半导体切割设备用的水温检测装置的制作方法

技术特征：
1.一种半导体切割设备用的水温检测装置，所述半导体切割设备包括水箱、主轴以及与主轴连接的切割刀具；其特征在于，所述水温检测装置包括：与所述水箱连接的水路转换器，具有第一出水口和第二出水口；与所述第一出水口连接的第一管路，所述第一管路的另一端靠近所述主轴设置；与所述第二出水口连接的第二管路，所述第二管路的另一端靠近所述切割刀具设置；安装在所述水路转换器的第一出水口处的第一温度传感器；以及安装在所述水路转换器的第二出水口处的第二温度传感器。2.如权利要求1所述的半导体切割设备用的水温检测装置，其特征在于，所述水路转换器通过输水管与所述水箱连接。3.如权利要求1所述的半导体切割设备用的水温检测装置，其特征在于，所述水路转换器上设有进水口，所述进水口与所述水箱连接，所述进水口处设有过滤器。4.如权利要求1所述的半导体切割设备用的水温检测装置，其特征在于，所述第一温度传感器和所述第二温度传感器与一显示屏连接。5.如权利要求1所述的半导体切割设备用的水温检测装置，其特征在于，还包括与所述第一温度传感器和所述第二温度传感器连接的警报器。6.如权利要求1所述的半导体切割设备用的水温检测装置，其特征在于，所述第一温度传感器和所述第二温度传感器还与切割设备的控制开关连接。

技术总结
本实用新型涉及一种半导体切割设备用的水温检测装置，半导体切割设备包括水箱、主轴以及与主轴连接的切割刀具；水温检测装置包括：与水箱连接的水路转换器，具有第一出水口和第二出水口；与第一出水口连接的第一管路，第一管路的另一端靠近主轴设置；与第二出水口连接的第二管路，第二管路的另一端靠近切割刀具设置；安装在水路转换器的第一出水口处的第一温度传感器；安装在水路转换器的第二出水口处的第二温度传感器。本实用新型能够确保进入到主轴及切割刀具处的冷却水能够将主轴及切割刀具降低到参数值内，保证降温效果，确保芯片不发生熔锡现象，保障刀具的寿命，防止主轴高温膨胀变形影响设备精度。高温膨胀变形影响设备精度。高温膨胀变形影响设备精度。


技术研发人员：黄振峰 郑成杰 李文学 许俊林 倪楠 徐旭绅
受保护的技术使用者：宁波泰睿思微电子有限公司
技术研发日：2022.03.22
技术公布日：2022/11/10