标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置的制作方法

技术特征：
1.一种标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的，其特征在于，调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数，其中，成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。2.根据权利要求1所述的标记检测装置，还包括：学习单元，被配置成进行学习以生成学习模型。3.根据权利要求2所述的标记检测装置，其特征在于，学习单元在将参数调节为第二参数的同时通过成像而生成的对准标记图像中的对准标记不能被检测到的情况下执行学习。4.一种标记学习装置，包括：取得单元，被配置成取得作为通过对物体上的对准标记成像而生成的、其中不能检测到图像中的对准标记的图像的对准标记图像，以及作为在其中能够检测到对准标记的对准标记图像的成像中的与成像相关的参数的第一参数；以及学习单元，被配置成生成与推断处理一起使用的学习模型，该学习模型通过使用所取得的对准标记图像和第一参数进行学习来输出作为参数的第二参数。5.根据权利要求4所述的标记学习装置，还包括：操作单元，该操作单元使操作者能够输入第一参数。6.根据权利要求4或5所述的标记学习装置，其特征在于，取得单元从多个装置取得第一参数和其中不能检测到对准标记的对准标记图像，所述多个装置中的每个装置能够通过成像来生成对准标记图像。7.一种标记检测方法，包括以下步骤：通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测对准标记图像中的对准标记；以及基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的，其特征在于，调节步骤取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数，其中，在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。8.一种存储介质，存储有使计算机执行根据权利要求7所述的标记检测方法的程序。9.一种基板加工装置，包括：根据权利要求1至3中的任一项所述的标记检测装置；以及加工单元，被配置成加工通过使用由标记检测装置检测到的对准标记而定位的基板。10.一种物品的制造方法，该制造方法包括以下步骤：使用根据权利要求9所述的基板加工装置来加工基板；以及从经加工的基板制造物品。

技术总结
公开了标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置。标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的。调节单元取得作为基于学习模型的推断处理的结果的第二参数。成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。


技术研发人员：山本将志 铃木彻 根谷尚稔 黑泽良昭 米田慎吾 日置真则
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2022.05.10
技术公布日：2022/11/15