一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构的制作方法

1.本实用新型涉及非球面氮气退火炉技术领域，尤其涉及一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.经检索，中国专利授权号为cn202110526450.4的专利，公开了非球面氮气退火炉，包括退火炉主体，所述退火炉主体包括有炉体，所述炉体内设有内炉腔，所述炉体与内炉腔之间设有隔热套，所述内炉腔安装有若干加热组件，若干所述加热组件均匀的布置在内炉腔上，所述炉体顶部设有密封槽，所述密封槽内安装有密封圈，所述密封圈顶部连接有炉盖，所述炉盖底部连接有退火架，所述退火架安装有若干放置板，所述炉盖底部一侧安装有气体检测器。
4.上述专利中的非球面氮气退火炉装置存在以下不足：上述专利中并没有明确指出退火炉中的氮气如何进行处理，退火炉尾气中的氮气是可以回收利用的，而上述专利并没有提及。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构。
6.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
7.一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构，包括冷却罐，所述冷却罐的两端开设有开口，且其中一个开口的内壁固定连接有连接管，所述连接管的一端连接有过滤箱，所述过滤箱的一侧外壁开设有圆口，且圆口的内壁固定连接有排气管，所述冷却罐外壁一侧设置有注水管，且冷却罐外壁的另一侧设置有排水管，所述冷却罐的内壁固定连接有四个等距离分布的导热板，且四个导热板之间连接有多个铜管。
8.优选的，其中三个所述导热板的一侧外壁固定连接有安装套，且三个安装套的内壁固定连接有多个等距离分布的喷淋头，所述喷淋头通过管道连接在注水管上。
9.优选的，所述过滤箱的两侧内壁固定连接有同一个隔板，且隔板底部外壁开设有下料口，所述下料口的内壁固定连接有集尘斗，所述集尘斗底部外壁开设有清理口，且清理口的内壁固定连接有密封板。
10.优选的，所述隔板顶部外壁固定连接有倾斜设置的过滤网，且过滤网的一侧外壁固定连接有震动机构。
11.优选的，所述震动机构包括震动箱，且震动箱的两侧内壁滑动连接有同一个滑动
架，所述滑动架的一侧外壁固定连接有震动球，所述震动箱的一侧内壁固定连接有电磁铁，所述滑动架的一侧外壁固定连接有磁铁。
12.优选的，所述震动箱一侧内壁的固定连接有两个弹性组件，且弹性组件包括弹簧杆，所述弹簧杆的一端连接在滑动架上。
13.优选的，所述震动箱一侧内壁的固定连接有两个弹性组件，且弹性组件包括滑杆，所述滑杆的外壁套接有弹簧，所述滑动架滑动连接在滑杆的外壁上。
14.本实用新型的有益效果为：
15.1.本实用新型通过冷却罐和过滤限制之间的配合，方便在氮气回收时先对气体进行冷却，然后在通过过滤箱进行气体过滤，将冷却后气体中的杂质进行滤除，方便在氮气回收时提高氮气的质量。
16.2.本实用新型通过在冷却罐中设置的铜管和喷淋头之间的配合，通过喷淋头对铜管进行冲洗，从而对铜管中的气体进行降温，通过先对气体进行冷却然后再进行过滤，提高了气体的回收效率。
17.3.本实用新型通过在过滤箱上设置集尘斗，通过集尘斗和过滤网之间的配合，方便对过滤出的灰尘进行收集，同时通过在过滤网上设置震动机构，方便对过滤网上粘附的杂质进行清理，有效防止过滤网堵塞的情况。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构的结构示意图；
19.图2为本实用新型提出的一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构的冷却罐半剖结构示意图；
20.图3为本实用新型提出的一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构的导热板结构示意图；
21.图4为本实用新型提出的一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构的过滤箱展开结构示意图；
22.图5为本实用新型提出的一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构的震动机构结构示意图。
23.图中：1、冷却罐；2、注水管；3、排水管；4、连接管；5、过滤箱；6、排气管；7、导热板；8、铜管；9、安装套；10、喷淋头；11、隔板；12、集尘斗；13、过滤网；14、震动机构；15、震动箱；16、电磁铁；17、磁铁；18、滑动架；19、震动球；20、弹性组件。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
25.实施例一
26.参照图1-5，一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构，包括冷却罐1，冷却罐1的两端开设有开口，且其中一个开口的内壁固定连接有连接管4，连接管4的一端连接有过滤箱5，过滤箱5的一侧外壁开设有圆口，且圆口的内壁固定连接有排气管6，冷却罐1外壁一侧设
置有注水管2，且冷却罐1外壁的另一侧设置有排水管3，冷却罐1的内壁固定连接有四个等距离分布的导热板7，且四个导热板7之间连接有多个铜管8。
27.本实用新型中，其中三个导热板7的一侧外壁固定连接有安装套9，且三个安装套9的内壁固定连接有多个等距离分布的喷淋头10，喷淋头10通过管道连接在注水管2上，喷淋斗10通过管道连接在水泵上，喷淋头10向铜管8喷洒冷却水，从而对铜管8进行降温，对铜管8降温时进而对尾气进行降温。
28.本实用新型中，过滤箱5的两侧内壁固定连接有同一个隔板11，且隔板11底部外壁开设有下料口，下料口的内壁固定连接有集尘斗12，集尘斗12底部外壁开设有清理口，且清理口的内壁固定连接有密封板，通过可拆卸的密封板方便对集尘斗12中的灰尘进行清理。
29.本实用新型中，隔板11顶部外壁固定连接有倾斜设置的过滤网13，且过滤网13的一侧外壁固定连接有震动机构14，通过震动机构14产生的震动方便对过滤网13上粘附的杂质清理掉，避免过滤网13堵塞。
30.本实用新型中，震动机构14包括震动箱15，且震动箱15的两侧内壁滑动连接有同一个滑动架18，滑动架18的一侧外壁固定连接有震动球19，震动箱15的一侧内壁固定连接有电磁铁16，滑动架18的一侧外壁固定连接有磁铁17，通过电磁铁16和磁铁17之间的配合，方便驱动震动球19动作，通过震动球19的移动方便冲击震动箱15产生震动。
31.本实用新型中，震动箱15一侧内壁的固定连接有两个弹性组件20，且弹性组件20包括弹簧杆，弹簧杆的一端连接在滑动架18上。
32.工作原理：使用时，将冷却罐1的一端连接在退火炉的排气管上，然后再将注水管2连接在水泵上，当退火炉中的气体进入冷却罐1中时，会分别通过各个铜管8，然后水泵将冷却水通过喷淋头10喷洒在铜管8上，通过冷却水对铜管8进行降温，从而对铜管8中的气体进行冷却，通过排水管3将冷却后的水排出，冷却后的气体进入过滤箱5中，通过过滤箱5中的过滤网13对气体进行过滤，滤网虑出的杂质在重力的作用下落入集尘斗12中，同时过滤网13上的震动机构14间歇启动，启动时电磁铁16通电，电磁铁16通电时产生和磁铁17相同的磁性，进而推动震动球19冲击震动箱15产生震动，电磁铁16断电时震动球19在弹簧杆的驱动下震动球19恢复原位。
33.实施例二
34.参照图1-5，一种非球面氮气退火炉的氮气回收机构，包括冷却罐1，冷却罐1的两端开设有开口，且其中一个开口的内壁固定连接有连接管4，连接管4的一端连接有过滤箱5，过滤箱5的一侧外壁开设有圆口，且圆口的内壁固定连接有排气管6，冷却罐1外壁一侧设置有注水管2，且冷却罐1外壁的另一侧设置有排水管3，冷却罐1的内壁固定连接有四个等距离分布的导热板7，且四个导热板7之间连接有多个铜管8。
35.本实用新型中，其中三个导热板7的一侧外壁固定连接有安装套9，且三个安装套9的内壁固定连接有多个等距离分布的喷淋头10，喷淋头10通过管道连接在注水管2上，喷淋斗10通过管道连接在水泵上，喷淋头10向铜管8喷洒冷却水，从而对铜管8进行降温，对铜管8降温时进而对尾气进行降温。
36.本实用新型中，过滤箱5的两侧内壁固定连接有同一个隔板11，且隔板11底部外壁开设有下料口，下料口的内壁固定连接有集尘斗12，集尘斗12底部外壁开设有清理口，且清理口的内壁固定连接有密封板，通过可拆卸的密封板方便对集尘斗12中的灰尘进行清理。
37.本实用新型中，隔板11顶部外壁固定连接有倾斜设置的过滤网13，且过滤网13的一侧外壁固定连接有震动机构14，通过震动机构14产生的震动方便对过滤网13上粘附的杂质清理掉，避免过滤网13堵塞。
38.本实用新型中，震动机构14包括震动箱15，且震动箱15的两侧内壁滑动连接有同一个滑动架18，滑动架18的一侧外壁固定连接有震动球19，震动箱15的一侧内壁固定连接有电磁铁16，滑动架18的一侧外壁固定连接有磁铁17，通过电磁铁16和磁铁17之间的配合，方便驱动震动球19动作，通过震动球19的移动方便冲击震动箱15产生震动。
39.本实用新型中，震动箱15一侧内壁的固定连接有两个弹性组件20，且弹性组件20包括滑杆，滑杆的外壁套接有弹簧，滑动架18滑动连接在滑杆的外壁上。
40.工作原理：使用时，将冷却罐1的一端连接在退火炉的排气管上，然后再将注水管2连接在水泵上，当退火炉中的气体进入冷却罐1中时，会分别通过各个铜管8，然后水泵将冷却水通过喷淋头10喷洒在铜管8上，通过冷却水对铜管8进行降温，从而对铜管8中的气体进行冷却，通过排水管3将冷却后的水排出，冷却后的气体进入过滤箱5中，通过过滤箱5中的过滤网13对气体进行过滤，滤网虑出的杂质在重力的作用下落入集尘斗12中，同时过滤网13上的震动机构14间歇启动，启动时电磁铁16通电，电磁铁16通电时产生和磁铁17相同的磁性，进而推动震动球19冲击震动箱15产生震动，电磁铁16断电时震动球19在弹簧的驱动下震动球19恢复原位。
41.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。