一种负压式自动气体处置系统的制作方法

1.本发明涉及气体处置领域，具体为一种负压式自动气体处置系统。


背景技术：

2.芯片制造前道工序大概分为清洗、氧化、光刻、刻蚀、离子注入、去胶、扩散、薄膜、机械研磨和电学测试等步骤，其中干法刻蚀和离子注入工艺中需要使用ash3、ph3、cl2气体，由于是剧毒的属性，诸多法律法规严格的限制了剧毒化学品在设计、生产、购买、运输、存储、使用和处置的整个生命周期。芯片制造工厂会涉及到存储、使用和处置的环节。现有的系统中并没有针对在仓库存储、气体柜供应、阀箱中转分支等环节中发生泄漏的处理方法，为此我们提出了一种负压式自动气体处置系统。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本发明提供了一种负压式自动气体处置系统，解决了上述的问题。
5.(二)技术方案
6.为实现上述所述目的，本发明提供如下技术方案：一种负压式自动气体处置系统，包括存放单元、侦测单元、监控单元、控制单元、动力单元、传输单元和处置单元，所述存放单元的输入端与侦测单元的连接，所述侦测单元与监控单元以及控制单元连接，控制单元的输出端连接有处置单元以及动力单元，所述存放单元与动力单元之间通过传输单元连接，传输单元与处置单元之间通过传输单元连接。
7.优选的，存放单元包括存储柜、门体、连接装置以及瓶体固定装置，所述门体铰接在存储柜上，所述门体上设置有两个玻璃，两个所述门体上均固定安装有把手，所述连接装置设置在存储柜的底部，所述瓶体固定装置设置在存储柜的内部。
8.优选的，所述连接装置包括连接管以及连接管，所述连接管连接存储柜的内部，所述连接管螺纹连接在连接管上，所述连接管的底部内壁上为扩口形。
9.优选的，所述瓶体固定装置包括横板，所述横板固定安装在存储柜的内部，所述横板上开设有固定槽，所述横板对应两个固定槽的位置上设置有夹持装置。
10.优选的，所述夹持装置包括旋转块、螺纹块、螺纹柱以及矩形块组成，所述横板对应两个固定槽的位置上开设有开口，所述旋转块设置在开口的内部，所述开口的两侧内壁上开设有与固定槽连通的横槽，所述横槽的横截面为矩形，所述矩形块插接在横槽的内部，所述旋转块对应横槽内部一侧壁面上固定安装有螺纹块，所述螺纹块中螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱与矩形块活动连接在一起，旋转块两侧的螺纹块内壁中的内螺纹为相反方向，所述矩形块位于固定槽内部的一侧设置有夹持块。
11.优选的，所述横槽对应矩形块的位置上开设有内壁槽，所述矩形块对应内壁槽位置上固定安装有卡块，所述卡块与内壁槽活动卡接在一起。
12.优选的，控制单元采用plc可编程逻辑控制器。
13.优选的，动力单元使用半导体级真空泵提供动力，一端连接气体存储柜，一端连接气体处理设备，一条数据线连接控制器。
14.优选的，监控单元由显示器和扬声器组成。
15.优选的，传输单元采用直径为一百毫米的不锈钢材质管路作为抽吸气体的传输设施。
16.优选的，处置单元采用砷化氢、磷化氢吸附过滤设备以及氯气吸附过滤设备。
17.(三)有益效果
18.与现有技术相比，本发明提供了一种负压式自动气体处置系统，具备以下有益效果：
19.1、该负压式自动气体处置系统，本系统的发明应用领域广泛，不仅在集成电路制造行业，可在化学品生产、存储和使用等各个行业各个环节使用。
20.2、该负压式自动气体处置系统，气体种类由以上ash3、ph3、cl23种为例，可以扩展到上百种，扩展方法简单，仅需更换侦测器中的气体传感器就可以实现不同气体的泄漏侦测。
21.3、该负压式自动气体处置系统，针对剧毒气体在仓库存储、气体柜供应、阀箱中转分支等环节中一旦发生泄漏，能够立马将泄漏出的气体自动抽到另一组处置单元进行消除，不让漏出的气体外泄造成人员伤害和环境污染。
附图说明
22.图1为本发明系统示意图；
23.图2为存放单元示意图；
24.图3为存放单元内部示意图；
25.图4为连接装置示意图；
26.图5为瓶体固定装置示意图；
27.图6为图5中的a处局部放大示意图；
28.图7为系统工作过程示意图；
29.图8为现场模拟示意图。
30.图中：1、存储柜；2、门体；3、玻璃；4、把手；5、横板；6、固定槽；7、夹持块；8、连接管；9、连接管；10、开口；11、旋转块；12、横槽；13、螺纹块；14、螺纹柱；15、矩形块；16、内壁槽；17、卡块。
具体实施方式
31.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
32.请参阅图1-8，一种负压式自动气体处置系统，包括存放单元、侦测单元、监控单元、控制单元、动力单元、传输单元和处置单元，存放单元的输入端与侦测单元的连接，侦测
单元与监控单元以及控制单元连接，控制单元的输出端连接有处置单元以及动力单元，存放单元与动力单元之间通过传输单元连接，传输单元与处置单元之间通过传输单元连接，将气体钢瓶分别装进气体存放单元，柜门常闭，柜内处于常压状态，将侦测单元的采样管深入存放单元内不断的抽取存放单元内的空气进入侦测单元进行比对分析，如果侦测单元析出有as、p、cl原子时就会反馈信息给监控单元提示管理人员，同时发出指令信号给控制单元，控制单元接收信号后启动动力单元和处置单元，动力单元启动后产生负压将柜内的泄漏气体通过传输单元抽到气体处理设备进行化学吸附和物理过滤处理，吸附率约百分之九十九，处理后的尾气达到空气标准，由末端管道排出，整个处置过程要持续进行，直到事故处理完毕，人工手动控制关闭设备，才能恢复到待机状态。
33.进一步的，存放单元包括存储柜1、门体2、连接装置以及瓶体固定装置，门体2铰接在存储柜1上，门体2上设置有两个玻璃3，两个门体2上均固定安装有把手4，连接装置设置在存储柜1的底部，瓶体固定装置设置在存储柜1的内部，通过瓶体固定装置将气体钢瓶分别装进存储柜1的内部，通过连接装置连接侦测单元的管路。
34.进一步的，连接装置包括连接管8以及连接管9，连接管8连接存储柜1的内部，连接管9螺纹连接在连接管8上，连接管9的底部内壁上为扩口形，当需要连接到侦测单元的管路的时候，将管路套接在连接管8上，然后旋转连接管9，使得连接管9向下移动，此时其扩口形的内壁会挤压管路的端部，然后将橡胶挤压，从而达到过盈配合固定。
35.进一步的，瓶体固定装置包括横板5，横板5固定安装在存储柜1的内部，横板5上开设有固定槽6，横板5对应两个固定槽6的位置上设置有夹持装置，将需要固定的钢瓶放置到固定槽6的内部，然后采用夹持装置对其进行夹持固定。
36.进一步的，夹持装置包括旋转块11、螺纹块13、螺纹柱14以及矩形块15组成，横板5对应两个固定槽6的位置上开设有开口10，旋转块11设置在开口10的内部，开口10的两侧内壁上开设有与固定槽6连通的横槽12，横槽12的横截面为矩形，矩形块15插接在横槽12的内部，旋转块11对应横槽12内部一侧壁面上固定安装有螺纹块13，螺纹块13中螺纹连接有螺纹柱14，螺纹柱14与矩形块15活动连接在一起，旋转块11两侧的螺纹块13内壁中的内螺纹为相反方向，矩形块15位于固定槽6内部的一侧设置有夹持块7，因此当旋转旋转块11的时候，旋转块11此时带动螺纹块13旋转，从而带动螺纹柱14向相互背离的一侧移动，从而完成驱动固定槽6内部的固定槽6进行滑动，从而完成夹持。
37.进一步的，横槽12对应矩形块15的位置上开设有内壁槽16，矩形块15对应内壁槽16位置上固定安装有卡块17，卡块17与内壁槽16活动卡接在一起，通过设置了卡块17以及内壁槽16，从而起到了导向的作用。
38.进一步的，侦测单元用途是将空气抽到探测器内与气体传感器，单位：ppm，百万分之一，进行比对分析，当传感器析出空气样品中与传感器反应的化学原子就会断定有毒气泄漏事故。整个探测器由主机架、安装托架底座、传感器盒和机壳四部分构成，各组件协同工作。本系统主要是联动控制器使用，通常下是将采样管(外径固定槽6.35mm，白色透明塑料材质)插入抽气管内并固定，随同抽气管道伸到气瓶安全储存柜内，设置把手4个采样口不断的抽取柜内的空气至传感器盒进行分析比对，如果析出有反应的化学原子成分，将立即发出信号至控制单元。
39.进一步的，控制单元采用plc可编程逻辑控制器，将设定好的逻辑程序编入plc控
制器，负责接收由侦测单元发来的指令信号，转换后分出三路信号同时发送出去，一路信号启动动力单元，一路信号启动处置单元，再一路信号传输给监控单元进行报警提示。
40.进一步的，动力单元使用半导体级真空泵提供动力，一端连接气体存储柜1，一端连接气体处理设备，一条数据线连接控制器，接收由控制器传来的信号，启动泵体，产生负压抽吸存储柜内的泄漏毒气并传送到处置单元进行处理，确保泄漏的气体不外溢。
41.进一步的，监控单元由显示器和扬声器组成，设置一台显示器和一只扬声器在监控室，当气体泄漏时会接收到控制单元传输过来的报警信号，以图形和声音的方式提示值班人员发生气体泄漏了，需采取应急措施。
42.进一步的，传输单元采用直径为一百毫米的不锈钢材质管路作为抽吸气体的传输设施，分为三段分别连接各个组件单元，第一段由存储柜1到真空泵段，第二段由真空泵到处置设备段，第三段由处置设备往大气排空段。整个抽气排气管路呈接力串联方式。
43.进一步的，处置单元采用砷化氢、磷化氢吸附过滤设备以及氯气吸附过滤设备。
44.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。