联接到中心臂区段510a的任一端，以便形成上臂连杆201的远端201e2或近端201e1，且端部联接件512可联接到中心臂区段510a的任一端，以便形成上臂连杆201的远端201e2或近端201e1)。类似地，用于前臂连杆202的端部联接件513,514可基本彼此类似，使得端部联接件513,514可与彼此互换(即，端部联接件513可联接到中心臂区段510b的任一端，以便形成前臂连杆202的远端202e2或近端202e1，且端部联接件514可联接到中心臂区段510b的任一端，以便形成前臂连杆202的远端202e2或近端202e1)。在一些方面，上臂连杆201的端部联接件可与前臂连杆202的端部联接件互换。可互换的端部联接件可减少传送臂的零件数量，且降低与制造不同零件相关联的成本。
28.如本文中所述，中心臂区段510a,510b具有闭合的截面(例如，闭合的箱形状)。例如，中心臂区段510a,510b包括可具有任何合适截面的整体管框架510f。在图5a-5e所示的示例中，管框架510f示为具有矩形截面，然而，在其它方面，截面可为方形、圆形、卵形、“i”梁形(见图44，其中线缆在“i”梁的内部(截面a-a)上或“i”梁的外部(图44a)上)等。在还其它的方面，中心臂区段510a,510b可具有开放的箱形状(见图44b，其中框架510f'的一侧或多侧是开放的(例如，具有或不具有面板4400来闭合开放侧))。在其它方面，中心臂区段510a,510b可具有框架510f"，该框架是如图44c所示的混合闭合-开放的箱形状，其中框架510f"的一部分是闭合的箱，而框架510f"的另一相邻部分是开放的箱(例如，滑轮传动机构的线缆延伸通过开放的箱和闭合的箱中的一个或多个)。如可认识到的，中心臂区段510a,510b的开放的箱形状、闭合的箱形状、“i”梁形状或任何其它合适的截面形状可以本文中所
述的方式形成，如通过挤制。注意，与开放的箱形状(例如，“u”形)截面(例如，取决于为“u”形截面选择的材料的刚度)相比，闭合的箱形状可提供用于基片传送设备130的改进的刚度和性能。
29.中心臂区段510a,510b机械地紧固到(相应的)端部联接件511,512,513,514中的每个以形成模块化复合臂连杆壳201c,202c，且布置成使得形成的模块化复合臂连杆壳201c,202c在所选择的预定臂连杆长度oal,oaln(图5c)内与连接(相应)滑轮系统(如滑轮系统655a-655e——图4)的滑轮轮体(wheel)(如滑轮480,484,488,482,486,491,470,474,472,476——图4)的滑轮传动机构(如传动机构部件490,492,493,494,495——图4)的错位(misalignment)容差相匹配。在一个方面，中心臂区段510a,510b用机械紧固件接头(包括如本文中将描述的可移除式机械紧固件)来机械地紧固到端部联接件511,512,513,514中的每个，以形成模块化复合臂连杆壳201c,202c，且机械紧固件接头构造成使得所形成的模块化复合臂连杆壳201c,202c在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。例如，接头的机械紧固件的匹配和/或互补部分之间的配合和(相反地)间隙(例如，将螺栓或销配合到每个单独的接口和接头处的对应孔中，且共同穿过臂连杆)构造为以便匹配(使得机械紧固件的配合不会引起游隙超过在给定臂连杆长度中滑轮系统的可接受的设计错位容差)。作为进一步的示例，简要参照图6b，随着臂连杆201,202的长度增加，臂的自由端也可能由于重力效应和/或臂连杆201,202上的负载而下垂或垂下预定量，如于2018年1月25日提交的且题为“method and apparatus for substrate transport apparatus position compensation”的编号为15/880,387的美国专利申请(于2018年10月4日公布为编号2018/0286728的美国预授权公开案)中所述，该美国专利申请的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。臂连杆的下降可限定进一步的错位，其也必须位于相应滑轮系统655a-655e的错位容差(即，传动机构节段可相对于它们相应的滑轮成角度或沿轴向移动而基本没有引起臂位置错误的可允许量)内。臂连杆201,202的这样垂下可引起滑轮传动机构(在图6b中包括线缆(或线)节段660a,660b)相对于滑轮476的旋转平面以角度β(在预定的错位容差内)成角度，或沿滑轮的外周面/侧表面沿轴向行进(在预定的错位容差内)。在一些方面，线缆节段660a,660b的角度β可能会使线缆节段660a,660b与滑轮476错位。这里，中心臂区段510a,510b与端部联接件511,512,513,514之间的联接使得联接件中的任何容差匹配(或在某些方面抵消或消除)滑轮传动机构与滑轮476之间的错位容差。
30.管框架510f包括端部凸缘540,541，端部凸缘构造成用于将端部联接件511,512,513,514中的任一个联接到管框架510f。凸缘540,541可以任何合适的方式与管框架510f一体形成或联接到管框架510f。例如，凸缘540,541可与管框架510f一起锻造、铸造或模制；而在其它方面，凸缘540,541可由焊接、机械紧固件、粘合剂、摩擦配合(例如，收缩配合、压配合等)、夹具或以任何其它合适的方式联接到管框架。端部凸缘540,541可包括定位特征(如孔545和槽546)，且端部联接件511,512,513,514可包括匹配定位特征(例如，如销547或接合端部凸缘540,541的定位特征的其它突出部——见图5c)，其将上臂连杆201(或相对于前臂连杆202，端部联接件513,514)的端部联接件511,512中的每个以至少两个自由度定向/定位到中心臂区段510a(或相对于前臂连杆202，中心臂区段510b)和彼此。在一个方面，定位特征和匹配定位特征是不对称的，使得联接是防错的(例如，当端部联接件联接到相应的
中心臂区段时，不对称定位特征基本避免组装错误)。还参照图41，定位特征可包括形成在中心臂区段510a,510b和端部联接件511,512,513,514中的突出部4100和凹部4110，其中突出部4100和凹部4110构造成将端部联接件511,512,513,514相对于相应的中心臂区段510a,510b定位在预定位置处。例如，中心臂区段510a,510b可包括凹部4110，且端部联接件511,512,513,514可包括突出部4100，其中凹部4110接收相应的突出部4100以将端部联接件511,512,513,514相对于相应中心臂区段510a,510b定位在预定位置处。在其它方面，端部联接件可包括凹部，且中心臂区段可包括突出部。在一个方面，凹部和突出部可为连续的且围绕相应的端部联接件和中心臂区段的整个外围边缘延伸；而在其它方面，凹部和突出部可为不连续的，以便围绕相应的端部联接件和中心臂区段的外围边缘的预定部分延伸。在一个方面，突出部和凹部可与一个或多个销/孔/槽一起使用，使得销/孔/槽限定端部联接件相对于中心臂区段的定向(directional)组装定向(orientation)(例如，端部联接件的哪个表面是顶部、底部等)，而凹部和突出部将端部联接件相对于中心臂区段定位在预定位置中。在一个方面，端部联接件511,512,513,514可联接到相应的中心臂区段510a,510b，而无需定位特征，其中端部联接件和中心臂区段组件从一个端部联接件到相对端部联接件二次机加工成预定尺寸容差。
31.在一个方面，端部凸缘540,541还包括紧固件联接件560-563，且端部联接件511,512,513,514包括匹配紧固件联接件560a-563a，它们一起实现端部联接件511,512,513,514与中心臂区段510a,510b的联接。例如，紧固件联接件560-563和匹配紧固件联接件560a-563a可为螺栓/螺钉插入其中的螺纹孔和孔口或任何其它可移除式紧固件系统的形式。还参照图42，且如本文中所述，端部联接件511,512,513,514示为利用夹具4200联接到中心臂区段510a,510b，其中每个夹具接合端部联接件511,512,513,514和中心臂区段510a,510b两者，以便在端部联接件511,512,513,514与中心臂区段510a,510b之间形成压缩联接。还参照图43，且如本文中所述，端部联接件511,512,513,514示为通过摩擦配合(例如，收缩配合、压配合等)联接到中心臂区段510a,510b，其中端部联接件511,512,513,514上的突出部4300与中心臂区段510a,510b上的凹部4310(或内部表面或外部表面)摩擦接合(或反之亦然)，以便将端部联接件511,512,513,514联接到中心臂区段510a,510b。凹部4310和凸部4300可基本类似于上述凹部4110和凸部4100，但具有摩擦配合(也称为压配合或过盈配合，其是在零件强制推在一起之后通过摩擦实现的两个零件之间的紧固——在组装的零件之间没有间隙)(图43)，而不是滑动配合(例如，端部联接件和中心臂区段在组装期间容易相对彼此滑动——在组装的零件之间有间隙)(如图41中)。
32.在一个方面，端部凸缘540,541可基本彼此类似，使得中心臂区段510a,510b可安装在上臂连杆201或前臂连杆202中，其中端部凸缘541朝向臂的远端201e2,202e2或近端201e1,202e1(或反之亦然)。
33.在一个方面，管框架510f包括一个或多个孔口588，该孔口构造成提供通向上臂连杆201和前臂连杆202中相应一个的内部的通路。进入内部可便于上臂连杆201和前臂连杆202的任何适当维护，而基本无需拆卸基片传送设备和/或其臂连杆。在一个方面，可提供盖510c(图5c)以覆盖一个或多个进入孔口588，以便容纳可由臂连杆生成的任何颗粒。如可认识到的，还参照图5f，盖510c的移除提供通过进入孔口588进入相应臂连杆的内部。例如，可通过进入孔口588对本文中所述的线缆和滑轮传动机构进行调整(例如，如通过操纵顺列线
缆张紧器691来调整线缆节段中的一个或多个的张力，如本文中将描述的)。
34.在一个方面，中心臂区段510a,510b可具有长度cal，其与相应的端部联接件511,512,513,514一起限定相应的上臂连杆201或前臂连杆202的总长度oal(从接头中心到接头中心——见图5c)。臂131(和本文中所述的其它臂)可通过改变中心臂区段510a,510b的长度cal来构造/重构。如本文中所述，中心臂区段510a,510b可如本文中所述制造，以便具有不同的预定长度cal,cal1-caln。因此，中心臂区段510a,510b中的每个可从多个中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中选择，其中“n”是表示中心臂区段数量的上限的整数。可选择的中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个可具有与可选择的中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的另一个的长度不同的长度cal1-caln。这里，用于安装在相应的上臂连杆201或前臂连杆202中的可选择臂部分510a1-510an,510b1-510bn的选择与相应的端部联接件511,512,513,514一起限定上臂连杆201或前臂连杆202的可变(即，通过中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn的选择)长度。如可认识到的，可通过可选择的中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn的选择来增加或减少上臂连杆201和前臂连杆202中的一个或多个的总长度oal。
35.在其它方面，还参照图40，中心臂区段510a,510b中的一个或多个可为伸缩式中心臂区段510t(例如，伸缩臂部分的臂部分以类似于分段光学望远镜的方式滑入彼此以改变长度)。在该方面，伸缩式中心臂区段510t包括第一框架部分510t1和第二框架部分510t2。第一框架部分510t1的形状和尺寸设定成以滑动配合接收第二框架部分510t2，使得第一框架部分510t1或第二框架部分510t2相对于第一框架部分510t1或第二框架部分510t2中的另一个沿纵向方向线性滑动，以增加或减少伸缩式中心臂区段510t的长度cal。伸缩式中心臂区段510t可包括任何合适的可移除或不可移除式紧固件4000(例如，螺钉、螺栓、销、夹子、焊接等)，以锁定第一框架部分510t1相对于第二框架部分510t2的移动，以便设置/固定伸缩式中心臂区段510t的长度cal。在紧固件可移除的情况下，臂连杆的长度可根据需要调整，以符合附加的或移除的基片处理模块、传递室部分(例如，臂的范围可根据需要增大或减小)。
36.在其它方面，参照图40a，中心臂区段510a,510b中的一个或多个可为分段式臂区段510s，其中每个节段4020具有固定长度cas，且以邻接方式(例如，端到端)联接到彼此，使得当端到端联接在一起时，这些节段具有中心臂区段510a,510b的长度cal。在一个方面，不同节段4020的固定长度cas可相同，而在其它方面，节段4020的固定长度可不同。在还其它的方面，参照图45，中心臂区段510a,510b中的一个或多个可为多壳模块4500，每个多壳模块4500具有第一框架部件4501和第二框架部件4502(其中每个可基本类似于本文中所述的框架510f,510f',510f")，它们并排布置且在相应的端部联接件511,512,513,514之间延伸且联接相应的端部联接件。这里，传动系统的线缆可在相应的第一框架部件4501和第二框架部件4502内延伸。在该方面，第一框架部件4501和第二框架部件4501可单独地联接到相应的端部联接件511,512,513,514(例如，框架部件4501与端部联接件511的联接独立于框架部件4502与端部联接件512的联接)；而在其它方面，框架部件4501,4502可联接到端板4030，其中端板4030实现框架部件4501,4502与相应的端部联接件513,514的联接。
37.不同长度的中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可由如本文中所述的任何合适的材料以任何合适的方式制造。例如，至少一个可互换中心臂区段510a,510b和
多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个具有与其对应的箱形截面598，且预定特性在于，可互换的中心臂区段510a,510b和多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个具有不同对应长度cal,cal1-caln。
38.箱形截面598提供用于管框架510f的管状形状，且便于以低成本和/或大批量制造方法制造中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn。例如，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可通过挤制或铸造制造(例如，以便形成具有箱形截面598的挤制部件)，其降低机加工要求(例如，与由材料坯料机加工的常规臂连杆相比)。可采用的其它制造方法包括但不限于增材制造、常规机加工、折叠和焊接金属板、锻造和注塑成型。管框架510f的管状形式(其可通过上述制造工艺实现)实现具有整体箱形区段598的挤制部件，当与上述常规机加工的臂连杆相比时，该整体箱形区段明显更坚固。与另外用常规机加工的臂连杆会实现的相比，较坚固的箱形截面598提供用于较长的臂长度和具有较薄侧壁510w的管框架510f的制造，其减少臂连杆的重量且提供用于基片传送设备130的操作速度提高。
39.在一个方面，对应的箱形截面598的尺寸和形状设定成与不同对应长度cal,cal1-caln相称，以便保持关于每个不同的可互换中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn的预定刚度(端到端)。在另一方面，对应的箱形截面598的尺寸和形状设定成与不同对应长度cal,cal1-caln相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度oal,oaln内保持预定刚度(端到端)。例如，关于预定刚度，随着中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn的长度cal,cal1-caln增加，箱形截面598的壁510w中的一个或多个的厚度thk(图5e)也可增加。在其它方面，壁510w中的一个或多个的厚度thk可沿相应的长度cal,cal1-caln渐缩，其中壁在臂连杆的近端处最厚(相对于肩部轴线sx)且在臂连杆的远端处最薄(相对于肩部轴线sx；例如，考虑臂连杆202，壁厚可能在肘部轴线zx附近最大，而在腕部轴线wx附近最薄)。在其它方面，加强肋可在例如箱形截面598的挤制期间形成在箱形截面598中。在其它方面，还参照图46，中心臂区段510a,510b可具有渐缩长度，其中心臂区段510a,510b的相应近端(例如，支承端)具有高度ahpe1,ahpe2，其大于相应中心臂区段510a,510b的相应远端(例如，自由端或无支承端)的高度ahde1,ahde2。如图46中所示的渐缩长度可保持臂连杆的预定刚度，同时减少臂连杆的重量，其可提供用于基片传送设备130的操作速度提高。在其它方面，箱形截面598可以与不同对应长度cal,cal1-caln相称的任何合适的方式来设定尺寸和形状，以便保持关于每个不同的可互换中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn的预定刚度(端到端)。
40.在一个方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可由与用于臂连杆传动线缆(本文中所述)相同(或具有相同的热膨胀系数)的材料制成，如铝、不锈钢、铬镍铁合金或其它金属合金，或本文中所述的任何其它合适的材料(注意，由于成本和重量，在由坯料制造的常规臂连杆中可能限制使用不锈钢)。由与运动传动硬件(例如，线缆、带、滑轮等)相同的材料制造中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn提供用于在构件之间相同的热膨胀系数，其提高基片传送设备130的拾取/放置移动的准确性。在一个方面，中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn由与端部联接件511,512,513,514中的一个或两个的材料相同(或具有相同的热膨胀系数)的材料制成；而在其它方面，中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn由与端部联接件511,512,513,514中的一个或两
个的材料不同的材料制成。在一个方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn、端部联接件511,512,513,514和运动传动硬件由相同(或具有相同的热膨胀系数)的材料制成。参照图48，示出臂连杆构件的热膨胀，其中心臂区段510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn大体上用参考标记510表示。这里，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn、端部联接件511,512,513,514以及运动传动硬件的材料可选择为以便保持以下等式，该等式表示由于臂连杆的壳构件和其中的滑轮传动机构的热膨胀(和收缩)引起的总长度变化分别在臂连杆的长度上归一化：ꢀꢀꢀꢀ[1]其中，i是表示可移动臂连杆节段壳构件的整数(例如，在图48中，i=1表示端部联接件511(或513)，i=2表示中心臂区段510，i=3表示端联接件512(或514))，j是表示运动传动硬件构件的整数(例如，在图48中，j=1表示第一滑轮，j=2表示线缆，j=3表示第二滑轮)，l是相应臂连杆构件的长度，
ℓ
是相应运动传动硬件构件的长度(在线缆的情况下)或半径(在滑轮的情况下)，ll是臂连杆的从接头中心到接头中心的长度，且符号δ和d表示由于热膨胀(和收缩)导致的对应长度l、
ℓ
的“变化”。在一个方面，对于壳和滑轮传动机构的每个对应构件，(即，i=j和li=
ℓj)，且通过将相应的壳构件(i)的热膨胀(和收缩)与其中对应的滑轮传动机构构件(j)相匹配来基本满足。然而，在至少一个壳构件具有不同于对应的滑轮传动机构构件(例如)的热膨胀(和收缩)的不同方面(例如，)中，具有补偿(例如，在大的热变化上可能在尺寸上基本不变或以在其它情况下可视为具有可忽略的热膨胀系数)与之间的差异的热膨胀系数的任何合适的热膨胀补偿插入件4800(由任何合适的材料制成，如陶瓷、复合材料、金属、聚合物等)可设在可移动臂连杆节段壳构件中的一个或多个之间(且具有足够的长度)，使得保持上面的等式[1]。此类热膨胀补偿插入件4800也可为模块化的，紧固到如前所述的壳构件，或可与例如所需长度的中心臂区段510a,510b的形成一体地形成。
[0041]
在一个方面，至少一个可互换中心臂区段510a,510b和多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个的材料具有比端部联接件511,512,513,514的材料更高的刚度(弹簧模量)。在一个方面，至少一个可互换中心臂区段510a,510b和多个不同的可互换中心臂区段510a1-510an,510b1-510bn中的每个的材料具有与相应滑轮系统655a-655e的滑轮传动机构490,492,493,494,495的材料刚度相称的刚度(图4)。
[0042]
如可认识到的，模块化臂连杆构造还简化臂连杆端部的制造。例如，对于常规的臂连杆，臂滑轮和滑轮轴所联接到的臂连杆的端部与臂的中心部分作为一个单元由材料坯料来机加工。根据本公开内容的方面，臂连杆的模块化形式提供用于端部联接件511,512,513,514和中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn的单独制造技术。例如，尽管中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn可挤制(或用如本文中所述的其它方法制造)，但端部联接件511,512,513,514可通过铸造、锻造、增材制造、常规机加工和注塑成型来制造，使得端部联接件511,512,513,514铸造或锻造成近净形状(即，端部联接件的初始产生非常接近端部联接件的最终(净)形状，减少对于表面精整的需要)，以便减少端部联接件511,512,513,514的机加工和成本，其继而降低基片传送设备130的总体成本。在一些
方面，端部联接件511,512,513,514可提供为预组装/制造的臂接头4700，其中传动机构部件的至少一部分(如传动机构部件490,492,493,494,495中的一个或多个的至少一个滑轮)预安装在预组装臂接头4700中。预组装臂接头4700可降低制造成本且减少传送臂组件的交付时间。
[0043]
在一个方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个可由金属构件构成，例如，如铝、不锈钢、铬镍铁合金或其它金属合金，或任何其它合适的材料中的一种或多种。在其它方面，中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个可由包括非金属材料的任何合适的材料构成，包括但不包括仅限于陶瓷、聚合物、复合材料和碳纤维。如本文中所述，可使用大批量制造方法(例如，模制、铸造、锻造、挤制等)以近净形状或粗糙(rough)形状(这需要比近净形状铸造、锻造、模制等更多的二次机加工操作)中的一种或多种来构造中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个，注意中心臂区段510a,510b,510a1-510an,510b1-510bn和端部联接件511,512,513,514中的一个或多个的内部可锻造、铸造等成近净形状，而外部锻造、铸造等成粗糙形状。二次机加工操作可包括但不限于常规机加工、切割、磨削、电磁放电(discharge)机加工等。具有已成形(例如，铸造、锻造、挤制等)表面和机加工表面/特征两者的臂构件的示例在图37-39中示出。注意，在图37-39中，二次机加工的表面/特征示为“阴影”(例如，变暗区域)，而已成形(未机加工的)表面/特征没有阴影。图37示出已形成的端部联接件511,513(例如，近净形状或粗糙形状)，以及具有机加工(使用如本文中所述的方法)表面/特征的对应的精整端部联接件511,513。图38示出已形成的端部联接件512,514(例如，近净形状或粗糙形状)，以及具有机加工(使用如本文中所述的方法)表面/特征的对应的精整端部联接件512,514。图39示出已成形的中心臂区段510a,510b(例如，近净形状或粗糙形状)，以及具有机加工(使用如本文中所述的方法)表面/特征的对应的精整中心臂区段510a,510b。
[0044]
如图5a,5b和5c中可见，上臂连杆201和前臂连杆202中的每个具有相应的高度ah。在一个方面，前臂连杆202的高度ah1可小于上臂连杆201的高度ah2(或反之亦然)，而在其它方面，前臂连杆202的高度ah1可与上臂连杆201的高度ah2基本相同。在一个方面，相应的高度ah1,ah2可取决于设置在臂中的传动机构部件的数量(例如见图4，其中上臂连杆201包括三组传动机构部件490,492,494，且前臂连杆202包括两组传动机构部件493,495)。如可认识到的，在上臂连杆201和前臂连杆202的高度不同的情况下，前臂连杆202的端部联接件513,514和中心臂区段510b可能不能与上臂连杆201的端部联接件511,512和中心臂区段510a互换。
[0045]
再次参照图1a和2a-2d，在一个方面，至少一个端部执行器连杆203,204(在本文中也称为基片保持器)包括两个双(端)基片保持器203,204；然而，在其它方面，如本文中所述，至少一个基片保持器可具有任何合适的构造。双基片保持器203,204是分开的且彼此不同。双基片保持器203,204中的每个在前臂连杆202的共同端处可旋转地且单独地连结到接头，使得每个端基片保持器203,204相对于前臂连杆202围绕接头或由此形成的共同旋转轴线(例如见腕部轴线或接头wx)旋转。双基片保持器203,204中的每个具有从属于其且从接头延伸的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2，使得多于一个的基片保持
器203,204沿共同平面499(见图2d、4、10和11)相对于彼此并列。共同平面499由多于一个的基片保持器203,204的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2中的至少三个确定，其中至少三个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2中的两个基片保持站(例如，基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)对应于多于一个的基片保持器203,204中的共同基片保持器203,204。如本文中所述，两个基片保持站(例如，基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)分别设置在共同基片保持器203,204的相对端处。
[0046]
从属于至少一个基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2包括位于至少一个基片保持器203,204的相对端处的一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2。至少一个基片保持器203,204在相对端之间是基本刚性且非铰接的，且在相对端中的一个处的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2与彼此分开且不同的基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2基本共面。在一个方面，在至少一个基片保持器203,204的相对端处的基片保持站(见基片保持器203的基片保持站203h1,203h2和基片保持器204的基片保持站204h1,204h2)与彼此基本共面。在其它方面，至少一个基片保持器(见基片保持器203或204中的一个)的相对端处的基片保持站(见基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)与彼此分开且不同的端部执行器连杆(见基片保持器203或204中的另一个)的至少一个基片保持站(见基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2中的另一个)基本共面。在还其它的方面，每个分开且不同的基片保持器(见基片保持器203,204中的每个)的对应至少一个基片保持站(见基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2)包括在至少一个基片保持器203,204的相对端处的一个基片保持站，且分开且不同的基片保持器203,204中的每个在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0047]
仍参照图2a-2d，将更详细地描述双基片保持器203,204。例如，在一个方面，双基片保持器203,204中的每个包括沿纵向延伸的框架203f,204f(图2a)，其具有设置在框架203f,204f的相对纵向端处的相应基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2。在一个方面，位于共同基片保持器的相对端处的两个基片保持站(例如，基片保持站203h1,203h2或204h1,204h2)与彼此基本共面；而在其它方面，两个基片保持器可在不同的堆叠平面中(例如，见图10)。如上文所述，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。框架203f,204f中的每个形成从相应的基片保持站203h1,204h1到相应的基片保持站203h2,204h2的基本刚性连杆(即，双端基片保持器203,204在其相应的纵向分开的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2之间是非铰接的)。双端基片保持器203,204中的每个包括从框架203f,204f横向延伸的偏移安装突出部210,211。双端基片保持器203,204的偏移安装突出部210,211围绕腕部轴线wx可旋
转地联接到前臂202，使得双端基片保持器203,204中的每个围绕腕部轴线wx独立于彼此旋转。
[0048]
偏移安装突出部210,211可具有任何合适的长度，该长度设置或以其它方式限定(并排基片保持站203h1-204h1之间以及并排基片保持站203h2-204h2之间(以便与基本节距bp相称)的)任何合适的基本节距bp，和/或基片保持位置203h1,203h2,204h1,204h2中的每个相对于腕部轴线wx的任何合适的基片保持器偏移距离sd。在一个方面，基本节距bp可基本等于并排基片处理站(例如，如190,191(见图1a))之间的节距d。在其它方面，如本文中所述，自动晶片定心的实现是通过改变基本节距bp(例如，可增加或减少并排基片保持站203h1-204h1,203h2-204h2之间的距离)以适应节距d的变化，和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197。例如，如本文中所述，基片保持器203,204中的一个或多个可围绕腕部轴线wx独立地旋转，以便增加或减少(或以其它方式改变)相应的偏移距离sd，且在基本节距bp中做出对应的改变。在一个方面，如本文中所述，驱动区段220构造成将基片保持器203,204中的每个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2相对于基片保持器203,204中的另一个的对应基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2独立地对准。
[0049]
双端基片保持器203,204以任何合适的方式构造，使得基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2设置在共同平面499中(见图2d和4)。例如，偏移安装突出部210,211可各自包括与相应框架203f,204f基本共面的第一部分230,231。偏移安装突出部210,211可各自包括第二部分232,233，第二部分偏移以便延伸到由相应框架203f,204f限定的平面外侧。第二部分232,233的偏移使得当第二部分一个堆叠在另一个上方(见图2d)且围绕腕部轴线wx可旋转地联接到前臂202时，基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2设置在共同平面499中。
[0050]
双基片保持器203,204设置成使得臂131的径向延伸和缩回实现每个基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2通过传送室壁125w(图1a)中的相应单独开口(见槽阀sv)的基本同时延伸和缩回，这些开口在基本共同水平上相对于彼此并列(见图1b和1c中的一个或多个晶片/基片搁置平面wrp)。在其它方面，基片保持器203,204可延伸通过堆叠在不同平面中的传送室壁中的开口。
[0051]
现在参照图2a-3a，示出根据本公开内容的方面的示例性驱动区段220。在一个方面，驱动区段220构造成以径向延伸来延伸(和缩回)臂131，其中腕部轴线wx的移动沿径向延伸/缩回的轴线或路径700保持，该轴线或路径延伸通过肩部轴线sx(图7b)，使得基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2(偏离径向轴线)从并排基片处理站拾取和放置基片s。在另一方面，驱动区段220构造成以非径向延伸来延伸(和缩回)臂131，其中腕部的移动沿路径701(图7f)行进，该路径与径向延伸/缩回轴线700偏离和/或成角度(即，路径701不穿过肩部轴线sx或从肩部轴线sx辐射——注意，图7c示出径向延伸路径702，其中腕部轴线wx沿延伸通过肩部轴线sx或从肩部轴线sx辐射的移动路径移动)。在还其它的方面，驱动区段220构造成沿径向路径和非径向路径两者延伸臂(见图7a-7l)。
[0052]
在一个方面，驱动区段可具有同轴驱动布置，而在其它方面，驱动区段可具有任何合适的驱动布置，包括但不限于并排马达、谐波驱动器、开关或可变磁阻马达等。驱动区段布置的合适示例在编号为6,485,250；5,720,590；5,899,658；5,813,823；8,283,813；8,918,203；和9,186,799的美国专利中描述，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在该方面，驱动区段220包括壳体310，以用于至少部分地容纳四同轴驱动轴组
件300(也见图4)，该组件具有四个驱动轴301-304和四个马达342,344,346,348(例如四自由度马达)。在本公开内容的其它方面，驱动区段220可具有任何合适数量的驱动轴和马达，例如，如两个或三个同轴马达或多于四个的同轴马达以及相关联的驱动轴。驱动区段220还可包括构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的臂131的z轴线驱动器312；然而，在其它方面，联接到臂131所在的传递室的基片处理站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂131提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0053]
在一个方面，驱动区段220是多轴驱动区段，其限定至少一个基片保持器203,204相对于其它基片保持器203,204的独立自由度；而在其它方面，对于多个基片保持器中的至少一个基片保持器，存在独立的自由度；而在还其它的方面，每个基片保持器都有独立的自由度。每个基片保持器203,204的独立自由度使得能够在双基片保持器203,204中的每一个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,2034h1,204h2处独立地自动晶片定心。在一个方面，驱动区段220是多轴驱动区段，其构造成实现在双基片保持器203,204中的每一个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,2034h1,204h2处的独立自动晶片定心，自动晶片定心与双基片保持器203,204中的每个的对应至少一个基片保持站203h1,203h2,2034h1,204h2通过传送室壁125w中的相应单独开口(见槽阀sv)的基本同时延伸是基本同时的。
[0054]
参照图3a，驱动区段至少包括马达342,344,346,348。驱动区段220的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。第四马达348包括定子348s和连接到第四或内轴301的转子348r。四个定子342s,344s,346s,348s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到壳体310。每个定子342s,344s,346s,348s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r,348r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346,348可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在还其它的方面，马达342,344,346,348可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r,3418r与定子342s,344s,346s,348s之间，使得同轴驱动轴组件300位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0055]
第四或内轴301从底部或第四定子348s延伸，且包括与定子348s基本对准的转子348r。轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承350-353围绕轴301-304和壳体310设置，以允许每个轴301-304相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-374。位置传感器371-374可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴301-304相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-374可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0056]
参照图3a，在其它方面，基本类似于驱动区段220的示例性驱动区段220a包括壳体310，以用于至少部分地容纳三同轴驱动轴组件300a，该三同轴驱动轴组件具有三个驱动轴302-304和三个马达342,344,346(例如三自由度马达)。驱动区段220a还可包括z轴线驱动器312，其构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的基片传送设备130的臂(如本文中所述的那些)；然而，在其它方面，联接到臂所在的传递室的基片保持站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0057]
驱动区段220a的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。三个定子342s,344s,346s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到壳体310。每个定子342s,344s,346s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在还其它的方面，马达342,344,346可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r与定子342s,344s,346s之间，使得同轴驱动轴组件300a位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0058]
轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承350-353围绕轴302-304和壳体310设置，以允许每个轴302-304相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-373。位置传感器371-373可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴302-304相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-373可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0059]
参照图3b，在其它方面，基本类似于驱动区段220的示例性驱动区段220b包括壳体310，以用于至少部分地容纳六同轴驱动轴组件300b，该六同轴驱动轴组件具有六个驱动轴301-306和六个马达342,344,346,348,343,345(例如六自由度马达)。驱动区段220b还可包括构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的基片输送设备130的臂(如本文所中所述的那些)的z轴线驱动器312；然而，在其它方面，联接到臂所在的传递室的基片保持站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0060]
驱动区段220a的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。第四马达348包括定子348s和连接到轴301的转子348r。第五马达343包括定子343s和连接到轴305的转子343r。第六马达345包括定子345s和连接到轴306的转子345r。六个定子342s,344s,346s,348s,343s,345s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到
壳体310。每个定子342s,344s,346s,348s,343s,345s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r,348r,343r,345r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346,348,343,345可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在还其它的方面，马达342,344,346,348,343,345可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r,348r,343r,345r与定子342s,344s,346s,348s,343s,345s之间，使得同轴驱动轴组件300b位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0061]
轴306从第六定子345s延伸且包括与定子345s基本对准的转子345r。轴305从第五定子343s延伸且包括与定子343s基本对准的转子343r。轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴301从第四定子348s延伸且包括与定子348s基本对准的转子348r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承(如上文所述的那些)围绕轴301-306和壳体310设置，以允许每个轴301-306相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-376。位置传感器371-376可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴301-306相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-376可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0062]
参照图3c，在其它方面，基本类似于驱动区段220的示例性驱动区段220c包括壳体310，以用于至少部分地容纳五同轴驱动轴组件300b，该五同轴驱动轴组件具有五个驱动轴301-305和五个马达342,344,346,348,343(例如五自由度马达)。驱动区段220c还可包括构造成例如升高和降低用于拾取和放置基片s的基片输送设备130的臂(如本文所中所述的那些)的z轴线驱动器312；然而，在其它方面，联接到臂131所在的传递室的基片保持站可包括代替或除了驱动区段220的z轴线驱动器312的用于将基片从臂提升和降低到臂的z轴线驱动器。
[0063]
驱动区段220a的第一马达342包括定子342s和连接到外轴304的转子342r。第二马达344包括定子344s和连接到轴303的转子344r。第三马达346包括定子346s和连接到轴302的转子346r。第四马达348包括定子348s和连接到轴301的转子348r。第五马达343包括定子343s和连接到轴305的转子343r。五个定子342s,344s,346s,348s,343s在壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到壳体310。每个定子342s,344s,346s,348s,343s大体上包括电磁线圈。转子342r,344r,346r,348r,343r中的每个大体上包括永磁体，但可备选地包括不具有永磁体的磁感应转子。在还其它的方面，马达342,344,346,348,343可为可变或开关磁阻马达，如于2014年11月13日提交的题为“position feedback for sealed environments”的编号为14/540,058的美国专利申请以及编号为10,348,172和9,948,155的美国专利中描述的那些，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在
还其它的方面，马达342,344,346,348,343可为谐波驱动器，如编号为9,656,386的美国专利中描述的那些，该美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。在基片传送设备130用于密封环境(如仅出于非限制性示例性目的，真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342r,344r,346r,348r,343r与定子342s,344s,346s,348s,343s之间，使得同轴驱动轴组件300c位于密封环境中且定子位于密封环境外侧。应认识到，如果基片传送设备130仅旨在在大气环境中使用，如在基片处理设备100的大气区段101内(图1)，则不需要提供套筒362。
[0064]
轴305从第五定子343s延伸且包括与定子343s基本对准的转子343r。轴302从第三定子346s延伸且包括与定子346s基本对准的转子346r。轴301从第四定子348s延伸且包括与定子348s基本对准的转子348r。轴303从第二定子344s延伸且包括与定子344s基本对准的转子344r。轴304从顶部或第一定子342s延伸，且包括与定子342s基本对准的转子342r。各种轴承(如上文所述的那些)围绕轴301-305和壳体310设置，以允许每个轴301-305相对于彼此和壳体310独立地可旋转。注意，每个轴可设有位置传感器371-375。位置传感器371-375可用于向任何合适的控制器(如控制器170)提供关于相应轴301-306相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-375可为任何合适的传感器，如用于非限制性示例性目的，光学或感应传感器。
[0065]
如本文中所述，驱动区段220,220a,220b,220c构造成沿非径向线性路径延伸和缩回至少一个多连杆臂131，且使每个端部执行器连杆(例如，基片保持器)的至少一个对应的基片保持站分别基本同时穿过沿例如传递室125的侧壁并列的单独基片传送开口(如图1b和1c中所示)，且将至少一个对应基片保持站相对于多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)中的另一个独立地对准。
[0066]
参照图2a、3a和4，如上文所述，基片传送设备130包括至少一个臂131，该臂具有两个双端基片保持器203,204。注意，本文中所述的基片传送设备130的两个双端基片保持器203,204可允许本文中所述的基本同时拾取和放置基片(例如，两个双端基片保持器203,204基本同时分别延伸到和缩回自并排基片处理站190-191,192-193,194-195,196-197的相应基片处理站以用于基本拾取和/或放置基片)。
[0067]
在本公开内容的一个方面，上臂连杆201由外轴304驱动来围绕肩部轴线sx旋转，前臂连杆202由内轴301驱动来围绕肘部轴线ex旋转，双端基片保持器203由轴303驱动来围绕腕部轴线wx旋转，且双端基片保持器204由轴302驱动来围绕腕部轴线wx旋转。例如，上臂连杆201固定地附接到外轴304，使得上臂连杆201与轴304作为一个单元在中心旋转轴线(例如肩部轴线sx)上旋转。
[0068]
前臂连杆202由任何合适的传动机构联接到内轴301。例如，滑轮480固定地附接到轴301。上臂连杆201包括柱481。滑轮482可旋转地安装到柱481或以其它方式由柱481支承。柱481固定地安装到上臂连杆201的内表面。第一组传动机构部件490在滑轮480与滑轮482之间延伸。应认识到，任何合适类型的传动机构部件都可用于联接滑轮480,482，例如，如带状物、带或链。还应认识到，尽管示出两个传动机构部件(见图6a和6b)联接滑轮480,482，但在其它方面，任何合适数量的传动机构部件可用于联接滑轮480,482(例如，多于或少于两个)。轴482s固定地联接到滑轮482，使得轴482s与滑轮482一起围绕肘部轴线ex旋转。轴482s可以任何合适的方式可旋转地支承在柱481上。前臂连杆202固定地安装到轴482s，使
得前臂连杆202与轴482s作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。
[0069]
双端基片保持器203由任何合适的传动机构联接到轴303。例如，滑轮488固定地联接到轴303，使得滑轮488与轴303作为一个单元围绕肩部轴线sx旋转。滑轮491可旋转地联接到柱481或以其它方式支承在柱481上。第二组传动机构部件492(基本类似于传动机构部件490)在滑轮488与滑轮491之间延伸。轴491s固定地联接到滑轮491，使得轴491s与滑轮491作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。轴491s可以任何合适的方式可旋转地支承在柱481上。前臂连杆202包括滑轮470，滑轮固定地安装到轴491s的顶端，使得滑轮470与轴491s(和滑轮491)作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。前臂连杆202还包括柱471和滑轮472，该滑轮可旋转地安装到柱471或以其它方式由柱471支承。第三组传动机构部件493(基本类似于传动机构部件490)在滑轮470,472之间延伸且联接滑轮470,472。双端基片保持器203通过轴472s固定地安装到滑轮472，使得滑轮472和双端基片保持器203作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转。
[0070]
双端基片保持器204由任何合适的传动机构联接到轴302。例如，滑轮484固定地联接到轴302，使得滑轮484与轴302作为一个单元围绕肩部轴线sx旋转。滑轮486可旋转地联接到柱481或以其它方式支承在柱481上。第四组传动机构部件494(基本类似于传动机构部件490)在滑轮484和滑轮486之间延伸。轴486s固定地联接到滑轮486，使得轴486s与滑轮486作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。轴486s可以任何合适的方式可旋转地支承在柱481上。前臂连杆202包括滑轮474，滑轮固定安装到轴486s的顶端，使得滑轮474与轴486s(和滑轮486)作为一个单元围绕肘部轴线ex旋转。前臂连杆202还包括滑轮476，该滑轮可旋转地安装到柱471或以其它方式由柱471支承。第五组传动机构部件495(基本类似于传动机构部件490)在滑轮474,476之间延伸且联接滑轮474,476。双端基片保持器204通过轴476s固定地安装到滑轮476，使得滑轮476和双端基片保持器204作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转。
[0071]
参照图2a-2c、3a和4，如可认识到的，上臂连杆201、前臂连杆202、双端基片保持器203和双端基片保持器204中的每个由相应的驱动马达342,344,346,348独立地驱动以围绕相应的轴线(例如，肩部轴线sx、肘部轴线ax和腕部轴线wx)旋转。每个双端基片保持器203,204围绕腕部轴线wx的独立旋转提供基片保持站203h1,204h1,203h2,204h2中的每个处的基片s中的每个处的独立自动晶片定心，自动晶片定心与基片由双端基片保持器203,204通过相应并列基片处理站的开口(见图1b,1c)的传送是基本同时的。本文中描述的自动晶片定心可以与以下美国专利中描述的那些类似的方式利用设置在传送室125,125a中/上、槽阀sv上、传送臂131上等的任何合适的传感器来执行：于2019年1月25日提交的且题为“automatic wafer centering method and apparatus”的编号为16/257,595的美国专利申请、于2018年11月20日公告的且题为“on the fly automatic wafer centering method and apparatus”的编号为10,134,623的美国专利、于2016年12月6日公告的且题为“process apparatus with on-the-fly substrate centering”的编号为9,514,974的美国专利、于2010年9月7日公告的且题为“wafer center finding”的编号为7,792,350的美国专利、于2015年1月13日公告的且题为“wafer center finding with kalman filter”的编号为8,934,706的美国专利，以及于2011年4月12日公告的且题为“process apparatus with on-the-fly workpiece centering”的编号为7,925,378的美国专利，这些美国专利的公开内容通过引用以其整体结合于本文中。对应地，自动晶片定心通过改变并排基片保
持站203h1,204h1之间和并排基片保持站203h2,204h2之间的基本节距bp来实现。例如，通过沿相反方向旋转轴302,303，使双端基片保持器203,204围绕腕部轴线wx沿相反方向旋转。例如，轴302,303可沿相反方向驱动以增加并排基片保持站203h1,204h1之间的距离(图2b)，以便实现并排基片保持站203h1,204h1之间的任何合适的增加节距wp(以及基片保持站203h2,204h2之间的任何合适的对应减小节距np)。轴302,303也可沿相反方向驱动以减小并排基片保持站203h1,204h1之间的距离(图2c)，以便实现并排基片保持站203h1,204h1之间的任何合适的减小节距np(以及基片保持站203h2,204h2之间的任何合适的对应增加节距wp)。轴302,303在相同方向上基本以相同的旋转速率旋转使双端基片保持器203,204作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转，以实现基片s的快速交换。因而，传动机构490,492,493,494,495配置成使得双端基片保持器203,204作为一个单元围绕腕部轴线wx旋转至少180
°
(度)的旋转量。再次，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。
[0072]
传动机构部件490,492,493,494,495和滑轮480,484,488,470,474,482,486,491,472,476形成本文中所述的相应滑轮系统655a-655e。如本文中所述，滑轮系统655a-655e中的一个或多个接合到模块化复合臂连杆壳201c,202c，且布置成使得由驱动区段220提供功率，一个或多个滑轮系统655a-655e实现至少一个臂连杆201,202或端部执行器203,204的铰接。注意，滑轮480,484,488,470,474可称为“驱动”滑轮，而滑轮482,486,491,472,476可称为“从动”或“惰”滑轮。参照图5d、6a和6j，端部联接件511,512,513,514中的至少一个容纳滑轮系统655a-655e中的至少一个的至少一个滑轮轮体480,484,488,470,474,482,486,491,472,476。例如，滑轮(如滑轮488,484,480,486,482,470,474,472)中的一个或多个通过例如交叉滚子轴承600(也称为台轴承——例如，端部联接件容纳安装有交叉滚子轴承的滑轮系统的滑轮轮体，使得滑轮轮体的位置和对准取决于与如本文中描述的交叉滚子轴承的接合且由其来控制)或以任何其它合适的方式联接到相应的端部联接件511,512,513,514。在一个方面，端部联接件511,512,513,514包括轴承座566(见图5d和6a)，交叉滚子轴承600的外圈601(或内圈，取决于轴承座的构造)联接到该轴承座。例如，外圈601可利用任何合适的紧固件或固持器特征663联接到轴承座566，且利用延伸到外圈601和轴承座566两者中的任何合适的定位销664相对于臂定位。在其它方面，外圈601可以任何合适的方式联接到轴承座566。滑轮(如图6a中示出的滑轮474，其中为了清楚，省略其它滑轮)可使用任何合适的紧固件668和任何合适的定位销669联接到内圈602(或外圈，取决于轴承座的构造)。在其它方面，内圈602可以任何合适的方式联接到滑轮474。轴(如轴486s)可以任何合适的方式联接到滑轮，如通过摩擦配合、夹具或以任何其它合适的方式，使得轴186s和滑轮474
作为一个单元围绕相应的旋转轴线(如轴线ex)旋转。
[0073]
交叉滚子轴承600提供优于双联(即，成对的)轴承和在半导体传送臂中常用的其它类型的轴承的若干优点。例如，交叉滚子轴承600具有更薄的形状因子，使得减小的高度/厚度665(与相同尺寸轴和负载要求的双联轴承或其它常用轴承的高度/厚度相比)允许给定轴承直径下的更小连杆高度ah。交叉滚子轴承600还可减少基片传送设备130的零件数量、成本和复杂性，因为不需要轴承夹具(如与双联轴承或其它常用轴承一起使用)来将交叉滚子轴承联接到臂连杆和滑轮。另外，由于紧固件用于将交叉滚子轴承600联接到臂连杆和滑轮，因此与安装双联轴承或其它常用的轴承(通常通过收缩/干涉配合安装)相比，轴承的安装更容易。交叉滚子轴承600可增加传送臂的刚度，且较少取决于臂连杆的机加工容差和操作温度(例如，与摩擦配合双联轴承或其它常用轴承相比，其中摩擦配合可由机加工容差和操作温度中的一个或多个影响)。
[0074]
注意，模块化复合臂连杆壳201c,202c是在限定的预定臂长度oal,oaln内具有紧凑高度ah(图5c和5e)的低轮廓(low profile)壳，该紧凑高度ah与容纳在端部联接件511,512,513,514中的至少一个中的滑轮系统655a-655e中的至少一个的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体(如上文描述的那样)相称。对于具有可相比(comparable)长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度ah小于带滑轮传动机构壳体高度。例如，简要参照图4a，臂连杆201具有紧凑高度ah和长度oal。在该示例中，臂连杆201包括三个滑轮系统655a-655c，其中每个滑轮系统包括相对的线缆节段(如本文中所述)和一对滑轮。当与具有相同长度oal和相同数量的滑轮系统(其中每个滑轮系统包括常规双联轴承)的臂连杆相比时，包括本文中所述的线缆/滑轮传动机构中的三个和交叉滚子轴承的臂连杆201的高度ah小于包括带/滑轮传动机构中的三个和常规双联轴承的臂连杆的高度。
[0075]
还参照图4和4a，交叉滚子轴承600提供用于将滑轮486和相应的轴486s安装到相应的交叉滚子轴承600a的共同凸缘。如在图4a中可见，滑轮486和轴486s都以任何合适方式由任何合适紧固件461(如螺钉或螺栓)安装到交叉滚子轴承600a的相同凸缘(例如，内圈602凸缘)。例如，紧固件461可延伸通过滑轮486和轴486s的凸缘两者，以将滑轮486和轴486s两者都联接到交叉滚子轴承600a；而在其它方面，滑轮486和轴486s可由相应的紧固件461联接到交叉滚子轴承600a，其中交叉滚子轴承600a内圈602的交替螺纹孔用于以类似于本文中关于图4b所述的方式将滑轮486和轴486s联接到交叉滚子轴承600a。
[0076]
如也在图4a中可见且还参照图4b，在滑轮和相应驱动轴的凸缘互锁/交错在一起的情况下，臂接头的堆叠高度可减小，以便于滑轮和相应的轴与相应的交叉滚子轴承的联接。例如，交叉滚子轴承600b的外圈601可联接到柱481，使得交叉滚子轴承600b悬挂在柱481下方(但在其它方面，柱481可具有任何合适的构造，且交叉滚子轴承可坐置或悬挂在柱上)。在该示例中，滑轮491和轴491s均联接到交叉滚子轴承600b的内圈602。滑轮491包括轮毂491h且轴491s包括凸缘491sf，其中轮毂491h和凸缘491sf具有互补的形状，使得当联接到交叉滚子轴承600b时，轮毂491h和凸缘491sf共面(位于同一平面内且不是一个堆叠在另一个上方——见图4a和4b)。例如，轮毂491h包括中心孔口491ha，其形状和尺寸设定成使得紧固件461延伸通过轮毂491h且接合交叉滚子轴承600b的内圈602的每隔一个紧固件孔。凸缘491sf的形状和尺寸设定成与中心孔口491ha的边界互补和配合(例如，凸缘491sf与轮毂491h互锁/交错)，且使得紧固件461延伸通过凸缘491sf，且接合交叉滚子轴承600b的内圈
buckle)线缆张紧器691tbk1。注意，在与采用多个相对的楔形物和螺钉来张紧带的常规带张紧装置相比时，顺列线缆张紧器691可减少传动臂零件的数量和成本。本体691b可联接到线缆节段661a,661b的相应部分cp1，使得本体691b在方向692上围绕其纵向轴线独立于线缆旋转来旋转，使得随着本体691b旋转，线缆节段661a,661b不会沿方向692扭转。螺纹部分691t可以任何合适的方式，且在一个方面以基本类似于上文关于本体691b所述的方式联接到线缆节段661a,661b的相应部分cp2。这里，本体691b沿方向692旋转，使得螺纹部分691t旋入本体或从本体中旋出以调节相应线缆节段661a,661b中的张力。注意，线缆节段661a,661b(以及本文中所述的其它线缆节段)预拉伸(例如，预张紧)，以便在传送臂在正常(例如，设计)负载下的操作期间基本消除线缆节段661a,661b的拉伸(线缆节段在传送臂的正常操作负载下不会拉伸)。
[0083]
图6h示出根据本公开内容的方面的螺旋扣式线缆张紧器691tbk2的另一个示例。在该示例中，每个线缆部分cp1,cp2包括基本类似于上文所述的螺纹部分691t1,691t2。螺纹部分691t1,691t2与螺旋扣本体691b1接合，使得随着螺旋扣本体691b1沿方向692旋转，螺纹部分691t1,691t2朝向或远离彼此移动，以便增加或减少线缆节段中的张力661a。
[0084]
尽管顺列线缆张紧器691在上文描述为螺旋扣式线缆张紧器，但在其它方面(如上文所述)，顺列线缆张紧器691可为缩短线缆长度以便将张力施加到线缆的任何合适的线缆张紧器。例如，在一个方面，顺列线缆张紧器691可为弹性型线缆张紧器691rm(图6c和6f)，其以类似于上文关于图6g和6h所述的方式联接到相应线缆节段的线缆部分cp1,cp2中的每个。这里，弹性型线缆张紧器691rm包括将线缆部分cp1,cp2中的每个联接到彼此的弹性部件691br。弹性部件691br可为弹簧或其它合适的弹性部件，其具有的弹簧力大于在本文中所述的基片传送臂的操作期间可施加在线缆661a,661b,660a,660b上的任何操作负载，使得尽管弹性部件691br具有弹性，相应线缆661a,661b,660a,660b上的张力保持稳定状态(或恒定)。在该方面，弹性部件691br可受拉伸以将线缆节段661a,661b,660a,660b安装在相应的滑轮上，其中一旦将线缆节段661a,661b,660a,660b安装在相应的滑轮上，弹性部件691br就至少部分地松弛以在相对的相应线缆节段661a,661b,660a,660b上自动设置预定张力。
[0085]
类似地，惰滑轮476具有端部执行器接口，其中惰滑轮476的表面抵靠相应的双端基片保持器204坐置，或在其它方面，端部执行器接口由如上文所述的轴476s形成。惰滑轮476由相应的分段传动环660(即，第五组传动机构部件495)联接到相应的肘部驱动滑轮474。分段传动环660包括单独的线缆节段660a,660b或任何其它合适的传动机构连杆(如带节段)，其联接到惰滑轮476和肘部驱动滑轮474两者，以实现惰滑轮476的旋转。
[0086]
惰滑轮476包括周边边缘650，其形成与分段传动环660的相应线缆660a,660b对接的线缆缠绕凹槽635,636。线缆锚定点643,644(图6c)将单独的线缆节段660a,660b中的每个连结到惰滑轮476。例如，周边边缘650形成上线缆缠绕凹槽635，线缆660b缠绕在该上线缆缠绕凹槽周围。周边边缘650还形成下线缆缠绕凹槽636，线缆660a缠绕在该下线缆缠绕凹槽636周围。上线缆缠绕凹槽635和下线缆缠绕凹槽636设置在惰滑轮476上的不同高度处，使得线缆660a,660b相对于彼此设置在不同的平面中(即，一个线缆不缠绕在其它线缆上方)。参照图6d，肘部驱动滑轮474基本类似于上述惰滑轮476。
[0087]
在一个方面，如图7a-7l中所示，惰滑轮472,476和惰滑轮472,476由分段传动环
660,661联接到的相应肘部驱动滑轮470,474具有任何合适的传动比，该传动比提供双端基片保持器203,204的充分旋转，以用于基片的传送。例如，惰滑轮472,476和肘部滑轮470,474之间的比率可为1:2或任何其它合适的比率。注意，常规的带和滑轮传动机构提供端部执行器在腕部接头wx处的约 /-160
°
旋转。采用线缆和滑轮传动机构的本公开内容的方面提供腕部接头wx处的端部执行器或滑轮(例如本文中所述的那些)围绕相应的轴线sx,ex,wx的大于 /-160
°
旋转。
[0088]
例如，在一个方面，与滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476进行滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476接合的滑轮传动机构490,492,493,494,495布置成以便确定通过相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476在相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476上的滑轮传动机构490,492,493,494,495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476的旋转。例如，参照图4，滑轮系统655e的滑轮传动机构493可卷绕在滑轮470,472周围，以使滑轮472(由滑轮470的旋转所驱动)通过在滑轮472上的滑轮传动机构493的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。滑轮系统655d的滑轮传动机构495也可卷绕在滑轮474,476周围，以使滑轮476(由滑轮474的旋转所驱动)通过在滑轮476上的滑轮传动机构495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。在一些方面，其它滑轮系统655a-655c可类似地构造成用于从动滑轮的至少360
°
旋转。
[0089]
在一个方面，与滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476进行滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476接合的滑轮传动机构490,492,493,494,495布置成以便确定通过端部执行器203,204相对于至少一个可移动臂连杆201,202在相应滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476上的滑轮滑动机构490,492,493,494,495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的相应端部执行器203,204的旋转。例如，参照图4，滑轮系统655e的滑轮传动机构493可卷绕在滑轮470,472周围，以使端部执行器203(由滑轮472的旋转所驱动)通过相对于臂连杆201,202在滑轮472上的滑轮传动机构493的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。滑轮系统655d的滑轮传动机构495也可卷绕在滑轮474,476周围，以使端部执行器203(由滑轮476的旋转所驱动)通过相对于臂连杆201,202在滑轮476上的滑轮传动机构495的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来旋转。
[0090]
在一个方面，还参照图6e和6f，示出示例性的线缆和滑轮传动机构。线缆和滑轮传动机构可基本类似于本文中所述的那些。在该方面，凹槽635,636中的每个可形成在相应滑轮470,472的外周表面中，以便形成螺旋线，该螺旋线构造成引导相应线缆661a,661b围绕相应滑轮470,472沿螺旋路径缠绕，而线缆本身不重叠或彼此不重叠。线缆661a,661b围绕相应的滑轮470,472的该螺旋卷绕允许线缆缠绕在相应的滑轮470,472中的每个周围多于一圈(例如，任何合适的圈数-见图6f)，以便提供腕部接头wx处的端部执行器或滑轮轮体围绕相应的轴线sx、ex、wx的大于 /-160
°
或至少360
°
的旋转。
[0091]
图6e和6f中的滑轮470,472示为具有基本1:1的传动比，但在其它方面，滑轮可具有任何合适的传动比，如2:1或3:1传动比，以便增加(单独地或与螺旋卷绕线缆组合)端部执行器围绕腕部轴线的旋转量。注意，与结合带和滑轮传动机构的滑轮相比，本文中关于线
缆和滑轮传动机构所述的滑轮与滑轮传动比可利用更小直径的滑轮来实现。例如，与带相比时，本文中描述的线缆大体上可比带更柔性且提供用于更小的弯曲半径。用本文中描述的线缆传动机构，线缆的较小弯曲半径提供用于比另外用带传送机构会提供用于的更小直径的滑轮。
[0092]
第一组传动机构部件490、第二组传动机构部件492、第四组传动机构部件494、肩部驱动滑轮480,484,488和肘部惰滑轮482,486,491基本类似于上面关于惰滑轮472,476、驱动滑轮470,474和分段传动环660,661所述的(见图6c和6d)。如上文所述，用于第一组传动机构部件490、第二组传动机构部件492、第四组传动机构部件494的线缆锚定点基本类似于上文关于线缆锚定点643所述的。
[0093]
如本文中所述，模块化复合臂连杆壳201c,202c是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度oal,oaln内具有紧凑高度ah(图5c和5e)，其与具有紧凑基本双对称(by-symmetrical)截面的连接相应滑轮系统655a-655e的相应滑轮轮体的双对称(bi-symmetrically)柔性滑轮传动机构(如传动机构部件490,492,493,494,495)相称。例如，线缆节段(如图6a和6b中所示的线缆节段660a,660b)具有基本圆形的截面，然而线缆节段可具有任何其它合适的双对称截面。对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度ah小于带滑轮传动机构壳体高度。例如，简要参照图4a，臂连杆201具有紧凑高度ah和长度oal。在该示例中，臂连杆201包括三个滑轮系统655a-655c，其中每个滑轮系统包括相对的线缆节段(如本文中所述)和一对滑轮。当与具有相同长度oal和相同数量的滑轮系统(其中每个滑轮系统包括相对的带节段和一对滑轮)的臂连杆相比时，包括本文中所述的线缆/滑轮传动机构中的三个的臂连杆201的高度ah小于包括带/滑轮传动机构中的三个的臂连杆的高度。
[0094]
尽管上文描述基片传送设备130具有双盘基片保持器203,204，但在其它方面，基片保持器可具有任何合适的构造。例如，参照图8、9和10，多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)中的每个具有从属于其的多于一个的并列(例如，并排)基片保持站中的多于一个的对应基片保持站，且分别是从属于相应端部执行器连杆(例如，基片保持器)的多于一个的对应基片保持站之间的基本刚性的非铰接连杆。例如，基片传送设备130包括基本类似上文所述那些的双盘基片保持器203a,204a；然而，在该方面，基片保持站203h1,204h1并排设置在共同平面中(分开基本节距bp)，而基片保持站203h2,204h2位于不同的平面中且一个堆叠在另一个上方(分开任何合适的高度h10，其可对应于堆叠基片处理站150的堆叠保持站、堆叠的真空加载锁102a,102b,102c,102d或任何其它合适的堆叠的基片保持位置之间的距离——见图1c)。这里，通向基片处理站的传送室开口可在不同的平面/水平处(见图1c)，其中每个平面与两个双/双端基片保持器203,204的并列基片保持站203h1-204h1,203h2-204h2的平面/水平对应。在还其它的方面，如图11中所示，基片保持站203h1,204h1并排设置在共同平面中(分开基本节距bp)，而基片保持站203a,204a中仅一个构造为双盘基片保持器(在该示例中，基片保持器203a包括双基片保持站203h1,203h2，整个基片保持器204a包括单个基片保持站204h1)。再次，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个
相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。自动晶片定心(如在图8、9和10中所示的本公开内容的方面)以基本类似于上文所述的方式通过改变基片保持站203h1,204h1之间的基本节距bp(例如，可增加或减少)来实现。如可认识到的，基片保持器203h2,204h2也可围绕腕部轴线wx独立地旋转，以实现独立于基片保持站204h2的基片保持站203h2的自动晶片定心和/或独立于基片保持站203h2的基片保持站204h2的自动晶片定心。
[0095]
参照图12和图13，在该方面，基片传送设备130示为包括三个双盘基片保持器。例如，基片传送设备130包括基片保持器203,204(如上文所述)以及基片保持器205。基片保持器203,204以上文描述的方式由驱动区段220驱动，以在方向1300,1301上相对于彼此和相对于基片保持器205围绕腕部轴线wx枢转。在该示例中，驱动区段包括附加驱动轴线(例如，五自由度驱动)，以相对于基片保持器203,204中的每个在方向1302上围绕腕部轴线wx独立地旋转基片保持器205；而在其它方面，基片保持器205可从属于基片传送设备130的任何合适部分，例如，如上臂201，以便保持与穿过肩部轴线sx的径向延伸轴线对准。再次，基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。在该示例中，实现自动晶片定心，使得基片保持器203与基片保持器204之间的基本节距bp可增加或减小，基片保持器203与基片保持器205之间的基本节距bp可增加或减小，基片保持器204与基片保持器205之间的基本节距bp可增加或减小，等等，以实现基片保持站203h1,204h1,205h1,203h2,204h2,205h2中的任何一个或多个相对于并排基片处理站190-198和199a-199c的自动晶片定心(见图12)。在其它方面，基片保持站203h2-205h2(或203h1-205h1)可以类似于图10中所示的方式一个堆叠在另一个上方。在还其它的方面，一个或多个基片保持器203-205可为以类似于图11中所示的方式的单盘基片保持器。
[0096]
在还其它的方面，基片传送设备130可具有基片保持器，其具有用于传送基片来回于单个基片站的任何合适的构造、并排布置的基片站的任何合适的数量、布置成一个堆叠在另一个上方的基片站的任何合适的数量，等等。在腕部轴线wx的相对侧上的并排基片保持器和多个堆叠(或单个)基片保持器的组合可在如其中双、单、三等(见图1a、8和12)基片
站模块的组合联接到传递室125的情况下使用。例如，参照图19和32，基片传送设备130包括一个双(并排)基片保持器1900，其以类似于上文所述的方式可旋转地联接到臂131。在该方面，臂131和基片保持器1900可由三轴线驱动区段220a(图3a)驱动旋转和/或延伸(例如，沿径向和/或非径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，且一个驱动轴线使基片保持器1900围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器1900中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到三轴线驱动区段220a(图3a)。这里，基片保持器1900包括(即，共用于)基本类似于上文所述那些的两个并排基片保持站1900h1,1900h2。并排基片保持站1900h1,1900h2之间的距离可与并排基片处理站190-197(图1a)之间的节距d基本相同。基片保持器1900具有第一端1900e1、第二端1900e2，且在第一端1900e1与第二端1900e2之间是基本刚性的非铰接连杆。基片保持器1900在第一端1900e1与第二端1900e2之间的位置处围绕腕部轴线wx可旋转地联接到前臂202。如上文所述，基片保持站1900h1,1900h2设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持器1900可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220a沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。
[0097]
参照图20，基片传送设备130基本类似于上文关于图19所述的；然而，在该方面，基片传送设备130包括可围绕腕部轴线wx可旋转地联接到臂131的两个基片保持器1900a和1900b。基片保持器1900a,1900b中的每个基本类似于基片保持器1900。这里，臂131和基片保持器1900a,1900b由例如四轴线驱动区段220(图3)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器1900a围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器1900b围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器1900a,1900b中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。在该方面，基片保持器1900a包括基片保持站1900h1,1900h2，且基片保持器1900b包括基片保持站1900h3,1900h4。以类似于上文所述的方式，基片保持站1900h1,1900h2,1900h3,1900h4设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持器1900a,1900b可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。臂131和/或基片保持器1900a,1900b也可以与基本类似于本文中所述的方式受驱动来旋转，以快速交换基片保持器1900a,1900b(以及由此拾取或放置的基片)。
[0098]
参照图21，基片传送设备130基本类似于上文关于图19所述的；然而，在该方面，基片传送设备130包括可围绕腕部轴线wx可旋转地联接到臂131的两个单侧基片保持器2100a和2100b。基片保持器2100a,2100b中的每个具有围绕腕部轴线联接到前臂202的相应第一端2100ae1,2100be1，以及相应的基片保持站2100h1,2100h2所处的相应的第二端2100ae2,2100be2。这里，臂131和基片保持器2100a,2100b由例如四轴线驱动区段220(图3)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100a围
绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2100b围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。在该方面，基片保持器2100a包括基片保持站2100h1，且基片保持器2100b包括基片保持站2100h2。以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。
[0099]
基片保持器2100a,2100b可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2100a,2100b围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。
[0100]
参照图22，基片传送设备130包括基片保持器2200，基片保持器以类似于上文所述的方式可旋转地联接到臂131。在该方面，臂131和基片保持器2200可由三轴线驱动区段220a(图3a)驱动旋转和/或延伸(例如，沿径向和/或非径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2200围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器2200中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到三轴线驱动区段220a(图3a)。这里，基片保持器2200包括(即，共用于)两个并排基片保持站2200h1,2200h2和一个相对的基片保持站2200h3，它们基本类似于上文所述的，且基片保持器2200是基片保持站2200h1,2200h2,2200h3之间的基本刚性的非铰接连杆。两个并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离可与并排基片处理站190-197(图1a)之间的节距d基本相同。
[0101]
并排基片保持站2100h1,2100h2提供用于基本同时从并排基片处理站190-197(图1)拾取基片s和将基片s放置到并排基片处理站，而相对的基片保持站2200h3以基本类似于上文关于图8和9所述的方式提供用于单个基片拾取和放置到单个基片处理站(其可为并排基片处理站190-197(图1a)或基片处理站150s(图8)中的一个)。基片保持器2200在基片保持站2200h1,2200h2,2200h3之间的位置处围绕腕部轴线wx可旋转地联接到前臂202。在一个方面，三个基片保持站2200h1,2200h2,2200h3以基本类似于上文关于图2d、10和11所述的方式设置在共同平面499中；而在其它方面，一个或多个基片保持站2200h1,2200h2,2200h3可设置在不同的堆叠平面中。基片保持器2200可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220a沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以利用并排基片保持站2200h1,2200h2沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块150，或利用基片保持站2200h3从基片站模块150,150s失去基片和/或将基片放置到基片站模块。在一个方面，臂131和/或端部执行器2200也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2200h3和并排基片保持站2200h1,2200h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站2200h1,2200h2拾取，且基片由相对基片保持站2200h3放置在基片刚刚由并排基片保持站2200h1,2200h2拾取的位置中的一个中。
[0102]
参照图23，基片传送设备130包括基片保持器1900,2300，基片保持器以类似于上
文所述的方式可旋转地联接到臂131。在该方面，臂131和基片保持器1900,2300可由四轴线驱动区段220(图3)驱动来旋转和/或延伸(例如，沿径向和/或非径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器1900围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2300围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器1900,22300中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。这里，如上文所述，基片保持器1900包括两个并排基片保持站1900h1,1900h2。基片保持器2300是具有单个基片保持站2300h1的相对基片保持器(即，以基本类似于上文关于图8、9和22所述的方式与基片保持器1900相对)。基片保持站2300h1基本类似于上文所述的那些。基片保持器2300具有在腕部轴线wx处联接到前臂202的第一(或近)端和设置基片保持站2300h1的相对(或远)端。基片保持器2300是近端和远端之间的基本刚性的非铰接连杆。如上文所述，两个并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离可与并排基片处理站190-197(图1a)之间的节距d基本相同。
[0103]
如上文所述，并排基片保持站1900h1,1900h2提供用于基本同时从并排基片处理站190-197(图1)拾取基片s和将基片s放置到并排基片处理站，而相对的基片保持站2200h1以基本类似于上文关于图8和9所述的方式提供用于单个基片拾取和放置到单个基片处理站(其可为并排基片处理站190-197(图1a)或基片处理站150s(图8)中的一个)。
[0104]
基片保持器2300的独立旋转提供用于在拾取/放置操作期间由基片保持站2300h1保持的基片的自动晶片定心(如本文中所述)。基片保持器1900,2300的独立旋转还可提供用于基片传送设备130的基片保持器与传递室125a的(例如，内部侧壁125w的)形状的一致性。例如，还参照图23a，基片保持器1900,2300可由驱动区段220旋转，使得单个基片保持器2300随着臂延伸移动来旋转，以便延伸到基片处理站150中，同时旋转基片保持器1900以保持基片保持器1900与传递室125a的壁125w之间的间隙。尽管在图23a中示出六侧传递室125a，但在其它方面，传递室可具有任何合适数量的侧部，且基片保持器1900,2300可以任何合适的方式由驱动区段旋转以符合传递室壁的形状。
[0105]
在一个方面，三个基片保持站1900h1,1900h2,2300h3以基本类似于上文关于图2d、10和11所述的方式设置在共同平面499中；而在其它方面，一个或多个基片保持站1900h1,1900h2,2300h3可设置在不同的堆叠平面中。基片保持器1900,2300可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以利用并排基片保持站1900h1,1900h2沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块150，或利用基片保持站2200h1从基片站模块150,150s拾取基片和/或将基片放置到基片站模块。在一个方面，臂131和/或端部执行器2200也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2300h1和并排基片保持站1900h1,1900h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站1900h1,1900h2拾取，且基片由相对基片保持站2300h1放置在基片刚刚由并排基片保持站1900h1,1900h2拾取的位置中的一个中。
[0106]
参照图24，基片传送设备130基本类似于上文关于图2a-2d所述的；然而，在该方面，基片保持器2403,2404具有“s”形构造且彼此交叉。例如，基片保持器2403具有第一部分2403a；具有与第一部分2403a的纵向轴线基本正交的纵向轴线的第二部分2403b；以及具有
与第一部分2403a的纵向轴线基本平行设置的纵向轴线以便形成基本“s”形的基片保持器的第三部分。第一部分的前端形成基片保持器2403的第一端2403e1，且第三部分2403c的前端形成基片保持器2403的第二端2403e2。第二部分2403b围绕腕部轴线wx联接到前臂202，其中基片保持器2403是第一端2403e1与第二端2403e2之间的基本刚性的非铰接连杆。基片保持器2404的构造与基片保持器2403基本相似，但在手性相反。
[0107]
这里，臂131和基片保持器2403,2404由例如四轴驱动区段220(图3)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2403围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2404围绕腕部轴线wx旋转。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到四轴线驱动区段220(图3)。在该方面，基片保持器2403包括基片保持站2403h1,2403h2，且基片保持器2404包括基片保持站2404h1,2404h2。以类似于上文所述的方式，基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2403,2404围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。在一个方面，臂131和/或端部执行器2403,2404也可以类似于上文关于图7a所述的方式受驱动旋转以快速交换基片(以基本类似于本文中所述的方式)。
[0108]
参照图25，基片传送设备130基本类似于上文关于图21所述的；然而，在该实施例中，基片传送设备还包括类似于上文关于图23所述的相对基片保持器2300。这里，臂131和基片保持器2100a,2100b,2300由例如五轴驱动区段220c(图3c)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100a围绕腕部轴线wx旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100b围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2300围绕腕部轴线wx。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b,2300中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的那样的线缆和滑轮传动机构)联接到五轴线驱动区段220c(图3c)。在该方面，基片保持器2100a包括基片保持站2100h1，基片保持器2100b包括基片保持站2100h2，且基片保持器2300包括基片保持站2300h1。以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2,2300h1设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上。基片保持器2100h1,2100h2,2300h1可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220c沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。
[0109]
注意，基片保持器2403,2404围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见
图1a)来提供用于自动晶片定心以用于并排基片站模块150中的基片s的拾取/放置。还要注意，相对的基片保持站2200h1以基本类似于上文关于图8和9所述的方式提供用于单个基片拾取和放置到单个基片处理站(其可为并排基片处理站190-197(图1a)或基片处理站150s(图8)中的一个)。基片保持器2300的独立旋转提供用于在拾取/放置操作期间由基片保持站2300h1保持的基片的进一步自动晶片定心(如本文中所述)。在一个方面，臂131和/或端部执行器2100a,2100b,2300也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2300h1和并排基片保持站2100h1,2100h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取，且基片由相对基片保持站2300h1放置在基片刚刚由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取的位置中的一个中。
[0110]
在一个方面，基片保持器2100a,2100b,2300的独立旋转还可以类似于上文关于图23a所述的方式提供用于基片传送设备130的基片保持器与传递室125a的(例如，内部壁125w的)形状的一致性。然而，在该方面，基片保持器2100a,2100b中的一个或多个可由驱动区段220c旋转以保持相应基片保持器2100a,2100b与传递室125a的壁125w之间的间隙。
[0111]
参照图26a、26b、26c和26d，基片传送设备130基本类似于上文关于图24所述的；然而，在该方面，基片保持器2403,2404中的至少一个沿z方向移动，使得基片保持器2403,2404(和相应的基片保持站2403h1,2404h1,2403h2,3404h2)越过彼此。例如，腕部z驱动器2660(除了或代替z驱动器312——见图3-3c)设在前臂202中或联接到前臂。腕部z驱动器2660配置为将基片保持器2403,2404中的一个或多个相对于基片保持器2403,2404中的另一个沿z方向移动。在图26c所示的示例中，腕部z驱动器2660配置为使基片保持器2403相对于基片保持器2404和前臂202沿z方向移动；然而，在其它方面，两个基片保持器都可相对于前臂202和/或彼此沿z方向移动。腕部z驱动器2660可具有用于实现z移动的任何合适的构造，包括但不限于线性致动器、起重螺杆和磁悬浮升降机中的一种或多种。在该方面，滑轮476联接到轴476s，其中轴476s包括外轴部分476b和内轴部分476a。内轴部分476a和外轴部分476b构造成使得内轴部分476a相对于外轴部分476b沿z方向移动，同时与外轴部分476b作为一个单元旋转。例如，内轴部分476a包括内部花键，且外轴部分476b包括构造成与内部花键配合的外部花键。尽管提供腕部z驱动器2660和轴276s的示例性构造，但在其它方面，腕部z驱动器2660和轴276s可具有实现基片保持器2403的z轴线移动的任何合适的构造。
[0112]
腕部z驱动器2660配置为升高和降低基片保持器2403，使得以类似于上述方式的方式，基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2设置在如图26c中所示的共同平面上(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)，以用于拾取/放置基片到并排基片站模块150。如上文所述，基片保持站2403h1,2403h2,2404h1,2404h2可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2403,2404围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。在一个方面，臂131和/或端部执行器2403,2404也可以类似于上文关于图7a所述的方式受驱动旋转以快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)。
[0113]
腕部z驱动器2660还配置为升高和降低基片保持器2403，使得基片保持器24033的
基片保持站2403h1,2403h3设置在与基片保持器2404的基片保持站2404h1,2404h2不同的平面中，如图26d中可见。这里，基片保持站2403h1,2403h2设置在平面499a中，而基片保持站2404h1,2404h2设置在平面499中。平面499,499a可分开上述距离或高度h10。如图26b中所示，在基片保持器2403,2404位于不同的平面499,499a中的情况下，基片保持器2403,2404可围绕腕部轴线wx相对于彼此旋转，使得由基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)中的每个保持的基片s的中心c沿z方向与彼此基本一致。
[0114]
还参照图1c，基片保持器2403,2404可围绕腕部轴线独立地旋转，且基片保持器2403,2404中的一个或多个可由腕部z驱动器2660沿z方向移动以实现从各种堆叠和/或并排基片保持位置拾取基片。例如，在一个方面，基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)沿共同平面设置，如用于从并排加载锁102a,102b或并排加载锁102c,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。在一个方面，基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)在堆叠平面设置成一个在另一个上方(见如上文所述的图26b)如用于从堆叠的加载锁102a,102c或从堆叠的加载锁102b,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。在还其它的方面，基片保持站2403h1,2404h1(或2403h2,2404h2)设置在不同的平面中且水平偏移，如用于从堆叠和水平偏移的加载锁102a,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。
[0115]
参照图27a、27b和27c，基片传送设备130基本类似于上文关于图25所述的那些；然而，在该方面，基片保持器2100a,2100b,2300中的至少一个沿z方向移动，使得基片保持器2100a,2100b,2300(和相应的基片保持站2100h1,2100h2,2300h1)越过彼此。例如，腕部z驱动器2660(除了或代替z驱动器312——见图3-3c)设在前臂202中或联接到前臂。腕部z驱动器2660配置为使一个或多个基片保持器2100a,2100b,2300相对于其它基片保持器2100a,2100b,2300沿z方向移动。在图27c所示的示例中，腕部z驱动器2660配置为使基片保持器2100b相对于基片保持器2100a,2300和前臂202沿z方向移动；然而，在其它方面，基片保持器2100a,2100b或所有三个基片保持器2100a,2100b,2300都可相对于前臂202和/或彼此沿z方向移动。注意，滑轮2770、轴2770s和传动机构部件2791示为用于驱动基片保持器2100a围绕腕部轴线wx旋转，其中滑轮2770通过类似于图4中所示和上文所述的传动机构联接到驱动区段220c。
[0116]
腕部z驱动器2660配置为升高和降低基片保持器2100b，使得以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2,2300h1设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上，以用于如上文关于图8、9和25所述那样拾取/放置基片。腕部z驱动器2660还配置为升高和降低基片保持器2100b，使得基片保持器2100b的基片保持站2100h2设置在与基片保持器2100a,2300的基片保持站2100h1,2300h1不同的平面中，如图26c中可见。这里，基片保持站2100h2设置在平面499a中，而基片保持站2100h1,2300h1设置在平面499中。平面499,499a可分开上述距离或高度h10。如图27b中所示，在基片保持器2100a,2100b位于不同平面499,499a中的情况下，基片保持器2100a,2100b可围绕腕部轴线wx相对于彼此旋转，使得由基片保持站21000h1,2100h2中的每个保持的基片s的中心c沿z方向与彼此基本一致。
[0117]
如上文所述，基片保持器2100a,2100b,2300可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基
本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2100a,2100b围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。如上文所述，基片保持器2300的独立旋转还提供用于在拾取/放置操作期间由基片保持站2300h1保持的基片的自动晶片定心。如上文还描述的，在一个方面，臂131和/或端部执行器2200也可受驱动来旋转以使用相对的基片保持站2300h1和并排基片保持站2100h1,2100h2中的一个快速交换(以基本类似于本文中所述的方式)基片，如其中基片由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取，且基片由相对基片保持站2300h1放置在基片刚刚由并排基片保持站2100h1,2100h2拾取的位置中的一个中。
[0118]
还参照图1c，基片保持器2100a,2100b可围绕腕部轴线独立地旋转，且基片保持器2100a,2100b中的一个或多个可由腕部z驱动器2660沿z方向移动以实现从各种堆叠和/或并排基片保持位置拾取基片。例如，在一个方面，基片保持站2100h1,2100h2沿共同平面设置，如用于从并排加载锁102a,102b或并排加载锁102c,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。在一个方面，基片保持站2100h1,2100h2在堆叠平面设置成一个在另一个上方(见如上文所述的图27b、27c)，如用于从堆叠的加载锁102a,102c或从堆叠的加载锁102b,102d(或其它基片保持位置)基本同时拾取/放置基片。
[0119]
应理解，尽管关于图26a-26d和27a-27c示出和描述腕部z驱动器2660，但在其它方面，如本文中所述，腕部z驱动器可以基本类似于图26c、26d和27d中所示的方式结合到其中使用多于一个的基片保持器的本文中所述的任何臂构造中，使得基片可在共同平面中传递到并排基片站模块150，或在堆叠平面中传递到堆叠的基片站模块150(见图1c)。
[0120]
在一个方面，类似于上文关于图23和25所述，基片保持器2100a,2100b,2300的独立旋转还可以类似于上文关于图23a所述的方式提供用于基片传送设备130的基片保持器与传递室125a的(例如，内部壁125w的)形状的一致性。然而，在该方面，一个或多个基片保持器2100a,2100b可由驱动区段220c旋转以保持各个基片保持器2100a,2100b与传递室125a的壁125w之间的间隙。例如，还参照图29以及图23、23a和25，基片传送设备130可如图23a中所示定位，使得基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b)的基片保持站对准以用于从基片处理站2333a,2333b中的相应一个中拾取/放置基片。传送臂131延伸(图29，框2900)。在一个方面(如利用可独立地旋转的基片保持器2100a,2100b)，以类似于本文中所述的方式提供独立自动晶片定心(图29，框2910)，使得基片保持器2100a,2100b的基片保持站在待拾取的基片下方居中，或待放置的基片在基片处理站2333a,2333b处居中。基片由基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b)同时从基片处理站2333a,2333b拾取或放置到基片处理站(图29，框2920)。基片传送臂131缩回，且基片传送臂131和/或基片保持器1900(或2100a,2100b)和基片保持器2300旋转(图29，框2930)，以便(单个)基片保持器2300与例如基片处理站2333b对准。传送臂131延伸(图29，框2940)，且可提供自动晶片定心(图29，框2950)，以利用基片保持器2300拾取或放置基片。如图23a中可见，为了将单个基片保持器2300延伸到基片处理站2333b中，基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b中的一个或多个)(例如，并排基片保持站)旋转(图29，框2960)，以在基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b中的一个或多个)与传递室125的内部侧壁125w之间提供间隙，以实现基片保
持器2300延伸到基片保持站2333b中。在基片保持器1900(或基片保持器2100a,2100b中的一个或多个)旋转以提供上述间隙的情况下，利用单个基片保持器2300从基片处理站2333b失去基片或将基片放置到基片处理站2333b。(图29，框2970)。
[0121]
参照图28，基片传送设备130基本类似于上文关于图21所述的；然而，在该方面，基片传送设备130包括两个相对的单侧基片保持器2100c和2100d，其可相对于基片保持器2100a,2100b成相对关系围绕腕部轴线wx可旋转地联接到臂131。基片保持器2100c,2100d基本类似于基片保持器2100a,2100b，且包括相应的基片保持站2100h3,2100h4。这里，臂131和基片保持器2100a,2100b,2100c,2100d由例如六轴线驱动区段220b(图3b)驱动旋转和/或延伸(沿非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一个驱动轴线使上臂201围绕肩部轴线sx旋转，一个驱动轴线使前臂202围绕肘部轴线ex旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100a围绕腕部轴线wx旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100b围绕腕部轴线wx旋转，一个驱动轴线使基片保持器2100c围绕腕部轴线wx旋转，且一个驱动轴线使基片保持器2100d围绕腕部轴线wx。上臂201、前臂202和基片保持器2100a,2100b,2100c,2100d中的每个可由任何合适的传动机构(如由基本类似于上文关于图4所述的线缆和滑轮传动机构)联接到六轴线驱动区段220b(图3b)。在该方面，基片保持器2100a包括基片保持站2100h1，基片保持器2100b包括基片保持站2100h2，基片保持器2100c包括基片保持站2100h3，且基片保持器2100d包括基片保持站2100h4。以类似于上文所述的方式，基片保持站2100h1,2100h2,2100h3,2100h4设置在共同平面(基本类似于上文关于图2d、10和11所述的平面499)上；而在其它方面，基片保持站中的一个或多个可由腕部z驱动器以类似于上文所述的方式沿z方向移动。
[0122]
基片保持器2100a,2100b,2100c,2100d可以基本类似于本文中所述的方式由传送臂131和驱动区段220b沿非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以沿共同平面499基本同时拾取和/或放置基片到并排基片站模块。注意，基片保持器2100a,2100b和/或基片保持器2100c,2100d围绕腕部轴线wx的独立旋转通过改变基本节距bp(例如，可以类似于图2b和2c中所示的方式增加或减小并排基片保持站2100h1,2100h2或2100h3,2100h4之间的距离)以适应节距d的变化和/或实现自动晶片定心以将晶片放置在基片处理站190-197(见图1a)来提供用于自动晶片定心。在一个方面，臂131和/或端部执行器2403,2404也可以类似于上文关于图7a所述的方式受驱动旋转以快速交换基片(以基本类似于本文中所述的方式)。
[0123]
参照图19、20、22和23，在一个方面，多于一个的并列的(例如，并排的)基片保持站从属于共同端部执行器连杆(例如，基片保持器)，其是在多于一个的并列的基片保持站之间的基本刚性的非铰接连接。
[0124]
参照图2a-2d、8-9、20、21、23、24、25、26a-26d、27a-27c和28，至少一个端部执行器连杆(例如，基片保持器)包括多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)，其连结到前臂202的远端202e2以相对于前臂202围绕共同旋转轴(例如，腕部轴线wx)旋转，且多于一个的端部执行器连杆(例如，基片保持器)中的每个具有从属于其的多于一个的并列(例如，并排)的基片保持站中的至少一个对应的基片保持站。
[0125]
参照图2a-2d、8、9、21、24、25、26a-26d、27a-27c和28，至少一个端部执行器连杆(例如，基片保持器)包括多于一个的端部执行器连杆，其连结到前臂202的远端202e2以相对于前臂202围绕共同旋转轴(例如，腕部轴线wx)旋转，其中，驱动区段220,220a,220b,
220c配置为使得多于一个的端部执行器连杆中的每个分别独立于多于一个的端部执行器连杆中的另一个围绕共同旋转轴线旋转，且多于一个的端部执行器连杆中的每相应一个具有从属于其的多于一个的并列(例如，并排)的基片保持站中的至少一个对应的基片保持站。
[0126]
参照图23、23a、25和27a-27c，在一个方面，多连杆臂131具有可旋转地连结到前臂202的一端处的接头(例如，腕部接头/轴线wx)的至少一个基片保持器(例如，端部执行器连杆)1900,2100a,2100b,2300，使得至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300相对于前臂202围绕腕部接头/轴线wx处的共同旋转轴线旋转。至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300具有多于一个的基片保持站1900h1,1900h2,2100h1,2100h2,2300h1，这些基片保持站从属于基片保持器，且相对于彼此设置在共同平面(例如，平面499——例如见图2d和4)中，且配置成使得至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300围绕腕部旋转轴线wx的旋转使多于一个的基片保持站1900h1,1900h2,2100h1,2100h2,2300h1中的每个围绕腕部轴线wx旋转。这里，驱动区段220,220c配置为至少使多连杆臂131相对于肩部轴线sx(固定位置)沿径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此多于一个的基片保持站中的至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2各自随着臂131的延伸和缩回而沿径向或非径向路径线性地穿过，且基本同时穿过共同水平上的多于一个的并列的基片传送开口中的单独对应开口(例如，见图1b和1c)，且因此与两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h2,2100h2中的每个不同的多于一个的基片保持站2300h1中的至少另一个可独立于至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2围绕腕部轴线wx旋转。
[0127]
仍参照图23、23a、25和27a-27c，至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2和至少另一个基片保持站2300h1设置在至少一个基片上保持器1900,2100a,2100b,2300上，使得至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2和至少另一个基片保持站2300h1布置在腕部轴线wx的相对侧上。在一个方面，如图23a中可见，至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2或2100h1,2100h2和至少另一个基片保持站2300h1设置在至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300上，以随臂131沿径向或非径向路径延伸和缩回而围绕腕部轴线wx旋转，以可选择地使至少一个基片保持器的位置符合不同于侧壁125w(传送室的开口位于其上且至少一个基片保持器1900,2100a,2100b,2300的多于一个的基片保持站1900h1,1900h2,2100h1,2100h2,2300h1中的至少一个随着臂的延伸和缩回而穿过其)的传送室125的另一侧壁125w。
[0128]
参照图23，至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2设置在至少一个基片保持器1900上，该至少一个基片保持器可操作地连接到驱动区段220且布置成使得至少一个基片保持器1900使至少两个并列的基片保持站1900h1,1900h2围绕腕部旋转轴线wx以共同的独立自由度旋转。
[0129]
参照图25和27a-27c，至少两个并列的基片保持站2100h1,2100h2设置在至少一个基片保持器2100a,2100b上，该至少一个基片保持器可操作地连接到驱动区段220c且布置成使得至少一个基片保持器2100a,2100b使至少两个并列的基片保持站2100h1,2100h2中的每个围绕腕部旋转轴线wx以不同的相应独立自由度旋转，使得至少两个并列的基片保持站2100h1,2100h2中的每个围绕腕部旋转轴线wx相对于彼此独立地旋转。
[0130]
参照图26a-26d和27a-27c，在一个方面，多连杆臂131具有至少一个基片保持器
2403,2404或2100a,2100b，该基片保持器在前臂202的一端处可旋转地连结到接头(例如，腕部轴线wx)，使得至少一个基片保持器2403,2404或2100a,2100b相对于前臂202围绕腕部轴线wx处的共同旋转轴旋转，至少一个基片保持器2403,2404或2100a,2100b具有多于一个的基片保持站3403h1,3403h2,3404h1,2404h2,2100h1,2100h2，这些基片保持站从属于基片保持器，沿不同平面499,499a(图26d,27c)并列，相对于彼此在高度上偏移，且配置成使得至少一个基片保持器2403,2404或2100a,2100b围绕腕部旋转轴线wx旋转使多于一个的基片保持站3403h1,3403h2,3404h1,2404h2,2100h1,2100h2中的每个围绕腕部旋转轴线wx旋转。驱动区段220,220c配置为至少使多连杆臂131相对于肩部轴线sx(例如，固定位置)沿径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此多于一个的基片保持站3403h1,3403h2,3404h1,2404h2,2100h1,2100h2中的至少两个并列基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2100h1,2100h2各自随着臂的延伸和缩回，沿径向或非径向路径线性地移动，且各自可围绕腕部旋转轴线wx彼此独立地旋转，以便分别穿过共同平面(或水平)499上的多于一个的并列基片传送开口的相应(或在其它方面为共同)开口(见图1b和1c)，且与两个并列的基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2100h1,2100h2中的每个不同的多于一个的基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2300h1中的至少另一个基本与至少两个并排基片保持站2403h1,2404h1或2403h2,2404h2或2100h1,2100h2中的每个相对设置在至少一个基片保持器2403,2404,2300上。这里，驱动区段220,220c包括腕部z驱动器2660，其配置为使至少一个端部执行器连杆的多于一个的基片保持站在高度上相对于彼此移动，以便将共同水平上的多于一个的基片保持站彼此并列放置。
[0131]
如上文所述，基片传送设备130(具有任何合适的端部执行器，如本文中所述的那些)可安装在吊杆臂上。出于示例性目的，图15示出安装到两连杆吊杆臂1500的臂131。两连杆吊杆臂1500包括上连杆1501和前臂连杆1502。上连杆1501的第一端可围绕吊杆肩部轴线bsx旋转地联接到驱动区段(如本文中所述的驱动区段220)。前臂连杆1502的第一端围绕吊杆肘部轴线bex可旋转地联接到上连杆1501的第二端。臂131围绕臂肩部轴线sx可旋转地联接到前臂连杆1502的第二端。上连杆1501和前臂连杆1502中的每个在相应端之间是基本刚性且非铰接的。在另一方面，图16示出安装到单连杆吊杆臂1600的臂131。单连杆吊杆臂1600包括吊杆连杆1601。吊杆连杆1601的第一端可围绕吊杆肩部轴线bsx旋转地联接到驱动区段(如本文中所述的驱动区段220)。臂131围绕臂肩部轴线sx可旋转地联接到吊杆连杆1601的第二端。吊杆连杆1601在吊杆连杆1601的两端之间是基本刚性且非铰接的。尽管示出单连杆吊杆臂1600和双连杆吊杆臂1500，但应理解，吊杆臂可具有任何合适数量的连杆。
[0132]
还参照图3，为了使吊杆臂1500,1600旋转，驱动区段220,220a,220b,220c可包括至少一个吊杆臂驱动轴线(或马达)390,391。例如，可在例如采用单连杆吊杆臂1600的情况下提供单个吊杆臂驱动轴线390。在双连杆吊杆臂1500的前臂连杆1502围绕吊杆肘部轴线bex的旋转从属于例如壳体310的情况下，也可提供单个吊杆臂驱动轴线390。在其它方面，在两连杆吊杆臂1500的上连杆1501和前臂连杆1502围绕相应的吊杆肩部轴线bsx和吊杆肘部轴线bex独立地旋转的情况下，可提供两个吊杆臂驱动轴线390,391。吊杆臂驱动轴线390,391可与马达342,344,346,348同轴布置；而在其它方面，吊杆臂驱动轴线390,391可具有任何合适的构造，如并排马达构造；而在还其它的方面，吊杆臂驱动轴线390,391可布置在吊杆臂肩部轴线bex处，而驱动马达342,344,346,348布置在臂131的肩部轴线sx处。提供
任何合适的传动机构(例如，其在一个方面基本类似于图4-6b中所示的线缆和滑轮传动机构)以将吊杆臂1500,1600的连杆联接到驱动轴线390,391。
[0133]
参照图18a和18b，由本公开内容的方面提供的自动晶片定心可提供用于双基片s的基本同时放置(或拾取)，而不管双基片s中的每个与相应的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2之间的相对偏心性如何。例如，在基片保持站203h1,204h1处于基本节距bp的情况下，自动晶片定心可确定基片s1的偏心性ec2比基片保持站203h1的中心203h1c更靠近肩部轴线sx，且基片s2的偏心性ec1例如是向基片保持站204h1的中心204h1c的右侧(注意方向用语“右”在这里仅为了便于解释)。因此，为了将基片s1,s2放置在例如基片处理站190,191处，每个基片s1,s2的位置不仅经由自动晶片定心相对于基片处理站190,191之间的距离d独立地调整，而且在延伸/缩回方向17700独立地调整，以适应偏心性ec1,ec2。例如，基片保持器203,204各自围绕腕部轴线wx(其中腕部轴线沿径向延伸轴线700(见图7b)或非径向延伸路径701(见图7f)定位)独立地旋转，以在相应基片处理站190,191处实现基片s1,s2的独立自动晶片定心。类似地，参照图18c，自动晶片定心也可实现基片在基片处理站190,191处的放置，所述基片处理站具有距例如基片传送设备130的肩部轴线sx不同的径向距离17020,17021，其中每个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2围绕腕部轴线的独立旋转和/或腕部轴线的放置实现并排基片保持站203h1-204h1,203h2,204h2中的一个相对于并排基片保持站203h1-204h1,203h2,204h2中的另一个的增加的延伸距离(相对于肩部轴线)。
[0134]
参照图2a-2d、7a-7l和15，将描述利用基片传送设备130传送基片的示例性方法。在所述的示例中，基片处理设备100包括传递室125a，该传递室具有六个侧部，但在其它方面基本类似于上文关于图1所述的；然而，在其它方面，传递室可具有任何合适数量的侧部，其中并排基片站模块以类似于图1a、7a、8、12、15和16中所示的方式联接到传递室的相应侧部。此外，在所述的示例中，臂131包括双基片保持器203,204，其中每个具有位于相应基片保持器203,204的相对端处的基片保持器203h1,203h2,204h1,204h2；然而，应理解，本文中所述的方法同样适用于臂131以及在图8-16中示出和描述的本公开内容的方面。
[0135]
如下文将描述的，控制器110可操作地联接到驱动区段220，且配置为延伸臂131以通过传送室壁125w中的相应单独开口(见槽阀sv)，利用双基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站(例如，基片保持站203h1,204h1或203h2,204h2)基本同时拾取或放置两个第一基片(例如，见基片s1,s2)。如下文还将描述的，控制器110配置为通过传递室壁125w中的相应单独开口，利用保持在双基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站(例如，基片保持站203h1,204h1或203h2,204h2)上的至少一个第二基片(例如，见基片s3,4)来基本同时快速交换双第一基片，其中双第一基片s1,s2同时保持在双基片保持器203,204的对应至少一个基片保持站(例如，基片保持站203h1,204h1或203h2,204h2)上。在一些方面，在控制器110的控制下，驱动区段配置为将对应的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2中的至少一个相对于基片保持器中的另一个独立地对准。
[0136]
根据本公开内容的方面，具有至少一个端部执行器(和/或本文中所述的其它臂构造)的双连杆scara实现围绕肩部轴线sx(见，例如，图1a和7a)的大于或约360
°
的scara臂旋转θ(图17，框1700)，其中臂131和其上的端部执行器203,204(即在/从双scara臂的任何角度θ位置/方向)在传递室的整个内部空间中延伸和缩回(图17，框1710)。具有如本文中所述
的至少一个端部执行器(和/或如本文中所述的其它臂构造)的双连杆scara在每个端部执行器处提供用于独立自动晶片定心，这与如下文所述的臂131和端部执行器203,204的延伸一致(图17，框1720)。如本文中还描述的，具有至少一个端部执行器的双连杆scara提供用于双“快速交换”而无需z轴线移动(如本文中所述，在一个方面，其中端部执行器203,204的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在共同平面499上(例如见图2d和11)，且在其它方面，其中端部执行器203,204的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在不同平面499,499a上(例如见图10))(图7，框1730)，其中端部执行器203,204具有并排基片保持站，且端部执行器203,204中的至少一个是双侧端部执行器(例如，具有位于端部执行器的相对纵向间隔的端部处的至少一个基片保持站)。
[0137]
在示例性方法中，提供本文中所述的基片传送设备130(图14，框1401)。还可提供控制器110(图14，框1420)，且其连接到基片传送设备130。控制器配置为延伸基片传送设备130的至少一个臂131，使得基片保持器203,204(且在图13的情况下，基片保持器205)延伸通过传送室125的侧壁125w,125a。例如，图7a示出基片传送设备130的臂131相对于肩部轴线sx处于原位或缩回构造。在该示例中，缩回构造是其中臂连杆201,202一个位于另一个上方且与彼此基本对准；而在其它方面，缩回构造是腕部轴线wx基本设置在肩部轴线sx上方的位置，如当上连杆201和前臂连杆202从接头中心到接头中心具有基本相同的长度时。控制器110配置为实现驱动区段220的运动，以实现每个基片的独立自动晶片定心，其中基片保持站203h2,204h2的基本节距bp增加(图2b)或减小(图2c)以实现自动晶片定心(在该情况下，基片s3,s4在相应基片保持站203h2,204h2上定心)，使得基片保持站203h2,204h2之间的距离与基片处理站196,197之间的节距基本匹配。如上文所述，自动晶片定心可沿多于一个的轴线(例如，沿对应于基片处理站之间的间隔的轴线和沿对应于基片保持器的延伸方向的轴线)实现。控制器110还配置为实现驱动区段220的运动，使得腕部轴线wx在一个方面沿径向方向700移动，且基片保持站203h2,204h2通过传送室的壁125w中的开口125a延伸到加载锁102a,102b中(见图7b和7c)。
[0138]
在一个方面，控制器110可实现z轴线驱动器312的致动以提升基片保持站203h2,204h2(而在其它方面，z运动可至少部分地由基片处理站196,197提供)，以用于从加载锁102a,102b的基片处理站196,197基本同时拾取双基片s3,s4。在基片s3,s4保持在基片保持站203h2,204h2上的情况下，控制器110实现驱动区段220运动以将臂131缩回至例如缩回构造，使得将基片s3,s4从加载锁102a,102b移除(见图7d)。臂131沿方向777旋转，以便将基片保持站203h1,204h1定位在另一组双基片s1,s2将从其拾取的任何合适的基片处理站(如处理站188,189)附近。
[0139]
以类似于上文所述的方式，控制器110配置为实现驱动区段220的运动以延伸臂131(图14，框1410)，且使得基片保持站203h1的基本节距bp,204h1增加(图2b)或减少(图2c)以实现自动晶片定心(图14，框1430——在该情况下，基片s1,s2在相应的基片保持站203h1,204h1上定心)，使得基片保持站203h1,204h1之间的距离基本匹配基片处理站188,189之间的节距(见图7e)。注意，自动晶片定心(例如，增加或减小基本节距bp)可与臂延伸/缩回基本同时执行，或在臂131延伸之前臂131基本处于缩回构造的情况下执行。为了从基片处理站188,189拾取/放置基片，控制器110配置为实现驱动区段220的运动，使得腕部轴线wx以非径向延伸移动，其中腕部轴线wx的移动在一个方面沿路径701(图7f)行进，该路径
与径向延伸/缩回的轴线偏离和/或成角度(即，路径701不穿过肩部轴线sx或从肩部轴线sx辐射)。腕部wx沿路径701的移动使基片保持站203h1,204h1，通过传送室125a的壁125w中的开口，延伸到基片处理站188,189中。
[0140]
在一个方面，控制器110可实现z轴线驱动器312的致动以提升基片保持站203h1,204h1(而在其它方面，z运动可至少部分地由基片处理站提供188,189)，以用于从并排基片站模块150的基片处理站188,189同时拾取双基片s1,s2(图14，框1440)。在基片s1,s41保持在基片保持站203h1,204h1上的情况下，控制器110实现驱动区段220运动以将臂131缩回至例如缩回构造，使得基片s1,s2从并排基片站模块150移除(见图7g)。基片保持站203h1,204h1的基本节距bp可在臂131从基片处理站188,189缩回期间(基本同时)恢复，或在臂基本处于缩回构造(见图7g)的情况下恢复。
[0141]
在一个方面，以上文描述的方式实现基片s1,s2与基片s3,s4的快速交换(图14，框1450)，其中基片保持器平面(如本文中所述，且不论双侧基片保持器的基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2是否形成一个或多个平面)的每个平面499,499a(见图2d、10和11)与共同传送室中的传送开口的至少一个平面(见图1b和1c)对应且对准，以用于在传送开口平面的给定z位置处传递，使得基片通过每个平面上的每个相应开口的传递通过每个双端基片保持器203,204的至少一个基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2实现，基本没有z轴线移动，即，延伸到基片处理站(对于每个平面)中，其中基片保持站203h1,203h2,204h1,204h2在基片保持器203,204的一端处，在基片处理站处拾取和/或放置基片，从基片处理站缩回，且延伸到彼此不同的基片处理站中，其中在双端基片保持器203,204的相同或不同端处的相同或不同的双基片，这实现基本独立于z轴线移动的基片快速交换(独立于居间z轴线移动或与基片传递之间的居间z轴线移动分开)。例如，臂131沿方向777(见图7g-7i)旋转，以便将基片保持站203h2,204h2(其中基片s1-s4由臂131保持)定位在基片s1,s2从其移除且双基片s3,s4将放置在其上的处理站188,189附近。控制器110实现驱动区段220的运动以延伸臂131(图14，框1410)，且使得基片保持站203h2,204h2的基本节距bp增加(图2b)或减少(图2c)以实现自动晶片定心(图14，框1430——在该情况下，基片s3,s4在相应的基片处理站188,189处定心)，使得基片保持站203h2,204h2之间的距离基本匹配基片处理站188,189之间的节距(见图7i)。注意，自动晶片定心(例如，增加或减小基本节距bp)可与臂延伸/缩回基本同时执行，或在臂131延伸之前臂131基本处于缩回构造的情况下执行。为了将基片s3,s4放置到相应的基片处理站188,189，控制器110配置为实现驱动区段220的运动，使得腕部轴线wx沿路径701以非径向延伸移动(图7j)。腕部wx沿路径701的移动使基片保持站203h2,204h2，通过传送室125a的壁125w中的开口，延伸到基片处理站188,189中。
[0142]
在一个方面，控制器110可实现z轴线驱动器312的致动以降低基片保持站203h2,204h2(而在其它方面，z运动可至少部分地由基片处理站提供188,189)，以用于将双基片s3,s4同时放置到并排基片站模块150的基片处理站188,189(图14，框1440)。控制器110实现驱动区段220的运动以将臂131缩回至例如缩回构造，使得将基片保持站203h2,204h2从并排基片站模块150移除。基片保持站203h1,204h1的基本节距bp可在臂131从基片处理站188,189缩回期间(基本同时)恢复，或在臂基本处于缩回构造的情况下恢复。尽管描述基片s1,s2与基片s3,s4的快速交换，但应理解，在其它方面，基片s3,s4可放置在与拾取基片s1,s2的位置不同的另一位置。
[0143]
控制器110可实现驱动区段220的操作，使得臂131以上文描述的方式延伸到加载锁102a,102b中，以便以基本类似于上述关于将基片s3,s4放置在基片处理站188,189处的方式将双基片s1,s2放置到基片处理站196,197(见图7k)。臂131从加载锁102a,102b缩回至例如缩回构造(见图7l)以进一步拾取/放置基片。
[0144]
参照图4、5a-5f和30，根据本公开内容的方面，一种方法包括提供如上述那些的基片传送设备(图30，框3000)。基片传送设备的可移动臂连杆201,202进行重构(图30，框3010)，其中如上文所述，可移动臂连杆201,202是可重构的臂连杆201r,202r，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳201c,202r，以及容纳于模块化复合臂连杆壳201c,202c的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统655。如上文描述的，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个可互换连杆壳延伸模块(例如，中心臂区段510a,510b)连接的连杆壳端部模块(例如，端部联接件511,512,513,514)，该至少一个可互换连杆壳延伸模块具有确定可移动臂连杆201,202的长度oal,oaln的预定特性。在重构可移动臂连杆201,202时，至少一个可互换连杆壳延伸模块510a,510b可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块(例如，中心臂区段)510a,510a1-510an,510b,510b1-510bn中选择以用于连接到连杆壳端部模块511,512,513,514且形成可重构的臂连杆201r,202r，不同对应预定特性确定可移动臂连杆201,202的对应不同长度oal,oaln，以便将模块化复合臂连杆壳201c,202c和可重构的臂连杆201r,202r选择性地设置到多个预定臂连杆长度oal,oaln中的预定臂连杆长度oal,oaln。
[0145]
参照图4、5a-5f和31，根据本公开内容的方面，一种方法包括提供如上述那些的基片传送设备(图31，框3100)。至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接(如上文描述的用于将子基片传送到不同基片保持位置的那些铰接)利用滑轮系统655a-655e实现(图31，框3110)，该滑轮系统安装和接合到至少一个可移动臂连杆201,202的模块化复合臂连杆壳201c,202c，其中，模块化复合臂连杆壳201c,202c由刚性联接到彼此的连杆壳模块(如本文中所述)形成，且滑轮系统655a-655e容纳于模块化复合臂连杆壳201c,202c的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块。刚性联接的壳连杆模块包括连杆壳端部模块(例如，端部联接件)511,512,513,514，它们由至少一个连杆壳延伸模块(例如，中心臂区段)510a,510b连接，连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块511,512,513,514中的每个以形成模块化复合臂连杆壳201c,202c，且布置成使得形成的模块化臂连杆壳201c,202c匹配滑轮传动机构(如传动机构490,492,493,494,495)的错位容差，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳201c,202c的端部处连接容纳在连杆壳端部模块511,512,513,514中的滑轮系统655a-655e的滑轮轮体480,484,488,482,486,491,470,474,472,476。
[0146]
参照图33a-36b，示出其它示例性基片传送设备130，且其中可采用本公开内容的上述方面。在图33a-36b中，臂连杆和端部执行器可独立地旋转，或在一些方面，臂连杆的一个或多个和端部执行器的旋转可从属于另一臂连杆。注意，臂连杆和端部执行器可利用例如基本类似于上文描述那些的马达/驱动器和滑轮系统驱动来旋转。例如，图33a和33b示出具有上臂201、前臂202和单端基片保持器的基片传送臂131。图34a和34b示出具有上臂201、前臂202和单个双侧端部执行器的传送臂131。图35a和35b示出具有单臂连杆(例如，上臂
201)和两个可独立地旋转的单端端部执行器的传送臂131。图36a和36b示出具有上臂201、前臂202和两个可独立地旋转的单端端部执行器的传送臂131。尽管本文中提供传送臂的示例，但在其它方面，采用本文中所述的本公开内容的方面的传送臂可具有任何合适的构造(例如，任何合适数量的臂连杆、任何合适数量的端部执行器，其中每个端部执行器可保持单个基片或多于一个的基片等)。
[0147]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：支承框架；铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；其中，可移动臂连杆是可重构的臂连杆，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统，且其中，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个可互换连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，可互换连杆壳延伸模块具有确定可移动臂连杆的长度的预定特性；且其中，至少一个可互换连杆壳延伸模块可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中选择以用于连接到连杆壳端部模块且形成可重构的臂连杆，不同对应预定特性确定可移动臂连杆的对应不同长度，以便将模块化复合臂连杆壳和可重构的臂连杆选择性地设置到多个预定臂连杆长度中的预定臂连杆长度。
[0148]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0149]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0150]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0151]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0152]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0153]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0154]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统接合到模块化复合臂连杆壳，且布
置成使得由驱动区段提供功率，滑轮系统实现至少一个臂连杆或端部执行器的铰接。
[0155]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不锈钢制成的箱形截面。
[0156]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0157]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块用机械紧固件接头(包括可移除的机械紧固件)来机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且机械紧固件接头构造成使得所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0158]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳滑轮系统的滑轮轮体。
[0159]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0160]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0161]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或线滑轮传动机构。
[0162]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳安装有交叉滚子轴承的滑轮系统的滑轮轮体，使得滑轮轮体的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0163]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0164]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过相应滑轮轮体在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的相应滑轮轮体的旋转。
[0165]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0166]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：支承框架；铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到至少一个可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；其中，至少一个可移动臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中
且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统，滑轮系统安装和接合到模块化复合臂连杆壳，且布置成使得由驱动区段提供功率，滑轮系统实现至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接，且其中，刚性联接的壳连杆模块包括由至少一个连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，该至少一个连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化臂连杆壳与滑轮传动机构的错位容差相匹配，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳的端部处连接容纳在连杆壳端部模块中的滑轮系统的滑轮轮体。
[0167]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可移动臂连杆是可重构的臂连杆，其中，连杆壳延伸模块可从各自具有确定至少一个可移动臂连杆的长度的不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中互换。
[0168]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0169]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0170]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0171]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0172]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0173]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0174]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由不锈钢制成的箱形截面。
[0175]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮传动机构是双对称柔性滑轮传动机构，且模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0176]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0177]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或
线滑轮传动机构。
[0178]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0179]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个安装有交叉滚子轴承，使得滑轮轮体中的至少一个的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0180]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过滑轮轮体中的至少一个在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个的旋转。
[0181]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0182]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种方法包括：提供基片传送设备，其包括支承框架，以及铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；以及重构可移动臂连杆，其中可移动臂连杆是可重构的臂连杆，可重构的臂连杆具有由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块的滑轮系统，且其中，刚性联接的连杆壳模块包括由至少一个可互换连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，可互换连杆壳延伸模块具有确定可移动臂连杆的长度的预定特性；且其中，至少一个可互换连杆壳延伸模块可从各自具有不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中选择以用于连接到连杆壳端部模块且形成可重构的臂连杆，不同对应预定特性确定可移动臂连杆的对应不同长度，以便将模块化复合臂连杆壳和可重构的臂连杆选择性地设置到多个预定臂连杆长度中的预定臂连杆长度。
[0183]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0184]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0185]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0186]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0187]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0188]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0189]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统接合到模块化复合臂连杆壳，且布置成使得由驱动区段提供功率，滑轮系统实现至少一个臂连杆或端部执行器的铰接。
[0190]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个可互换连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由不锈钢制成的箱形截面。
[0191]
根据本公开内容的一个或多个方面，该方法还包括将至少一个可互换连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，其中所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0192]
根据本公开内容的一个或多个方面，该方法还包括将至少一个可互换连杆壳延伸模块用机械紧固件接头(包括可移除机械紧固件)来机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且机械紧固件接头构造成使得所形成的模块化复合臂连杆壳在所选择的预定臂连杆长度内与连接滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构的错位容差相匹配。
[0193]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳滑轮系统的滑轮轮体。
[0194]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0195]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0196]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或线滑轮传动机构。
[0197]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳端部模块中的至少一个容纳安装有交叉滚子轴承的滑轮系统的滑轮轮体，使得滑轮轮体的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0198]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0199]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与
滑轮轮体的接合布置成以便确定通过相应滑轮轮体在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的相应滑轮轮体的旋转。
[0200]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的相应滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在相应滑轮轮体上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0201]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种方法包括：提供基片传送设备，其包括支承框架，铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到至少一个可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；以及用安装和接合到至少一个可移动臂的模块化复合臂连杆壳的滑轮系统，实现至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接，其中，模块化复合臂连杆壳由刚性联接到彼此的连杆壳模块形成，且滑轮系统容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的刚性联接的连杆壳模块中且延伸通过刚性联接的连杆壳模块；其中，刚性联接的壳连杆模块包括由至少一个连杆壳延伸模块连接的连杆壳端部模块，该至少一个连杆壳延伸模块机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化臂连杆壳与滑轮传动机构的错位容差相匹配，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳的端部处连接容纳在连杆壳端部模块中的滑轮系统的滑轮轮体。
[0202]
根据本公开内容的一个或多个方面，该方法还包括重构至少一个可移动臂连杆，其中，连杆壳延伸模块可从各自具有确定至少一个可移动臂连杆的长度的不同对应预定特性的多个不同的可互换连杆壳延伸模块中互换。
[0203]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便保持关于每个不同的可互换连杆壳延伸模块的预定刚度(端到端)。
[0204]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有与其对应的箱形截面，且预定特性在于，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有不同对应长度以及对应的箱形截面，该对应的箱形截面的尺寸和形状设定成与不同对应长度相称，以便在每个不同的可选择的预定臂连杆长度内保持预定刚度(端到端)。
[0205]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个是具有箱形截面的挤制部件。
[0206]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由与连杆壳端部模块(中的一个或多个)的材料不同的材料制成的箱形截面。
[0207]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳
延伸模块中的每个的材料具有高于连杆壳端部模块的材料的刚度(弹簧模量)。
[0208]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个的材料具有与滑轮系统的滑轮传动机构的材料刚度相称的刚度。
[0209]
根据本公开内容的一个或多个方面，连杆壳延伸模块和多个不同的可互换连杆壳延伸模块中的每个具有由不锈钢制成的箱形截面。
[0210]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮传动机构是双对称柔性滑轮传动机构，且模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，其在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，该紧凑高度与具有紧凑基本双对称截面的连接滑轮系统的滑轮轮体的双对称柔性滑轮传动机构相称。
[0211]
根据本公开内容的一个或多个方面，对于具有可相比长度的可相比数量的滑轮系统，紧凑高度小于带滑轮传动机构壳体高度。
[0212]
根据本公开内容的一个或多个方面，连接滑轮轮体的柔性滑轮传动机构是线缆或线滑轮传动机构。
[0213]
根据本公开内容的一个或多个方面，模块化复合臂连杆壳是低轮廓壳，该低轮廓壳在所选择的预定臂长度内具有紧凑高度，其与容纳在连杆壳端部模块中的至少一个中的滑轮系统的安装交叉滚子轴承的滑轮轮体相称。
[0214]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个安装有交叉滚子轴承，使得滑轮轮体中的至少一个的位置和对准取决于与交叉滚子轴承的接合且由其来控制。
[0215]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过滑轮轮体中的至少一个在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的滑轮系统的滑轮轮体中的至少一个的旋转。
[0216]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮系统的滑轮轮体的滑轮传动机构与滑轮轮体的接合布置成以便确定通过端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆在滑轮轮体中的至少一个上的滑轮传动机构的卷绕位置与松开位置之间的至少360
°
旋转来进行的端部执行器的旋转。
[0217]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：框架；连接到框架的驱动区段；至少一个铰接式多连杆臂，其具有上臂和前臂，上臂在一端处可旋转地连结到驱动区段，前臂在上臂的相对端处可旋转地连结到上臂，且上臂是一端与相对端之间的基本刚性的非铰接连杆，其中上臂和前臂中的一个或多个包括端部联接件和中心臂区段，中心臂区段可从多个不同的中心臂区段中选择，不同的中心臂区段各自具有不同长度，以便限定从接头中心到接头中心的相应臂连杆长度；以及至少一个端部执行器连杆，其可旋转地连结到前臂。
[0218]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个端部执行器连杆包括彼此分开且不同的双端部执行器连杆，每个端部执行器连杆可旋转地且单独地连结到前臂的共同端，使得每个端部执行器连杆相对于前臂围绕共同旋转轴线旋转，每个端部执行器连杆具有从属
于其的对应至少一个基片保持站。
[0219]
根据本公开内容的一个或多个方面，从属于双端部执行器连杆中的至少一个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站包括在至少一个端部执行器连杆的相对端处的一个基片保持站，端部执行器连杆在相对端之间是基本刚性且非铰接的，且其中，在相对端中的一个处的基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0220]
根据本公开内容的一个或多个方面，双端部执行器连杆设置成使得多连杆臂的径向延伸和缩回实现每个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸和缩回，这些开口在基本共同水平上相对于彼此并列。
[0221]
根据本公开内容的一个或多个方面，在至少一个端部执行器连杆的相对端处的基片保持站彼此基本共面。
[0222]
根据本公开内容的一个或多个方面，在至少一个端部执行器连杆的相对端处的基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0223]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站包括在至少一个端部执行器连杆的相对端处的一个基片保持站，且分开且不同的端部执行器连杆中的每个在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0224]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其限定至少一个端部执行器连杆相对于另一个的独立自由度。
[0225]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个端部执行器连杆的独立自由度使得能够在双端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心。
[0226]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其构造成实现在双端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心，自动晶片定心与双端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸是基本同时的。
[0227]
根据本公开内容的一个或多个方面，基片传送设备还包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动区段，且配置为延伸多连杆臂，以用于通过传送室壁中的相应单独开口，利用双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站来基本同时地拾取或放置双第一基片。
[0228]
根据本公开内容的一个或多个方面，控制器配置为通过相应单独开口，利用保持在双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上的至少一个第二基片基本同时快速更换双第一基片，其中双第一基片同时保持在双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上。
[0229]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片处理设备包括：传送室，其构造成在其中保持隔离的气氛，且具有侧壁，其中多于一个的基片传送开口沿该侧壁在共同水平上相对于彼此分开且并列；至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置连接到传送室的驱动区段，且具有上臂和位于传送室中的前臂，上臂在一端处可旋转地连结到驱动区段，前臂在上臂的相对端处可旋转地连结到上臂，且上臂是一端与相对端之间的基本刚性的非铰接连杆，其中上臂和前臂中的一个或多个包括端部联接件和中心臂区段，中心臂区段可从多个不同的中心臂区段中选择，不同的中心臂区段各自具有不同长度，以便限定从接头中心到接头中心的
相应臂连杆长度；以及其中，多连杆臂具有多于一个的分开且不同的端部执行器连杆，每个端部执行器连杆可旋转地且单独地连结到前臂共同端处的接头，使得每个端部执行器连杆相对于前臂围绕接头处的共同旋转轴线旋转，每个端部执行器连杆具有从属其的对应至少一个基片保持站，且从接头延伸，使得多于一个的端部执行器连杆沿共同平面相对于彼此并列。
[0230]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段配置为至少沿径向轴线延伸和缩回多连杆臂，该延伸和缩回实现每个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站分别通过沿侧壁并列的单独开口基本同时的延伸和缩回，且将对应基片保持站中的至少一个相对于多于一个的端部执行器连杆中的另一个独立地对准。
[0231]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段配置为将端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站相对于端部执行器中的另一个的对应基片保持站独立地对准。
[0232]
根据本公开内容的一个或多个方面，从属于端部执行器连杆中的至少一个的对应至少一个基片保持站包括在端部执行器连杆中的至少一个的相对端处的一个基片保持站，端部执行器连杆在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0233]
根据本公开内容的一个或多个方面，在相对端中的一个处的对应至少一个基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0234]
根据本公开内容的一个或多个方面，在端部执行器连杆中的至少一个的相对端处的对应至少一个基片保持站彼此基本共面。
[0235]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其限定至少一个端部执行器连杆相对于另一个的独立自由度。
[0236]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个端部执行器连杆的独立自由度使得能够在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心。
[0237]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其构造成实现在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心，自动晶片定心与多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站通过传送室的侧壁中的相应基片传送开口的基本同时延伸是基本同时的。
[0238]
根据本公开内容的一个或多个方面，基片传送设备还包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动区段，且配置为延伸多连杆臂，以利用多于一个的分开且不同的端部执行器连杆中的对应至少一个基片保持站，通过传送室的侧壁中的相应基片传送开口基本同时地拾取或放置双第一基片。
[0239]
根据本公开内容的一个或多个方面，控制器配置为通过相应基片传送开口，利用保持在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上的至少一个第二基片基本同时快速更换双第一基片，其中双第一基片同时保持在多于一个的分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上。
[0240]
根据本公开内容的一个或多个方面，上臂和前臂中的一个或多个包括至少一个线缆和滑轮传动机构，该传动机构实现双端部执行器连杆中的至少一个围绕共同旋转轴线的大于 /-160
°
的旋转。
[0241]
根据本公开内容的一个或多个方面，至少一个线缆和滑轮传动机构中的每个包括滑轮和卷绕在滑轮周围的相对的线缆节段。
[0242]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个滑轮包括引导凹槽，在相应滑轮的卷绕移动时，相对的线缆中的相应一个在引导凹槽中接收和引导。
[0243]
根据本公开内容的一个或多个方面，相对的线缆节段中的一个或多个包括顺列线缆张紧器。
[0244]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括螺旋扣式线缆张紧器。
[0245]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括弹性线缆张紧器。
[0246]
根据本公开内容的一个或多个方面，滑轮中的一个或多个包括交叉滚子滑轮。
[0247]
根据本公开内容的一个或多个方面，其中，至少一个铰接式多连杆臂包括在至少一个铰接式多连杆臂的铰接接头处的至少一个交叉滚子轴承。
[0248]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：框架；连接到框架的驱动区段；至少一个双连杆scara臂，其具有在scara臂的肘部接头处连结到彼此的第一臂连杆和第二臂连杆，第一臂连杆在肩部接头处连结到驱动区段；以及多于一个的端部执行器连杆，这些端部执行器连杆彼此分开且不同，每个端部执行器连杆在共同腕部接头处可旋转地且单独地连结到第二臂连杆，使得每个端部执行器连杆相对于第二臂连杆围绕共同腕部接头处的共同旋转轴线旋转，每个端部执行器连杆具有从属其的对应至少一个基片保持站；其中，肘部接头、肩部接头和共同腕部接头中的一个或多个包括交叉滚子轴承，且交叉滚子轴承形成至少两个连杆scara臂的驱动传动机构的滑轮。
[0249]
根据本公开内容的一个或多个方面，传动机构包括线缆和滑轮传动机构，其中线缆卷绕在交叉滚子轴承的外周表面周围。
[0250]
根据本公开内容的一个或多个方面，线缆包括两个相对的线缆节段，线缆节段沿相对的卷绕方向卷绕在交叉滚子轴承周围。
[0251]
根据本公开内容的一个或多个方面，相对的线缆节段中的一个或多个包括顺列线缆张紧器。
[0252]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括螺旋扣式线缆张紧器。
[0253]
根据本公开内容的一个或多个方面，顺列线缆张紧器包括弹性线缆张紧器。
[0254]
根据本公开内容的一个或多个方面，线缆和滑轮传动机构实现多于一个的端部执行器连杆中的至少一个围绕共同旋转轴线的大于 /-160
°
的旋转。
[0255]
根据本公开内容的一个或多个方面，第一臂连杆和第二臂连杆中的一个或多个包括端部联接件和中心臂区段，中心臂区段可从多个不同的中心臂区段中选择，不同的中心臂区段各自具有不同长度，以便限定从接头中心到接头中心的相应臂连杆长度。
[0256]
根据本公开内容的一个或多个方面，从属于多于一个的端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站设置成与共同平面上的多于一个的端部执行器连杆中的从属于彼此的对应至少一个基片保持站基本共面，共同平面由多于一个的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站中的至少三个确定。
[0257]
根据本公开内容的一个或多个方面，对应至少一个基片保持站中的至少三个中的两个基片保持站对应于多于一个的端部执行器连杆中的共同端部执行器连杆。
[0258]
根据本公开内容的一个或多个方面，两个基片保持站分别设置在共同端部执行器连杆的相对端处。
[0259]
根据本公开内容的一个或多个方面，在共同端部执行器连杆的相对端处的两个基片保持站彼此基本共面。
[0260]
根据本公开内容的一个或多个方面，在共同端部执行器连杆的相对端处的两个基片保持站与彼此分开且不同的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站基本共面。
[0261]
根据本公开内容的一个或多个方面，共同端部执行器连杆在相对端之间是基本刚性且非铰接的。
[0262]
根据本公开内容的一个或多个方面，多于一个的端部执行器连杆设置成使得scara臂的径向延伸和缩回实现每个端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸和缩回，这些开口在基本共同水平上相对于彼此并列。
[0263]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其限定至少一个端部执行器连杆相对于多于一个的端部执行器连杆中的其它端部执行器连杆的独立自由度。
[0264]
根据本公开内容的一个或多个方面，每个端部执行器连杆的独立自由度使得能够在多于一个的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心。
[0265]
根据本公开内容的一个或多个方面，驱动区段是多轴驱动区段，其构造成实现在多于一个的端部执行器连杆中的每个的对应至少一个基片保持站处独立地自动晶片定心，自动晶片定心与多于一个的端部执行器连杆中的每一个的对应至少一个基片保持站通过传送室壁中的相应单独开口的基本同时延伸是基本同时的。
[0266]
根据本公开内容的一个或多个方面，基片传送设备还包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动区段且配置为延伸scara臂，以用于通过传送室壁中的相应单独开口，利用多于一个的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站来基本同时地拾取或放置双第一基片。
[0267]
根据本公开内容的一个或多个方面，控制器配置为通过相应单独开口，利用保持在双端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上的至少一个第二基片基本同时快速更换双第一基片，其中双第一基片同时保持在多于一个的端部执行器连杆的对应至少一个基片保持站上。
[0268]
根据本公开内容的一个或多个方面，一种基片传送设备包括：支承框架；铰接臂，其连接到支承框架且具有至少一个可移动臂连杆以及端部执行器，该端部执行器连接到至少一个可移动臂连杆，具有位于其上的基片保持站；其中，至少一个可移动臂连杆具有包括至少一个挤制臂壳构件的模块化复合臂连杆壳，以及容纳于模块化复合臂连杆壳的基本端到端的挤制臂壳构件中且延伸通过该挤制臂壳构件的滑轮系统，滑轮系统安装和接合到模块化复合臂连杆壳，且布置成使得由驱动
区段提供功率，滑轮系统实现至少一个可移动臂连杆或端部执行器相对于至少一个可移动臂连杆的铰接，且其中，模块化复合臂连杆壳包括由至少一个挤制臂壳构件连接的连杆壳端部模块，挤制臂壳构件机械地紧固到连杆壳端部模块中的每个以形成模块化复合臂连杆壳，且布置成使得所形成的模块化臂连杆壳与滑轮传动机构的错位容差相匹配，该滑轮传动机构在模块化复合臂连杆壳的端部处连接容纳在连杆壳端部模块中的滑轮系统的滑轮轮体。
[0269]
应理解，前述描述仅是对本公开内容的方面的说明。在不背离本公开内容的方面的情况下，本领域技术人员可设计各种备选方案和改型。因此，本公开内容的方面旨在涵盖落入本文所附任何权利要求范围内的所有此类备选方案、改型和变型。此外，仅在相互不同的从属或独立权利要求中记载不同特征的事实并不表示不能有利地使用这些特征的组合，这样的组合保持在本公开内容的方面的范围内。
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