基板检查装置的制作方法

技术特征：
1.一种基板检查装置，用于检查电路基板，所述基板检查装置包括：旋转平台，具有能以吸附的状态来载置所述电路基板的载置面，且在平面观察所述载置面时，能以旋转轴线为中心进行旋转；旋转平台支撑部，能够旋转地支撑所述旋转平台；吸附机构，具有抽吸装置以及一端侧连接于所述抽吸装置且另一端侧位于载置面的抽吸路，通过所述抽吸装置来抽吸所述抽吸路内的气体，由此将载置于所述载置面上的所述电路基板吸附于所述载置面；流量检测部，对在所述抽吸路中流至位于所述旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测；流量判定部，判定由所述流量检测部所检测出的气体的流量是否为规定值以上；非接触检测部，非接触地检测所述载置面上的所述电路基板的配置状态；以及检查部，根据所述流量判定部及所述非接触检测部得出的检测结果来进行所述电路基板的检查。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中所述抽吸路具有：所述抽吸路的另一端侧位于所述载置面中央的中央抽吸路；以及所述抽吸路的另一端侧比所述中央抽吸路位于径方向外侧的外周抽吸路，所述流量检测部对在所述中央抽吸路中流至位于所述旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测。3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其中所述检查部在由所述流量判定部判定为由所述流量检测部所检测出的气体的流量小于规定值的情况，且由所述非接触检测部检测出在所述载置面上以规定的状态而配置有所述电路基板的情况下，进行所述电路基板的检查。4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中所述检查部具有接触至所述电路基板而进行检查的接触检查部，所述非接触检测部具有：电路基板非接触检测部，非接触地检测所述载置面上的所述电路基板的有无；以及高度位置非接触检测部，在比所述电路基板的外缘而靠近所述接触检查部接触至所述电路基板的接触位置的部分，非接触地检测所述电路基板相对于所述载置面的高度，由所述非接触检测部所检测的所述规定的状态是：由所述电路基板非接触检测部检测出所述电路基板位于所述载置面上的规定位置的情况，且由所述高度位置非接触检测部检测出所述电路基板相对于所述载置面的高度为规定值以下的情况。5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其中所述高度位置非接触检测部非接触地检测在所述电路基板中所述接触检查部所接触的接触位置相对于所述载置面的高度。6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板检查装置，其中所述电路基板包含具有电路的多个基板单片，在对各基板单片的电路进行检查前，通过所述流量判定部而判定为由所述流量检测部所检测出的气体的流量小于规定值，且由所述非接触检测部检测出所述载置面上的所述电
路基板的配置状态之后，所述检查部检查各电路。7.根据权利要求2所述的基板检查装置，其中所述中央抽吸路所连接的所述抽吸装置与所述外周抽吸路所连接的所述抽吸装置相同。

技术总结
基板检查装置包括：旋转平台，具有载置面；旋转平台支撑部；吸附机构，具有抽吸装置以及一端侧连接于抽吸装置且另一端侧位于载置面的抽吸路，通过抽吸装置来对抽吸路内的气体进行抽吸，由此，将电路基板吸附于载置面；流量检测部，对在抽吸路中流至位于旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测；流量判定部，判定由流量检测部所检测出的气体的流量是否为规定值以上；非接触检测部，非接触地检测载置面上的电路基板的配置状态；以及检查部，根据流量判定部及非接触检测部得出的检测结果来进行电路基板的检查。进行电路基板的检查。进行电路基板的检查。


技术研发人员：松川俊英 伊砂隆志
受保护的技术使用者：日本电产理德股份有限公司
技术研发日：2021.03.25
技术公布日：2022/11/11