一种微小型透镜的镀膜方法与流程

技术特征：
1.一种微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，包括：获取透镜组，所述透镜组包括多个透镜，多个所述透镜沿所述透镜的径向方向并排夹持于工装内，并露出多个所述透镜的两个端面，以使多个所述透镜的端面排列形成条形表面；同时对多个所述透镜的一个端面镀膜；翻转所述透镜组，同时对多个所述透镜的另一端面镀膜。2.根据权利要求1所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述获取透镜组，所述透镜组包括多个透镜，多个所述透镜沿所述透镜的径向方向并排夹持于工装内，并露出多个所述透镜的两个端面，以使多个所述透镜的端面排列形成条形表面之后，所述方法包括：清洁所述透镜组；将清洁的所述透镜组放入真空室内预抽真空；二次清洁所述透镜组的端面。3.根据权利要求2所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述将清洁的所述透镜组预抽真空包括：在60℃～100℃、低真空下对所述透镜组预抽20min～30min。4.根据权利要求1所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述同时对多个所述透镜的一个端面镀膜包括：将至少一个所述透镜组放入夹具内，使所述夹具夹持所述透镜组的两端，以露出所述透镜的端面；将至少一个所述夹具放在镀膜机的工件盘，至少一个所述夹具沿所述工件盘的中心圆周分布，使所述透镜的一个端面朝向膜料；旋转工件盘，使所述膜料在所述工件盘旋转状态下蒸镀在所述透镜的一个端面上。5.根据权利要求4所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述同时对多个所述透镜的另一端面镀膜包括：停止所述工件盘的旋转；调转所述夹具，使所述透镜的另一端面朝向所述膜料；旋转所述工件盘，使所述膜料在所述工件盘旋转状态下蒸镀在所述透镜的另一端面上。6.根据权利要求4或5所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述膜料包括第一膜料和第二膜料，所述第一膜料和所述第二膜料为不同材料，所述第一膜料和所述第二膜料交替层叠蒸镀在所述透镜的端面上。7.根据权利要求4或5所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述工件盘的转动速率为30/转min～45/转min，所述蒸镀的时间为35min～50min。8.根据权利要求4或5所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述旋转工件盘，使所述膜料在所述工件盘旋转状态下蒸镀在所述透镜的一个端面上，或者，旋转所述工件盘，使所述膜料在所述工件盘旋转状态下蒸镀在所述透镜的另一端面上还包括：采用离子源照射所述透镜的一个端面或者另一端面。9.根据权利要求8所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述膜料和所述离子源错开设置，并靠近所述工件盘的中心投影处。
10.根据权利要求1所述的微小型透镜的镀膜方法，其特征在于，所述翻转所述透镜组，同时对多个所述透镜的另一端面镀膜之后，所述方法包括：拆除多个所述透镜；超声波清洗所述透镜30min～35min。

技术总结
本申请提供一种微小型透镜的镀膜方法，涉及微小型透镜加工技术领域，包括获取透镜组，透镜组包括多个透镜，多个透镜沿透镜的径向方向并排夹持于工装内，并露出多个透镜的两个端面，以使多个透镜的端面排列形成条形表面；同时对多个透镜的一个端面镀膜；翻转透镜组，同时对多个透镜的另一端面镀膜。对整个透镜组镀膜，不会造成单个透镜的丢失损耗，对透镜的两个端面镀膜时，避免现有技术不易区分镀膜面而造成漏镀或重复镀的现象，降低镀膜的出错率。并且，采用将多个透镜形成透镜组整体镀膜的方式，避免了因单个透镜尺寸小，不易夹持和操作的问题，整体夹持透镜组，整体镀膜有效减少了作业时间，提高了镀膜效率，降低了操作难度。降低了操作难度。降低了操作难度。


技术研发人员：房艳 孙博
受保护的技术使用者：飞秒光电科技(西安)有限公司
技术研发日：2021.04.22
技术公布日：2022/11/10