一种用于划片机工作台的驱动机构的制作方法

1.本技术涉及半导体晶圆划片机领域，具体为一种用于划片机工作台的驱动机构。


背景技术：

2.划片机也叫晶圆切割机，主要用于半导体晶圆、集成电路、qfn、发光二极管、led芯片、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。目前，现有划片机中用于驱动工作台进行纵向水平往复运动的驱动机构主要由电机直连丝杆安装于底座上，由丝杆驱动工作台在底座上进行水平往复运动。随着划片机的自动化要求越来越高，需要具备自动对准功能，这就需要高精度、高响应的运动控制，而传统划片机中的驱动机构在使用过程中由于其结构和原理，不能够满足上述要求。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种用于划片机工作台的驱动机构，具有高精度和高响应的优点。
4.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
5.一种用于划片机工作台的驱动机构，包括设于划片机底座、并用于提供水平方向移动的驱动机构，所述驱动机构包括:
6.设于划片机底座上表面的基座，所述基座的上表面开设有纵向的凹槽；
7.纵向设于所述基座上表面两侧、并用于提供水平移动导向的直线导轨；
8.设于所述直线导轨上方、并用于在所述直线导轨上方直线移动的工作台，所述工作台的底部设置有与所述直线导轨滑动连接的滑台；
9.设于所述工作台底部一侧的光栅读数头，所述光栅读数头与所述基座一侧设置的光栅标尺连接；以及，
10.设于所述凹槽、并用于驱动所述工作台在所述基座进行纵向移动的驱动组件。
11.实现上述技术方案，由驱动组件驱动所连接的工作台通过底部的滑台在直线导轨上进行纵向移动，工作台在移动时通过底部的光栅读数头读取基座一侧的光栅标尺，并将读取的信号反馈给系统，由系统精确控制工作台的位移距离。
12.作为本技术的一种优选方案，所述驱动组件包括：
13.纵向设于所述凹槽内的滚珠丝杆；
14.设于所述滚珠丝杆一端、并用于支撑所述滚珠丝杆的轴承支撑座；
15.设于所述滚珠丝杆另一端、并用于提供驱动力的电机，所述电机通过联轴器与所述滚珠丝杆连接；以及，
16.设于所述滚珠丝杆、并与所述工作台连接的丝杆螺母。
17.实现上述技术方案，由电机的输出轴通过联轴器驱动滚珠丝杆进行旋转，使滚珠丝杆上的丝杆螺母带动所连接的工作台通过底部的滑台在直线导轨上进行移动。
18.作为本技术的一种优选方案，所述工作台的底部两侧设置有连接块，所述连接块位于所述工作台移动方向的两侧设置有缓冲器，所述缓冲器与所述基座纵向两侧设置的限位块连接。
19.实现上述技术方案，用于工作台在移动过程中防止硬性碰撞导致机构损坏，起到一定程度的保护作用。
20.作为本技术的一种优选方案，所述基座背离所述光栅标尺的一侧设置有型材，所述型材上开设有滑槽，所述滑槽内安装有固定感应开关的滑块。
21.实现上述技术方案，用于滑块在滑槽中进行移动，以调整滑块上的感应开关的位置，从而控制工作台在基座上的移动行程。
22.作为本技术的一种优选方案，所述基座上还设置有与所述工作台连接的风琴防护罩。
23.实现上述技术方案，用于工作台两侧的直线导轨和驱动组件的防护。
24.本技术的有益效果是：
25.本技术的一种用于划片机工作台的驱动机构，包括设于划片机底座、并用于提供水平方向移动的驱动机构，所述驱动机构包括:设于划片机底座上表面的基座，所述基座的上表面开设有纵向的凹槽；纵向设于所述基座上表面两侧、并用于提供水平移动导向的直线导轨；设于所述直线导轨上方、并用于在所述直线导轨上方直线移动的工作台，所述工作台的底部设置有与所述直线导轨滑动连接的滑台；设于所述工作台底部一侧的光栅读数头，所述光栅读数头与所述基座一侧设置的光栅标尺连接；以及，设于所述凹槽、并用于驱动所述工作台在所述基座进行纵向移动的驱动组件。本技术的基座不仅便于精密研磨、抛光，而且便于驱动组件和直线导轨的安装固定，以及工作台在直线导轨上平稳移动，且驱动组件能够驱动所连接的工作台通过底部的滑台在直线导轨上进行纵向移动，而工作台在移动时通过底部的光栅读数头读取基座一侧的光栅标尺，并将读取的信号反馈给系统，由系统精确控制工作台的位移距离。
26.本技术驱动机构中的直线导轨和电机、丝杆等零件安装于基座，与传统的（直线导轨和电机丝杆等零件安装于底座）相比，不仅精度高，而且便于装配。
附图说明
27.图1为本技术涉及的示意图；
28.图2为本技术涉及的基座示意图；
29.图3为本技术涉及的工作台与基座连接示意图；
30.图4为本技术涉及的驱动机构示意图；
31.图5为本技术涉及的风琴防护罩安装示意图。
32.图中：1、划片机底座；2、驱动机构；3、基座；4、凹槽；5、直线导轨；6、工作台；7、滑台；8、光栅读数头；9、光栅标尺；10、驱动组件；101、滚珠丝杆；102、轴承支撑座；103、电机；11、连接块；12、缓冲器；13、限位块；14、型材；141、滑槽；142、滑块；15、风琴防护罩。
具体实施方式
33.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
34.实施例：
35.一种用于划片机工作台的驱动机构，参照图1、图2、图3、图4和图5，包括安装于划片机底座1、并用于提供水平方向移动的驱动机构2，驱动机构2包括安装于划片机底座1上表面的基座3，基座3的上表面开设有纵向的凹槽4和提供水平移动导向的直线导轨5，而直线导轨5位于凹槽4的两侧、且上面安装有工作台6，工作台6的底部安装有与直线导轨5滑动连接的滑台7，而凹槽4中安装有驱动工作台6通过滑台7在直线导轨5上移动的驱动组件10，在工作台6的底部一侧安装有光栅读数头8，光栅读数头8与基座3一侧安装的光栅标尺9连接，用于读取光栅标尺9上的信号、并将读取的信号反馈给系统，由系统精确测量工作台6的位移距离。在本实施例中，凹槽4的设计有助于驱动组件10的安装以及工作台6与驱动组件10和直线导轨5的连接，基座3通过设置的定位台与划片机底座1上开设的定位槽进行定位，然后通过螺丝锁紧在一起，而基座3和划片机底座1采用大理石平台，大理石平台具有结构精密，质地均匀，稳定性好，强度大，硬度高，能在重负荷及一般温底下保持高精度，并且具有不生锈，耐酸碱，耐磨性，不磁化、不变型等优点，有助于工作台的平稳移动，滑台7的数量设置在四个，分别位于两侧的直线导轨5上，驱动组件10采用丝杆直线模组，光栅标尺9通过背胶粘接在基座3的一侧。在其它实施例中，基座3和划片机底座1可采用铸造平台，滑台7的数量可设置在两个或六个，滑台可采用气浮滑台。
36.参照图1、图2、图3和图4，驱动组件10包括纵向设于凹槽4内的滚珠丝杆101以及安装于滚珠丝杆101一端、并用于支撑滚珠丝杆101的轴承支撑座102和安装于滚珠丝杆101另一端、并用于提供驱动力的电机103，电机103通过联轴器与滚珠丝杆101连接；而滚珠丝杆101上安装有与工作台6连接的丝杆螺母。在本实施例中，电机103采用与伺服控制器连接的伺服电机，而伺服电机的输出轴通过联轴器驱动滚珠丝杆101进行旋转，使滚珠丝杆101上的丝杆螺母带动所连接的工作台6通过底部的滑台7在直线导轨5上进行移动。
37.参照图4，工作台6的底部两侧安装有连接块11，连接块11位于工作台6移动方向的两侧设置有缓冲器12，缓冲器12与基座3纵向两侧安装的限位块13连接。在本实施例中，连接块采用t型块，缓冲器12采用具有弹性缓冲的橡胶柱，分别置于t型块的两侧、并通过螺丝锁紧在t型块上，用于工作台6在移动过程中防止硬性碰撞导致机构损坏，从而起到一定程度的保护作用，而限位块13内嵌于基座3、并通过螺丝锁紧在基座3上。在其它实施例中，连接块11可采用工型块、缓冲器12可分别卡在工型块的两侧。
38.回到图4，在基座3背离光栅标尺9的一侧安装有型材14，型材14上开设有滑槽141，滑槽141内安装有固定感应开关的滑块142。在本实施例中，滑块142一方面用于在滑槽141中进行移动，另一方面用于安装感应开关，并带动感应开关在型材14上进行移动，以调整感应开关的位置，控制工作台6在基座3上的移动行程。
39.参照图5，基座3上还安装有与工作台6连接的风琴防护罩15。在本实施例中，风琴防护罩15设有两个，分别位于工作台6的两侧，用于工作台6在移动时前后两侧均能够保护驱动组件10和直线导轨5，以防止凹槽4中进水，影响驱动组件10和直线导轨5的精度。
40.具体的，在实际使用时，由驱动组件10驱动所连接的工作台6通过底部的滑台7在
直线导轨5上进行纵向（y周方向）直线移动，工作台6在移动时通过底部的光栅读数头8读取基座3一侧的光栅标尺9，并将读取的信号反馈给系统，由系统精确控制工作台6的位移距离。
41.对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。